TWI281702B - Chemical supplying device and chemical supplying method - Google Patents

Description

1281702 五、發明說明（1) [發明所屬之技術領域] 本發明是有關於一 可以一所定量吐出藥液 於把光阻液塗佈在半導 供應方法。 [先前技術] 從半導體晶圓製造 術、磁碟片製造技術及 分野的製程中，已使用 液、純水、顯像液、I虫 藥液，且此些藥液的塗 舉例而言，當把光 時，其係使半導體晶圓 液供應裝置把光阻液以 而當吐出光阻液等 泡，押出藥液的壓力便 出量不穩定’並使得吐 地以高良率製造形成在 為了補捉藥液中的 有過濾器，以藉由透過 高清淨度。過濾器容器 至過濾器之排氣孔的排 氣閥的開放而將之往藥 [發明内容] 種藥液供應裝置及藥 等的液體，舉例而言 體晶圓表面的藥液供 液供應 ，特別 應裝置 方法， 是適用 及藥液 技術 多層 有光 刻液 佈係 阻液 在水 一定 的藥 會被 出精 半導 氣泡 過渡 内所 氣流 液供 開始 配線 阻液 、洗 應用 塗佈 平面 量滴 液時 氣泡 度下 體晶 ，像 器， 收集 路上 應裝 ，一直 基板製 、旋塗 淨液、 藥液供 在半導 内回轉 下至半 ,一旦 所吸收 降。因 圓上的 這樣的 自藥液 的氣泡 安裝脫 置之外 到液 造技 液、 有機 應裝 體晶 的狀 導體 在裝 ，因 此， 積體 藥液 中去 ，通 氣閥 排出 晶基板 術等種 聚亞醯 溶劑等 置。 圓表面 態下， 晶圓表 置内混 而造成 便無法 電路。 供應裝 除異物 常是， ，並藉 製造技 種技術 胺樹脂 的4匕學 的場合 利用藥 面〇 入氣 藥液吐 面品質 置中設 ，而達 在連接 由此脫

10599pif.ptd 第6頁 1281702 五、發明說明（2) 然而，因為氣泡會慢慢地附著並堵塞在過濾器的表 面，其氣泡補捉能力便會徐徐下降。因此，藥液中的氣泡 便無法完全被補捉，因而有可能會把含有氣泡的藥液吐出 至半導體晶圓的表面，結果是造成半導體積體電路的製造 . 良率無法改善。 像這樣，對於以過濾器除去氣泡，從過濾器排氣的習 知的方法會有所限制，為了解決上述的問題，即使是在供 應裝置内的過濾器以外的地方，也需要適宜地把含於藥液 中的氣泡去除而排氣至裝置之外。 本發明的目的之一係，使從藥液供應裝置所吐出的藥 液量能穩定，且可改善吐出精度。 || 本發明的另一目的係，以高品質的良率製造半導體積U 體電路。 本發明的藥液供應裝置，其特徵在於包括：一緩衝槽 部，具有一液體貯留室，利用一液體導入流路以連通至收 容藥液的一液體槽、一過濾部，具有一過渡入口及一過濾、 出口，前述過渡入口係連通至前述緩衝部之一液體吐出 口、一幫浦，具有一幫浦入口 ，連接至前述過濾、出口 ，以 及一幫浦出口 ，經由前述液體吐出流路而連接至一吐出喷 嘴、一回流路，連接至前述幫浦出口和前述緩衝槽部之 間，並使由前述幫浦吐出的藥液返回至前述液體貯留室， 以及一排氣流路，連接至前述緩衝槽部，並把前述液體貯U 留室内的空氣棑氣。 本發明之藥液供應裝置，亦可具有一排氣流路，連接

10599pi f. ptd 第7頁 1281702 五、發明說明（3) 至前述過濾部 本發明之 用，其中此藥 收容藥液的一 前述液體貯留 口的一過渡器 經由前 的一幫 前述吐 前述幫 出的藥 於，此 動，並 藥液、 藉由前 述液體 出閥， 出流路 閉，以 本 此藥液 述液體 浦、設 出喷嘴 浦出口 液返回 藥液供 吸入從 一回饋 述幫浦 貯留室 以措由 從前述 將循壞 發明之 供應裝 的一液體槽相 ，並 藥液 液供 液體 室之 、具 吐出 於前 之間 和前 至前 應方 前述 工程 的吐 前述 吐出 過濾· 藥液 置包 連通 貯留室 流路而 之 液體吐 連通至一吐 把前述過濾部内的氣體排出。 供應方法，係應用於一藥液供應裝置 應裝置包括：透過一液體導入流路而和 槽相連通的一液體貯留室、具有連通至 一液體吐出口的一過濾、入口及一過濾、出 有連通至前述過濾出口之一幫浦入口及 流路而連接至一吐出喷嘴之一幫浦出口 述液體吐出流路以控制前述幫浦出口和 的連通之開閉的一吐出闊，以及連接於 述液體貯留室之間，並使由前述幫浦吐 述液體貯留室的一回流路。其特徵在 法包括：一吸入工程，使前述幫浦作 液體貯留室通過前述過濾器而過濾後的 ，當淨化藥液時，關閉前述吐出閥，以 出作動使藥液經由前述回流路返回至前 吐出工程，當供應藥液時，打開前述吐 幫浦的吐出作動使藥液經由前述液體吐 喷嘴吐出，以及切換前述吐出閥的開 後的藥液從前述吐出喷嘴吐出。 供應方法，係應用於一藥液供應裝置， 括：透過一液體導入流路而和收容藥液 的一液體貯留室、具有連通至前述液體 出口的一幫浦入口及經由前述液體吐出 出喷嘴之一幫浦出口的一幫浦、設於前

10599pif.ptd 第8頁 1281702 五、發明說明（4) 述液體吐出流路以控制前述幫浦出口和前述吐出喷嘴之間 的連通之開閉的一吐出閥、連接於前述幫浦出口和前述液 體貯留室之間，使由前述幫浦吐出的藥液返回至前述液體 · 貯留室的一回流路，以及連通至前述液體貯留室以把前述 液體貯留室内的空氣排氣的一排氣流路。其特徵在於，此 藥液供應方法包括：一吸入工程，使前述幫浦作動，並從 前述液體貯留室把藥液吸入、一排氣工程，當淨化藥液 時，關閉前述吐出閥，以藉由前述幫浦的吐出作動使藥液 經由前述回流路返回至前述液體貯留室，並把集中至前述 液體貯留室内的空氣經由前述排氣流路而排氣、一吐出工 程，當供應藥液時，打開前述吐出閥，以藉由前述幫浦的 吐出作動使藥液經由前述液體吐出流路從前述吐出喷嘴吐〇 出，以及切換前述吐出閥的開閉，以將回饋棑氣後的藥液 從前述吐出喷嘴吐出。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 細說明如下： [實施方式] 以下，根據圖面以詳細地說明本發明的實施例。 第1圖繪示本發明之一實施例的藥液供應裝置之液體 回路的概示圖。如第1圖所示，此藥液供應裝置的緩衝槽 部6係，在内部設有液體貯留室6 1，且在頂壁部設有被液 U 體導入流路4 2所連接的液體流入孔6 0 a、被回流路4 8所連 接的液體流入口 6 0 b以及被排氣流路4 9所連接的排氣孔

1 0599pi f. ptd 第9頁 1281702 五、發明說明（5) 6 0 c，且在底壁部設有被連通路4 3所連接的液體吐出口 60d ° 緩衝槽部6的液體流入孔6 0 a係，連接至設有導入閥V 1 以開閉流路的液體導入流路4 2之一端，此液體導入流路4 2 的另端係配置成位於液體槽4 6的内部。因此，緩衝槽部6 和液體槽4 6係透過液體導入流路4 2而連通。 過濾部4係由過濾收容室4 0以及被其所收容的過濾器 4 1所構成，並藉由透過過濾器4 1 ，把液體中的氣泡補捉至 過濾器4 1的表面。 過濾收容器4 0係，具有過濾入口 4 1 a及過濾出口 4 1 b。 緩衝槽部6的液體吐出口 6 0 d係，連接至連通路4 3之一端， 此連通路4 3的另端係連接至過濾收容室4 0的過濾入口 4 1 a。因此，過濾收容室4 0和緩衝槽部6係經由連通路4 3而 連通。且，過濾器4 1具有排氣孔4 1 c，且設有脫氣閥V 2以 開閉流路的排氣流路44係連接至棑氣孔4 1 c，藉此，便可 由過濾器4 1補捉，並可把集中至過濾收容室4 0的空氣自排 氣孔4 1 c排出至過濾器4 1之外部。 幫浦1 1的幫浦入口 1 1 a係，連接至設有幫浦入口側閥 V 3以開閉流路的幫浦入口側流路4 5之一端，此幫浦入口側 流路4 5的另端係，連接至過濾器4 1的過濾出口 4 1 b。 幫浦1 1係，把透過過濾器4 1的液體從幫浦室1 7擴張時 的幫浦入口 1 1 a吸入至幫浦室1 7内部，而從收縮時的幫浦 出口 1 1 b吐出。且，幫浦1 1的幫浦出口 1 1 b係，連接至設有 吐出閥V 4以開閉流路的液體吐出流路4 7之一端，並將從幫

10599pif.ptd 第10頁 1281702 五、發明說明（6) 浦1 1吐出的液體導引至吐出喷嘴5 0。 液體吐出流路4 7的幫浦出口 1 1 b和吐出閥V 4之間的地 方係，連接至設有回流闊V 5以開閉流路的回流路4 8之一 · 端，此回流路4 8的另端係連接至緩衝槽部6的液體流入孔 | 6 0 b。因此，從幫浦1 1吐出至液體吐出流路4 7的藥液係經 由回流路4 8返回緩衝槽部6的液體貯留室6 1 。 排氣流路4 9係，設有脫氣閥V 6以開閉此流路，其一端 係連接至緩衝槽部6的排氣孔6 0 c，而液體貯留室6 1内的空 氣係從排氣流路4 9被排出。在第1圖所示的實施例中，排 氣流路4 9的另端雖係連接至排氣流路44，然而，不連接至 排氣流路4 4而呈相互獨立的排氣結構亦可。 第2圖係繪示由第1圖的液體回路圖所構成的藥供應裝〇 置的詳細結構斷面圖，第3圖係繪示第2圖所示的幫浦之詳 細斷面圖。如第2圖及第3圖所示，幫浦1 1具備有：利用彈 性材所形成而在徑向可彈性擴張收縮自如的可撓性管1 3， 以及配置在其外側，同時也是由彈性材料所形成而在軸向 可彈性變形自如的波紋管1 4。 可撓性管1 3係朝垂直方向配置，在其下端部安裝著第 1轉接器（adapter)15，而在上端部安裝著第2轉接器16， 在兩個轉接器1 5、1 6之間的可撓性管1 3内便成為會擴張收 縮的幫浦室1 7。 波紋管1 4係如第3圖所示，具有軸向中央部的作動圓 0 盤部2 1 、有效徑為d之小型波紋部2 2，以及有效徑為比d還 要大的有效徑D的大型波紋部2 3。兩個波紋部2 2、2 3係經

10599pif.ptd 第11頁 1281702 五、發明說明（7) 由作動圓盤部2 1而成為一體。波紋管1 4的兩端部係和固定 圓盤部2 4、2 5設成一體，大型波紋部2 3側的固定圓盤部2 4 係透過可撓性管1 3而固定至第1轉接器1 5，小型波紋部2 2 · 側的固定圓盤部2 5係透過可撓性管1 3而固定至第2轉接器 . 1 6 〇 此可撓性管1 3，因其所供給的藥液為光阻液，為了不 和藥液反應.，其係由氟樹脂的四氟乙烯全氟烧基乙稀基酯 共聚合物（PFA)等的樹脂材料所形成，轉接器1 5、1 6也是 由同樣的材料所形成。且，波紋管1 4也是由同樣的樹脂材 料，和圓盤部2 4、2 4、2 5及波紋部2 2、2 3形成為一體。但 是，樹脂材料並不限定為PFA，若為彈性變形的材料，亦 可使用其他的樹脂材料。而且，可撓性管1 3和波紋管1 4也胃I 可以形成為一體，在此場合，可不需要轉接器1 5、1 6。 更，關於波紋管1 4也可由金屬製成。 可撓性管1 3和配置於其外側的波紋管1 4之間的空間係 成為驅動室2 6，在此驅動室2 6内充填有液體等的非壓縮性 媒體2 7。因此，當波紋管1 4因其中央部份的作動圓盤2 1而 在軸向彈性變形時，波紋管1 4的全長不會變化，而小型波 紋部2 2和大型波紋部2 3的内側容積會變化。以此方式，透 過非壓縮媒體2 7，可撓性管1 3會在徑向也就是橫向擴張收 縮，可撓性管的幫浦室便會進行幫浦動作。第3圖所示的 幫浦1 1的結構係，和本申請人已提案的日本專利早期公開0 第特開平1 0 - 6 1 5 5 8號案所記載者基本上為相同。可撓性管 1 3的斷面形狀係，如前述公報所記載的那樣，可做成長方

10599pif.ptd 第12頁 1281702 五、發明說明（8) 形、圓形，或是奇怪形狀的斷面等種種的形狀。 波紋管1 4係分別由固定圓盤部2 4、2 5的部份安裝至支 持台30上，固定圓盤部24係藉由嵌入至此的固定拖架31而 安裝至支持台30 ，固定圓盤部25係藉由嵌入至此的固定拖 架3 2而安裝至支持台3 0。 為了使作動圓盤部2 1在軸向位移以進行幫浦動作，嵌 入至作動圓盤部2 1的作動拖架3 3係，連結至和波紋管1 4平 行地延伸以回轉自如地安裝在支持台3 0上的球狀螺軸3 4相 螺合的球狀螺母3 5。球狀螺母3 5係相對於設在支持台的導 執36為滑動自如地接觸，並利用球狀螺軸34的回轉在軸方 向上被驅動。為了回轉驅動此球狀螺軸3 4，在安裝至支持 台30上之馬達37的軸上所固定的滑輪38和在球狀螺軸3 4上 所固定的滑輪39之間裝設有皮帶70。 伴隨著幫浦1 1的幫浦動作，進行導入閥V 1〜脫氣閥V 6 的開閉以開閉各自的流路，藉此，此藥液供應裝置便可進 行藥液吐出供應動作以塗佈光阻液。且，此些導入閥V 1〜 脫氣閥V 6可使用由電氣信號作動的電磁閥，或是由氣壓作 的空氣作動閥等。 在第1轉接器1 5的底面部係裝脫自如地裝設著過濾部4 及緩衝槽部6。在緩衝槽部6上設有固定於拖架而作為液體 檢測手段的感測器2 0，以及作為最低液位檢測手段的感測 器2 1。感測器2 0係配置在被供給至液體貯留室6 1内部之光 阻液的液面最高位置，而感測器2 1係配置在被供給至液體 貯留室6 1内部之光阻液的液面最低位置。因此，利用感測

10599pi f.ptd 第13頁 1281702 五、發明說明（9) 器2 0、2 1可檢測出收容至液體貯留室6 1内部的光阻液之最 高液面及最低液面。 在本實施例中，感測器2 0、2 1雖係分別配置在光阻液 之液面的最高及最低位置，然而，並不限定於此，也可以 將之設置在此些的中間位置。且，此些的感測器2 0、2 1雖 係由光之透過及遮斷進行檢測，然而，亦不限定於此，也 可以使用檢測出光屈折率之種類者，或是檢測出靜電容量 之變化者，亦或是檢測出超音波的變化者等。更，在本實 施例中，感測器2 0、2 1雖係設置在緩衝槽部6的外部，然 而，設在緩衝槽部6之内部亦可，在此場合，也可使用利 用浮力的檢測手段。 如第2圖和第3圖所示，因為在第1轉接器15上形成有 幫浦入口側流路4 5及液體吐出側流路4 7，而在第2轉接器 1 6上形成有回流路4 8，所以，隨著從幫浦入口側流路4 5往 幫浦室1 7的藥液流入的氣泡會比藥液的比重小，因而不會 流回液體吐出流路4 7，而會緩緩地在幫浦室1 7内上昇而移 動至回流路4 8。 在第2圖的實施例中，此些的液體導入流路4 2、連通 路43、排氣流路44、幫浦入口側流路45、液體吐出流路 47、回流路48及排氣流路49雖係成形在利用前述的PFA等 的樹脂，和第2轉接器1 6等形成一體的方塊中，然而，利 用軟管（hose)等形成亦可。 過濾器4 1雖可使用由中空類的膜所形成者，也可用薄 片狀的膜所形成者，只要是能過濾藥液者，並不限定為

10599pif.ptd 第14頁 1281702 五、發明說明（10) 何。 其次，說明此藥液供應裝置的動作。 首先，以光阻液充滿液體槽4 6和液體貯留室，感測器 · 2 0、2 1係達同時檢測出光阻液的初期狀態。在此狀態下， 打開導入閥V 1及幫浦入口側閥V 3 ，使脫氣閥V 2、V 6、吐出 閥V 4及回流閥V 5呈閉狀態以使幫浦1 1進行吸入動作。利用 此幫浦1 1的吸入動作，當把收容至液體槽4 6的光阻液經由 液體導入流路4 2供給至液體貯留室6 1之後，再經由液體吐 出流路4 3供給至過濾部4之後，便會被過濾器4 1過濾，更 經由幫浦入口流路4 5而被吸入至幫浦室1 7。 在吸入動作結束後，打開吐出閥V 4，使幫浦入口側閥 V 3、回流閥V 5呈閉狀態而使幫浦1 1進行吐出動作。利用此〇 幫浦的吐出動作，收容在幫浦室1 7内部的光阻液便經由液 體吐出流路4 7而自吐出喷嘴5 0吐出，並被塗佈至半導體晶 圓的表面。藉由交替進行像這樣的吸入動作及吐出動作， 便可使此藥液供應裝置進行藥液吐出供給動作。 此藥液供應裝置係，可進行用以提高光阻液之清淨度 的藥液之循環過濾。循環過濾係，打開導入閥V 1及幫浦入 口側閥V 3，並使脫氣閥V 2、V 6、吐出閥V 4及回流閥V 5呈閉 狀態，而進行將光阻液吸入至幫浦室1 7内部的吸入動作之 後，打開回流閥V 5、使幫浦入口側閥V 3和吐出閥V 4呈閉狀 態，打開導入閥V 1而進行回饋（f e e d b a c k )動作而使幫浦1 1礓| 進行吐出動作。藉由執行此回饋動作，被吸入至幫浦室1 7 内部的光阻液係，在被排出至液體吐出流路4 7之後，經由

10599pif.ptd 第15頁 1281702 五、發明說明（11) 回流路4 8而返回緩衝槽部6的液體貯留室6 1 。已返回至緩 衝槽部6的液體係已透過過濾器4 1的液體，且被過濾器4 1 脫氣，清淨度很高。因為將此高清淨度的液體再透過過濾 · 器4 1而吸入至幫浦1 1 ，所以可吐出供給清淨度更高的光阻 液。 此藥液供應裝置係，為了能把含於收容在液體槽4 6内 之液體中的氣泡排出至外部，而可進行排氣動作。排氣動 作係，把循環過濾的回饋動作中的光阻液返回液體貯留室 6 1之後，再度進行和前述同樣的吸入動作，打開回流閥V 5 及脫氣閥V 6 ，使導入閥V 1 、幫浦入口側閥V 3及吐出閥V 4呈 閉狀態，以使幫浦1 1進行吐出動作。藉由進行此動作，收 集至液體貯留室6 1内的空氣可從排氣流路4 9排出。因此，•’ 即使透過過濾器4 1仍無法完全去除的液體内的氣泡係，可 藉由執行循環過濾及排氣動作，從連通至緩衝槽部6之液 體貯留室6 1的排氣流路4 9排出至外部。 當新的液體槽4 6被藥液供應裝置裝填時，可重覆上述 的循環過濾及排氣動作一定次數，以準備進行液體塗佈動 作的狀態。 本發明並非限定在上述的實施例中，在不脫離其要旨 的範圍内，當然可對本發明進行種種的變更。舉例而言， 在以上的說明中，雖說明了把藥液供應裝置應用在半導體 晶圓上塗佈光阻液的場合，然而，不只是光阻液，本發明U 可適用於供應各種的液體。特別是對於把容易產生氣泡的 液體透過過濾·器4 1而吐出的場合非常有效。且，幫浦1 1的

l〇599pif.ptd 第 16 頁 1281702_ 五、發明說明（12) 形式，若為容積變化式的幫浦，亦可用隔膜式的幫浦。 [產業利用性] 如以上所述，從半導體晶圓製造技術開始，一直到液 晶基板製造技術、磁碟片製造技術及多層配線基板製造技 術等的種種技術分野的製程中，本發明之藥液供應裝置及 其藥液供應方法，較佳的是適用於供給對於光阻液、旋塗 液、聚亞si胺樹脂液、純水、餘刻液、有機溶劑等的清淨 度有要求的藥液。 雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用 以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保 護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10599pif.ptd 第17頁 1281702 圖式簡單說明 [圖式fa〗早說明] 第1圖繪示本發明之一實施例的藥液供應裝置的液體 回路圖之概示圖。 第2圖繪示利用第1圖的液體回路圖所構成的藥液供應 裝置之詳細結構斷面圖。 第3圖繪示第2圖的幫浦之詳細斷面圖。 [圖式標記說明] 11:幫浦 11a : 幫浦入口 lib : 幫浦出口 12: 幫浦驅動部 1 3 : 可撓性管 1 4 : 波紋管 15: 第1轉接器 16:第2轉接器 1 7 :幫浦室 21 : 作動圓盤部 22 : 小型波紋部 2 3: 大型波紋部 24、25 : 固定圓盤部 2 6 : 驅動室 27 : 非壓縮性媒體 3 0 :支持台 31 > 32 : 固定拖架

10599pif.ptd 第18頁 1281702 圖式簡單說明 33 作 動 拖 架 34 球 狀 螺 軸 35 球 狀 螺 母 36 導 軌 37 馬 達 38 ^ 39 • 滑 輪 4 : 過濾部 40 過 濾 收 容 室 4 1 : :過 濾、 器 41a : 過濾、入t 1 41b : 過濾出t 1 4 1c : 排氣孔 42 : :液 體 導 入 流 路 43 : :連 通 路 44 ^ 49 • 排 氣 流 路 45 幫 浦 入 π 側 流路 46 液 體 槽 47 液 體 吐 出 流 路 48 回 流 路 50 吐 出 喷 嘴 緩衝槽部 6 0 a、6 0 b : 液體流入孔 6 0 c : 棑氣孔 6 0 d : 液體吐出口

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Claims (1)

1281702 六、申請專利範圍 1 . 一種藥液供應裝置，其特徵在於包括： 一緩衝槽部，具有一液體貯留室，利用一液體導入流 路以連通至收容藥液的一液體槽； 一過渡部，具有一過濾入口及一過濾出口，該過濾·入 口係連通至該緩衝部之一液體吐出口； 一幫浦，具有一幫浦入口 ，連接至該過濾出口 ，以及 一幫浦出口 ，經由該液體吐出流路而連接至一吐出喷嘴； 一回流路，連接至該幫浦出口和該緩衝槽部之間，並 使由該幫浦吐出的藥液返回至該液體貯留室；以及 一排氣流路，連接至該緩衝槽部，並把該液體貯留室 内的空氣排氣。 2 .如申請專利範圍第1項所述之藥液供應裝置，其特 徵在於：具有一排氣流路，連接至該過渡部，並把該過渡 部内的氣體排出。 3. —種藥液供應方法，應用於一藥液供應裝置，其中 該藥液供應裝置包括：透過一液體導入流路而和收容藥液 的一液體槽相連通的一液體貯留室、具有連通至該液體貯 留室之一液體吐出口的一過濾入口及一過渡出口的一過滤 器、具有連通至該過濾出口之一幫浦入口及經由該液體吐 出流路而連接至一吐出喷嘴之一幫浦出口的一幫浦、設於 該液體吐出流路以控制該幫浦出口和該吐出喷嘴之間的連 通之開閉的一吐出閥，以及連接於該幫浦出口和該液體貯 留室之間，並使由該幫浦吐出的藥液返回至該液體貯留室 的一回流路，其特徵在於，該藥液供應方法包括：

10599pif.ptd 第21頁 1281702 六、申請專利範圍 通過該 該幫浦 室； 該幫浦 嘴吐出 切 出喷嘴4. 液供應 液體槽 之一液 通至一 流路以 一吐出 該幫浦 連通至 排氣流 吸入工程，使該幫浦作動，並吸入從該液體貯留室 過濾器而過濾後的藥液； 回饋工程，當淨化藥液時，關閉該吐出閥，以藉由 的吐出作動使藥液經由該回流路返回至該液體貯留 程，當供應藥液時，打開該吐出閥，以藉由 作動使藥液經由該液體吐出流路從該吐出喷 吐出工 的吐出 ;以及 換該吐出閥的開閉，以將循環過濾後的藥液從該吐 吐出。 一種藥 裝置包 相連通 體吐出 吐出喷 控制該 閥、連 吐出的 該液體 路，其 吸入工 液吸入； 一排氣工 該幫浦的吐出 液供應方法，應用於一藥液供應裝置，該藥 括：透過一液體導入流路而和收容藥液的一 的一液體貯留室、具有連通至該液體貯留室 口的一幫浦入口及經由該液體吐出流路而連 嘴之一幫浦出口的一幫浦、設於該液體吐出 幫浦出口和該吐出喷嘴之間的連通之開閉的 接於該幫浦出口和該液體貯留室之間，使由 藥液返回至該液體貯留室的一回流路，以及 貯留室以把該液體貯留室内的空氣排氣的一 特徵在於，該藥液供應方法包括： 程，使該幫浦作動，並從該液體貯留室把藥 程，當淨化藥液時，關閉該吐出閥，以藉由 作動使藥液經由該回流路返回至該液體貯留

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