JP3020126B2 - リードフレームの連続製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はリードフレームをプレス
とエッチングを併用し連続製造する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の組み立て材として必須のリ
ードフレームは、最近の半導体装置の高機能化、高集積
化および小型化に対応してリードが微細で間隔も狭い多
ピンとすることが要請される。

【０００３】最近、リードフレームは例えば１００ピン
以上のものが製造されるようになり多ピンリードフレー
ム製造の一つとして、プレスによる打抜きとエッチング
を併用する方法が提案されている。例えば特公平３−６
６６３号公報にはインナーリード部とパッド部はエッチ
ングで形成し、アウターリード部はプレスで形成するリ
ードフレームの製造方法が示されている。これによると
エッチングの微細食刻作用と、プレスによる高速かつ高
安定打抜き作用の双方の利点が得られ、加工精度の高い
リードフレームが比較的安価に製造できる効果がある。

【０００４】

【この発明が解決しようとする課題】ところで、リード
フレームをプレスとエッチングを併用して製造する場合
は、プレスでリードパターンの１部例えばアウターリー
ドを穿設し、残りのインナーリード等のリードパターン
をエッチングで形成するが、素材の金属薄板から歩留り
高く、また前記両工程でそれぞれ形成するリードパター
ン同士をきっちり整合させること、および生産性高く製
造することが課題である。

【０００５】一般に、歩留向上には細切れ製造工程でな
くて工程を連続化すればよいことが考えられるが、リー
ドパターンの形成機構が異なるプレスとエッチングを連
続ラインに配設し、かつ一方で１部形成したリードパタ
ーンに精度よく整合させて残りのリードパターンを形成
することは難しく、かかる連続製造装置はこれまでない
のが実情である。

【０００６】その理由の１つは、エッチングに先立って
なされるフォトレジストの塗布が位置によってムラやば
らつきを生じるからである。

【０００７】フォトレジストを設ける方法は、フォトレ
ジスト剤を溶状として塗布あるいは浸漬させる湿式法
と、ドライフォトレジストフィルムを貼付する乾式法が
ある。前者は前述のような問題の他にフォトレジスト剤
がガイドホールの中に入り込みリードパターン焼付け位
置決め精度が劣化する。後者は位置決め精度は優れる
が、ドライフォトレジストフィルムが軟質で極薄である
ことからリードフレーム素材金属薄板に貼付時にしわや
偏りあるいは大気の巻き込みが生じる等の問題があり、
連続ラインで製造する際に大きなネックとなっていた。

【０００８】本発明は前記問題を解決しプレスとエッチ
ングを併用して、形状の優れたリードフレームを歩留り
高く製造する連続製造装置を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、金属薄
板にリードパターンの1部を穿設するプレスと、前記プ
レスの通板ラインの下流に設けられ金属薄板に接して従
動回転自在でドライフォトレジストフィルムを貼付する
貼付装置と、前記貼付装置に対向して金属薄板を挟んで
設けられた支えロールと、必要に応じて設けられる金属
薄板の端面へのフォトレジスト塗布装置と、前記ドライ
フォトレジストフィルムが貼付された金属薄板に残りの
リードパターンを焼き付けるために金属薄板に穿設され
たガイドホールを検知し予めパターン焼付け装置内に定
めたパイロット基準位置と該ガイドホールとを合わせる
ように位置決め修正搬送をさせる位置決め装置と、リー
ドパターンを焼き付け現像しエッチングする装置とを配
設したことを特徴とするリードフレームの連続製造装置
にある。

【００１０】

【作用】本発明はリードパターンの1部を形成するプレ
スと、残りのリードパターンを形成するエッチングの製
造ラインの間に、金属薄板へ接触して従動回転しドライ
フォトレジストフィルムを貼付する従動回転貼付装置
と、当該貼付装置に対向して支えロールを設けているの
で、ドライフォトレジストフィルムは無理な力を受ける
ことなく当該金属薄板に安定して連続して貼付され、偏
りやしわが生ぜず、また大気を巻き込むことがない。ま
た位置決め装置で金属薄板のガイドホールを検知し、予
めパターン焼付け装置内に定めたパイロット基準位置と
合わせる位置決め修正搬送をさせ、金属薄板のドライフ
ォトレジストフィルムに残りのリードパターンを焼き付
け、現像しエッチングするようにしているので、プレス
でリードパターンの1部が形成された金属薄板に、エッ
チング工程で残りのリードパターンが連続製造ラインで
整合性よく形成される。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明について１実施例に基いて図
面を参照して詳細に説明する。図面において、１はプレ
スで通板中の金属薄板２にリードパターンの１部、例え
ば図４の（Ａ）に示すようなアウターリード３を形成す
る。４は金属薄板の巻出しリールである。５はルーパで
前記プレス１の後方に設けられ、その前後工程での通板
速度の差異を吸収し連続通板を円滑にするものである。

【００１２】６は従動回転貼付装置で、これにはドライ
フォトレジストフイルム７が装着されていて、金属薄板
２に接して従動回転自在であり、回転しつつ貼付する。
８はガイドで従動回転貼付装置６の両端に設けられ、当
該ガイド８間を金属薄板２が通り、その全幅に前記ドラ
イフォトレジストフイルム７が貼付される。９は支えロ
ールで、前記従動回転貼付装置６に対向して金属薄板２
を挟んで従動回転自在に設けられ、ドライフォトレジス
トフイルム７の貼付を助勢するとともに、金属薄板２に
プレス１で生じた抜きバリを矯正する作用がある。

【００１３】前記従動回転貼付装置６および支えロール
９の通板ライン後方に、同様な従動回転貼付装置６−
１、支えロール９−１が上下の配置を換えて設けられ、
金属薄板２の表裏面にドライフォトレジストフイルム７
を貼付する。

【００１４】１０は位置決め装置で、金属薄板２に穿設
されたガイドホール１１を検知し、予めパターン焼付け
装置１２内に定めたパイロット基準位置と合わせる位置
決め修正搬送を図示しない修正搬送装置を介してさせ
る。

【００１５】１３は現像装置で、リードパターン焼付け
で感光された領域以外のドライフォトレジストフィルム
７を除去しエッチングマスクが作られ、例えば図４の
（Ｂ）に示すようにインナーリード１５、パッド１６、
サポートバー１７、タイバー１８のリードパターンが金
属薄板２のエッチング加工領域１９に形成される。

【００１６】１４はエッチング装置で前記金属薄板２に
エッチング液を噴射して食刻し、インナーリード１５が
アウターリード３に整合して、またパッド１６、サポー
トバー１７、タイバー１８も整合性よく形成され、全パ
ターンが図４の（Ｃ）に示すようにできあがる。

【００１７】この実施例ではエッチングで形成したリー
ドパターンはインナーリード１５、パッド１６、サポー
トバー１７およびタイバー１８であったが、これに限ら
ず、インナーリード１５の全てでなくインナーリード先
端部例えばアウターリード３に対し非平行に形成される
放射状部から内側のパターンであってもよい。この場合
はプレスによりインナーリード１５の一部まで形成する
ことになる。

【００１８】また、プレスでアウターリード３の１部例
えば金属薄板２長手方向のアウターリードを形成し、そ
の他のリードパターンはエッチングで形成するようにし
てもよい。

【００１９】２０は必要に応じて設けられるフォトレジ
スト塗布装置で、液状のフォトレジストを金属薄板２の
端面に塗布するものであり、前記ドライフォトレジスト
フイルム７を板端面にまで貼付することが難しい場合
や、金属薄板２からリードフレームの採取歩留りを高め
るように当該金属薄板２の板幅をリードフレーム製品幅
と等しくする場合に有効に機能する。即ち、これにより
板端面までフォトレジストが完全に形成され、その後の
エッチングで板端面部の形状が乱れず歩留り向上が確実
に奏される。

【００２０】装置構成は以上のようになされていて、次
に作用について述べる。巻出リール４からの金属薄板２
はプレス１によりアウターリード３、ガイドホール１１
が形成される。その後エッチングによりインナーリード
１５などの残りリードパターンを連続製造ラインで形成
するために、本発明では従動回転貼付装置６が支えロー
ル９との間を通板する金属薄板２に接して回転しつつ、
装填しているドライフォトレジストフイルム７を金属薄
板２の搬送にマッチして貼付するので、当該フイルム７
には無理な力が作用せず偏りやしわを生じない、また金
属薄板２に張力を与えることなく全幅にわたって安定し
て連続的に貼付される。

【００２１】また、支えロール９が金属薄板２に接し支
持することから、プレス１で生じた抜きバリが矯正さ
れ、その後に貼付されるドライフォトレジストフイルム
７の損傷を回避できる。

【００２２】ドライフォトレジストフイルム７が両面に
貼付された金属薄板２に残りのリードパターン例えばイ
ンナーリード１５、パッド１６、サポートバー１７のパ
ターンを焼付けるべく、位置決め装置１０で所定間隔を
おいてガイドホール１１を検知し、当該ガイドホール１
１がパターン焼付装置１２の基準パイロットに合致する
ように搬送して前記パターンを焼付けると、エッチング
加工領域に前記インナーリード１５をはじめとしてアウ
ターリード３に整合した姿勢でパターンが形成される。

【００２３】引き続き、現像してフォトレジストマスク
を作り、次いでエッチングして前記残りのリードパター
ンが形成され、リードフレームが連続的に製造される。

【００２４】

【発明の効果】本発明ではプレスとエッチッッグを併用
してリードフレームを製造するラインおいて、プレスで
リードパターンの１部を形成され通板中の金属薄板に、
接触し従動回転してドライフォトレジストフイルムを貼
付する装置と支えロールを設けているから、当該フイル
ムは貼付時に偏りやしわができず、また金属薄板に張力
を及ぼさずに連続的に安定して貼付され、その後、残り
のリードパターンの焼付け位置決めも精度よくできる連
続製造ラインが得られる。また、金属薄板の端面へのフ
ォトレジスト塗布装置を設けることにより、当該金属薄
板はリードフレーム製品幅に等しくでき歩留り向上が図
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例における連続製造装置の概要
を示す図。

【図２】本発明の１実施例でのドライフォトレジストフ
イルムの貼付装置を示す図。

【図３】本発明の１実施例でのドライフォトレジストフ
イルム貼付の作用を説明するための図。

【図４】本発明の１実施例においてプレスとエッチング
併用によるリードフレーム製造を示す図。

【符号の説明】 １ プレス ２ 金属薄板 ３ アウターリード ４ 巻出リール ５ ルーパー ６ 従動回転貼付装置 ７ ドライフォトレジストフイルム ８ ガイド ９ 支えロール １０ 位置決め装置 １１ ガイドホール １２ パターン焼付け装置 １３ 現像装置 １４ エッチング装置 １５ インナーリード １６ パッド １７ サポートバー １８ タイバー １９ エッチング加工領域 ２０ フォトレジスト塗布装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−148667（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−94157（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−136267（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−159161（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 23/50 C23F 1/08

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属薄板にリードパターンの1部を穿設
   するプレスと、 前記プレスの下流の通板ラインに設けられ金属薄板に接
   して従動回転自在なドライフォトレジストフィルムを貼
   付する貼付装置と、 前記貼付装置に対向して金属薄板を挟んで設けられた支
   えロールと、 前記ドライフォトレジストフィルムが貼付された金属薄
   板に残りのリードパターンを焼き付けるために金属薄板
   に穿設されたガイドホールを検知し予めパターン焼付け
   装置内に定めたパイロット基準位置と該ガイドホールと
   を合わせるように位置決め修正搬送をさせる位置決め装
   置と、 リードパターンを焼き付け現像しエッチングする装置と
   を配設したことを特徴とするリードフレームの連続製造
   装置。
2. 【請求項２】 金属薄板にリードパターンの1部を穿設
   するプレスと、 前記プレスの下流の通板ラインに設けられ金属薄板に接
   して従動回転自在なドライフォトレジストフィルムを貼
   付する貼付装置と、 前記貼付装置に対向して金属薄板を挟んで設けられた支
   えロールと、 前記金属薄板の端面へのフォトレジスト塗布装置と、 前記ドライフォトレジストフィルムが貼付された金属薄
   板に残りのリードパターンを焼き付けるために金属薄板
   に穿設されたガイドホールを検知し予めパターン焼付け
   装置内に定めたパイロット基準位置と該ガイドホールと
   を合わせるように位置決め修正搬送をさせる位置決め装
   置と、 リードパターンを焼き付け現像しエッチングする装置と
   を配設したことを特徴とするリードフレームの連続製造
   装置。