KR100763428B1 - 감광층 전사장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

감광층을 유리기판에 효율좋게 전사한다.
적층체 필름(40)을 열압착롤러쌍(35)에 의해서 유리기판(22)에 열압착한다. 엽압착롤러쌍(35)의 유리기판(22)의 출구측에 냉각부(15)를 배치한다. 냉각부 (15)에서 유리기판(22)에 대해서 냉풍을 내뿜고, 유리기판(22)을 냉각한다. 냉각 후의 유리기판(22)으로부터 적층체 필름(40)의 베이스 필름(40b)을 연속해서 박리한다. 박리한 베이스 필름(40b)을 회수축(56a)에 권취한다. 열압착한 후에 냉각부 (15)에서 유리기판(22)을 냉각하고, 유리기판(22)으로부터 베이스 필름(40b)을 연속해서 박리하는 것이므로, 효율좋게 감광층(40a)을 유리기판(22)에 전사할 수 있다. 적층체 필름(40)을 절단할 필요가 없게 된다. 절단 부스러기의 발생이 없고, 절단 부스러기에 기인하는 제품결함의 발생이 억제된다.

Description

감광층 전사장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF TRANSFERRING PHOTOSENSITIVE LAYER}
도 1은, 본 발명을 실시한 감광층 전사장치의 전체구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는, 예비가열부의 기판반송부의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 3은, 열압착부, 냉각부, 박리부를 나타내는 개략도이다.
도 4는, 박리부에 있어서의 베이스 필름의 경사방향으로의 박리를 나타내는 저면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
11 … 기판삽입부 12 … 예비가열부
13 … 열압착부 14 … 적층체 필름 공급부
15 … 냉각부 16 … 박리부
17 … 기판취출부 20, 62 … 로보트 핸드
21, 63 … 핸드본체 22 … 유리기판
28, 60 … 공기 부상플레이트 35 … 열압착롤러쌍
40 … 적층체 필름 40a … 감광층
40b … 베이스 필름 40c … 커버 필름
50 … 냉각풍 분출보드 55 … 박리롤러
본 발명은 감광층과 띠형상 지지체로 이루어지는 적층체 필름을 기판에 열압착 후에, 띠형상 지지체를 기판으로부터 박리하여, 감광층을 기판에 전사하는 전사장치 및 방법에 관한 것으로, 특히, 액정패널용 기판, 플라스마 디스플레이용 기판, 프린트 배선용 기판 등에 감광층을 전사하는 전사장치 및 방법에 관한 것이다.
감광성 안료 분산액(감광층)을 도포한 투광성 베이스 필름(띠형상 지지체)으로 이루어지는 착색필름(적층체 필름)을 유리기판에 전사(적층)하고, 포트리소그래피법으로 각 색마다 노광ㆍ현상함으로써, 액정 패널용 칼라필터 등을 제조하는 것이 행해지고 있다. 이 제조방법에서는, 유리기판으로의 도포공정이 불필요하게 되고, 스피너방식에 있어서의 돌기결함, 공극결함 등의 모든 문제를 해결할 수가 있다.
적층체 필름은, 띠형상 지지체에 감광층을 도포하여, 이것을 커버 필름으로 덮어서 구성되어 있고, 롤러형상으로 권취되어 있다. 유리기판으로의 전사에서는 적층체 필름을 인출하여 커버 필름을 박리한 후에, 감광층측을 기판의 일방의 면에 맞추어서, 1쌍의 열압착롤러 사이로 통과하고, 이 열압착롤러에 의해서, 적층체 필름을 기판에 열압착한다.
이와 같은 드라이 적층방식에서는, 적층체 필름을 기판길이에 따라서 절단하 고나서 기판에 부착하는 타입과, 연속적으로 순차 반송되는 기판 표면에, 적층체 필름을 연속적으로 부착한 후에, 인접하는 기판 후단과 선단 간에 적층체 필름을 절단하는 타입의 것이 있다.
상기 어느 경우에 있어서도, 적층체 필름이 부착된 기판은 기판 카세트 등에 수납되고, 깨끗한 환경 하에서 자연냉각된 후에, 띠형상 지지체를 박리할 필요가 있다. 이 때문에, 기판을 수납하는 버퍼영역이나 베이스 필름의 박리장치 등이 필요로 되는데다가, 버퍼영역으로의 기판의 반송장치도 필요로 된다. 이와 같이, 기판의 반송, 베이스 필름의 박리 등을 행할 필요가 있고, 효율저하로 이어지고 있다. 또한, 이들은 깨끗한 환경 하에서 행할 필요가 있기 때문에, 클린룸에 버퍼영역이나 베이스박리장치 등을 설치할 공간이 필요로 된다. 따라서, 제조설비의 비용증가로 되어버리는데다가, 클린룸 자체가 크게 되기 때문에, 그 공정비용도 증대한다.
또한, 상기한 바와 같이 적층체 필름을 기판마다 절단하는 타입에서는, 절단 부스러기가 발생하여, 기판 등에 이 절단 부스러기가 부착되고 제품결함으로 될 우려가 있다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것이고, 제품결함으로 되는 절단 부스러기의 발생을 억제함과 아울러, 효율이 좋은 생산을 가능하게 하고, 또한 설비비용 및 공정비용을 저감할 수 있도록 한 감광층 전사장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1에 기재된 발명에서는, 띠형상 지지체 상에 감광층이 설치된 적층체 필름을 열압착롤러에 의해서 기판에 열압착하여, 상기 감광층을 기판에 전사하는 감광층 전사장치에 있어서, 상기 열압착롤러의 기판의 출구측에 배치되고, 상기 적층체 필름이 열압착된 기판을 냉풍냉각하는 냉각부와, 이 냉각부에서 냉각된 기판으로부터 띠형상 지지체를 연속해서 박리하는 박리부를 구비하고 있다.
또한, 상기 박리부는, 띠형상 지지체를 권취하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 박리부는, 띠형상 지지체를 기판으로부터 박리할 때에 그 박리선이 기판반송방향에 대해서 수직 또는 경사지도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 적층체 필름의 감광층을 절단하는 하프 커터를 구비하고, 상기 기판의 길이에 맞추어서 상기 감광층을 열압착 전에 절단하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 열압착롤러의 기판이송방향의 상류측과, 상기 박리부의 기판이송방향의 하류측에 기판반송부를 배치하고, 이들 기판반송부를, 상방으로 기체를 내뿜는 부상플레이트와, 이 부상플레이트에 의해 부상된 기판의 상면 또는 측면 또는 단면 또는 상기 감광층을 제외한 하면의 측가장자리부에 접촉하여 기판을 이송하는 이송부재로 구성하고, 하류측의 기판반송부에는 이송된 기판의 상면, 단면, 측면, 상기 감광층을 제외한 하면의 측가장자리부 중 어느 하나에 접촉하여 기판을 꺼내는 기판취출부재를 설치하는 것이 바람직하다.
청구항 6에 기재된 발명에서는, 띠형상 지지체 상에 감광층을 설치한 적층체 필름을 열압착롤러에 의해서 기판에 열압착하여, 상기 감광층을 기판에 전사하는 감광층 전사방법에 있어서, 상기 열압착롤러에 의해서 열압착된 적층체 필름이 부착된 기판을 냉풍냉각하고, 이 냉각후에 상기 띠형상 지지체를 기판으로부터 연속해서 박리하고 있다. 또한, 박리한 띠형상 지지체는 권취하는 것이 바람직하고, 이 경우에는, 시트회수와 같은 곤포가 불필요하게 되는 외에, 감기 시에 토크제어함으로써, 띠형상 지지체의 장력을 일정하게 유지하고, 느슨해짐의 발생이 없게 된다. 또한, 띠형상 지지체의 권취축 부근에 모서리위치 제어기구를 설치하여, 띠형상 지지체의 측가장자리의 위치를 검출하고, 그 위치를 자동보정함으로써, 띠형상 지지체의 폭방향의 위치어긋남이 보정된다.
도 1은 본 발명의 감광층 전사기를 나타내는 개략도이다. 감광층 전사기는, 기판삽입부(11). 예비가열부(12), 열압착부(13), 적층체 필름 공급부(14), 냉각부 (15), 박리부(16), 기판취출부(17)로 구성되어 있다.
기판 삽입부(11)는, 다관절형의 로보트 핸드(20)로 구성되어 있고, 그 핸드본체(21)에는 흡착패드(21a)가 설치되어 있다. 흡착패드(21a)는, 유리기판(22)의 이면(감광층의 비전사면)(22a)에 흡착되고, 이것을 유지한다. 로보트 핸드(20)는, 기판 카세트(23)로부터 유리기판(22)을 취출하고, 180도 회전시켜서 표면(감광층의 피전사면)(22b)을 하측으로 향한 이면 뒤집음상태로 하여, 이 유리기판(22)을 예비가열부(12)로 보낸다. 기판 카세트(23)는, 다수장의 유리기판(22)을 거의 수평상태로 수납하는 것이고, 유리기판(22)을 지지하는 다수의 지지기둥(23a)를 구비하고 있다. 또한, 로보트 핸드의 흡착패드는, 이면 및 단부만의 접촉이 가능하면 다른 방법이어도 좋고, 또한 공기를 내뿜어 비접촉흡인에 의해 유지하는 방법이어도 좋다.
예비가열부(12)는, 기판반송부(25)와, 히터(26, 27)로 구성되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판반송부(25)는, 공기 부상플레이트(28)와 이송롤러 (29)로 구성되어 있다. 공기 부상플레이트(28)는, 유리기판(22)의 하면에 대면하도록 배치되어 있고, 유리기판(22)을 향하여 깨끗한 공기를 내뿜음으로써, 유리기판 (22)을 부상시킨다.
이송롤러(29)는, 부상한 유리기판(22)의 하면의 양측 가장자리부에 접촉하고, 회전함으로써 유리기판(22)을 열압착부(13)로 향하여 반송한다. 이 유리기판(22)의 하면의 양측 가장자리부에는, 감광층은 전사되어 있지 않고, 이송롤러 (29)의 둘레면이 감광층에 접촉하는 일은 없다. 이송롤러(29)는 플랜지가 부착된 롤러로 구성되어 있고, 플랜지(29a)가 유리기판(22)의 가이드로서 기능하고, 유리기판(22)을 그 폭방향으로 위치결정한다. 또한, 이송롤러(29)는, 로보트 핸드(20)의 핸드본체 (21)의 삽입부분을 피해서 설치되어 있고, 핸드본체(21)와 간섭하는 것이 없도록 되어 있다. 또한, 이송롤러(29)에는 유리기판(22)을 끼워지지하기 위한 닙롤러를 설치하여도 좋다. 또한, 이송롤러(29)를 대신해서, 벨트 등에 의해, 또는 경사지게 내뿜는 공기에 의해 유리기판(22)을 반송하여도 좋다. 또한, 플랜지가 부착된 롤러를 이용하는 대신에, 유리기판(22)의 양측 가장자리에 접촉하여 회전하는 가이드 롤러를 설치하여도 좋다. 또한, 부상에 의한 유리기판(22)의 상면으로의 누름힘이 충분하면, 유리기판(22)의 상면에 접촉하는 이송롤러를 설치하여, 이 이송롤러의 회전으로 유리기판(22)을 반송하여도 좋다.
히터(26, 27)는, 기판반송부(25)의 유리기판(22)의 반송로를 사이에 두도록 상하방향으로 배치되어 있고, 유리기판(22)을 50 ~ 110℃의 온도로 가열한다. 히터(26, 27)로서는, 원적외선 히터, 니크롬선 히터, 열풍 히터 등을 이용할 수 있다. 예비가열부(12)에서 가열된 유리기판(22)은, 이송롤러(29)에 의해 열압착부 (13)에 송출된다.
열압착부(13)는, 열압착롤러쌍(35)과 백업롤러(36)로 구성되어 있다. 열압착롤러쌍(35)은, 상하방향으로 배치된 열압착롤러(35a, 35b)로 구성되어 있고, 이들 열압착롤러(35a, 35b)에는 히터가 내장되어 있다. 열압착롤러쌍(35)은 유리기판 (22)과 적층체 필름(40)을 끼워지지하여 반송함으로써, 유리기판(22)에 적층체 필름(40)을 열압착하여 부착한다. 백업롤러(36)는, 열압착롤러(35a, 35b)에 접촉하여 회전하도록 구성되어 있고, 열압착롤러(35a, 35b)의 휘어짐을 억제하여, 균일한 힘에 의한 열압착을 가능하게 한다. 또한, 여기서는 백업롤러(36)를 설치하였지만, 이 백업롤러(36)는 생략하여 열압착롤러(35a, 35b)만으로 하여도 좋다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 적층체 필름 공급부(14)는, 적층체 필름 롤러(41)의 설치축(41a), 하프 커터(42), 커버 필름 박리부(43), 백텐션 롤러(45), 텐션센서(46) 등으로 구성되어 있다. 이 적층체 필름 공급부(14)는, 적층체 필름 롤러(41)로부터 커버 필름(40c)을 박리하여, 감광층(40a)을 위로 향한 상태로 베이스 필름(40b)을 열압착롤러쌍(35)에 공급한다. 또한, 설치축(41a)의 근방에는 도시하지 않은 에지 위치 제어기구가 설치되어 있다. 에지 위치 제어기구는 적층체 필름 (40)의 측가장자리의 위치를 검출하여, 그 위치를 자동적으로 보정한다. 이것에 의해 유리기판(22)으로의 적층체 필름(40)의 부착 폭방향의 위치맞춤을 행한다.
적층체 필름(40)은, 베이스 필름(40b)에 도시하지 않은 보조층, 중간층 등을 통해서 감광층(40a)이 층설치되어 있다. 또한 감광층(40a)의 위에는 커버 필름 (40c), 베이스 필름(40b)의 타방의 면에는 대전 방지층 등이 층설치되어 있다.
하프 커터(42)는, 유리기판(22)의 길이에 맞추어서, 적층체 필름(40)을 하프 커트한다. 이 하프 커트에서는, 커버 필름(40c), 감광층(40a)이 절단되고, 베이스 필름(40b)은 절단되는 것이 아니다.
커버 필름 박리부(43)는, 유리기판(22)으로의 부착면이 되는 하프 커트된 부분의 커버 필름(40c)을 적층체 필름(40)으로부터 박리한다. 이 박리는, 점착 테이프 롤러(43a)로부터 인출된 점착 테이프(43b)를 누름 롤러(43c)에 의해 커버 필름(40c)에 부착하여 행해지고, 이 커버 필름(40c)이 부착된 점착 테이프(43b)는 테이프 권취축(43b)에 권취되어 회수된다. 또한, 유리기판(22)과 유리기판(22) 사이에 위치하게 되는 적층체 필름(40)에 대해서는, 그 커버 필름(40c)이 박리되지 않고 남는다.
열압착부(13)에서는, 하프 커트선의 통과에 맞추어서 기판이송부재가 작동한다. 이것에 의해, 유리기판(22)과 하프 커트선과의 위치맞춤이 행해진 상태로, 유리기판(22)에 적층체 필름(40)의 감광층(40a)이 부착된다. 또한, 베이스 필름(40b)도 유리기판(22)의 이동에 수반하여 열압착롤러(35)의 이송방향 하류측으로 보내진다.
냉각부(15)는, 풍속분포를 균일화하기 위한 냉각풍을 내뿜는 보드(50)와, 반송롤러(5)로 구성되어 있다. 냉각풍을 내뿜는 보드(50)는, 그 개구율이 8%로 되도록, 해칭구멍이 형성되어 있고, HEPA 필터를 통과한 깨끗한 냉각풍이 유리기판(22)을 향하여 내뿜어진다. 유리기판(22)의 냉각을 효율좋게 행하기 위해서, 냉각풍은 기판이송방향에 직교하는 폭방향으로 외측을 향해 내뿜어진다. 이것에 의해, 유리기판(22)의 온도는 거의 실온(30℃ 이하)으로 냉각된다. 또한, 냉각부(15)를 유리기판(22)이 통과하는 시간은 1분이상으로 설정해 두어, 유리기판(22)의 냉각이 확실하게 행해진다.
본 실시형태에서는, 열압착시의 기판이송속도를 1.0m/min으로 하였을 때에, 냉각풍의 토출온도는 17℃, 풍속은 6m/sec로 되어 있지만, 이들은 유리기판(22)의 두께나 사이즈 등에 따라서 적당 변경하여도 좋다. 반송롤러(51)는, 적층체 필름 (40)의 베이스 필름(40b)에 접촉하여 유리기판(22)을 지지하고, 이것을 박리부 (16)로 향하여 보낸다. 또한, 여기서는 1개의 예로서의 조건을 나타내고 있고, 이것에 한정되는 것은 아지만, 펀칭판의 개구율은 3 ~ 15%, 기판이송속도는 0.5 ~ 10m/min, 냉각풍온도는 10 ~ 20℃, 풍속은 3 ~ 12m/sec정도의 범위가 바람직하다.
박리부(16)는 박리롤러(55) 및 베이스 필름 권취기구(56)로 구성되어 있다. 이 박리부(16)는, 유리기판(22)으로부터 베이스 필름(40b)을 박리하고, 이 베이스 필름(40b)을 회수축(56a)에 롤러형상으로 권취한다. 박리롤러(55)는 직경이 30mm 이하가 바람직하고, 또한 박리시의 장력에 의해서 박리롤러(55)의 휨이 문제로 되지 않으면, 보다 작은 쪽이 좋다. 이 박리롤러(55)에는 베이스 필름(40b)이 90°이상 감겨져 있지만, 감김각도는 이것에 한정되는 것은 아니다.
박리롤러(55)는 유리기판(22)의 이송방향과 직교하는 수평방향으로 배치하여도 좋지만, 또한, 박리를 깨끗하게 행하기 위해서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 박리롤러(55)는 유리기판(22)의 이송방향(화살표A)에 대해서 경사지게 교차하도록 배치하면 좋다. 교차각도(θ)는 임의로 설정가능하지만, 실용상은 45° 이하가 설정하기 쉽다. 이것에 의해, 감광층(40a)과 베이스 필름(40b)의 박리에 있어서, 감광층(40a)의 끝가장자리(40e)에 있어서, 그 박리부분이 유리기판(22)의 폭방향에 있어서 1점으로 되고, 폭방향으로 이동한다. 따라서, 감광층(40a)의 끝가장자리 (40e)가 안정되어 깨끗하게 박리된다. 또한, 여기서는 박리롤러(55)는 고정되어 있지만, 편 지지로 하고, 유리기판의 이송방향으로 경사져서 들어가 수직까지 스윙(선회)하고, 또한 그 후, 이송방향으로 평행하게 보내서 박리한다라는 방법을 사용하여도 좋다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 박리롤러(55)의 근방에는, 공기 분출구(59)가 설치되어 있다. 이 공기분출구(59)로부터는, 이온발생 클린공기가 분출되어서, 베이스 필름(40b) 및 유리기판(22)의 정전기가 제거된다. 이것에 의해, 주위의 진애의 부착이 억제되고, 진애 부착에 기인하는 화소결함 등의 제품시 결함의 발생이 억제된다. 이 전기제거방법은, 이온발생 클린공기 이외의 방법, 예컨대 연X선 방식 등을 이용하여도 좋다.
베이스 필름 권취기구(56)는, 회수축(56a)과 이것을 회전구동하는 권취모터(도시하지 않음)로 구성되어 있다. 권취모터는 도시하지 않은 컨트롤러에 의해서 토크제어가 행해진다. 이 토크제어에 의해서, 열압착롤러쌍(35) 이후의 베이스 필름(40b)의 장력이 일정하게 유지되고, 베이스 필름(40b)에 느슨해짐이 발생하는 일이 없다. 또한, 회수축(56a)의 근방에는, 도시하지 않은 에지 위치 제어기구가 설치되어 있다. 에지 위치 제어기구는, 베이스 필름(40b)의 측가장자리의 위치를 검출하여, 그 위치를 자동적으로 보정한다. 이것에 의해, 적층체 필름(40)의 권취축 (41a)으로부터 베이스 필름 회수축(56a)까지의 필름반송에 있어서, 필름 축방향의 위치어긋남이 자동 보정된다.
박리부(16)에 대해서 유리기판(22)의 이송방향 하류측에는, 기판취출부(17)가 설치되어 있다. 기판취출부(17)는, 공기 부상플레이트(60)와 유리기판 이송부 (61)와 로보트 핸드(62)로 구성되어 있다. 공기 부상플레이트(60)는, 예비가열부 (12)의 공기 부상플레이트(28)와 마찬가지로 구성되어 있다. 유리기판 이송부(61)는, 유리기판(22)의 하면의 양측 가장자리부에 접촉하는 이송롤러로 구성되어 있지만, 롤러반송을 대신하여, 벨트 등에 의한 반송, 또는 경사지게 분출하는 공기반송으로 하여도 좋다. 또한, 이송롤러는, 플랜지가 부착된 가이드 롤러를 겸용하고 있지만, 가이드 롤러는 별도로 설치하여도 좋다. 또한, 부상에 의한 유리기판(22)의 상면으로의 누름힘이 충분하면, 유리기판(22)의 상면에 접촉하여 반송하는 것도 가능하다.
로보트 핸드(62)는, 기판 삽입부(11)의 로보트 핸드(20)와 마찬가지로 구성되어 있다. 이 로보트 핸드(62)는, 박리부(16)로부터 송출된 유리기판(22)의 상면을 핸드본체(63)의 흡착패드(63a)에서 흡착하고, 공기부상플레이트(60) 상으로부터 유리기판(22)을 취출하여, 이 유리기판(22)을 기판 카세트(65)에 수납한다. 또한, 이 로보트 핸드(62)로 유리기판(22)을 흡착할 때에, 부상 공기량을 많이 공급하여 유리기판(22)의 부상량이 증가하면, 유리기판(22)의 하면의 감광층(40a)이 공기 부상플레이트(60)에 접촉하기 어렵게 되고, 또한, 유리기판(22)이 로보트 핸드(62)의 핸드본체(63)에 확실하게 흡착된다.
다음에, 본 실시형태의 작용을 설명한다. 기판삽입부(11)에서 로보트 핸드 (20)에 의해 유리기판(22)이 예비가열부(12)에 보내진다. 로보트 핸드(20)는 기판 카세트(23)로 핸드본체(21)를 삽입하여, 유리기판(22)의 하면을 흡착하여 유리기판 (22)을 조금 잡아 올려서 기판 카세트(23)로부터 취출한다. 기판 카세트(23)의 수납선반에는, 기판지지기둥(23a)이 상방으로 향하여 돌출되어 있고, 이 기판지지기둥(23a)에 의해서, 유리기판(22)은 거의 수평상태로 지지된다. 유리기판(22)의 상면은 감광층 부착면으로 되어 있고, 이 상면에는 흡착패드(21a)나 지지기둥(23a) 등이 접촉하는 것이 없도록 되어 있다.
로보트 핸드(20)는, 흡착지지한 유리기판(22)을 반전하여 이면뒤집기하고, 감광층 부착면이 하방을 향하도록, 예비가열부(12)에 삽입한다. 예비가열부(12)에서는, 공기 부상플레이트(28)로부터 공기가 상방으로 향하여 분출되고 있고, 유리기판(22)은 부상한다. 부상한 유리기판(22)은 히터(26, 27)에 의해 예비가열되면서, 이송롤러(29)에 의해 열압착부(13)에 보내진다.
열압착부(13)에는, 적층체 필름(40)의 감광층(40a)의 앞끝 하프 커트선이 보내지는 타이밍으로 기판(22)도 보내진다. 따라서, 유리기판(22)에 적층체 필름(40)의 하프 커트된 감광층(40a)이 위치결정된 상태로 이들이 맞붙어진다. 적층체 필름(40)은, 적층체 필름 공급부(14)의 하프 커터(42)에 의해, 미리 유리기판(22)의 부착면으로 되는 부분의 커버시트(40c) 및 감광층(40a)만이 절단되고, 또한, 커버필름 박리부(43)에 의해 유리기판(22)의 부착면으로 되는 부분의 커버 필름(40c)이 박리되어 있다. 또한, 적층체 필름(40)은, 도시하지 않은 에지 위치 제어기구에 의해 필름 폭방향으로 위치결정됨과 아울러, 백텐션 롤러(45)에 의해 적당한 장력이 부여되어 있고, 적층체 필름(40)의 유리기판(22)으로의 부착시에, 주름이나 기포의 발생이 억제된다.
열압착부(13)를 통과한 유리기판(22)은, 냉각부(15)로부터의 깨끗한 냉각풍에 의해 30℃ 이하로 되도록 냉각된다. 이 강제냉각에 의해서 베이스 필름(40b)을 유리기판(22)으로부터 안정되게 얼룩없이 박리하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 종래와 같이, 적층체 필름(40)이 부착된 유리기판(22)을 기판 카세트 등에 수납하여 자연냉각을 행할 필요가 없고, 효율좋게 감광층의 전사가 가능하게 된다.
박리부(16)에서는, 베이스 필름(40b)이 박리롤러(55)에 의해 유리기판(22)으로부터 박리된다. 이 때, 박리롤러(55)는 베이스 필름(40b)의 이송방향에 대해서 수직이어도 좋지만, 도 4에 나타내는 바와 같이, 박리롤러(55)를 필름이송방향에 대해서 경사지게 교차하는 방향으로 떼어내는 쪽이 더욱 좋다. 이 경우에는, 베이스 필름(40b)과 감광층(40a)의 끝가장자리(40e)의 박리부분이 1점으로 되어서 폭방향으로 이동하고, 끝가장자리(40e)가 안정되고 깨끗하게 박리된다.
또한, 박리롤러(55)의 근방에서 분출구(59)로부터, 이온발생 클린공기가 분출된다. 이 분출에 의해, 베이스 필름(40b) 및 유리기판(22)의 정전기가 제거된다. 이것에 의해, 주위의 진애의 부착이 억제되는 것이므로, 제품시의 화소결함 등의 결함의 발생이 억제된다.
박리후의 베이스 필름(40b)은 회수축(56a)에 롤 형상으로 권취되어서, 폐기 또는 회수된다. 회수축(56a)에 베이스 필름(40b)이 권취됨으로써, 시트회수와 같은 곤포가 불필요하게 되고, 또한 공기의 말려들어감이 적기 때문에 실효체적이 작게 된다. 이것에 의해, 폐기나 회수의 작업이 용이하게 된다.
박리부(16)에서 베이스 필름(40b)이 박리된 유리기판(22)은, 공기 부상플레이트(60)에 의해 양측 가장자리부의 지지만으로, 감광층(40a)에 대해서 무접촉으로 지지되고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 로보트 핸드(62)에 의해 기판 카세트(65)에 수납된다. 이 때, 로보트 핸드(62)가 반전함으로써, 감광층 부착면을 상방으로 향한 수평상태로 기판 카세트(65)에 유리기판(22)이 수납된다.
이와 같이 하여 예컨대 R필터용 감광층(40a)이 전사된 유리기판(22)은, 도시하지 않은 노광기에 보내진다. 노광기에서는, 포토마스크를 이용하여 R감광층에 대해서 R필터의 패턴을 노광한다. 노광후의 유리기판(22)은 현상처리기에서 현상처리된다. 현상처리후의 유리기판(22)은, 기판 카세트(23)에 수납된다. 다음에 본 실시형태의 전사기를 이용하여, G필터용 감광층이 유리기판에 전사되어서 마찬가지로 G필터의 패턴으로 노광되고, 현상처리되어서 G필터가 유리기판에 작성된다. 마찬가지로 하여, B필터용 감광층에 의해, B필터가 유리기판에 작성된다. 또한, 블랙매트릭스용에 흑(K) 필터용 감광층이 유리기판(22)에 전사되고, 노광, 현상처리에 의해 블랙매트릭스가 유리기판(22)에 작성된다.
또한, 상기 실시형태에서는 박리롤러(55)를 이용하였지만, 박리롤러(55)를 대신하여, 유리기판과 필름과의 사이에 공기를 불어넣는 방법이나, 공기실린더 등의 앞끝에 걸린 롤이나 바 등에 의해, 필름을 박리방향으로 누르는 방법을 이용하여도 좋다. 또한, 박리롤러(55)나 박리바의 한끝을, 회전이동가능하게 설치하여, 베이스 필름의 이동에 맞추어서 박리롤러나 박리모서리를 회전이동시켜도 좋다. 또한, 박리부(16)에는, 유리기판(22)을 상방으로부터 흡착하여 반송하는 반송벨트나, 유리기판(22)을 상방으로부터 눌러서 반송하는 누름롤러 등을 배치하여도 좋고, 이 경우에는, 유리기판의 박리시의 거동이 효과적으로 억제된다.
또한, 적층체 필름을 자동으로 롤 교환하고 공급하여도 좋다. 이 경우에는, 동일하도록 베이스 필름의 회수축에도 회수롤 절환기구를 설치하는 것에서, 자동적으로 각 롤러의 교환을 행하면 좋다.
본 발명에 의하면, 열압착 롤러에 대해서 기판의 출구측에 냉각부와 박리부를 설치하고, 냉각부에 의해서 적층체 필름이 부착된 기판을 냉풍냉각하고나서, 종래와 같이 기판 카세트에 들어가서 자연냉각시킬 필요가 없게 된다. 이 때문에, 열압착한 직후에 박리부에 의해서 띠형상 지지체를 기판으로부터 연속하여 박리하는 것이 가능하고, 효율좋게 감광층을 유리기판에 전사하는 것이 가능하다. 또한, 적층체 필름을 열압착 후에 절단할 필요가 없고, 절단층에 의한 제품결함의 발생도 억제되는 것이 가능하다. 또한, 카세트와 같은 유리기판의 백업장치가 불필요하게 되는 것이므로, 이 부분만큼 클린룸을 작게 할 수 있고, 초기도입비용이나 공정비 용이 저감된다.
띠형상 지지체를 기판반송방향에 대해서 경사지게 박리하는 경우에는, 띠형상 지지체의 폭방향으로 박리부분이 1점으로 되고 또한 폭방향으로 이동하기 때문에, 박리가 안정되고 깨끗하게 행해진다. 또한, 상기 적층체 필름의 감광층을 절단하는 하프 커터를 구비하고, 상기 기판의 길이에 맞추어서 상기 감광층을 열압착 전에 절단함으로써, 열압착 후에 절단이 행해짐이 없고, 절단 부스러기 등에 기인하는 화소결함 등의 제품결함의 발생이 억제된다. 또한, 박리후의 띠형상 지지체를 권취함으로써, 시트 회수와 같은 건포가 불필요로 하게 되고, 폐기나 회수의 작업이 용이하게 된다.
열압착롤러의 기판이송방향의 상류측과, 박리부의 기판이송방향의 하류측에 기판반송부를 설치하고, 이들 기판반송부를, 상방으로 기체를 분출하는 부상플레이트와, 이 부상플레이트에 의해 부상된 기판의 상면 또는 측면 또는 끝면 또는 감광층을 제외한 하면의 측가장자리부에 접촉하여 기판을 보내는 이송부재로 구성하였기 때문에, 감광층 부착면에 비접촉으로 반송이 가능하게 되어, 접촉에 기인하는 결함의 발생이 억제된다.

Claims (6)

  1. 띠형상 지지체 상에 감광층이 설치된 적층체 필름을 열압착롤러에 의해서 기판에 열압착하여, 상기 감광층을 기판에 전사하는 감광층 전사장치에 있어서,
    상기 열압착롤러의 기판의 출구측에 배치되고, 상기 적층체 필름이 열압착된 기판을 냉풍냉각하는 냉각부와, 이 냉각부에서 냉각된 기판으로부터 띠형상 지지체를 연속해서 박리하는 박리부를 구비한 것을 특징으로 하는 감광층 전사장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 박리부는 상기 띠형상 지지체를 권취하는 것을 특징으로 하는 감광층 전사장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 박리부는 띠형상 지지체를 기판으로부터 박리할 때에 그 박리선이 기판반송방향에 대해서 수직 또는 경사지게 되도록 한 것을 특징으로 하는 감광층 전사장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 적층체 필름의 감광층을 절단하는 하프 커터를 구비하고, 상기 기판의 길이에 맞추어서 상기 감광층을 열압착 전에 절단하는 것을 특징으로 하는 감광층 전사장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 열압착롤러의 기판이송방향의 상류측과, 상기 박리부의 기판이송방향의 하류측에 기판반송부를 설치하고, 이들 기판반송부를, 상방으로 기체를 내뿜는 부상플레이트와, 이 부상플레이트에 의해 부상된 기판의 상면 또는 측면 또는 단면 또는 상기 감광층을 제외한 하면의 측가장자리부에 접촉하여 기판을 보내는 이송부재로 구성하고, 하류측의 기판반송부에는 보내진 기판의 상면, 단면, 측면, 상기 감광층을 제외한 하면의 측가장자리부 중 어느 하나에 접촉하여 기판을 꺼내는 기판취출부재를 설치한 것을 특징으로 하는 감광층 전사장치.
  6. 띠형상 지지체 상에 감광층을 설치한 적층체 필름을 열압착롤러에 의해서 기판에 열압착하여, 상기 감광층을 기판에 전사하는 감광층 전사방법에 있어서,
    상기 열압착롤러에 의해서 열압착된 적층체 필름이 부착된 기판을 냉풍냉각하고, 이 냉각후에 상기 띠형상 지지체를 기판으로부터 연속해서 박리하는 것을 특징으로 하는 감광층 전사방법.
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