JP3674238B2 - リードフレームの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路装置等に用いるリードフレームの製造方法に係わり、特に、板厚が薄く、ピン数の多い、多ピンリードフレームの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路装置等に用いるリードフレームの製造手段の一つに、フォトエッチング法があげられる。すなわち、金属素材1の両面にフォトレジスト液を塗布後、レジスト液の乾燥、また必要によりプレベーク等を行い、図7(a)に示すように、フォトレジスト膜(以下、単にレジスト膜2と記す)を形成する。次いで、図7(b)に示すように、所定のパターンを有する露光用パターンマスク3を介し、前記レジスト膜2にパターン露光を行う。露光用パターンマスクは、表面用および裏面用の二枚のパターンマスク3a、3bを用いるものであり、各々のパターンマスクを金属素材1の表裏に密着したうえで、光照射を行うものである。
【0003】
次いで、金属素材1に現像、硬膜処理等を行い、図7(c)に示すように、所定のパターンに従って金属素材1を露出する開孔パターンをレジスト膜2に形成する。なお、図7の例においては、ネガ型(光硬化型)のレジスト膜としており、露光用パターンマスク3の遮光パターンに相対したレジスト膜2部位に開孔パターンが形成されるものである。
次いで、金属素材1の両面よりエッチングを行い、レジスト膜2より露出した金属素材部位を選択的に溶解除去することでエッチングパターンを形成し、図7(d)を得る。なお、エッチングは、液温50〜55℃、ボーメ濃度47±0.2 °Be’の塩化第二鉄液をエッチング液として用い、スプレー圧 2.0 Kgf/cm2 程度のスプレーエッチングとすることが一般的といえる。
【0004】
次いで、レジスト膜2を剥膜し、不要な金属素材部位の断裁除去等の、所定の後加工工程を行い図7(e)に示すリードフレーム4を得る。フォトエッチング法を用いたリードフレームの製造方法では、以上の工程を少なくとも有するものである。
【0005】
今日、リードフレームは、多ピン化が進んでおり、そのピン数は 200ピン以上のものが要求される場合が多い。
しかし、半導体集積回路装置の大きさは、半導体集積回路装置を組み込む最終製品の小型化が進んでいるため大きくできず、必然的にリードフレームの大きさも大きくすることができない。そのため、リードフレームの多ピン化を行うにあたり、リードのピッチ(リードの中心から隣り合うリードの中心までの距離)、特にインナーリードのピッチが狭くなっているものである。例えば、板厚0.15mmの金属素材を用いて 200ピン以上のリードフレームを製造した場合、インナーリードのピッチは、0.22mm以下が要求されるものである。
【0006】
一方、半導体集積回路装置を得るにあたり、リードフレームに半導体集積回路チップをリードフレームに載置し、半導体集積回路チップの各接続用パッドと相対する各インナーリードとの電気的接続を行うものである。その際、金属性(例えば、金)の細線ワイヤーにて電気的接続を行う、いわゆるワイヤーボンディングを行うものである。ワイヤーボンディングを行うにあたり、ワイヤーを安定して接続するためには、インナーリードのボンディング部位の幅をある程度広くする必要がある。そのため、インナーリードのボンディング部位の幅を、0.10mm程度以上にすることが要求されるものである。なお、以下、リードフレームのワイヤーボンディングを行う面側を表面6、反対面側を裏面7と記す。
【0007】
従来、多ピン化のため、インナーリードを狭ピッチ、かつ、インナーリードのボンディング部位の幅を0.10mm以上とするリードフレーム4においては、図7(e)に示すように、ワイヤーボンディングを行う部位におけるインナーリード面、すなわちインナーリード5の表面6の幅を、ボンディングに必要な0.10mm以上とした場合、裏面7の幅は表面より狭くなっていたものである。
【0008】
すなわち、フォトエッチング法にてリードフレームを製造するにあたり、前述したように、金属素材1面に所定の開孔部パターンを有するレジスト膜2を形成したうえで、金属素材1にエッチングを行うものである。このエッチングの際、レジスト膜2の開孔部から等方的に金属素材1にエッチングがなされる、すなわち、レジスト膜2の開孔部近傍の金属素材にサイドエッチングが生じつつ、金属素材1の表裏両面に各々凹部が形成される。エッチングが進行するにつれ、この表裏の凹部が拡大し結合することで金属素材1が貫通し、最終的に隣接するリードと分離したリードが得られるものである。
【0009】
このため、インナーリードを狭ピッチ、かつ、インナーリード表面の幅を広くするには、インナーリード表面6のエッチング量を小さく、かつ、裏面7のエッチング量を大きくしていたものである。
【0010】
なお、表裏面のエッチング量を変える手段として、金属素材1の表裏面にスプレーするエッチング液の量を変える方法があげられる。すなわち、図6の例に示すように、金属素材1の両面側に設けた複数のスプレーノズル9よりエッチング液を噴射し、搬送される金属素材1にエッチングを行う際、金属素材1の表面6側のスプレーノズル9の内、前半部のスプレーノズル9を閉とし、後半部のスプレーノズル9を開とする。裏面7側のスプレーノズル9は、全て開とする方法である。なお図7の例では、金属素材1は、開孔部を有するレジスト膜2が形成されており、表面6を上にして、搬送用ローラー10等の搬送手段にて図面上左から右に搬送されている。
【0011】
これにより、インナーリード表面6側のサイドエッチング量が少なくなり、インナーリード先端近傍における表面6の幅を広くすることができる。また、インナーリード裏面7側はエッチング量が大きいためサイドエッチング量が大きくなり、リード間が狭ピッチであっても、リード同志の分離がなされるものである。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
上述した図7(e)に示すように、従来のリードフレームにおいては、インナーリード5の先端近傍の表面6で幅が広く、裏面7で幅が狭いものであった。
このため、半導体集積回路装置を得るべく、リードフレームにワイヤーボンディングを行う際、ボンディング不良が発生していたものである。
【0013】
すなわち、ワイヤーボンディングを行う際、例えば 230〜 250℃程度の温度としたヒータープレート11上にリードフレームを、表面6を上にして載置し、クランプ等にて固定した後、金属細線を有するワイヤーボンディング用ヘッダー8をインナーリード先端近傍に押し当て、金属細線をインナーリードに接合させるものである。なお、この時、接合部に超音波照射を行い、金属細線とインナーリードとの接合を助ける場合もある。
【0014】
ワイヤーボンディング用ヘッダー8とインナーリードとが接触した際、インナーリードがワイヤーボンディング用ヘッダー8に押されるものである。
従来のリードフレームでは、上述したように、インナーリード先端近傍の裏面7の幅が狭くなっている。すなわち、インナーリード5の安定性が悪いといえ、図2に示すように、ワイヤーボンディング用ヘッダー8にて上から押された場合、インナーリード5が傾く、いわゆる転び現象が起こるものである。ワイヤーボンディング時にインナーリードが転んだ場合、ワイヤーボンディング用ヘッダー8が正しくインナーリード表面6に接触することができず、これがため、ボンディング不良が発生していたものである。
【0015】
本発明は、上述した問題に鑑みなされたものであり、ワイヤーボンディング時に、ワイヤーボンディング用ヘッダーにて押されてもインナーリードが転ばないリードフレームの製造方法を提供することで、品質の良い半導体集積回路装置を得ることを目的とするものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、金属薄板の表裏両面にフォトレジスト膜を形成する工程と、所定のパターンを有する表裏面用の2枚の露光用パターンマスクを用い、前記表裏両面のフォトレジスト膜に各々所定のパターンを露光後、現像を行い、所定のパターンに従って金属素材を露出したフォトレジスト膜とする工程と、両面側に設けた複数のスプレーノズルよりエッチング液を噴射して前記金属素材にエッチングを行い、エッチングパターンを形成する工程と、前記フォトレジスト膜を剥膜する工程とを少なくとも有する、フォトエッチング法を用いた、複数のインナーリードとインナーリードに延在するアウターリードとを少なくとも有するリードフレームの製造方法において、リードフレームのワイヤーボンディングを行う面側を表面、反対面側を裏面とし、リードフレーム裏面側に形成したフォトレジストパターンのインナーリード先端部近傍のフォトレジストパターンの幅を、相対する表面側に形成したフォトレジストパターンの幅より太くし、かつ、液温80±5℃、ボーメ濃度48±0.2°Be’の塩化第二鉄液を液圧5.0〜6.0Kgf/cm2にてスプレーし、かつ表面側のスプレーノズルの最前部は閉とし残りのノズルは開としてエッチングを行い、インナーリード先端部近傍の裏面の「エッチングしろ」を、表面の「エッチングしろ」より多くすることで、各インナーリード先端部近傍の裏面の幅を、金属細線にて半導体集積回路チップとワイヤーボンディングが行われる表面の幅と同等以上にしたことを特徴とするリードフレームの製造方法としたものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明のリードフレームの一実施例を、以下の図面に基づき説明を行う。
【0019】
図1の例は、本発明のリードフレームにおける、インナーリード先端部近傍の断面図を示している。
本発明のリードフレームの特徴は、図1に示すように、インナーリード5の先端部近傍、特にワイヤーボンディングを行う部位の裏面7の幅を広くしている。
さらにいえば、裏面7の幅を表面6と同等以上とするものである。
ちなみに、図1の例に示すリードフレームは、板厚0.15mmの鉄−ニッケル合金を金属素材とする、 208ピンのリードフレームであり、インナーリード先端部のピッチを0.22mmとし、ワイヤーボンディングを行うインナーリード先端部近傍の表面の幅を 0.1mm程度とし、また、裏面の幅を、表面と同じく 0.1mm程度としている。
【0020】
図1の例に示すリードフレームとすることで、ワイヤーボンディングを行うインナーリード5の先端部近傍は安定性が良くなり、ワイヤーボンディング時に、ワイヤーボンディング用ヘッダー8にてインナーリード5が押されても、インナーリード5の転びを防止できる。
このため、ワイヤーボンディング用ヘッダー8とインナーリード表面6とが正しく接触でき、ボンディング不良が防止できる。
【0021】
次いで、上述した本発明のリードフレームを製造する方法につき、以下に、製造工程を模式的に示す図3(a)〜(e)に従って説明する。なお、図3は、ワイヤーボンディングが行われるインナーリード5の先端近傍の断面を示している。
図3(a)に示す金属素材1は、板厚0.15mmの鉄−ニッケル合金(ニッケル42重量%、残部鉄とした42合金)であり、金属素材1両面へのフォトレジスト液の塗布、次いで乾燥、プレベーク等を行い、ネガ型のレジスト膜2を形成している。
【0022】
次いで、図3(b)に示すように、所定のパターンを有する露光用パターンマスク3を介し、レジスト膜2にパターン露光を行う。露光用パターンマスク3には、表面6用のパターンマスク3aおよび裏面7用のパターンマスク3bの二枚を用いるものであり、金属素材1のインナーリード5となる部位と相対するマスク部位を光透過部としている。パターン露光は、各々のマスクを金属素材1の表裏に密着したうえで、光照射を行う。
【0023】
ここで、後述するように、リードフレームの裏面7となる側に形成したレジストパターンのインナーリード先端部近傍のパターンの幅を、相対する表面6側に形成したレジストパターンの幅より太くするものである。このため、裏面用露光用パターンマスク3bの光透過部の幅を、表面用露光用パターンマスク3aの光透過部の幅より太くしている。
【0024】
パターン露光後、金属素材1に現像を行い、未露光未硬化のレジスト膜2部位を溶解除去し、図3(c)に示すように、表裏にレジストパターンを有する金属素材1を得る。
【0025】
なお、金属素材1の表裏に形成するレジストパターン幅は、エッチングの際のサイドエッチング量を考慮し、エッチング後に形成されるリード幅より太くしているものである。通常、リード幅とレジストパターン幅との差分を「エッチングしろ」と呼称しているが、本実施例では、インナーリード先端部近傍の裏面の「エッチングしろ」を、表面の「エッチングしろ」より多くとっている。
通常、インナーリード先端部近傍の表面の「エッチングしろ」を80〜 120μm程度としているが、本実施例では、裏面の「エッチングしろ」を、表面の「エッチングしろ」より10〜15μm程度大きくしてる。すなわち、表面の「エッチングしろ」を80μmとした場合、裏面の「エッチングしろ」は90〜95μmとしたものである。
【0026】
次いで、レジストパターンを形成した金属素材1にエッチングを行い、図3(d)を得る。ここで、図3(d)の部分拡大図である図4に示すk部、l部、m部、n部のレジスト膜2部位が、上述した「エッチングしろ」にあたり、表面6の「エッチングしろ」とは、k部とl部を加えた部位であり、また、裏面7の「エッチングしろ」とは、m部とn部を加えた部位である。
【0027】
本発明の特徴として、エッチングの際、液温80±5 ℃、ボーメ濃度48±0.2 °Be’の塩化第二鉄液を液圧 5.0〜 6.0 Kgf/cm2 にてスプレーする、高温、高圧、高比重のエッチング液を用いたエッチングとしている。
また、エッチングの際、図5の例に示すように本実施例でも、金属素材1の両面側に設けた複数のスプレーノズル9よりエッチング液を噴射するが、表面6側のスプレーノズル9の内、例えば最前部のスプレーノズル9を閉とし、残りのスプレーノズル9を開としている。また、裏面7側のスプレーノズル9は全て開としており、金属素材1の表裏面へのエッチング量は略同一としている。
【0028】
高温高圧エッチングとすることで、金属素材1には速やかにエッチングが行われ、サイドエッチングの量が小さくなる。しかも、エッチング深度が大きくなり、狭ピッチにて隣接するリード同志の分離も可能となる。また、金属素材1面に形成するレジストパターンを上記の構成とすることで、インナーリード裏面7のサイドエッチングが小さくなり、インナーリード裏面7の幅が、表面6の幅と同等もしくは広くなるものである。
【0029】
次いで、エッチング後の金属素材1に対し、従来通り、レジスト膜2の剥膜を行った後、不要な金属素材部の断裁除去等の所定の後加工工程を行い、図3(e)に示す本発明のリードフレーム4を得たものである。
【0030】
上述した実施例では、ワイヤーボンディングを行うインナーリード5の先端部近傍の、表面6の幅が約 0.106mm、裏面7の幅が約 0.109mm、また、インナーリード先端部近傍におけるリード間のスリットが約 0.089mmとなったリードフレーム、すなわち、図1に示すリードフレームが得られた。
本実施例で得たリードフレームに、従来通り、半導体集積回路チップを載置した後、ボンディング用ヘッダー8にてワイヤーボンディングを行ったが、ボンディング時に発生するインナーリード5の傾きによるボンディング不良は認められなかった。
【0031】
以上、本発明の実施の形態例につき記述したが、本発明の実施の形態は、上述した記述および図面に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形を行っても構わないことは言うまでもない。
【0032】
【発明の効果】
本発明のリードフレームの製造方法に係るリードフレームにおいては、インナーリード先端部近傍の裏面の幅を、表面の幅と同等以上に広くしている。このため、インナーリード先端部近傍の安定性が良くなり、ワイヤーボンディング時に、ワイヤーボンディング用ヘッダーにてインナーリード表面が押されても、インナーリードの転びが発生せず、インナーリードの転びに起因するボンディング不良が防止でき、品質の良い半導体集積回路装置を得ることが出来る。
【0033】
また、本発明のリードフレームの製造方法に係るリードフレームによれば、インナーリード先端部近傍の表面が、ワイヤーボンディングに必要な幅となり、かつ、裏面の幅を表面の幅と同等以上に広くしても、狭ピッチにてリード同志の分離がなされたリードフレームが得られる。
【0034】
さらに、本発明のリードフレームの製造方法では、エッチング中の金属素材の蛇行が防止でき、品質の良いリードフレームが得られるという新たな効果も得られるものである。
すなわち、(従来の技術)の項で記した図6に示すように、従来のリードフレームの製造においては、表裏面のエッチング量を変えるため、表面6側のスプレーノズル9の内、前半部のスプレーノズルを閉としていたものである。
すなわち、前半部のスプレーノズル9を閉とした部位においては、裏面7側からのスプレー圧によって搬送中の金属素材1が浮き上がり蛇行を生じるものである。このため、金属素材1裏面に当たるエッチング液の量が金属素材1部位によって異なる等、所望するエッチング精度が得られない等の問題が生じていたものである。
しかるに、本発明のリードフレームの製造方法では、金属素材の表裏に略同等のエッチングを行うものであり、表面6側で閉とするスプレーノズル9の数を従来より大幅に減らしているものである。このため、表裏のエッチング液の圧力差による金属素材1の蛇行が生じず、精度の高い品質の良いリードフレームが得られる。
【0035】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリードフレームの一実施例の要部を示す断面図。
【図2】従来のリードフレームへのワイヤーボンディング時に発生する転びの例を示す説明図。
【図3】(a)〜(e)は本発明のリードフレームの製造方法の実施例を工程順に示す説明図。
【図4】レジスト膜につける「エッチングしろ」の一例を示す説明図。
【図5】本発明のリードフレームの製造方法におけるエッチング工程の例を示す説明図。
【図6】従来のリードフレームの製造方法におけるエッチング工程の例を示す説明図。
【図7】(a)〜(e)は従来のリードフレームの製造方法の一例を工程順に示す説明図。
【符号の説明】
1 金属素材
2 レジスト膜
3 パターンマスク
4 リードフレーム
5 インナーリード
6 表面
7 裏面
8 ボンディング用ヘッダー
9 ノズル
10 搬送用ローラー
11 ヒータープレート
Claims (1)
- 金属薄板の表裏両面にフォトレジスト膜を形成する工程と、所定のパターンを有する表裏面用の2枚の露光用パターンマスクを用い、前記表裏両面のフォトレジスト膜に各々所定のパターンを露光後、現像を行い、所定のパターンに従って金属素材を露出したフォトレジスト膜とする工程と、両面側に設けた複数のスプレーノズルよりエッチング液を噴射して前記金属素材にエッチングを行い、エッチングパターンを形成する工程と、前記フォトレジスト膜を剥膜する工程とを少なくとも有する、フォトエッチング法を用いた、複数のインナーリードとインナーリードに延在するアウターリードとを少なくとも有するリードフレームの製造方法において、
リードフレームのワイヤーボンディングを行う面側を表面、反対面側を裏面とし、リードフレーム裏面側に形成したフォトレジストパターンのインナーリード先端部近傍のフォトレジストパターンの幅を、相対する表面側に形成したフォトレジストパターンの幅より太くし、かつ、液温80±5℃、ボーメ濃度48±0.2°Be’の塩化第二鉄液を液圧5.0〜6.0Kgf/cm2にてスプレーし、かつ表面側のスプレーノズルの最前部は閉とし残りのノズルは開としてエッチングを行い、インナーリード先端部近傍の裏面の「エッチングしろ」を、表面の「エッチングしろ」より多くすることで、各インナーリード先端部近傍の裏面の幅を、金属細線にて半導体集積回路チップとワイヤーボンディングが行われる表面の幅と同等以上にしたことを特徴とするリードフレームの製造方法。
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