JPH1115536A - 空気圧制御装置 - Google Patents
空気圧制御装置Info
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- JPH1115536A JPH1115536A JP9165497A JP16549797A JPH1115536A JP H1115536 A JPH1115536 A JP H1115536A JP 9165497 A JP9165497 A JP 9165497A JP 16549797 A JP16549797 A JP 16549797A JP H1115536 A JPH1115536 A JP H1115536A
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- air
- air pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型の空気増圧手段が用いられ二次圧縮空気
の利用が断片的に使用される場合、利用圧縮空気側に空
気漏れがあっても、空気増圧手段の増圧弁の連続駆動を
防止し、寿命を長引かせる空気圧制御装置。 【解決手段】 一次圧縮空気を一の入力口に、空気増圧
手段で増圧した二次圧縮空気を他の入力口に結合した空
気圧切換手段２４を、スイッチ群２０ｉと論理和手段２
２と増圧パルス発生手段２３とで生成された増圧要求パ
ルスで電磁弁で切り換え、利用圧縮空気を通常は一次圧
縮空気とし増圧要求パルスの存在時に二次圧縮空気とす
る構成。
の利用が断片的に使用される場合、利用圧縮空気側に空
気漏れがあっても、空気増圧手段の増圧弁の連続駆動を
防止し、寿命を長引かせる空気圧制御装置。 【解決手段】 一次圧縮空気を一の入力口に、空気増圧
手段で増圧した二次圧縮空気を他の入力口に結合した空
気圧切換手段２４を、スイッチ群２０ｉと論理和手段２
２と増圧パルス発生手段２３とで生成された増圧要求パ
ルスで電磁弁で切り換え、利用圧縮空気を通常は一次圧
縮空気とし増圧要求パルスの存在時に二次圧縮空気とす
る構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、一次空気圧Ｐ１
を増圧させて二次空気圧Ｐ２による二次圧縮空気を利用
するための空気増圧手段の制御に関し、特に半導体試験
装置に使用される空気圧制御装置に関する。
を増圧させて二次空気圧Ｐ２による二次圧縮空気を利用
するための空気増圧手段の制御に関し、特に半導体試験
装置に使用される空気圧制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から空気圧を増圧させるために広く
空気増圧手段が使用されている。半導体試験装置にも使
用されている。この明細書では、半導体試験装置での空
気圧制御装置について記述するが、これに限ることなく
一般的に用いることができる発明である。
空気増圧手段が使用されている。半導体試験装置にも使
用されている。この明細書では、半導体試験装置での空
気圧制御装置について記述するが、これに限ることなく
一般的に用いることができる発明である。
【０００３】図３に従来の半導体試験装置における空気
増圧手段に関連する構成図を示す。半導体試験装置は、
主として、半導体試験装置本体１とテストヘッド（以下
「ＴＨ」と云う）３ｉ（ｉ＝１〜２）とから構成され、
ＴＨ３ｉにはピンエレクトロニクス回路から成る多数の
ピンカードが内蔵されている。この多数のピンカードと
半導体試験装置本体１の電子回路部門２との間は伝送ケ
ーブル９で接続され、相互に信号が授受されている。Ｔ
Ｈ３ｉは半導体試験装置本体１に通常は２台接続されて
いるが、１台でもよい。
増圧手段に関連する構成図を示す。半導体試験装置は、
主として、半導体試験装置本体１とテストヘッド（以下
「ＴＨ」と云う）３ｉ（ｉ＝１〜２）とから構成され、
ＴＨ３ｉにはピンエレクトロニクス回路から成る多数の
ピンカードが内蔵されている。この多数のピンカードと
半導体試験装置本体１の電子回路部門２との間は伝送ケ
ーブル９で接続され、相互に信号が授受されている。Ｔ
Ｈ３ｉは半導体試験装置本体１に通常は２台接続されて
いるが、１台でもよい。
【０００４】ＴＨ３ｉの上部には、ＴＨ３ｉと被試験デ
バイスを接続するためのデバイス・インターフェイス
（以下「ＤＩ部」と云う）が設けられている。ＤＩ部は
パフォーマンス・ボード４とハイ・フィックス（布線イ
ンターフェイス）５とＩＣ用ソケット６で構成され、Ｔ
Ｈ３ｉとは特殊コネクタで接続されている。このＴＨ３
ｉとＤＩ部とを接続する特殊コネクタでの着脱時に例え
ば７kg/cm2の圧縮空気が必要とされる。また、ＴＨ３2
に示すように、ＴＨ３ｉがオート・ハンドラと連結する
ときには、ＤＩ部を横向きにするが、これを支える支持
棒８の伸縮時にも例えば７kg/cm2の空気圧が必要とされ
る。この特殊コネクタの着脱時や支持棒８の伸縮時に
は、ＴＨ３ｉに取り付けられている例えば押しボタンス
イッチ７ｉ（ｉ＝１〜ｎ）を押すことにより着脱や伸縮
を行い、通常はいずれかにロックされている。
バイスを接続するためのデバイス・インターフェイス
（以下「ＤＩ部」と云う）が設けられている。ＤＩ部は
パフォーマンス・ボード４とハイ・フィックス（布線イ
ンターフェイス）５とＩＣ用ソケット６で構成され、Ｔ
Ｈ３ｉとは特殊コネクタで接続されている。このＴＨ３
ｉとＤＩ部とを接続する特殊コネクタでの着脱時に例え
ば７kg/cm2の圧縮空気が必要とされる。また、ＴＨ３2
に示すように、ＴＨ３ｉがオート・ハンドラと連結する
ときには、ＤＩ部を横向きにするが、これを支える支持
棒８の伸縮時にも例えば７kg/cm2の空気圧が必要とされ
る。この特殊コネクタの着脱時や支持棒８の伸縮時に
は、ＴＨ３ｉに取り付けられている例えば押しボタンス
イッチ７ｉ（ｉ＝１〜ｎ）を押すことにより着脱や伸縮
を行い、通常はいずれかにロックされている。
【０００５】ところで、一般工業関係では汎用として通
常５kg/cm2の圧縮空気が用いられているので、ユーザに
は通常５kg/cm2の圧縮空気が準備されている。そこで半
導体試験装置では、ユーザが準備する一次空気圧Ｐ１か
ら駆動に必要な二次空気圧Ｐ２、例えば７kg/cm2へ増圧
する小型の空気増圧手段を半導体試験装置内に持たせる
構成になっている。この従来の構成を図３を用いて説明
する。
常５kg/cm2の圧縮空気が用いられているので、ユーザに
は通常５kg/cm2の圧縮空気が準備されている。そこで半
導体試験装置では、ユーザが準備する一次空気圧Ｐ１か
ら駆動に必要な二次空気圧Ｐ２、例えば７kg/cm2へ増圧
する小型の空気増圧手段を半導体試験装置内に持たせる
構成になっている。この従来の構成を図３を用いて説明
する。
【０００６】ユーザの供給する一次圧縮空気を空気取入
口１０から取り入れ、空気圧力計１６を経て一次圧縮空
気１１を空気増圧手段の増圧弁１２に導く。増圧弁１２
は機械的な圧縮により空気圧を増圧するものである。増
圧された二次圧縮空気１４は増圧タンク１３に備蓄さ
れ、この備蓄された二次圧縮空気１４が空気圧力計１７
を経てＴＨ３ｉに送られる。空気圧力計１６及び１７は
空気圧をチェックするために設けている。
口１０から取り入れ、空気圧力計１６を経て一次圧縮空
気１１を空気増圧手段の増圧弁１２に導く。増圧弁１２
は機械的な圧縮により空気圧を増圧するものである。増
圧された二次圧縮空気１４は増圧タンク１３に備蓄さ
れ、この備蓄された二次圧縮空気１４が空気圧力計１７
を経てＴＨ３ｉに送られる。空気圧力計１６及び１７は
空気圧をチェックするために設けている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】空気増圧のシステムが
理想的に構成され稼働されるならば、従来の図３の装置
で充分である。しかしながら、一般的に機械装置は経年
変化があり劣化する。また、弁の継ぎ手部分やカプラや
チューブの継ぎ手部分に緩みが出たり、不適切な使用を
したりすることもある。それらによって、二次圧縮空気
側に空気漏れが発生することがある。空気漏れが発生す
ると、増圧タンク１３の二次空気圧Ｐ２を一定に保つた
めに、増圧弁１２が連続駆動して増圧し続ける。半導体
試験装置内でのこの空気増圧手段は小型であり無理が効
かない。それに増圧弁１２は駆動回数による寿命がある
ので、二次側のエアー漏れは増圧弁１２の故障原因とな
っている。
理想的に構成され稼働されるならば、従来の図３の装置
で充分である。しかしながら、一般的に機械装置は経年
変化があり劣化する。また、弁の継ぎ手部分やカプラや
チューブの継ぎ手部分に緩みが出たり、不適切な使用を
したりすることもある。それらによって、二次圧縮空気
側に空気漏れが発生することがある。空気漏れが発生す
ると、増圧タンク１３の二次空気圧Ｐ２を一定に保つた
めに、増圧弁１２が連続駆動して増圧し続ける。半導体
試験装置内でのこの空気増圧手段は小型であり無理が効
かない。それに増圧弁１２は駆動回数による寿命がある
ので、二次側のエアー漏れは増圧弁１２の故障原因とな
っている。
【０００８】この発明は、半導体試験装置での二次空気
圧Ｐ２の使用が連続的ではなく必要なときに断片的に使
用されるものであること、二次空気圧Ｐ２の使用は使用
者が意識的に用いることを前提として、二次圧縮空気側
に空気漏れが発生しても増圧弁１２が異常に連続駆動せ
ず、従って増圧弁１２に過重を与えず、寿命を伸ばす空
気圧制御装置を提供するものである。
圧Ｐ２の使用が連続的ではなく必要なときに断片的に使
用されるものであること、二次空気圧Ｐ２の使用は使用
者が意識的に用いることを前提として、二次圧縮空気側
に空気漏れが発生しても増圧弁１２が異常に連続駆動せ
ず、従って増圧弁１２に過重を与えず、寿命を伸ばす空
気圧制御装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明は、ＴＨ（テストヘッド）に導く利用空気圧
をＰ３とすると、駆動に必要な短時間のみ利用空気圧Ｐ
３を二次空気圧Ｐ２とし、駆動に関係ない不必要な時間
では利用空気圧Ｐ３を一次空気圧Ｐ１のままにするもの
である。つまり利用空気圧Ｐ３側に空気漏れが発生して
も小型の空気増圧手段に対する影響を最小限に止め、少
なくとも増圧弁１２に負担をかけさせないようにする。
利用空気圧Ｐ３が、駆動に関係ない不必要な時間では一
次空気圧Ｐ１でも大気圧でもよいが、駆動時の応答時間
を考慮すると一次空気圧Ｐ１の一次圧縮空気の方が大気
圧よりレスポンスが速い。しかし、利用空気圧Ｐ３が低
い場合では一次空気圧Ｐ１は大気圧でよい。以下、具体
的に説明する。
にこの発明は、ＴＨ（テストヘッド）に導く利用空気圧
をＰ３とすると、駆動に必要な短時間のみ利用空気圧Ｐ
３を二次空気圧Ｐ２とし、駆動に関係ない不必要な時間
では利用空気圧Ｐ３を一次空気圧Ｐ１のままにするもの
である。つまり利用空気圧Ｐ３側に空気漏れが発生して
も小型の空気増圧手段に対する影響を最小限に止め、少
なくとも増圧弁１２に負担をかけさせないようにする。
利用空気圧Ｐ３が、駆動に関係ない不必要な時間では一
次空気圧Ｐ１でも大気圧でもよいが、駆動時の応答時間
を考慮すると一次空気圧Ｐ１の一次圧縮空気の方が大気
圧よりレスポンスが速い。しかし、利用空気圧Ｐ３が低
い場合では一次空気圧Ｐ１は大気圧でよい。以下、具体
的に説明する。
【００１０】一次圧縮空気と二次圧縮空気を電磁弁で切
り換え利用圧縮空気を取り出す空気切換手段を設ける。
この空気切換手段を通常は一次圧縮空気側に連結し、Ｔ
Ｈ側からの増圧要求信号時に二次圧縮空気側に切り換え
て利用圧縮空気を取り出すものである。前述のように、
利用圧縮空気の空気圧Ｐ３が低い場合は、一次圧縮空気
は大気圧の空気としてしてよい。
り換え利用圧縮空気を取り出す空気切換手段を設ける。
この空気切換手段を通常は一次圧縮空気側に連結し、Ｔ
Ｈ側からの増圧要求信号時に二次圧縮空気側に切り換え
て利用圧縮空気を取り出すものである。前述のように、
利用圧縮空気の空気圧Ｐ３が低い場合は、一次圧縮空気
は大気圧の空気としてしてよい。
【００１１】ＴＨ側の増圧要求信号発生のスイッチは複
数個ある。例えば１台のＴＨにＤＩ部と連結するための
ロックスイッチとフリースイッチ、並びにオート・ハン
ドラと連結時にＤＩ部を横に倒すための オンスイッチ
とオフスイッチの２つのスイッチがある。ＴＨが２台あ
ると増圧要求のスイッチは８個になる。これらのスイッ
チ群の要求を全て検知する論理和手段が必要である。論
理和手段は増圧要求の要求時間毎にまとめるのがよい。
例えば、１秒間の増圧要求のグループと１０秒間の増圧
要求のグループあるいは手動による時間の増圧要求のグ
ループとは後の処理が異なるからである。
数個ある。例えば１台のＴＨにＤＩ部と連結するための
ロックスイッチとフリースイッチ、並びにオート・ハン
ドラと連結時にＤＩ部を横に倒すための オンスイッチ
とオフスイッチの２つのスイッチがある。ＴＨが２台あ
ると増圧要求のスイッチは８個になる。これらのスイッ
チ群の要求を全て検知する論理和手段が必要である。論
理和手段は増圧要求の要求時間毎にまとめるのがよい。
例えば、１秒間の増圧要求のグループと１０秒間の増圧
要求のグループあるいは手動による時間の増圧要求のグ
ループとは後の処理が異なるからである。
【００１２】この論理和回路からの信号を受け、必要時
間のパルスを発生する増圧パルス発生手段が必要であ
る。増圧パルス発生手段はノイズ（雑音）で誤動作する
のを防止するために、入力段にローパスフィルタ（低域
炉波器）を設けてノイズを除去し、単安定マルチバイブ
レータ（以下、「単安定マルチ」と云う）で必要時間、
例えば１秒とか１０秒のパルスを発生する。その後段に
電磁弁を駆動するために必要な電圧、例えば２４Ｖに増
幅する電圧増幅器を設ける。この電磁弁駆動パルスを上
記の空気圧切換手段に与えて、電磁弁駆動パルスの存在
する間、利用空気圧Ｐ３を一次空気圧Ｐ１から二次空気
圧Ｐ２に切り換えるものである。
間のパルスを発生する増圧パルス発生手段が必要であ
る。増圧パルス発生手段はノイズ（雑音）で誤動作する
のを防止するために、入力段にローパスフィルタ（低域
炉波器）を設けてノイズを除去し、単安定マルチバイブ
レータ（以下、「単安定マルチ」と云う）で必要時間、
例えば１秒とか１０秒のパルスを発生する。その後段に
電磁弁を駆動するために必要な電圧、例えば２４Ｖに増
幅する電圧増幅器を設ける。この電磁弁駆動パルスを上
記の空気圧切換手段に与えて、電磁弁駆動パルスの存在
する間、利用空気圧Ｐ３を一次空気圧Ｐ１から二次空気
圧Ｐ２に切り換えるものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を実施例に基づ
き図面を参照して説明する。図１に本発明の一実施例の
構成図を、図２にこの発明に用いる空気圧制御回路主要
部の構成図の一例を示す。図３と対応する部分には同一
符号を付す。先ず、図１について説明する。
き図面を参照して説明する。図１に本発明の一実施例の
構成図を、図２にこの発明に用いる空気圧制御回路主要
部の構成図の一例を示す。図３と対応する部分には同一
符号を付す。先ず、図１について説明する。
【００１４】一次空気圧Ｐ１の一次圧縮空気１１を空気
取入口１０から取り入れる。一次圧縮空気１１は空気圧
力計１６を経て増圧弁１２と空気切換手段２４の一の入
力口とに導かれる。増圧弁１２は一次空気圧Ｐ１を機械
的な圧縮により二次空気圧Ｐ２に増圧する。増圧された
二次圧縮空気１４は増圧タンク１３に備蓄され、備蓄さ
れた二次圧縮空気１４は空気切換手段２４の他の入力口
に導かれる。空気切換手段２４では通常一次圧縮空気１
１を出力側に連結しており、増圧信号を受けて増圧信号
パルスの間、電磁弁を駆動し二次圧縮空気１４を出力側
に連結させるようにしている。
取入口１０から取り入れる。一次圧縮空気１１は空気圧
力計１６を経て増圧弁１２と空気切換手段２４の一の入
力口とに導かれる。増圧弁１２は一次空気圧Ｐ１を機械
的な圧縮により二次空気圧Ｐ２に増圧する。増圧された
二次圧縮空気１４は増圧タンク１３に備蓄され、備蓄さ
れた二次圧縮空気１４は空気切換手段２４の他の入力口
に導かれる。空気切換手段２４では通常一次圧縮空気１
１を出力側に連結しており、増圧信号を受けて増圧信号
パルスの間、電磁弁を駆動し二次圧縮空気１４を出力側
に連結させるようにしている。
【００１５】ＴＨ３ｉ側の増圧要求信号発生のスイッチ
２０ｉ（ｉ＝１〜ｎ）は従来のスイッチ７ｉと同一でも
よいが、要求信号の出力端子が必要である。スイッチ２
０ｉからの増圧要求信号は、接続ケーブル２１iによっ
て半導体試験装置本体１側の論理和手段２２に送られ
る。論理和手段２２はスイッチ２０ｉ群の全ての増圧要
求信号を検知する。検知した増圧要求信号を増圧パルス
発生手段２３に送る。
２０ｉ（ｉ＝１〜ｎ）は従来のスイッチ７ｉと同一でも
よいが、要求信号の出力端子が必要である。スイッチ２
０ｉからの増圧要求信号は、接続ケーブル２１iによっ
て半導体試験装置本体１側の論理和手段２２に送られ
る。論理和手段２２はスイッチ２０ｉ群の全ての増圧要
求信号を検知する。検知した増圧要求信号を増圧パルス
発生手段２３に送る。
【００１６】増圧パルス発生手段２３は雑音を除去する
ローパスフィルタと一定時間パルス信号を発生する単安
定マルチと電磁弁を駆動するのに必要な電圧に増幅する
電圧増幅器から成っていて、電磁弁駆動パルスを生成
し、空気切換手段２４に送られる。空気切換手段２４は
電磁弁駆動パルスの存在する間、利用圧縮空気１５を一
次圧縮空気１１から二次圧縮空気１４に切り換える。電
磁弁駆動パルスが無くなると再び利用圧縮空気１５は二
次圧縮空気１４から一次圧縮空気１１に戻る。
ローパスフィルタと一定時間パルス信号を発生する単安
定マルチと電磁弁を駆動するのに必要な電圧に増幅する
電圧増幅器から成っていて、電磁弁駆動パルスを生成
し、空気切換手段２４に送られる。空気切換手段２４は
電磁弁駆動パルスの存在する間、利用圧縮空気１５を一
次圧縮空気１１から二次圧縮空気１４に切り換える。電
磁弁駆動パルスが無くなると再び利用圧縮空気１５は二
次圧縮空気１４から一次圧縮空気１１に戻る。
【００１７】利用圧縮空気１５は空気圧力計１７を経て
それぞれのＴＨ３ｉに送られる。利用圧縮空気１５はＴ
ＨとＤＩ部の着脱時やハンドラとの連結時に、必要な二
次空気圧Ｐ２を供給し、その他の時は一次空気圧Ｐ１を
与えている。よって、利用圧縮空気１５側に空気漏れが
多少発生しても二次圧縮空気を供給する半導体試験装置
に用意されている小型の空気増圧手段１２、１３、とり
わけ増圧弁１２に過重な負担をかけることが無くなり、
長寿命となる。一次圧縮空気１１側は圧縮装置が大型装
置であるので多少の空気漏れがあっても負担が少なく、
空気圧力計１７をチェックしていて、異常があるときに
空気漏れを改善するとよい。
それぞれのＴＨ３ｉに送られる。利用圧縮空気１５はＴ
ＨとＤＩ部の着脱時やハンドラとの連結時に、必要な二
次空気圧Ｐ２を供給し、その他の時は一次空気圧Ｐ１を
与えている。よって、利用圧縮空気１５側に空気漏れが
多少発生しても二次圧縮空気を供給する半導体試験装置
に用意されている小型の空気増圧手段１２、１３、とり
わけ増圧弁１２に過重な負担をかけることが無くなり、
長寿命となる。一次圧縮空気１１側は圧縮装置が大型装
置であるので多少の空気漏れがあっても負担が少なく、
空気圧力計１７をチェックしていて、異常があるときに
空気漏れを改善するとよい。
【００１８】図２に上記の空気圧制御回路主要部の一実
施例の回路図を示す。ＴＨ３ｉのスイッチ群２０ｉから
の増圧要求信号は、接続ケーブル２１ｉによって論理和
手段２２に送られる。論理和手段２２は増圧要求時間の
グループ毎にそれぞれの論理和回路（ＯＲ回路）に集め
られる。例えば、ＯＲ回路３０1 は約１秒間の増圧要求
時間、ＯＲ回路３０2 は約１０秒間の増圧要求時間、Ｏ
Ｒ回路３０3 はスイッチ２０ｉを押している全時間と、
要求時間毎にＯＲ回路で集める。ＯＲ回路３０ｉの出力
信号はそれぞれ増圧パルス発生手段２３に送られる。
施例の回路図を示す。ＴＨ３ｉのスイッチ群２０ｉから
の増圧要求信号は、接続ケーブル２１ｉによって論理和
手段２２に送られる。論理和手段２２は増圧要求時間の
グループ毎にそれぞれの論理和回路（ＯＲ回路）に集め
られる。例えば、ＯＲ回路３０1 は約１秒間の増圧要求
時間、ＯＲ回路３０2 は約１０秒間の増圧要求時間、Ｏ
Ｒ回路３０3 はスイッチ２０ｉを押している全時間と、
要求時間毎にＯＲ回路で集める。ＯＲ回路３０ｉの出力
信号はそれぞれ増圧パルス発生手段２３に送られる。
【００１９】増圧パルス発生手段２３は、先ず初段にロ
ーパスフィルタ３１ｉを置き、それぞれのノイズを除去
する。ノイズによる誤動作を防止するためである。ノイ
ズを除去された増圧要求パルスは、それぞれの要求時間
毎の単安定マルチ３２ｉに導かれる。例えば、単安定マ
ルチ３１1 は約１秒のパルスを発生し、単安定マルチ３
０2 は約１０秒間のパルスを発生する。単安定マルチ３
２ｉの直前に単安定マルチ用駆動パルス発生器を設けて
もよい。パルス発生時間を正確にするためである。
ーパスフィルタ３１ｉを置き、それぞれのノイズを除去
する。ノイズによる誤動作を防止するためである。ノイ
ズを除去された増圧要求パルスは、それぞれの要求時間
毎の単安定マルチ３２ｉに導かれる。例えば、単安定マ
ルチ３１1 は約１秒のパルスを発生し、単安定マルチ３
０2 は約１０秒間のパルスを発生する。単安定マルチ３
２ｉの直前に単安定マルチ用駆動パルス発生器を設けて
もよい。パルス発生時間を正確にするためである。
【００２０】単安定マルチ３２ｉからの信号はＯＲ回路
３３でまとめられる。論理和手段２２のＯＲ回路３０3
からの増圧要求信号は手動のパルス時間が要求信号であ
るのでそのままＯＲ回路３３でまとめられる。ＯＡ回路
３３でまとめられた増圧要求信号は電圧増幅器３４で電
磁弁駆動に必要な電圧、例えば２４Ｖに増幅されて空気
圧切換手段２４に送られる。図２では電磁弁駆動のパル
ス時間を３種類、３系統の回路で説明したが、これに限
るものでなく、１系統のみでもよいし、系統数を増やし
てもよい。
３３でまとめられる。論理和手段２２のＯＲ回路３０3
からの増圧要求信号は手動のパルス時間が要求信号であ
るのでそのままＯＲ回路３３でまとめられる。ＯＡ回路
３３でまとめられた増圧要求信号は電圧増幅器３４で電
磁弁駆動に必要な電圧、例えば２４Ｖに増幅されて空気
圧切換手段２４に送られる。図２では電磁弁駆動のパル
ス時間を３種類、３系統の回路で説明したが、これに限
るものでなく、１系統のみでもよいし、系統数を増やし
てもよい。
【００２１】空気圧切換手段２４は、通常は利用圧縮空
気１５を一次圧縮空気１１側に連結しているが、増圧要
求信号パルスを受けるとこの間、電磁弁が駆動し、利用
圧縮空気１５を二次圧縮空気１４側に連結する。増圧要
求信号パルスが無くなると、再び利用圧縮空気１５を一
次圧縮空気１１側に連結する。
気１５を一次圧縮空気１１側に連結しているが、増圧要
求信号パルスを受けるとこの間、電磁弁が駆動し、利用
圧縮空気１５を二次圧縮空気１４側に連結する。増圧要
求信号パルスが無くなると、再び利用圧縮空気１５を一
次圧縮空気１１側に連結する。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明
は、二次圧縮空気１４の利用が断片的に使用されている
こと、一次圧縮空気１１から二次圧縮空気１４に増圧す
る空気増圧手段が小型で増圧弁１２の駆動回数による寿
命が比較的短い場合に適用され、小型空気増圧手段の増
圧弁１２の寿命を非常に長引かせることができる。
は、二次圧縮空気１４の利用が断片的に使用されている
こと、一次圧縮空気１１から二次圧縮空気１４に増圧す
る空気増圧手段が小型で増圧弁１２の駆動回数による寿
命が比較的短い場合に適用され、小型空気増圧手段の増
圧弁１２の寿命を非常に長引かせることができる。
【００２３】つまり、利用圧縮空気側に空気漏れが発生
しても、小型空気増圧手段の増圧弁１２の異常な連続駆
動が発生せずに故障が少なくなる。このことは装置全体
の部品の寿命を均一化することになり、装置全体の故障
が少なくなり稼働時間を長引かせ、利用価値が増加す
る。よって、この発明の効果は大きい。
しても、小型空気増圧手段の増圧弁１２の異常な連続駆
動が発生せずに故障が少なくなる。このことは装置全体
の部品の寿命を均一化することになり、装置全体の故障
が少なくなり稼働時間を長引かせ、利用価値が増加す
る。よって、この発明の効果は大きい。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】本発明に用いられる一実施例の空気圧制御回路
主要部の回路図である。
主要部の回路図である。
【図３】従来例の構成図である。
１ 半導体試験装置本体 ３ｉ、３1 、３2 ＴＨ（テストヘッド） ４ パフォーマンス・ボード ５ ハイ・フィックス（布線インターフェイス） ６ ＩＣ用ソケット ７ｉ スイッチ ８ 支持棒 ９ 伝送ケーブル １０ 空気取入口 １１ 一次圧縮空気 １２ 増圧弁 １３ 増圧タンク １４ 二次圧縮空気 １５ 利用圧縮空気 １６、１７ 空気圧力計 ２０ｉ スイッチ ２１ｉ 接続ケーブル ２２ 論理和手段 ２３ 増圧パルス発生手段 ２４ 空気圧切換手段 ３０ｉ、３０1 、３０2 、３０3 論理和回路（ＯＲ
回路） ３１ｉ、３１1 、３１2 、３１3 ローパスフィルタ
（低域炉波器） ３２ｉ、３２1 、３２2 単安定マルチバイブレータ ３３ 論理和回路（ＯＲ回路） ３４ 電圧増幅器 ＤＩ部 デバイス・インターフェイス Ｐ１ 一次空気圧 Ｐ２ 二次空気圧 Ｐ３ 利用空気圧
回路） ３１ｉ、３１1 、３１2 、３１3 ローパスフィルタ
（低域炉波器） ３２ｉ、３２1 、３２2 単安定マルチバイブレータ ３３ 論理和回路（ＯＲ回路） ３４ 電圧増幅器 ＤＩ部 デバイス・インターフェイス Ｐ１ 一次空気圧 Ｐ２ 二次空気圧 Ｐ３ 利用空気圧
Claims (2)
- 【請求項１】 一次空気圧（Ｐ１）を二次空気圧（Ｐ
２）に増圧して二次圧縮空気（１４）を利用する空気増
圧装置において、 増圧要求信号を出力する複数のスイッチ手段（２０ｉ）
と、 上記複数のスイッチ手段（２０ｉ）からの増圧要求信号
を加算して出力する論理和手段（２２）と、 上記論理和手段（２２）からの出力信号を受け必要時間
のパルスを発生する増圧パルス発生手段（２３）と、 上記増圧パルス発生手段（２３）からの増圧要求パルス
を受けて一次空気圧（Ｐ１）と二次空気圧（Ｐ２）とを
切り換える空気圧切換手段（２４）と、 一次空気圧（Ｐ１）を二次空気圧（Ｐ２）に増圧する空
気増圧手段（１２、１３）と、 を具備することを特徴とする空気圧制御装置。 - 【請求項２】 複数のスイッチ手段（２０ｉ）を半導体
試験装置のテストヘッド（３ｉ）に設け、論理和手段
（２２）と増圧パルス発生手段（２３）と空気圧切換手
段（２４）と空気増圧手段（１２、１３）とを半導体試
験装置本体（１）に設け、上記複数のスイッチ手段（２
０ｉ）と上記論理和手段（２２）とを信号伝送する接続
ケーブル（２１i）を設けたことを特徴とする請求項１
記載の空気圧制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165497A JPH1115536A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 空気圧制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165497A JPH1115536A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 空気圧制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1115536A true JPH1115536A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15813528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9165497A Withdrawn JPH1115536A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 空気圧制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1115536A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008051473A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Denso Corp | 被乾燥物の乾燥方法および乾燥装置 |
| JP2009098272A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
| CN105807799A (zh) * | 2015-01-20 | 2016-07-27 | 英飞凌科技股份有限公司 | 罐开关以及监测流率的方法 |
| JP5978399B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2016-08-24 | ヤマハ発動機株式会社 | 圧力制御装置、表面実装機および圧力制御方法 |
-
1997
- 1997-06-23 JP JP9165497A patent/JPH1115536A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008051473A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Denso Corp | 被乾燥物の乾燥方法および乾燥装置 |
| JP2009098272A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
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| US9980419B2 (en) | 2013-06-28 | 2018-05-22 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Pressure control device, surface mount machine and pressure control method |
| CN105807799A (zh) * | 2015-01-20 | 2016-07-27 | 英飞凌科技股份有限公司 | 罐开关以及监测流率的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |