JPS62180872A - 薄膜の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、＠１１の剥離技術に関するものであり。

特に、基板の表面を保護するために張り付けられた保Ｓ
膜の剥離技術に適用して有効な技術に関するものである
。

［従来の技術〕 コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂フィルム（保３膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネ
ートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、この
配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通
して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光
性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエツチングマスクパターンを形成する。この
後、ｉ’ｉｉ＋　’ｌ見導電層の不必要部分をエツチン
グにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し
、所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成す
る。

［発明が解決しようとする問題点コ 前述のプリント配線板の１２造工程においては。

感光性樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹
脂フィルムを剥離する工程が必要とされている。この透
光性樹脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該
フィルムが薄いので、剥菊応力の偏り等による感光性樹
脂層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器
用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥踵工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている積
層体のうち、透光性樹脂フィルムの一部を針、ブラシ又
はローレットで浮上させ、その浮いた部分に流体を吹き
付け、透光性樹脂フィルムを剥離することを自動的に行
ったものである。この剥離された透光性樹脂フィル１１
は、自動薄膜剥離装置ｖ１に接続又は内蔵された搬送ベ
ルトで構成される薄膜搬送装置で搬送され、排出容器に
排出される。

しかしながら、１１力記薄膜搬送機構は、搬送ベルトを
用いているので、数［μｍ］乃至数百［μｍ］程度の薄
い透光性樹脂フィルムの膜厚に対応して。

ベルトやそれを駆動するローラの加［精度及び組立精度
を高めることができない。このため、７＃膜搬送装置で
搬送される透光性樹脂フィルムは、搬送ベルトの挟持力
が部分的に微少に異なるだけで。

シワが生じてジャム等の１−ラブルが発生するという問
題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を部用に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、薄膜を搬送ベルトで搬送する薄膜搬送装置で
あって、前記薄膜の一方の面に接触する複数の第１搬送
ベルトを、薄膜の搬送方向と交差する薄膜の幅方向に所
定の間隔で設け、該第１搬送ベルトの間に、前記薄膜の
他方の而に接触する第１搬送ベルトを設けたことを特徴
としたものである。

［作用］ 本発明は、前記第１搬送ベルト及び第２ＦＡ送ベルトで
搬送される薄膜に、その搬送方向と交差する幅方向の張
力を与えることができるので、第１搬送ベルト及び第２
搬送ベル１〜で薄膜を均一な挟持力でしかも確実に挟持
し搬送することができる。

［実施例］ 以下、本発明をプリン１〜配線用基板の保護膜ネ１＃ｉ
装・置の薄１漠搬送装置に適用した一実施例について図
面を用いて説明する。

なお、実施例の全１．２１において、同一機能を有する
ものは同一符号を付け、そのくり返しの説明は省瑚する
。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は、
第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主と
して、プリン１−配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロ
ーラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起抑圧機
構３．流体吹付機横４．剥離角度設定板（剥離補助板）
５及び薄膜搬出機構（薄膜搬送装置）６が設けられてい
る。

前記プリント配線用基板ｌは、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等のＲＦｆｉ層１
　［３が形成されたものである。このプリン１−配線用
基板ｌの導電層１Ｆ３ヒには、感光り樹脂層ｌＣと透光
性樹脂フィルム（保護膜）ｌＤとからなる積層体が熱圧
着ラミネートされている。感光性樹脂層ＩＣは所定の配
線パターンフィルムが重ねられ露光された後の状態にあ
る。プリン１−配線用基板１は、第１図に示す矢印へ方
向に搬送用ＩＩ動ローラ２で搬送されるように構成され
ている。

前記突起抑圧機構３は、第３図（構成図）、第４図（拡
散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように構成
されている。

この突起抑圧機構３は、プリント配線用ｖＳ仮ｌの両面
側に、夫々用数個の突起抑圧部材３Ａが搬送方向と交差
する方向（プリント配、ｖＡ用基板ｌの幅方向）に設け
られている。突起抑圧部材３Ａは第５図で示すように針
状で構成されており、その先端部で感光性樹脂層ｉｃと
透光性樹脂フィルムＩＤとの積層体の端部を押圧するよ
うに構成されている。突起抑圧部材３Ａは、前記積層体
の端部を押圧したときに、ｉｆｔ！ＪＭ　Ｉ　Ｂと感光
性樹脂層ＩＣとの界面に食込まないようにし、かつ透光
性樹脂フィルムＩＤが感光性樹脂層ＩＣから浮−１ニす
るように１例えば６０［度コ程度の先端角度で構成する
。対向する位置に設けられた夫々の突起抑圧部材３Ａは
、ホルダ３Ｂを介して夫々別々の突起抑圧部材支持回転
軸３Ｃに支持されている。ホルダ３Ｂは、符号を付けて
いないが、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの貫通穴をそれ
に沿って摺動できるように取り付けられている。

突起抑圧部材３Ａとホルダ３Ｂとの間及びホルダ３Ｂと
突起抑圧部材支持回転軸３ｃとの間には、夫々、同−又
は異なる弾力性の弾性部材３Ｄ及び３Ｅが設けられてい
る。弾性部材３Ｄ及び３Ｅは。

矢印Ｂ方向、すなわち、プリント配、ｖＡ用基板１に近
接する方向に作用するように取り付けられている。した
がって、突起抑圧部材３Ａの先端部の位置は、矢印Ｂ方
向の所定の圧力により、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに
対して変化できるように構成されている。

突起抑圧部材支持回転１１ｉ１１１３ｃの一端（又は両
端）部は、第３図及び第４図に示すように、ガイド部材
３Ｆのガイド用長穴３ｆを通して移動アーム部材３Ｇの
一端部と回転自在に連結されている。ガイド部材３Ｆは
、図示していないが、装置本体にビス等の取付手段で固
着されている。ガイド用長穴３ｆは、プリン１−配線用
基板ｌに近接又はそれから前隅させる方向（矢印Ｃ方向
）に、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃすなわち突起抑圧部
材３Ａをガイドするように構成されている。

夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３ｈを中
心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転アーム
部材３！−■の回転軸３ｈを中心として対向する端部に
回転自在に取り付けられている。

回転アー１１部材３］（は、夫々の移動アーム部材３Ｇ
を異なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成されている
。

前記突起抑圧部材支持回転軸３Ｃをガイドするガイド部
材３Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３＋１
は１両面兼用駆動源のシャフト３Ｊの矢印Ｅ方向の動作
でプリント配線用基板１の両面側に設けられた夫々の突
起抑圧部材３Ａを互いに近接させ叉は前隅させる突起抑
圧機構３のリンク機構を構成している。シャフト３Ｊは
１回転アＡｓ部材３１１の一端部に連結アーム部材３Ｉ
を介して接続されている。リンク機構を構成する夫々の
部材は、ｊ大、アルミニラ１１合金、硬質樹脂等の比較
的外力に対して変形しずらい材料で構成する。

駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ、電磁ソ
レノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは、回転ア
ーム部材３１−１の一端部に限定されず。

一方の移動アーム部材３Ｇの一端部に連結アーム部材３
■を介して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起抑圧部材３Ａと両面
兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基
板ｌの両面側に設けられた夫々の突起押圧部材３Ａのプ
リント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動
作（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなわち
、リンク機構は、プリン１〜配線用基板１の両面側に、
突起抑圧部材ａＡｆ＆Ｉ駆動する駆動源を別々に設ける
ことなく１両面兼用駆動源で両面側の突起抑圧部材３Ａ
を駆動することができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アー１１部材３！１が略剛体であり
、夫々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３１１で
規定されているので、プリント配線用基板１の両面側の
夫々の突起抑圧部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間
等にしかも正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて１部品点数が少なく
、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、突起抑圧部
材３Δと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ
が設けられている。夫々の突起抑圧部材回転アーム部材
３にの他端部には、長穴３ｋが設けられており、両者の
長穴３ｋには。

両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続する連結アーム部
材３Ｍの軸部３　ｍが通されている。すなわち、突起抑
圧部材回転アーム部材３には、連結アーム部材３Ｍを介
して両面兼用駆動源のシャツ１−３［、と連結されてい
る。両面兼用駆動源としては。

前述のリンク機構と同様のものを使用すわばよい。

前記突起抑圧部材回転ツー１１部材３Ｋ及び連結アーム
部材３Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、
突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転さ
せるとともに突起抑圧部材支持回転ｌ１ｉＩｌ１３Ｃを
矢印ト１方向に回転させ、積層体の端部を押圧する突起
抑圧機構３の突起抑圧部材抑圧機構を構成するようにな
っている。　　　゛このように構成される突起抑圧部材
抑圧機構は、前述の突起抑圧部材３Ａを近接させ又は前
隅させるリンク機構と同様に、プリント配線用基板ｌの
両面側の夫々の突起押圧部材３Ａを−っの駆動源で動作
させることができるとともに、その動作量、動作時間を
正確に制御することができる。

また、突起抑圧部材抑圧機構は、突起抑圧部材３Δと駆
動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることがで
きる。

このように突起抑圧機ｖ４３は、主に、突起抑圧部材３
Ａと、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板ｌに近接
させ又はｌ隔させるリンク機構と、積層体の端部を突起
押圧部材３Ａで押圧させる突起抑圧部材抑圧機構とで構
成されている。

なお１本実施例では、リンク機構又は突起抑圧部材抑圧
機構と両面兼用駆動源を突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの
一端側に設けているが、本発明は。

その両面側に夫々設けてもよい。・ 次、に、突起抑圧機構３の動作について、第１図　−乃
至第５図と第６図及び第７図１（プリント配線用基板の
要部断面図）とを用いて簡単に説明する。

まず５図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、電気的にプリン１へ配線用基板
１−ヒに設けられている薄膜の端部を検出するタッチセ
ンサ又は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でこのプリン１−配線用基板１に
設けられている積層体（薄膜）の端部が検出されろと、
第１図及び第２図に示すピンチローラ２Δを抑圧手段（
図示していなり）で抑圧してプリント配線用ｊ１（仮１
に押し付け、それと搬送用駆動ローラ２とでプリント配
線用基板１の搬送を一時停止させる。このとき、プリン
ト配線用基板１の位置がずれないように、ピンチローラ
２Ａと対向する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等の
摩擦係数の大きな材料を設け、プリント配線用基板１の
搬送を確実に停止させてプリン１−配線用基板１を固定
する。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャフ
ト３Ｊを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。こ
の動作で回転アーム部材３Ｈ１移動アーム部材３Ｇ、ガ
イド部材３Ｆ゛で構成されるリンク機構が動作し、突起
抑圧部材支持回転軸３Ｃが矢印Ｃ方向に移動する。この
突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの移動により、第６図に示
すように、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起
抑圧部材３Ａの先端部が積層体端部の導電層ＩＢの表面
に接触する。この接触は１弾性部材３Ｄ（又は３Ｅ）が
エネルギを有するように適度な抑圧力で行われる。

次に、突起抑圧部材３Ａが導電層ＩＢに接触した状態に
おいて、突起抑圧部材抑圧機構に連結された両面兼用駆
動源のシャフト３Ｌを矢印Ｆ方向（図中、左方向）に動
作させる。この動作で突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ
、連結アーム部材３Ｍで構成される突起抑圧部材抑圧機
構が動作し、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃを矢印Ｈ方向
に回転させる。この突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの回転
により、第７図に示すように、プリント配線用基板ｌの
両面側の夫々の突起押圧部材３Ａの先端部が積層体端部
を押圧する。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣ
及び透光性樹脂フィルムｌＤからなる積層体の端部を、
突起押圧機構３の突起押圧部材３Ａで抑圧することによ
り、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィル１％　Ｉ　
Ｄの一部を浮上させ、それらの界面に隙間を生じさせる
ことができる。この隙間は、感光性樹脂層ＩＣが透光性
樹脂フィルム１１）よりも軟材質で構成されており、突
起抑圧部ｔＪ　３　Ａの抑圧に対して感光性樹脂層ｉｃ
は塑性変形するが、透光性樹脂フィルムＩＤは塑性変形
する前に感光性樹脂ＷＪＩＣとの接着力が低下するため
に生じる。

また、前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部の、ｌ上は、
４状の筒中、な構成の突起抑圧部材３Ａで行うことがで
きる。

また、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板１の搬送
経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部
の浮−ヒを自動的に行うことができる。

なお、ン７上した透光性樹脂フィルムＩＤは、熱を加え
て圧着しない限り、感光性樹脂層１ｃと再度接着される
ことはない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に対し積層
体が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プ
リント配線用も（板ｌの搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の突起抑圧部材３Ａを設けであるが１本発明
はこれに限定されない。

すなわち、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤ
との一端部が押圧され、後者が必らず浮上できるならば
、プリント配線用基板１の両面側に夫々１つの突起抑圧
部材３Ａを設けて突起抑圧機構３を構成してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の搬送方向
と交差する方向（幅方向）に突起抑圧部材３Ａを設けで
あるが、本発明は、プリント配線用基板ｌの搬送方向と
同一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突起
抑圧部材３Ａを設けることもできる。この場合には、流
体吹付機構４のノズル４Ａを突起抑圧部材３Ａの近傍に
設ける。

また、本実施例では、突起押圧機構３の突起押圧部材抑
圧機構をリンク機構で構成したが１本発明は、積層体の
端部のプリント配線用基板１の表面に突起抑圧部、Ｈ３
Ａを接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチ
ローラ２Ａ）を回転させてプリント配線用基板１を微小
に搬送し、積層体の端部を押圧する突起抑圧部材抑圧機
構で構成してもよい。すなわち、本発明は、搬送機構で
突起抑圧部材抑圧機構を構成してもよい。

Ｊ：た、本発明は、ホルダ３Ｂを取り付ける貫通穴の加
工精度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と
交差する方向の突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの断面形状
を方形状で構成してもよい。

前記流体吹付機構４は、第１図及び第２図に示すように
、ノズル４Ａから圧力を加えた流体１例えば、空気、不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付機構４は、プリント配線用基板ｌ
の感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤが浮上
した両者の隙間部分に流体を直接吹き付けるように構成
されている。そして、流体吹付機構４は、前記隙間部分
に即座に流体を吹き付けられるように、突起抑圧機構３
の近接した位置に構成されている。この流体吹イ」機構
４のノズル４Ａは、矢印Ｊ方向にその設定角度が可変で
きるように構成されている。すなわち、流体吹付機構４
は、流体吹き付は時にできろ限り前記隙間部分にノズル
４Ａを近接させ、流体吹きイ１け後にプリン１〜配線用
基板１が接触しない位置にノズル４Ａを退避できるよう
に構成されている。

このように、突起抑圧部材３Ａの抑圧で生じた感光性樹
脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの隙間部分に、流
体吹付機構４で流体を吹き付けることにより、感光性樹
脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの間に流体が吹き
込まれるので、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィル
ム１０を簡単に瞬時かつ確実に剥はすることができる。

１前記流体吹付機梼４で剥離された搬送方向の先端側の
透光性樹脂フィルム１ｄは、第２図及び第８図（要部斜
視図）で示すように、剥離角度設定板（剥雅補助板）５
に流体圧で（−１着し、その剥離位置及び剥離方向の剥
離角度Ｏが設定される。透光性樹脂フィルム１ｄは、第
２図及び第８図において一点鎖線で示している。剥離角
度０は、プリント配線用基板ｌに張り付けられている透
光性樹脂フィルムＩＤとその状態から引き起された透光
性樹脂フィルム１ｄとがなす角度であり、略直角になる
ように構成されている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は。

感光性樹脂層ｌＣに損傷、破壊を生じないように、プリ
ント配線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィルム
ＩＤにこすれない程度の間隔を置いて設けら九でいる。

そして、剥離角度設定板５は、その先端が、流体吹き付
は時には、透光性樹脂フィルム１０に密着するように、
移動可能に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果の低
下を防止する。また、剥離角度設定板５の先端は１曲率
半径の小さい円孤状になっている。例えば１曲率半径が
３　ｎｏ以下に構成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機構
６よりもプリント配線用基板ｌ側に近接させ、プリント
配線用基板ｌの搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の長
さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されてい
る。すなわち、第８図に矢印にで流体の流出方向を示す
ように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹抜
けをできる限り防止して剥離効果を高め、かつ剥離され
た透光性樹脂フィルム１ｄの剥離角度設定板５への付着
性を高めることができる。

剥離角度設定板５は・、図示していないが、ノズル４Ａ
からの流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けら
れている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置を
安定させるとともに、透光性樹脂フィルムｌＤに一様な
剥離力を加えることができる。したがって、剥離角度設
定板５は、透光性樹脂フィルムｌＤの剥離時における剥
離位置の変動防止。

剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂層ＩＣを損傷、破
壊しないようにすることができる。

なお、：剥離角度設定板５の剥離角度θは、透光性樹脂
フィルムＩＤの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件
変化により、鈍角或はそれと直角とめ範囲で可変できる
ように構成してもよい。また。

剥ｍ角度設定板５は、異なる厚さのプリント配線用基Ｆ
ｊｔ、異なる厚さの１６光性樹脂層１ｃや透光性樹脂フ
ィルムＩＤに対応できるように、その位置を移動できる
ように構成してもよい。この移動１１、　、、：　ｉ／
＋１えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等で行う−、！
・ができる。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性樹
脂フィルム１ｄは、第１図、第２図及び第９図（拡散分
解斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機構
）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出機構６は、主に、プリント配線用基板１の両面
側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベル
ト機構とで構成されている。

上部搬送ペル１〜機構は、第９図で詳細に示すように、
固定搬送ベルト６Ａ、６Ｃ，６Ｄ、６Ｅ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動＠Ｉに支持されたローラ６
Ａａ、駆動軸Ｈに支持されたローラ６Ａｂ及びローラ６
Ａａと６Ａｂとに巻き回されたベルト６ａで構成されて
いる。　　□ 可！Ｉ！ｌＪ搬送ベルト６Ｂは、従動軸ＩＩＩに支持さ
れたローラ６Ｂａ、駆動１１１１１Ｖに支持されたロー
ラ６Ｂｂ及びローラ６Ｂａと６Ｂｂとに巻き回されたベ
ルト６ｂで構成されている。この可ｆｆｌ＋ｍ送ベルト
６Ｂは、ＩＩ動軸ＩＶを中心に第２図に示すように、矢
印り方向に回転するように構成されている。すなわち、
可動搬送ベルト６Ｂは、剥離された透光性樹脂フィルム
１ｄを剥離角度設定板５に付着させ易くするとともに、
この透光性樹脂フィルム１ｄを固定搬送ベルト６Ａとで
挟持して搬送できるように構成されている。また、固定
搬送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂとの挟持は、第
８図に示す剥離角度設定板５に設けられた切込部５Ａを
通して行われる。この切込部５Ａは、剥離角度設定板５
で剥離位置及び剥渭角度が設定された透光性樹脂フィル
ムｌｄに固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとが
達し、両者でそれを挟持できるように構成されている。

すなわち、切込部５Ａは、固定搬送ベルト６Ａと可動搬
送ベルト６Ｂとで透光性樹脂フィルム１ｄを確実に挟持
できるように構成されている。

固定搬送ベルト６Ｃは、ＴｖＡ動軸動軸衣持されたロー
ラ６Ｃａ、従動軸Ｖに支持されたローラ６Ｃｂ及びロー
ラ６　Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６ｃで構成
されている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸■に
支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■に支持されたローラ
６０ｄ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｅ及びローラ
６Ｄａ〜６Ｄｅに巻き回されたベルト６ｄ’ｔ’ＦＭ成
されている。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６Ｂで搬送された透光性樹脂フィル
ム１ｄをさらに排出方向に搬送するように構成されてい
る。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６Ｄｅは、第１０図（
要部断面図）で示すように、　ＩＩ！ｉｌ定搬送ベルト
６Ｃ及び６Ｄから固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透光性
４３１１脂フイルムｌｄを搬送するときに、その搬送方
向が大きな角度で変化するために設けられている。すな
わち、ローラ６Ｄｅは、搬送方向が変化するときに、ベ
ルト６Ｃ及び６ｄの透光性樹脂フィルムｌｄに接触する
側の曲率半径を略同等にすることができる。したがって
、搬送時に透光性樹脂フィルムｌｄにシワが生じること
を防止し、ジャム等の１−ラブルを防止することができ
る。

また、第１１図（部・分断面図）に示すように、透光性
樹脂フィルム１ｄの一方の面に接触し、その搬送方向と
交差する透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に所定の間隔
で設けられた複数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６Ｄ）の
間には、透光性樹脂フィルム１ｄの他方の面に接触する
固定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｇ）が設けられている。換
言すれば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト
６Ｃ及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルムｌｄとの接触
面）が一致しているか、或はそれよりも相手側に食込む
ように、透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に千鳥状に配
置されている。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性樹脂フィルム１ｄ
にその幅方向の張力を与えることができるので、固定搬
送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一な挟持力でしかも確実に透
光性樹脂フィルムｌｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６０及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルムｌｄは、夫々のベルト６Ｃ及び６ｄの表面
及び側面側を包み込むような形状で搬送されるので、ロ
ーラ６Ｃａ　、　６Ｃｂとベルト６　Ｃ、又はローラ６
Ｄａ〜６Ｄｅとベルト６ｄとのローラの軸方向のズレを
防止することができる。したがって、搬送時に透光性樹
脂フィルム１ｄに加わる挟持力を均一にし、それにシワ
が発生することを防止できるので、ジャム等のトラブル
を防止することができる。特に、本実施例の装置は、後
述する上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａを設け
ており、上部搬送ベルト機構の搬送経路が下部搬送ベル
ト機構のそれよりも長いので、固定搬送ベルト６Ｃ及び
６Ｄのように構成することは有効であるい 固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ６
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｅで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ６
　Ｆ　ａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びロー
ラ６Ｆａと６Ｆｂとに巻き回されたベルト６ｆで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第１図及び第２図に示す
ように、前記固定搬送ベルＩ−６Ｃ及び６ＤでＩ／１送
された透光性樹脂フィルムｌｄを装置本体から矢印Ｍ方
向に排出するように構成されている。装置１１本体から
排出された透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図に示す」
二部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａに収納される
。この」二部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａは、
装置本体の上部に着脱自在に取り付けられている。

前記下部搬送ベルト機端は、第２図に示すように、固定
搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６Ｈとで構成されてい
る。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動！ＩＩ
Ｉ（図示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びロ
ーラ６Ｇａ〜６ＧＣに巻き回されたベル１〜６ｇで構成
されている。

可動搬送ベルｌ−６１１は、夫々別々の従動軸（図示し
ていない）に支持されたローラ６ｌ−１ａ、６ＨＣ１従
＃Ｊ　！Ｉｌ＋　（図示していない）に支持されたロー
ラ６１１ｂ及びローラ６１−１　ａ〜６Ｈｃに巻き回さ
れたベルト６　ｋ＋で構成されている。

固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６　Ｈは、前記−
に１部搬送ベル（−機構と同様に、剥離角度設定板５で
剥離位置及び剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹
脂フィルムｌｄを剥離しながら搬送するとともに、矢印
Ｏ方向に装置本体から透光性樹脂フィルム１ｄを排出す
るように構成されている。装置本体から排出された透光
性樹脂フィルム１ｄは、第１図に示す下部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容に＋７Ｂに収納される。この下部透光
性樹脂フィルム排出収納容滞７Ｂは、装置本体に着脱自
在に取り付けられている。また、前記上部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容器７Ａは下部透光性樹脂フィルム排出
収納容＋Ｊ２１７Ｂの上部に設けられており、装置４本
体は、占有面積を縮小しコンパクト化できるように構成
されている。

また、前記固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６　Ｈの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、
第２図及び第９図に示すように、排出される透光性樹脂
フィルム１ｄにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹
き付ける流体噴出機構８が設けられている。このとき、
排出される透光性樹脂フィルムｌｄと流体吹付方向とが
なす角度は。

流体の噴出で透光性樹脂フィルム１ｄを確実に排出方向
に誘導できるように、鋭角０１（０≦０．≦９０）′に
設定されている。流体噴出機構８は、固定搬送ベルト６
Ｅ間、６　Ｆ　ｌｉｌ　、　６０間及び可動搬送ベルト
６Ｈ間に流体が噴出する噴出口が設けられたパイプで構
成されている。流体としては、圧力を加えた空気、不活
性ガス等の気体、水等の液体を使用する。なお、図示さ
れていないが、流体噴出装置８に近接した位置には、透
光性樹脂フィルＩｓ　１・（１の帯電を低減する除電装
置が設けられている。□ このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可！Ｐ
ＩＪ搬送ベルＩ−６Ｈの夫々の排出側に流体噴出ｅ！２
４１８を設けろことにより、排出される透光性樹脂フィ
ルム１ｄが１４度固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ。

６Ｇ又は可動搬送ベルＩ−６１−１に巻き込まれること
を防止するとともに、流体で矢印Ｍ又はＯ方向に透光性
樹脂フィルムｌｄを誘導することができるので、透光性
樹脂フィルム１ｄを効率良く上部又は下部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容器７Ａ又は７Ｂに排出することができ
る。

また、固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動
搬送ベルト６Ｈ間の夫々の排出側の搬堺経路の近傍には
、巻込防止用部材９が設けられており、透光性樹脂フィ
ルム１ｄが固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可！ｌ
！１ｌＷｉ送ベルト６Ｉ−１に巻き込まれることを防止
している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置及び可！！ｌ］搬送ベルト６　Ｈに近接した位
置には、夫々除電装置１０とイオン拡散装［ｉ’？１１
とが設けられている。除電装置１０は、イオンを放出し
、剥離や搬送時に透光性樹脂フィルムｌｄが帯電するこ
とを低減できるように構成されている。イオン拡散装置
ｉ’ｔ　１１は、除電装置１０から放出されたイオンを
拡散し、透光性樹脂フィルム１ｄの帯電を効率良く低減
できるように構成されている。イオン拡散装置１７１１
は１例えば、圧力が加えられた空気等の流体でイオンを
拡散するように構成されている。

なお、本発明は、眞記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、本発明は、突起押圧機構３の突起押圧部材３Ａ
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で↑Ｓ成して
もよい。

また、本発明は、回転体の円周上に複数の針が設けられ
たブラシで透光性樹脂フィルムＩＤの端部を引き起す薄
膜浮上機構を有する薄膜剥離装置の薄膜搬送袋に７に適
用することができる。

また１本発明は、ローレットで透光性樹脂フィルムＩＤ
の端部を押圧し、その部分を浮上させるｉＷ膜浮上機構
を有する薄膜剥離装置の薄膜搬送装置に適用することが
できる。

また、本発明は、突起抑圧機構３で透光性樹脂７（ルム
ｌＤの端部を浮」二させ、この浮上した部づ）に粘着部
材を押圧させて透光性樹脂フィルムｌＤを剥離する薄膜
剥離装置の薄膜搬送装置に適用することができる。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果 以上説明したように、本発明によれば、以下に述へる効
果を得ろことができる。

薄膜を搬送ベルｌ〜で搬送する薄１１ｆｆの搬送装置で
あって、前記薄膜の一方の面に接触する複数の第１搬送
ベルトを、薄膜の搬送方向と交差する薄膜の幅方向に所
定の間隔で設け、該第１搬送ベルトの間に、前記薄膜の
他方の而に接触する第２搬送ベルトを設けたことにより
、前記第１搬送ベル１〜及び第２１１Ｏ送ベルトで搬送
される薄膜に、その搬送方向と交差する幅方向の張力を
与えることができるので、第１搬送ベル１へ及び第２搬
送ベルトで薄膜を均一な挟持力でしかも確実に挟持し搬
送することができる。

また、前記張力による反力でベルトの横ズレを防止する
ことができろ。

【図面の簡単な説明】

第１図は５本発明の一実施例のプリン１〜配線用基板の
保護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図。 第３図は、第１図及び第２図に示す突起押圧機構の構成
図。 第４図は、第３図の拡散分解図、 第５図は、第４図に示す突起抑圧部材の部分断面図、 第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図。 第８図は、第１図及び第２図に示す剥離角度設定板の要
部斜視図、 第９図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出機構の拡散
分解斜視図、 第１０図及び第１１図は、第９図に示す薄ＩｖＸ搬出機
溝の要部断面図である。 図中、ドブリン１〜配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性基板
、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、ＩＤ・
・・透光性樹脂フィルム、２・・・搬送用駆動ローラ。 ３・・・突起抑圧機構、３Δ・・突起抑圧部材、４・・
・流体吹付機構、５・・・剥離角度設定板、６・・・薄
膜搬出機構（薄膜搬送装置）、６Ａ〜６１１・・・搬送
ベルトである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄膜を搬送ベルトで搬送する薄膜の搬送装置であ
   って、前記薄膜の一方の面に接触する複数の第１搬送ベ
   ルトを、薄膜の搬送方向と交差する薄膜の幅方向に所定
   の間隔で設け、該第１搬送ベルトの間に、前記薄膜の他
   方の面に接触する第２搬送ベルトを設けたことを特徴と
   する薄膜の搬送装置。
2. （２）前記第１搬送ベルトと第２搬送ベルトは、薄膜の
   幅方向に千鳥状に配置されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項に記載の薄膜の搬送装置。