JPH1148439A - フィルム張付方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層体フィルムを基板に張り付ける際に、そ
の幅方向中央領域にしわや気泡が発生することを防止す
る。 【解決手段】 フィルム張付装置１０において、積層体
フィルム１４の感光性樹脂層１４Ｂを露出して基板２０
に張り付ける際に、ラミネーションロール２２Ａの入側
位置に配置された横方向引張装置２４によって、積層体
フィルムの幅方向中央領域を幅方向両外側に引張り、ラ
ミネーションロール２２Ａ、２２Ｂによって基板２０に
張り付けられたとき、該幅方向中央領域が過剰に加熱さ
れても気泡やしわが発生しないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、支持フィルム（通常はポリエス
テルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接又は介
在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカ
バーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバ
ーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パ
ターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び
前記支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露
光する。次いで、支持フィルムを剥した後、露光された
感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形
成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングに
より除去し、これにより、所定の配線パターンを有する
プリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラ
ズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で
同様の積層体フィルムが張付けられる。

【０００３】上記のような積層体フィルムを張り付ける
ためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから
連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送
手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム
張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネ
ーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続
的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連
続張りタイプのものがある。

【０００４】又、フィルムロールから巻き出した積層体
フィルムを、対応する基板の長さに応じて切断し、切断
された各積層体フィルムの先端を基板の先端に仮付けし
て、ラミネーションロール間に通して積層体フィルムを
基板に張り付けるようにしたものがある。

【０００５】ここで、近年、液晶表示装置あるいはプラ
ズマ表示装置は非常に大型化し、特にプラズマ表示装置
の場合、５０インチサイズのパネルが主力となってい
る。

【０００６】又、基板上に形成されるパターンは、高精
細化が要求され、高い解像度でパターンを焼き付けるた
めには、感光性樹脂層を被う支持フィルムをできるだけ
薄くする必要がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように基板を大
型化し、且つ支持フィルムを薄くすると、基板に積層体
フィルムを張り付けた状態で、該基板の幅方向中央部に
基板送り方向の筋や気泡が発生し易くなるという問題点
を生じる。

【０００８】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、大型の基板に積層体フィルムを張
り付ける場合に、基板幅方向中央部位置にフィルムにし
わや気泡が発生しないようにしたフィルム張付方法及び
装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
のように、少なくとも支持フィルムと感光性樹脂層とを
積層してなる積層体フィルムを、前記感光性樹脂層を露
出させてから、基板搬送面上を搬送されてくる基板のフ
ィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給
し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに挟み込
んで送りをかけ、基板に積層体フィルムを張り付けるよ
うにしたフィルム張付方法において、前記積層体フィル
ムに、フィルム送り方向の引張力を与えると共に、前記
ラミネーションロール入側で、前記積層体フィルムにお
ける支持フィルムの表面にその幅方向中心領域を幅方向
両外側に引張る引張力を与えた状態で、前記ラミネーシ
ョンロール間に送り込むようにして、上記目的を達成す
るものである。

【００１０】請求項２のように、前記引張力を、前記積
層体フィルムに横方向のしわが発生する限界よりもわず
かに小さくするようにしてもよい。

【００１１】本装置発明は、請求項３のように、少なく
とも支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してなる積層
体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供給源
と、基板搬送面に沿って基板を搬送する基板搬送手段
と、前記透光性支持フィルムを、前記感光性樹脂層が基
板搬送面に向くようにして前記基板とを重ねて挟み込み
つつ送りをかけるラミネーションロールとを、有してな
り、搬送されてくる基板に前記積層体フィルムを張り付
けるフィルム張付装置において、前記ラミネーションロ
ール入側位置に、前記積層体フィルムにおける支持フィ
ルムの表面の幅方向中心領域を幅方向両外側に引張ると
共に、該引張力を調節自在とされた横方向引張装置を設
けて、上記目的を達成するものである。

【００１２】請求項４のように、前記横方向引張装置は
前記支持フィルムの表面の幅方向中心線から、フィルム
送り方向上流側から見て、左側の領域に回転自在に接触
する左側ロールと、右側の領域に回転自在に接触する右
側ロールと、を有してなり、これら左側及び右側ロール
は左右対称であり、フィルム幅方向の位置不変となるよ
うに装置本体側に支持され、且つ、各々の前記幅方向中
心線側の端部が、幅方向外側の端部よりもフィルム送り
方向下流となるように回転中心軸が傾斜して配置するよ
うにしてもよい。

【００１３】更に、請求項５のように、前記横方向引張
装置は一方のラミネーションロールに巻き掛けられてい
る前記積層体フィルムの表面に、その幅方向中心線から
幅方向両側に向けて斜めに加圧気体を吹き付ける気体吹
き付け装置を含んで構成するようにしてもよい。

【００１４】又、請求項６のように、前記横方向引張装
置は前記ラミネーションロールの入側近傍にこれと平
行、且つ、前記積層体フィルムが巻き掛けられるように
配置された逆クラウンロールを含んでなり、該逆クラウ
ンロールは、前記積層体フィルムの幅方向中央領域に接
触する中央部のフィルム幅方向両外側に他の部分よりも
外径が大きい２つのクラウン部を有するようにしてもよ
い。

【００１５】この発明によれば、ラミネーションロール
によって積層体フィルムが基板に張り付けられる直前
に、該積層体フィルムを幅方向両外側に引張って予め積
層体フィルムの幅方向中心領域を引き伸ばしておくの
で、ラミネーションロールに押圧されたときに、幅方向
中央部領域に積層体フィルムの幅方向余剰部分が発生す
ることがなく、従って、基板への張付け後に縦方向のし
わや気泡が発生することがない。

【００１６】この発明は、積層体フィルムの幅方向中央
領域が、ラミネーションロールによって加熱され易く、
且つ該ラミネーションロールの対応する部分によるフィ
ルム圧着力が、その幅方向両側よりも小さくなることに
よって、積層体フィルムの幅方向中央領域が熱により膨
脹したとき、その両外側に吸収されることがなく、その
まま押圧されることが、しわや気泡の原因となるという
知見に基づくものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して説明する。

【００１８】この発明に係るフィルム張付装置１０は、
図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルム
ロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層
体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後
述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した
後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されて
くる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に
上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通
して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するものであ
り、積層体フィルム１４は、前記ラミネーションロール
２２Ａ、２２Ｂの入側近傍位置において、横方向引張装
置２４により、カバーフィルム１４Ｃが剥離された支持
フィルム１４Ａ及び感光性樹脂層１４Ｂの幅方向中心領
域１５を幅方向両外側に引張るようにされている。

【００１９】前記積層体フィルム１４は、図２に示され
るように、透光性支持フィルム１４Ａ、この支持フィル
ム１４Ａに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この
感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム
１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２か
ら連続的に巻き出されるようになっている。支持フィル
ムは透光性であってもよく、ここで「透光性」とは、感
光性樹脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即
ち、可視光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できるこ
とを意味する。

【００２０】前記カバーフィルム剥離装置１６は、分離
部材１６Ａを経て感光性樹脂層１４Ｂから引き剥がした
カバーフィルム１４Ｃを巻き取りロール１６Ｂによって
巻き取るようにされている。

【００２１】前記基板搬送装置１８は、複数の搬送ロー
ラを含んで構成され、各搬送ローラの上面によって構成
される基板搬送面１８Ａが、前記一対のラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂにおける下側のラミネーションロ
ール２２Ｂの上端に接して通過するように配置されてい
る。

【００２２】ラミネーションロール２２Ａは、ロール開
閉装置２６によって「開」状態で待機され、基板２０の
先端から後端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間
を通過するとき、「閉」位置にロール開閉装置２６によ
って駆動され、基板２０と、カバーフィルム１４Ｃが剥
離された積層体フィルム１４とを挟み込むようにされて
いる。

【００２３】前記横方向引張装置２４は、図３に示され
るように、前記上側のラミネーションロール２２Ａの入
側近傍に配置され、積層体フィルム１４における透光性
支持フィルム１４Ａの表面の幅方向中心領域１５の、フ
ィルム送り方向上流側から見て、左側の領域に回転自在
に接触する左側ロール２８と、右側の領域に回転自在に
接触する右側ロール３０と、を有し、且つ、一定の接触
角をもって積層体フィルム１４が巻き掛けられるように
構成されている。

【００２４】前記左側及び右側ロール２８、３０は、透
光性支持フィルム１４Ａの幅方向中心領域１５に対して
左右対称に配置され、フィルム幅方向の位置不変となる
ように装置本体（全体図示省略）側に支持され、且つ、
各々の前記幅方向中心領域１５側の端部が、反対側の端
部よりも、フィルム送り方向下流となるように回転中心
軸２８Ａ、３０Ａが傾斜して配置されている。

【００２５】図１の符号３４Ａ、３４Ｂは、ラミネーシ
ョンロール２２Ａ、２２Ｂの出側であって、支持フィル
ム剥離装置２４の上流側で、積層体フィルム１４及び基
板２０を挟み込むことができるようにされたピンチロー
ルを示す。上側のピンチロール３４Ａは、下側のピンチ
ロール３４Ｂに対して離接自在とされている。

【００２６】次に、上記フィルム張付装置１０によっ
て、積層体フィルム１４を基板２０に連続的に張り付け
る工程について説明する。

【００２７】まず、フィルムロール１２から積層体フィ
ルム１４の先端を巻き出し、その先端からカバーフィル
ム１４Ｃを剥離して、分離部材１６Ａを介して巻き取り
ロール１６Ｂに巻き取り可能な状態にセットする。

【００２８】一方、カバーフィルム１４Ｃを剥離した支
持フィルム１４Ａは、「開」状態のラミネーションロー
ル２２Ａ、２２Ｂの間を通して、先端をピンチロール３
４Ａ、３４Ｂ間に挟み込んでセットする。

【００２９】又、上側のラミネーションロール２２Ａ入
側近傍位置で、前記横方向引張装置２４における左側及
び右側ロール２８、３０を、支持フィルム１４Ａに接触
するように巻き掛けて配置する。

【００３０】この状態で、フィルム張付装置１０の運転
を開始し、基板搬送装置１８により、基板２０を順次ラ
ミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ方向に送り込む。

【００３１】図１に実線で示されるように、基板２０が
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ方向に送り込まれ
ると、基板２０の先端がラミネーションロール２２Ａ、
２２Ｂの位置に到達したとき、上側のラミネーションロ
ール２２Ａはロール開閉装置２６によって「閉状態」と
なり、基板２０及び支持フィルム１４Ａがラミネーショ
ンロール２２Ａ、２２Ｂ間に挟み込まれ、圧着されつ
つ、図１において右方向に送られる。

【００３２】前記支持フィルム１４Ａは、ラミネーショ
ンロール２２Ａの入側において、横方向引張装置２４に
おける左側及び右側ロール２８、３０に接触する際に、
これら左側及び右側ロール２８、３０によって、幅方向
中心領域１５から左右両外側方向に引張力を受ける。

【００３３】即ち、図３に示されるように、装置本体側
に回転自在に固定されている左側及び右側ロール２８、
３０に接触すると、これら左側及び右側ロール２８、３
０を回転させるが、このとき、前述の如く、回転中心軸
２８Ａ、３０Ａが左右対称に且つ、幅方向中心領域１５
側の端部が幅方向両外側の端部よりもフィルム送り方向
下流側になるように傾斜されているので、回転の際に、
図３において符号２８Ｂ、３０Ｂで示されるように、幅
方向中心領域１５から幅方向両外側に向かう幅方向分力
が発生し、これらが支持フィルム１４Ａを幅方向中心領
域１５から左右両外側に引張力を与えることになる。

【００３４】支持フィルム１４Ａは、横方向引張装置２
４によって幅方向両外側に引張られ、その幅方向中心領
域１５が引張力によって引き伸ばされた状態で、一対の
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に送り込まれる
ことになる。

【００３５】従って、ラミネーションロール２２Ａ、２
２Ｂからの熱によって膨脹しても、該幅方向中心領域が
幅方向に過剰に伸びてしわを発生したり、気泡の原因と
なることがない。

【００３６】ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出
側位置では、通常、各基板２０間の位置で積層体フィル
ム１４を切断して各基板２０を分離するか、又は基板２
０から連続的に支持フィルム剥離装置（図示省略）等に
より剥離する。

【００３７】上記実施の形態の例においては、横方向引
張装置２４は、左側ロール２８及び右側ロール３０から
構成したものであるが、本発明はこれに限定されるもの
でなく、感光性樹脂層１４Ｂが剥がされた積層体フィル
ム１４をラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側近
傍位置で幅方向両外側に引張るようにするものであれば
よい。

【００３８】従って、例えば図４に示されるように、上
側のラミネーションロール２２Ａに巻き掛けられている
積層体フィルム１４の、感光性樹脂層１４Ｂ側の表面
に、幅方向中心領域１５から幅方向両外側に向けて斜め
に加圧気体を吹き付ける気体吹き付け装置３２としても
よい。

【００３９】この場合、気体吹き付け装置３２における
気体を噴出するためのノズルは、左右対称に配置する。
又、吹き付ける気体は、圧力空気、窒素ガス、炭酸ガス
等であって、感光性樹脂層１４Ｂと化学的変化を生じな
いようにするものであればよい。

【００４０】この実施の形態の例の場合は、吹き付ける
気体によって支持フィルム１４Ａ及び感光性樹脂層１４
Ｂを冷却することができるので、ラミネーションロール
２２Ａ、２２Ｂからの熱的影響をより低減させることが
できる。

【００４１】又、横方向引張装置２４は、例えば、図５
に示されるように、逆クラウンロール３４としてもよ
い。

【００４２】この逆クラウンロール３４は、前記ラミネ
ーションロール２２Ａの入側近傍にこれと平行、且つ、
前記積層体フィルム１４が巻き掛けられるように配置さ
れたものであり、前記積層体フィルム１４の幅方向中央
領域１５に接触する中央部に対して、フィルム幅方向両
外側に他の部分よりも外径が大きい２つのクラウン部３
６Ａ、３６Ｂを形成したものである。

【００４３】このように、幅方向中央領域１５の両外側
に２つのクラウン部３６Ａ、３６Ｂを形成すると、これ
に巻き掛けられた積層体フィルム１４が、ベルト伝動に
おけるベルトがプーリのリムが高い方に移動する力を受
けると同様の原理によって、該クラウン部３６Ａ、３６
Ｂ方向に移動し、これによって積層体フィルム１４の幅
方向中央領域１５が幅方向両側に引張られることにな
る。

【００４４】なお、実際に積層体フィルム１４を基板２
０に張り付ける際には、横方向引張装置による横方向へ
の引張力を縦方向の引張力との比において最適値に調整
する。

【００４５】この場合、横方向引張装置２４において
は、左側及び右側ロール２８、３０の回転中心軸２８
Ａ、３０Ａの傾斜角度及び／又は積層体フィルム１４の
巻掛け角度を調整し、気体吹き付け装置３２において
は、加圧気体の圧力を調整し、又逆クラウンロール３４
においては、クラウン部３６Ａ、３６Ｂの高さを調整す
ることによって行う。

【００４６】なお、上記各実施の形態の例は、いわゆる
連続張りタイプについてのものであるが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、積層体フィルムを基板長に応
じて切断してから基板に張り付ける場合にも適用される
ものである。

【００４７】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、ラ
ミネーションロールによって積層体フィルムが基板に張
り付けられる直前に、該積層体フィルムの幅方向中央領
域を幅方向両外側に引張力を与えることにより、ラミネ
ーションロールから過剰な熱を受けても、該幅方向中央
領域が過剰に幅方向に伸びてしわや気泡の原因となった
りすることがないという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装
置を示す略示側面図

【図２】同フィルム張付装置によって基板に張り付けら
れる積層体フィルムを拡大して示す断面図

【図３】同フィルム張付装置における横方向引張装置と
積層体フィルムとの関係を示す平面図

【図４】横方向引張装置を気体吹き付け装置によって構
成した実施の形態の例を示す略示平面図

【図５】横方向引張り装置を逆クラウンロールによって
構成した実施の形態の例を示す正面図

【符号の説明】

１０…フィルム張付装置 １２…フィルムロール １４…積層体フィルム １４Ａ…透光性支持フィルム １４Ｂ…感光性樹脂層 １４Ｃ…カバーフィルム １５…幅方向中心領域 １６…カバーフィルム剥離装置 １８…基板搬送装置 １８Ａ…基板搬送面 ２０…基板 ２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール ２４…横方向引張装置 ２８…左側ロール ３０…右側ロール ２８Ａ、３０Ａ…回転中心軸 ２８Ｂ、３０Ｂ…横方向分力 ３２…気体吹き付け装置 ３４…逆クラウンロール ３６Ａ、３６Ｂ…クラウン部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも支持フィルムと感光性樹脂層と
   を積層してなる積層体フィルムを、前記感光性樹脂層を
   露出させてから、基板搬送面上を搬送されてくる基板の
   フィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給
   し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに挟み込
   んで送りをかけ、基板に積層体フィルムを張り付けるよ
   うにしたフィルム張付方法において、 前記積層体フィルムに、フィルム送り方向の引張力を与
   えると共に、前記ラミネーションロール入側で、前記積
   層体フィルムにおける支持フィルムの表面にその幅方向
   中心領域を幅方向両外側に引張る引張力を与えた状態
   で、前記ラミネーションロール間に送り込むことを特徴
   とするフィルム張付方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記引張力を、前記積
   層体フィルムに横方向のしわが発生する限界よりわずか
   に小さくすることを特徴とするフィルム張付方法。
3. 【請求項３】少なくとも支持フィルム及び感光性樹脂層
   を積層してなる積層体フィルムを帯状に連続的に供給す
   るフィルム供給源と、基板搬送面に沿って基板を搬送す
   る基板搬送手段と、前記支持フィルムを、前記感光性樹
   脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板とを重ねて
   挟み込みつつ送りをかけるラミネーションロールとを、
   有してなり、搬送されてくる基板に前記積層体フィルム
   を張り付けるフィルム張付装置において、 前記ラミネーションロール入側位置に、前記積層体フィ
   ルムにおける透光性支持フィルムの表面の幅方向中心領
   域を幅方向両外側に引張ると共に、該引張力を調節自在
   とされた横方向引張装置を設けたことを特徴とするフィ
   ルム張付装置。
4. 【請求項４】請求項３において、前記横方向引張装置
   は、前記支持フィルムの表面の幅方向中心線から、フィ
   ルム送り方向上流側から見て、左側の領域に回転自在に
   接触する左側ロールと、右側の領域に回転自在に接触す
   る右側ロールと、を有してなり、これら左側及び右側ロ
   ールは左右対称であり、フィルム幅方向の位置不変とな
   るように装置本体側に支持され、且つ、各々の前記幅方
   向中心線側の端部が、幅方向外側の端部よりもフィルム
   送り方向下流となるように回転中心軸が傾斜して配置さ
   れたこと特徴とするフィルム張付装置。
5. 【請求項５】請求項３において、前記横方向引張装置
   は、一方のラミネーションロールに巻き掛けられている
   前記積層体フィルムの表面に、その幅方向中心線から幅
   方向両側に向けて斜めに加圧気体を吹き付ける気体吹き
   付け装置を含んで構成されたこと特徴とするフィルム張
   付装置。
6. 【請求項６】請求項３において、前記横方向引張装置
   は、前記ラミネーションロールの入側近傍にこれと平
   行、且つ、前記積層体フィルムが巻き掛けられるように
   配置された逆クラウンロールを含んでなり、該逆クラウ
   ンロールは、前記積層体フィルムの幅方向中央領域に接
   触する中央部のフィルム幅方向両外側に他の部分よりも
   外径が大きい２つのクラウン部を有することを特徴とす
   るフィルム張付装置。