JP4566955B2 - 薬液供給装置および薬液供給方法 - Google Patents
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
12 移動ヘッド
13 アーム
14 薬液供給ユニット
16 ポンプ
17 流入チューブ
18 薬液タンク
19 バッファタンク
21 供給チューブ
22 フィルタ
23 塗布バルブ
24 流入側バルブ
25 吐出側バルブ
26 サックバックバルブ
27 循環チューブ
28 循環バルブ
31〜34 排出チューブ
35〜38 ベントバルブ
41 温度調節器
42 温調チューブ
43 温調流路
44 媒体案内チューブ
45 媒体戻しチューブ
50 ホルダー
51 ダイヤフラム弁体
52 弁室
53 吐出ポート
54 弁座
55 弁ハウジング
Claims (9)
- 被処理物に薬液を供給する薬液供給装置であって、
薬液を塗布するノズルを備え、往復動部材により塗布位置と待機位置との間を往復動する移動ヘッドと、
薬液タンク、当該薬液タンク内の薬液を吐出するポンプおよび当該ポンプから吐出された液体を濾過するフィルタを有する薬液供給ユニットと前記ノズルとの間に接続され、前記ポンプから吐出された薬液を前記ノズルに案内する供給チューブと、
前記移動ヘッドに設けられ、前記供給チューブ内の流路を開閉して前記ノズルから薬液を塗布する塗布状態と塗布を停止する停止状態とに作動する塗布バルブと、
前記供給チューブに連通され、前記移動ヘッドにまで供給された薬液を前記薬液供給ユニットに戻す循環チューブと、
前記循環チューブ内の流路を開閉して前記移動ヘッドから前記薬液供給ユニットに薬液を戻す循環状態と薬液の戻しを停止する循環停止状態とに作動する循環バルブとを有し、
前記塗布バルブは、
前記移動ヘッドに設けられ、前記供給チューブに連通する流路と前記ノズルに連通する吐出ポートとを連通させる弁室が形成されたホルダーと、
被駆動側の磁石が封入されて前記弁室内に組み込まれ、前記吐出ポート周囲の弁座に接触する接触部が一端に設けられるとともに前記弁室の内周面との間に流体を流す隙間が形成され、前記弁座に接触して前記弁室と前記吐出ポートとの連通を遮断させて薬液の塗布を停止させる閉位置と、前記弁座から離れて前記弁室と前記吐出ポートを連通させて薬液を塗布する開位置とに移動する弁体と、
駆動側の磁石を前記被駆動側の磁石に接近させる接近位置と、前記駆動側の磁石を前記被駆動側の磁石から離反させる離反位置とに駆動し、前記駆動側の磁石を前記被駆動側の磁石に接近させて前記被駆動側の磁石を反発させて前記弁体を前記閉位置に移動させる駆動手段と、
強磁性材料からなるとともに、前記ホルダーに前記弁座に対するように設けられ、前記駆動側の磁石が前記離反位置となったときに前記被駆動側の磁石により磁化され前記被駆動側の磁石を引き寄せて前記弁体を前記開位置に駆動する磁性リングとを有し、
前記駆動側の磁石が前記接近位置となったときに前記駆動側の磁石の磁力により前記弁体を前記閉位置に駆動し、前記駆動側の磁石が前記離反位置となったときに前記磁性リングが前記被駆動側の磁石の磁力により前記弁体を前記開位置に駆動することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項1記載の薬液供給装置において、前記循環チューブ内の流路を前記弁室を介して前記供給チューブ内の流路に連通させることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項2記載の薬液供給装置において、前記弁体の前記弁座に当接する一端部には、テーパ形状の接触部が設けられていることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項2記載の薬液供給装置において、前記弁体の両端部には円周方向に所定の間隔を隔てて、複数の突起が径方向外方に突出して放射状に設けられるとともに、前記弁体は樹脂製であることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記供給チューブとにより温調流路を形成する温調チューブを前記供給チューブに設け、温調媒体を所定の温度に設定する温度調節器の供給口と前記温調チューブの基端部とを媒体案内チューブにより接続し、前記温調流路の先端部に連通して前記移動ヘッドに形成された戻し室と前記温度調節器の戻し口とを媒体戻しチューブにより接続することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記ノズルからの薬液の塗布が終了した後に前記ノズル内の薬液を戻すサックバックバルブを前記ノズルと前記塗布バルブとの間に設けることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記薬液供給ユニットは前記薬液タンクと前記ポンプとの間に設けられるバッファタンクを有し、前記循環チューブを前記バッファタンクに接続することを特徴とする薬液供給装置。
- 薬液を塗布するノズルを備え、往復動部材により塗布位置と待機位置との間を往復動する移動ヘッドと、
薬液タンク、当該薬液タンク内の薬液を吐出するポンプおよび当該ポンプから吐出された液体を濾過するフィルタを有する薬液供給ユニットと前記ノズルとの間に接続され、前記ポンプから吐出された薬液を前記ノズルに案内する供給チューブと、
前記移動ヘッドに設けられ、前記供給チューブ内の流路を開閉して前記ノズルから薬液を塗布する塗布状態と塗布を停止する停止状態とに作動する塗布バルブと、
前記供給チューブに連通され、前記移動ヘッドにまで供給された薬液を前記薬液供給ユニットに戻す循環チューブと、
前記循環チューブ内の流路を開閉して前記移動ヘッドから前記薬液供給ユニットに薬液を戻す循環状態と薬液の戻しを停止する循環停止状態とに作動する循環バルブとを有し、
前記塗布バルブは、
前記移動ヘッドに設けられ、前記供給チューブに連通する流路と前記ノズルに連通する吐出ポートとを連通させる弁室が形成されたホルダーと、
被駆動側の磁石が封入されて前記弁室内に組み込まれ、前記吐出ポート周囲の弁座に接触する接触部が一端に設けられるとともに前記弁室の内周面との間に流体を流す隙間が形成され、前記弁座に接触して前記弁室と前記吐出ポートとの連通を遮断させて薬液の塗布を停止させる閉位置と、前記弁座から離れて前記弁室と前記吐出ポートを連通させて薬液を塗布する開位置とに移動する弁体と、
駆動側の磁石を前記被駆動側の磁石に接近させる接近位置と、前記駆動側の磁石を前記被駆動側の磁石から離反させる離反位置とに駆動し、前記駆動側の磁石を前記被駆動側の磁石に接近させて前記被駆動側の磁石を反発させて前記弁体を前記閉位置に移動させる駆動手段と、
強磁性材料からなるとともに、前記ホルダーに前記弁座に対するように設けられ、前記駆動側の磁石が前記離反位置となったときに前記被駆動側の磁石により磁化され前記被駆動側の磁石を引き寄せて前記弁体を前記開位置に駆動する磁性リングとを有し、
前記駆動側の磁石が前記接近位置となったときに前記駆動側の磁石の磁力により前記弁体を前記閉位置に駆動し、前記駆動側の磁石が前記離反位置となったときに前記磁性リングが前記被駆動側の磁石の磁力により前記弁体を前記開位置に駆動する薬液供給装置を用いた薬液供給方法であって、
前記塗布バルブを開放して前記供給チューブ内の流路と前記ノズル内の流路とを連通させた状態のもとで、前記ポンプを駆動して前記ノズルから薬液を塗布する塗布工程と、
前記循環バルブを開放して前記供給チューブ内の流路と前記薬液供給ユニットを連通させるとともに、前記塗布バルブを閉じて前記供給チューブ内の流路と前記ノズル内の流路とを遮断した状態のもとで、前記ポンプを駆動して薬液を前記移動ヘッドから前記薬液供給ユニットに戻す循環工程とを有することを特徴とする薬液供給方法。 - 請求項8記載の薬液供給方法において、前記薬液供給ユニットに設けられ気泡を含む薬液を外部に排出する排気チューブのベントバルブを開放した状態のもとで、前記ポンプを駆動して前記薬液供給ユニット内における気泡を含む薬液を外部に排出する排出工程を有することを特徴とする薬液供給方法。
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