JPS6167861A - 剥離現像装置 - Google Patents
剥離現像装置Info
- Publication number
- JPS6167861A JPS6167861A JP19031884A JP19031884A JPS6167861A JP S6167861 A JPS6167861 A JP S6167861A JP 19031884 A JP19031884 A JP 19031884A JP 19031884 A JP19031884 A JP 19031884A JP S6167861 A JPS6167861 A JP S6167861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- substrate
- adhesive tape
- diameter
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
- G03F7/343—Lamination or delamination methods or apparatus for photolitographic photosensitive material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、印刷回路等の製造の用に供される剥離現像
装置に関するものである。
装置に関するものである。
〈従来の技術〉
印刷回路の製造等のために、画像形成用基板の表面に透
明支持体と、この支持体上に被着された光重合性組成物
層とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を
貼着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化
領域を形成し、上記支持体を基板から引離して該基板上
に画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに提
案されている。
明支持体と、この支持体上に被着された光重合性組成物
層とからなる画像形成材料の上記光重合性組成物層側を
貼着し、この光重合性組成物層を画像状に露光して硬化
領域を形成し、上記支持体を基板から引離して該基板上
に画像状のレジストを形成する画像形成手段がすでに提
案されている。
上記のような剥離現像方法において、シャープな仕上り
の良好な画像を得るための重要なポイントは、画像形成
材料の剥離にあるといっても過言ではない。
の良好な画像を得るための重要なポイントは、画像形成
材料の剥離にあるといっても過言ではない。
この発明者等は、画像形成材料の剥離方法として、連続
した粘着テープを方形基板上の支持体に。
した粘着テープを方形基板上の支持体に。
順次粘着しながら剥離する方法、即ち、第３図及び第５
図のように、一対の搬送ピンチロール１，２により方形
基板３を斜めに搬送させながら、連続した帯状の粘着テ
ープ４を方形基板３の先端コーナにかかるように画像形
成材料５の支持体６上へ貼合わせ、粘着テープ４と支持
体６を一対のストレート状引取りピンチロール７．８に
よって引張り、粘着テープ４と画像形成材料５を介して
方形基板３に線接するよう配置した剥離バー９に沿って
、上記粘着テープ４で支持体６をコーナ部分から剥離し
、基板１上に露光部５ａを残し、支持体６と共に未露光
部５ｂを剥がす経済的で精度のよい剥離装置を提案して
いる。
図のように、一対の搬送ピンチロール１，２により方形
基板３を斜めに搬送させながら、連続した帯状の粘着テ
ープ４を方形基板３の先端コーナにかかるように画像形
成材料５の支持体６上へ貼合わせ、粘着テープ４と支持
体６を一対のストレート状引取りピンチロール７．８に
よって引張り、粘着テープ４と画像形成材料５を介して
方形基板３に線接するよう配置した剥離バー９に沿って
、上記粘着テープ４で支持体６をコーナ部分から剥離し
、基板１上に露光部５ａを残し、支持体６と共に未露光
部５ｂを剥がす経済的で精度のよい剥離装置を提案して
いる。
ところで、上記のような剥離装置において、剥離時にス
トレート引取ピンチロール７．８の透明支持体６を引張
っている引取幅が、剥離バー９に沿って透明支持体６が
剥離されている剥離幅より常に一定幅だけ狭くなる。
トレート引取ピンチロール７．８の透明支持体６を引張
っている引取幅が、剥離バー９に沿って透明支持体６が
剥離されている剥離幅より常に一定幅だけ狭くなる。
即ち、第４図と第６図に示すように、両ピンチロール１
，８の引取点における引取ラインの引取幅に対して、剥
離バー９の先端に沿う剥離ラインの剥離幅は、引取ライ
ンから剥離ラインまでの距離２の２倍に相当する分だけ
常に広くなっている。
，８の引取点における引取ラインの引取幅に対して、剥
離バー９の先端に沿う剥離ラインの剥離幅は、引取ライ
ンから剥離ラインまでの距離２の２倍に相当する分だけ
常に広くなっている。
従って、斜めに搬送される基板３から剥離バー９を介し
て透明支持体６を、ストレートの引取ピンチロール７．
８で引き剥がすと、第６図で明らかな如く、剥離ライン
上における透明支持体６の両端部にかかる剥離力は、中
央部にかかる剥離力より小さくなる。
て透明支持体６を、ストレートの引取ピンチロール７．
８で引き剥がすと、第６図で明らかな如く、剥離ライン
上における透明支持体６の両端部にかかる剥離力は、中
央部にかかる剥離力より小さくなる。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところで、剥離ライン上において、透明支持体の両端部
にかかる剥離力が小さくなると、透明支持体の両端部は
剥離バーに対して完全に沿わなくなり、両端部は刻々変
化する剥離パターンの形状により、剥離バーに沿ったり
、或いは剥離バーから浮いたりする小さなはばたき現像
が生じ、第６図に示す如く、剥離後の基板両端部におけ
る画像性が悪くなるという問題がある。
にかかる剥離力が小さくなると、透明支持体の両端部は
剥離バーに対して完全に沿わなくなり、両端部は刻々変
化する剥離パターンの形状により、剥離バーに沿ったり
、或いは剥離バーから浮いたりする小さなはばたき現像
が生じ、第６図に示す如く、剥離後の基板両端部におけ
る画像性が悪くなるという問題がある。
この発明は、上記のような問題を解決するためになされ
たものであり、剥離ライン上において透明支持体にかか
る剥離力を幅方向全長にわたって均一にすることができ
、剥離後の基板全面にわたって良好な画像が得られる剥
離現像装置を提供することを目的とする。
たものであり、剥離ライン上において透明支持体にかか
る剥離力を幅方向全長にわたって均一にすることができ
、剥離後の基板全面にわたって良好な画像が得られる剥
離現像装置を提供することを目的とする。
〈問題点を解決するための手段〉
上記の問題点を解決するために、この発明は、コーナ部
分を先端にして送られる基板上から透明支持体を引張り
、剥離バーに沿って該支持体を引き剥がす一対の引取ピ
ンチロールを、周囲をゴム弾性体で被覆され、中央部か
ら両端に行くにしたがい、直径が漸増する勾配のついた
逆テーパロールと、周囲を耐摩耗性樹脂でコーティング
され、逆テーパロールの中央部の直径より小径となる２
個のストレートロールの組合せによって形成したもので
ある。
分を先端にして送られる基板上から透明支持体を引張り
、剥離バーに沿って該支持体を引き剥がす一対の引取ピ
ンチロールを、周囲をゴム弾性体で被覆され、中央部か
ら両端に行くにしたがい、直径が漸増する勾配のついた
逆テーパロールと、周囲を耐摩耗性樹脂でコーティング
され、逆テーパロールの中央部の直径より小径となる２
個のストレートロールの組合せによって形成したもので
ある。
く実 施 例〉
以下、この発明の実施例を添付図面の第１図と第２図に
もとづいて説明する。
もとづいて説明する。
なお、第３図および第６図と同一部分は同一符号を付し
て説明を省略する。
て説明を省略する。
この発明の剥離装置は、剥離バー９の上部に配置した一
対の引取用ピンチロールが逆テーパロール１１と、２個
のストレートロール１２，１２の組合せによって形成さ
れている。
対の引取用ピンチロールが逆テーパロール１１と、２個
のストレートロール１２，１２の組合せによって形成さ
れている。
上記逆テーパロール１１は、周囲をゴム弾性体で被覆さ
れ、中央部から両端に行くにしたがい直径が漸増する左
右対称の勾配を備え、透明支持体６を引取るために、モ
ータで駆動されて回転するようになっている。
れ、中央部から両端に行くにしたがい直径が漸増する左
右対称の勾配を備え、透明支持体６を引取るために、モ
ータで駆動されて回転するようになっている。
両ストレートロール１２，１２は、周囲を耐摩耗性樹脂
、例えば四弗化エチレン樹脂でコーティングされ、逆テ
ーパロール１１の中央部の直径より小径となるように形
成され、第２図の如く、逆テーパロール１１の外面に平
行して中央部で折曲がる固定配置の軸１３に対して中央
部を挾む両側に回動自在に取付けられ、逆テーパロール
１１の両側の勾配部と各々平行し、該逆テーパ１１と−
で透明支持体６を挟持して引取るようになっている。
、例えば四弗化エチレン樹脂でコーティングされ、逆テ
ーパロール１１の中央部の直径より小径となるように形
成され、第２図の如く、逆テーパロール１１の外面に平
行して中央部で折曲がる固定配置の軸１３に対して中央
部を挾む両側に回動自在に取付けられ、逆テーパロール
１１の両側の勾配部と各々平行し、該逆テーパ１１と−
で透明支持体６を挟持して引取るようになっている。
前記逆テーパロール１１は、中央部から両端部に至るほ
ど直径が漸増しているため、ストレートロール１２，１
２とで透明支持体６を挾んで引取るとき支持体６に対す
る引取力は支持体６の両端部に至るほど大きくなる。
ど直径が漸増しているため、ストレートロール１２，１
２とで透明支持体６を挾んで引取るとき支持体６に対す
る引取力は支持体６の両端部に至るほど大きくなる。
従って、引取力の両端部に至る増加分は、透明支持体６
の剥離バー９に沿う剥離力の両端部に付加されることに
なり、このため、透明支持体６の剥離力は幅方向の全長
において常に均一化し、剥離バー９に対して幅方向の全
体が完全に沿うことになり、透明支持体の両端部は剥離
パターンの形状が変化しても、剥離バーから浮いたりす
るようなことがない。
の剥離バー９に沿う剥離力の両端部に付加されることに
なり、このため、透明支持体６の剥離力は幅方向の全長
において常に均一化し、剥離バー９に対して幅方向の全
体が完全に沿うことになり、透明支持体の両端部は剥離
パターンの形状が変化しても、剥離バーから浮いたりす
るようなことがない。
く効 果〉
以上のように、この発明は、基板上に積層した透明支持
体とコーナ部分から引張り、剥離バーに沿って透明支持
体を引き剥がす一対の引取ピンチロールを、中央部から
両端に漸増する逆テーパロールと、逆テーバＯ−ルの中
央部より小径となる２個のストレートロールて形成した
ので透明支持体の剥離時にあける引取力は両端部に至る
ほど大きくなり、透明支持体の剥離バーに沿う剥離力の
両端部に引取力が作用し、両端部の剥離力を増大させる
ことができ、従って透明支持体の剥離力がパターン形状
の変化によっても幅方向の全長に均一化し、剥！！後の
基板全面にわたって良好な画像が得られる。
体とコーナ部分から引張り、剥離バーに沿って透明支持
体を引き剥がす一対の引取ピンチロールを、中央部から
両端に漸増する逆テーパロールと、逆テーバＯ−ルの中
央部より小径となる２個のストレートロールて形成した
ので透明支持体の剥離時にあける引取力は両端部に至る
ほど大きくなり、透明支持体の剥離バーに沿う剥離力の
両端部に引取力が作用し、両端部の剥離力を増大させる
ことができ、従って透明支持体の剥離力がパターン形状
の変化によっても幅方向の全長に均一化し、剥！！後の
基板全面にわたって良好な画像が得られる。
また、引取ピンチロールの逆テーパロールにおける周囲
をゴム弾性体で被覆したので、透明支持体とのスリップ
発生がなく、確実な剥離工程を行なうことができる。
をゴム弾性体で被覆したので、透明支持体とのスリップ
発生がなく、確実な剥離工程を行なうことができる。
更に、ストレートロールは耐摩耗性の樹脂でコーティン
グしたので、耐久性が向上し、長期の使用が可能になる
。
グしたので、耐久性が向上し、長期の使用が可能になる
。
第１図はこの発明に係る剥離現像装置の斜視図、第２図
は同上要部の平面図、第３図は従来の剥離現像装置を示
す斜視図、第４図は同側面図、第５図は同上要部の拡大
断面図、第６図は基板と粘着テープの関係を示す平面図
である。 １．２・・・搬送ピンチロール ３・・・方形基板４
・・・貼着テープ ５・・・画像形成材料６・・・支
持体 １１・・・逆テーパ０−ル１２・・・ストレー
ロール 特許出願人 日東電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 和 １） 昭↑第
６図 第６図
は同上要部の平面図、第３図は従来の剥離現像装置を示
す斜視図、第４図は同側面図、第５図は同上要部の拡大
断面図、第６図は基板と粘着テープの関係を示す平面図
である。 １．２・・・搬送ピンチロール ３・・・方形基板４
・・・貼着テープ ５・・・画像形成材料６・・・支
持体 １１・・・逆テーパ０−ル１２・・・ストレー
ロール 特許出願人 日東電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 和 １） 昭↑第
６図 第６図
Claims (1)
- 画像を形成すべき方形基板の表面に、透明支持体および
光重合性組成物層からなる画像形成材料を積層し、パタ
ーン状の露光を行なった後、一対の搬送ピンチロールで
方形基板をコーナ部分が先端になるよう斜めに搬送させ
、この方形基板の先端コーナ部分にかかるように粘着テ
ープを貼付け、ついで粘着テープを粘着テープと上記画
像形成材料を介して方形基板に線接するよう配置した剥
離バーに沿って一対の引取ピンチロールによる均一な剥
離速度で引き剥がすことにより、該粘着テープとともに
支持体と未露光の光重合性組成物層を基板より剥離し、
露光された光重合性組成物層を基板上に残存させる剥離
現像装置において、前記一対の引取りピンチロールが、
周囲をゴム弾性体で被覆され、中央部から両端に行くに
したがい直径が漸増する勾配のついた逆テーパロールと
、周囲を耐摩耗性樹脂でコーティングされ逆テーパロー
ルの中央部の直径より小径となる２個のストレートロー
ルの組合せによって形成されていることを特徴とする剥
離現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19031884A JPS6167861A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 剥離現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19031884A JPS6167861A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 剥離現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6167861A true JPS6167861A (ja) | 1986-04-08 |
Family
ID=16256174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19031884A Pending JPS6167861A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 剥離現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6167861A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1007774A3 (nl) * | 1993-11-19 | 1995-10-17 | Agfa Gevaert Nv | Delaminator voor een droog verwerkbaar thermisch beeld. |
| US7878375B2 (en) | 2006-07-11 | 2011-02-01 | Koganei Corporation | Chemical liquid supply device |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP19031884A patent/JPS6167861A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1007774A3 (nl) * | 1993-11-19 | 1995-10-17 | Agfa Gevaert Nv | Delaminator voor een droog verwerkbaar thermisch beeld. |
| US7878375B2 (en) | 2006-07-11 | 2011-02-01 | Koganei Corporation | Chemical liquid supply device |
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