KR100195159B1 - 반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치 - Google Patents

반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치 Download PDF

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Abstract

반도체 제조용 감광막 부착장치가 개시된다. 개시된 반도체 제조용 감광막 부착장치는, 리드 프레임 제조용 박판의 소재와 감광막을 열압착하기 전에 소재를 예열하기 위한 예열수단을 구비하고, 감광막을 공급하기 위한 로울러부재의 배치 구조의 개선에 의해 소재와 감광막의 부착상태 및 연속공정에 의한 제조효율을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.

Description

반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치
본 발명은 반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에칭(etching) 프로세서에 의한 반도체 리드 프레임 제조시 박판의 소재에 감광성 드라이 필름을 부착하기 위한 장치에 관한 것이다.
반도체 리드 프레임은 반도체 칩과 함께 반도체 패키지를 이루는 핵심 구성요소의 하나로서, 반도체 패키지의 내부와 외부를 연결해 주는 도선(lead)의 역할과 반도체 칩을 지지해 주는 지지체의 역할을 한다.
이러한 반도체 리드 프레임은 통상 스템핑(Stamping) 프로세스 또는 에칭(Etching) 프로세스에 의해 제조되는데, 상기한 스템핑 프로세스는 순차적으로 이송되는 프레스 금형장치를 이용하여 박판의 소재를 소정 형상으로 타발함으로써 제품을 형성하는 제조방법이다. 반면에, 상기한 에칭 프로세스는 화학약품을 이용하여 소재의 국소 부위를 부식시키는 화학적 식각방법에 의해 제품을 형성하는 제조방법이다.
최근에는 반도체 칩의 고집적화와 박형화 및 소형화 추세에 따라 소형이면서 미세 피치를 가지는 다핀 리드 프레임의 개발이 활발히 진행되고 있다. 이러한 다핀 리드 프레임은 특히, 그 제조과정에 있어서 미세 피치의 형성 등을 위한 정밀도가 요구되므로 주로 에칭 프로세스를 통하여 제조된다. 에칭프로세스의 일예에 의하면, 박판의 소재 표면에 감광막을 코팅하고, 이를 글래스 마스크를 이용한 노광과정과 에칭과정 등을 거치게 함으로써 소정 패턴의 리드 프레임이 제조된다. 이러한 제조 과정에서 상기 감광막은 리드 프레임의 패턴 형성(Imaging)을 위한 것으로서, 통상 액상 레지스트와 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resister)가 사용되는데, 미세 피치(fine pitch)가 요구되는 리드 프레임의 경우 드라이 필름 레지스트가 주로 선택되고 있다. 그러한 이유는 얇고 균일한 두께의 레지스트를 이용하면 미세 피치화가 용이하다는 기본적인 원리에 바탕을 둔 것으로서, 상기한 액상 레지스트의 경우 균일한 두께 관리가 어려운 동시에 제조시간이 오래 걸린다는 단점을 가지는 반면에, 드라이 필름 레지스트는 상기 액상 레지스트보다 제조시간이 단축되는 동시에 균일한 두께의 유지 및 관리가 용이하다는 장점을 가지기 때문이다. 이와 같은 드라이 필름 레지스트는 통상 인쇄회로기판(PCB)의 제조시 기판의 일면에 열압착되어 에칭용으로 사용되고 있으며, 리드 프레임의 경우 그 제조시에 양면 에칭이 필요하므로 도 1에 도시된 바와 같은 장치에 의해 박판의 소재 양면에 부착된다.
도 1은 종래의 반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치를 나타내 보인 개략적 단면 구성도이고, 도 2는 도 1의 감광막 부착장치에서 로울러 배치 상태를 나타내 보인 개략적 평면 구성도이다. 여기서, 상기 감광막은 감광성 드라이 필름이다. 상기 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 드라이 필름 부착장치는 베이스 프레임(100)과, 일방향으로 이송되는 박판의 소재(10)를 그 상하면에서 압착하여 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임(100)에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 압착로울러(110)(111)와, 상기 소재(10)의 상부 및 하부에 마련되어 상기 압착로울러(110)(111)와 소재(10)의 일면 사이로 각각 드라이 필름(20)이 공급될 수 있도록 상기 베이스 프레임(100)에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 공급로울러(120)(121)와, 상기 소재(10)의 상부 및 하부에 마련되어 상기 공급로울러(120)(121)에서 공급되는 드라이 필름(20)으로부터 분리된 필름커버(21)가 감겨질 수 있도록 상기 베이스 프레임(100)에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 감기로울러(130)(131)를 포함하여 구성된다.
상기 구성의 드라이 필름 부착장치에 있어서, 각 로울러의 배치 상태는 도 2에 도시된 바와 같이 감기로울러(130)(131), 압착로울러(110)(111) 및 공급로울러(120)(121)의 순으로 설치되어 있고, 동일한 기능을 가지는 각쌍의 로울러는 상기 소재(10)의 상하부에 각각 대칭적으로 배치된 3층 구조로 마련된다. 상기 공급로울러(120)(121)에는 커버 필름(21)이 부착되어 있는 감광성 드라이 필름(20)이 감겨있는 있는 복수(예컨대, 3개)의 단위릴(120a)(120b)(120c)(121a)(121b)(121c)이 마련되어 있다. 그리고, 상기 압착로울러(110)(111)는 소정의 가열수단(미도시)에 의해 열압착 작용이 가능하도록 되어 있다.
이러한 구성의 종래 반도체 리드 프레임 제조용 드라이 필름 부착장치는, 별도의 이송장치(미도시) 또는 상기 압착로울러(110)(111)의 회전에 의해 박판의 소재(10)가 일방향으로 이송되면, 상기 공급로울러(120)(121)의 단위릴(120a)(120b)(120c)(121a)(121b) (121c)에 감겨있는 드라이 필름(20)중, 먼저 어느 하나의 단위릴(120a)(121a)에 감겨있는 드라이 필름(20)이 상기 압착로울러(110)(111)와 소재(10)의 상면 및 하면의 사이로 각각 인입될 수 있도록 공급된다. 이때, 상기 드라이 필름(20)과 그 일면에 부착된 커버 필름(21)은 상기 공급로울러(120)(121)에 감겨있는 상태가 해제됨과 동시에 분리되어 상기 커버필름(21)은 상기 감기로울러(130)(131)에 감겨지게 된다. 그리고, 상기 압착로울러(110)(111)와 소재(10)의 상면 및 하면의 사이로 각각 인입된 드라이 필름(20)은 상기 압착로울러(110)(111)에 의해 상기 소재(10)의 상하면에 각각 열압착된다. 이러한 동작은 다른 단위릴(120b)(120c)(121b)(121c)에 감겨있는 드라이 필름(20)이 순차적으로 공급될 때까지 연속된다. 이와 같이 감광성 드라이 필름(20)이 열압착된 소재(20)는 이후 글래스 노광 과정 등을 거침으로써 반도체 리드 프레임으로 제조된다.
상기한 바와 같은 종래의 반도체 리드 프레임 제조용 드라이 필름 부착장치는 상기 단위릴(120a)에 감겨있는 감광성 드라이 필름(20)의 길이(약 450m 전후)가 한정되어 있으므로, 예컨대 최초의 단위릴로부터 공급되는 드라이 필름(20)이 소진되었을 때 다른 단위릴의 드라이 필름으로 교환하여 공급시켜 주어야 한다. 그런데, 이때 소재(10)와 드라이 필름(20)의 정확한 압착이 이루어질 수 있도록 하기 위해서는 그 위치정렬이 필요하므로 상기 다른 단위릴의 위치 정렬을 위한 세팅에 시간이 소요되는 문제점이 있다.
그리고, 상기한 바와 같은 단위릴의 위치 정렬을 위한 세팅에 오차가 발생하게 될 경우에 상기 소재(20)에 드라이 필름(20)이 불량한 상태로 부착되므로 이후의 노광 공정 등에서의 근원적인 불량 요인이 되는 문제점이 있다.
또한, 연속공정을 위해서는 상기한 복수(3개)의 단위릴에 감겨있는 드라이 필름(20)이 전부 소진되었을 때, 다시 새로운 복수(3개)의 단위릴 세트를 교환시켜 주어야 하므로, 그 교환작업이 용이하지 않을뿐만 아니라 실질적으로 연속공정의 제조효율을 저하시키는 문제점이 있다.
그리고, 상기 종래의 드라이 필름 부착장치는 도시된 바와 같이 드라이 필름(20)으로부터 분리된 커버 필름(21)이 소재(10)의 인입부 전방으로 수거되기 때문에, 상기 커버 필름(21)으로부터 발생되는 이물질이 소재(10)의 표면에 부착되어 품질을 저하시킬 우려가 있다.
또한, 상기 압착로울러(110)(111)가 1쌍으로만 되어 있기 때문에 소재(10)와 드라이 필름(20)이 열압착되는 부분의 면적 크기가 작아 상호 부착되는 상태의 강도 저하 및 열에 의한 데미지(damage)가 생길 우려가 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 바와 같은 종래의 반도체 제조용 감광막 부착장치가 가지고 있는 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 본 발명은 소재와 감광막의 부착상태 및 연속공정에 의한 제조효율을 향상시킬 수 있는 반도체 제조용 감광막 부착장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치를 나타내 보인 개략적 단면 구성도,
도 2는 도 1의 감광막 부착장치에서 로울러 배치 상태를 나타내 보인 개략적 평면 구성도,
도 3은 본 발명에 의한 반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치를 나타내 보인 개략적 단면 구성도, 그리고
도 4는 도 3의 본 발명 감광막 부착장치에서 로울러 배치 상태를 나타내 보인 개략적 평면 구성도이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
20, 20'..감광성 드라이 필름21, 21'..커버
200..베이스 프레임201..인입부
210, 211..제1예열용 로울러부재20, 221..제2예열용 로울러부재
230, 231..제1압착로울러부재240, 241..제2압착로울러부재
250, 251..제1공급로울러부재260, 261..제2공급로울러부재
270, 271..감기로울러부재
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 반도체 제조용 감광막 부착장치는, 일방향으로 연속하여 이송되는 박판의 소재가 인입되는 인입부에 상기 소재를 예열하기 위한 예열수단이 마련되어 있는 베이스 프레임과, 상기 소재의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 적어도 1쌍의 제1압착로울러부재와, 상기 소재의 상부 및 하부에 각각 마련되어 상기 제1압착로울러와 소재의 일면 사이로 소정의 감광성 필름부재를 각각 공급할 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 제1공급로울러부재와, 상기 제1공급로울러의 주위에 마련되며, 상기 제1공급로울러부재로부터 공급되는 필름부재의 공급 완료 시점에서 연속하여 상기 압착로울러와 소재의 일면 사이로 상기 필름부재를 공급할 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 제2공급로울러부재와, 상기 소재의 상부 및 하부에 각각 마련되어 상기 제1 및 제2공급로울러부재에서 공급되는 필름부재로부터 분리되는 커버부재를 감을 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 감기로울러부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명에 의한 반도체 제조용 감광막 부착장치에 있어서, 특히 상기 예열수단은 상기 소재의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 적어도 1쌍 이상의 예열용 로울러부재를 포함하여 구성되거나, 히터에 연결되는 송풍기를 포함하여 구성되는 것이 바람직하며, 상기 압착로울러부재에 의해 상기 소재에 가해지는 가열 온도의 50 내지 70% 범위의 온도로 상기 소재를 예열할 수 있도록 된 것이 바람직하다.
그리고, 상기 제1압착로울러부재와 제1공급로울러부재, 제2공급로울러부재 및 감기로울러부재는 각각 상기 소재의 이송방향으로 순차 배열되도록 설치되는 동시에, 각각 상기 소재를 중심으로 상호 대칭의 형태로 배열되도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1압착로울러부재의 일측에는 제2압착로울러부재가 나란하게 설치되고, 상기 필름부재는 각각 상기 제1 및 제2공급로울러부재와 상기 압착로울러부재 사이에서 상기 소재의 이송방향과 반대 방향으로 이송되며, 상기 커버부재는 각각 상기 제1 및 제2공급로울러부재와 상기 감기로울러부재 사이에서 상기 소재의 이송방향과 동일한 방향으로 이송되도록 된 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반도체 제조용 감광막 부착장치를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 의한 반도체 리드 프레임 제조용 감광막 부착장치를 나타내 보인 개략적 단면 구성도로서, 부호 200은 내부 공간에 다수의 로울러부재가 회전 가능하게 설치되어 있는 베이스 프레임이다. 그리고, 10은 리드 프레임을 제조하기 위한 테이프 형상의 박판 소재로서, 예를 들면 공급릴(미도시)과 감기릴(미도시)에 의해 상기 베이스 프레임(200)의 공간부로 연속 이송이 가능하도록 되어 있다. 부호 201은 상기와 같이 이송되는 소재(10)가 상기 베이스 프레임(200)의 공간부로 최초 진입되는 인입부로서, 이 인입부(201)에는 상기 소재(10)를 예열하기 위한 예열수단이 마련되어 있다.
상기 예열수단은 본 발명을 특징지우는 구성요소의 하나로서, 도시된 바와 같이 상기 소재(10)의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임(200)에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 제1예열용 로울러부재(210)(211) 및 그와 나란하게 설치되는 1쌍의 제2예열용 로울러부재(220)(221)를 포함하여 구성된다. 한편, 상기 예열수단은 도면에 도시되어 있지는 않으나, 통상의 히터 또는 히터와 연결되는 송풍기를 포함하는 예열장치를 적용할 수도 있다. 이러한 예열수단은 이하에서 설명될 압착로울러부재(230)(231)(240)(241)에 의해 상기 소재(10)를 열압착하기 위해 가해지는 가열 온도의 50 내지 70% 범위의 온도로 상기 소재를 예열할 수 있도록 된 것이 바람직하다.
그리고, 상기 예열수단의 일측 즉, 상기 소재(10)의 진행방향 측으로 소정 거리 위격된 위치에는 상기 소재(10)의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상하 1쌍으로 이루어진 제1압착로울러부재(230)(231)와, 그와 나란하게 마련된 제2압착로울러부재(240)(241)가 상기 베이스 프레임(200)에 회전가능하게 설치되어 있다.
또한, 상기 제2압착로울러부재(240)(241)의 일측, 즉 상기 소재(10)의 이송방향 측으로 소정 거리 이격된 위치의 상기 소재(10)의 상부 및 하부에는 상기 제1압착로울러부재(230)(231) 및 제2압착로울러부재(240)(241)와 상기 소재(10)의 상면 및 하면 사이로 각각 감광성 드라이 필름(20)(20')을 공급할 수 있도록 1쌍의 제1공급로울러부재(250)(251)가 상기 베이스 프레임(200)에 회전가능하게 설치되어 있다.
그리고, 상기 제1공급로울러부재(250)(251)의 일측, 즉 상기 소재(10)의 이송방향 측으로 소정 거리 이격된 위치의 상기 소재(10)의 상부 및 하부에는 상기 제1압착로울러부재(230)(231) 및 제2압착로울러부재(240)(241)와 상기 소재(10)의 상면 및 하면 사이로 각각 감광성 드라이 필름(20)(20')을 공급할 수 있도록 1쌍의 제2공급로울러부재(260)(261)가 상기 베이스 프레임(200)에 회전가능하게 설치되어 있다.
한편, 상기 제1공급로울러부재(250)(251)와 제2공급로울러부재(260)(261)는 상기 감광성 드라이 필름(20)(20')이 감겨있는 릴부재(미도시)의 교환 세팅이 가능하도록 되어 있다. 따라서, 어느 하나의 공급로울러부재로부터 감광성 드라이 필름의 공급이 완료되는 시점에 이어서 연속하여 상기 제1압착로울러부재(230)(231) 및 제2압착로울러부재(240)(241)와 상기 소재(10)의 상면 및 하면 사이로 각각 감광성 드라이 필름(20)을 공급할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1공급로울러부재(250)(251)로부터 상기 제1압착로울러부재(230)(231) 및 제2압착로울러부재(240)(241)와 상기 소재(10)의 상면 및 하면 사이로 각각 감광성 드라이 필름(20)의 공급이 완료되는 시점에 이르러 상기 제2공급로울러부재(260)(261)의 감광성 드라이 필름(20')이 연결되어 연속적으로 공급된다. 이때, 상기 제1공급로울러부재(250)(251)에는 상기 감광성 드라이 필름(20)이 감겨있는 다른 릴부재(미도시)가 세팅된다. 따라서, 상기 제2공급로울러부재(260)(261)로부터의 감광성 드라이 필름(20') 공급이 완료되는 시점에서는 다시 상기 제1공급로울러부재(260)(261)로부터의 감광성 드라이 필름(20)이 연속적으로 공급된다. 그러므로, 본 발명에 의한 장치는 상기한 바와 같은 싸이클의 반복에 의해 상기 제1압착로울러부재(230)(231) 및 제2압착로울러부재(240)(241)와 상기 소재(10)의 상면 및 하면 사이로 각각 감광성 드라이 필름(20)(20')을 사실상 무한적으로 연속하여 공급할 수 있게 된다. 즉, 최초의 단위릴로부터 공급되는 드라이 필름이 소진되었을 때 새로운 다른 단위릴의 드라이 필름을 교환하여 미리 위치정렬된 상태로 세팅해 놓을 수 있기 때문에 실제 세팅에 소요되는 시간이 완전히 배제되어 장치의 가동 효율을 극대화시킬 수 있다.
한편, 상기 감광성 드라이 필름(20)(20')에는 커버(21)(21')가 분리가능한 상태로 부착되어 있고, 이 커버(21)(21')는 상기 제1공급로울러부재(250)(251)와 제2공급로울러부재(260)(261)로부터 상기 감광성 드라이 필름(20)(20')이 이탈되는 시점에서 분리된다.이와 같이 분리된 상기 커버(20')는 상기 제2공급로울러부재(260)(261)의 각 일측, 즉 상기 소재(10)의 이송방향 측으로 소정 거리 이격된 위치의 상기 베이스 프레임(10)에 회전가능하게 설치된 1쌍의 감기로울러부재(270)(271)에 의해 감겨 수거되도록 되어 있다.
상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 반도체 제조용 감광막 부착장치에 있어서, 상술한 각 로울러부재의 평면적인 배치 상태는 도 2에 도시된 바와 같은 배치 구조를 가진다. 즉, 상기 제1 및 제2압착로울러부재(230)(231)(240)(241)와 제1공급로울러부재(250)(251), 제2공급로울러부재(260)(261) 및 감기로울러부재(270)(271)는 각 쌍이 상기 소재(10)의 이송방향으로 순차 배열되도록 설치되어 있다. 이와 동시에, 상기 제1 및 제2압착로울러부재(230)(231)(240)(241)와 제1공급로울러부재(250)(251), 제2공급로울러부재(260)261) 및 감기로울러부재(270)(271)는 각각 상기 소재(10)를 중심으로 상호 대칭의 형태로 1쌍이 배열되어 있다.
이러한 배열 구조에 의하면, 상기 감광성 드라이 필름(20)은 각각 상기 제1공급로울러부재(250)(251) 및 제2공급로울러부재(260)(261)와 상기 제1/제2압착로울러부재(230)(231)(240)(241)의 사이에서 각각 상기 소재(10)의 이송방향과 반대 방향으로 이송된다. 또한, 상기 커버부재(21)(21')는 각각 상기 제1공급로울러부재(250)(251) 및 제2공급로울러부재(260)(261)와 상기 감기로울러부재(270)(271)의 사이에서 상기 소재(10)의 이송방향과 동일한 방향으로 이송된다. 따라서, 상기 커버(21)(21')이 소재(10)의 인입부 후방으로 수거되기 때문에, 상기 커버 필름(21)(21')으로부터 발생되는 이물질이 소재(10)의 표면에 부착되는 문제를 근원적으로 해소할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 장치에 의하면 상기 소재(10)를 열압착하기 위한 압착로울러가 2쌍(230)(231)(240)(241)으로 있기 때문에, 소재(10)와 드라이 필름(20)이 열압착되는 부분의 면적 크기가 늘어나 상호 부착되는 상태의 강도를 높일 수 있다.
이상에서 설명된 바와 같이 본 발명에 의한 반도체 제조용 감광막 부착장치에 의하면, 리드 프레임 제조용 소재와 감광막의 부착상태 및 연속공정에 의한 제조효율을 향상시킬 수 있다.

Claims (10)

  1. 일방향으로 연속하여 이송되는 박판의 소재가 인입되는 인입부에 상기 소재를 예열하기 위한 예열수단이 마련되어 있는 베이스 프레임과,
    상기 소재의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 적어도 1쌍의 압착로울러부재와,
    상기 소재의 상부 및 하부에 각각 마련되어 상기 압착로울러부재와 소재의 일면 사이로 소정의 감광성 필름부재를 각각 공급할 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 제1공급로울러부재와,
    상기 제1공급로울러부재의 주위에 마련되며, 상기 제1공급로울러부재로부터 공급되는 필름부재의 공급 완료 시점에서 연속하여 상기 압착로울러부재와 소재의 일면 사이로 상기 필름부재를 공급할 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 제2공급로울러부재와,
    상기 소재의 상부 및 하부에 각각 마련되어 상기 제1 및 제2공급로울러부재에서 공급되는 필름부재로부터 분리되는 커버부재를 감을 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 1쌍의 감기로울러부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 예열수단은 상기 소재의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임에 회전가능하게 설치되는 적어도 1쌍 이상의 예열용 로울러부재를 포함하는 것을 특징으로 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 예열용 로울러부재의 직경은 상기 압착로울러부재의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 예열수단은 히터와, 이 히터에 연결되는 송풍기를 포함하는 것을 특징으로 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  5. 제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 예열수단은 상기 압착로울러부재에 의해 상기 소재에 가해지는 가열 온도의 50 내지 70% 범위의 온도로 상기 소재를 예열할 수 있도록 된 것을 특징으로 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 압착로울러부재와 제1공급로울러부재와 제2공급로울러부재 및 감기로울러부재는 각각 상기 소재의 이송방향으로 순차 배열되도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 압착로울러부재와 제1공급로울러부재와 제2공급로울러부재 및 감기로울러부재는 각각 상기 소재를 중심으로 상호 대칭의 형태로 배열되도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 압착로울러부재는 나란하게 설치되는 제1 및 제2압착로울러부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 필름부재는 각각 상기 제1 및 제2공급로울러부재와 상기 압착로울러부재 사이에서 상기 소재의 이송방향과 반대 방향으로 이송되도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 커버부재는 각각 상기 제1 및 제2공급로울러부재와 상기 감기로울러부재 사이에서 상기 소재의 이송방향과 동일한 방향으로 이송되도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 감광막 부착장치.
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