JPS6256248A - 薄膜剥離方法及びその実施装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業−１−の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであ１１゜特に
、基板の表面を保護するために張すイ４けられた保護膜
の剥離技術に適用り、て有効〆Ｊ・技術に関１−るもの
である１゜ ［従来の技術１ コンビ−１−タ等の電子機器で使用されるプリント配線
板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁１１基板の月面
又は両面に形成されたものである１、この種のプリン１
〜配線板は、次の製造■〕程により製造することができ
る。まず、絶縁性基板の−１に設けられた導電層十に、
感光性樹脂（）第１−レジスト）層とそれを保護する透
光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着
ラミネ−１−する。この後、配線パターンフィルムを車
ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィ
ルムを通して、感光性樹脂−を所定時間露光する。

イして、透光性樹脂フィル１３に剥離（−１た後、鞘ソ
ロされた感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパタ
ーンを形成する。ごの後、前記導電層のイ；必要部分を
エツチングによ１１除去し２、さらに残存する感光性樹
脂層を除去し、所定の配線パターンを有するプリン１〜
配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造−１−程においては、感光
性樹脂層を霧光した後現像するに際して、透光性樹脂フ
ィルムを剥離する工程が必要とされている。この透光性
樹脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィ
ルムが薄いので、剥離応力の偏り等による損傷、破壊が
生じないようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練
を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡ｉｉｔに説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、基板に張り付けられている１′ｌＡの端４一 部に力を加え、該力を加えｌＮＪオＬｌ一部分の＃膜に
。

流体を吹き付けて前記薄膜を引起し、該引起された薄膜
を所定方向に剥離しながｌ’、　を出し、該ｕ１：出さ
れてくる薄膜を回転体に巻き取り、その巻き取りに際し
、薄膜の回転体に巻き取られる内側の而及び又は回転体
の円周面に接着用液状媒体を付Ｌｉ−することを特徴と
する薄膜剥離方法である。

また、この薄膜剥離方法を実施する装置、すなわち、基
板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装置であっ
て、前記基板に張り（Ｊけられている薄膜の端部に力を
加える突起押圧部材と、該力を加えられた部分の薄膜に
、流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付手段で
基板から引起された薄膜の剥離角度を鈍角に設定する薄
膜剥離角度設定部材と、前記流体吹付手段で引起された
薄膜を剥離しながら排出する薄膜剥離排出１段と、該薄
膜剥離排出手段により排出されてくる薄膜を回転体に巻
き取る手段と、薄膜の回転体に巻き取られる内側の面及
び又は回転体の円周面に接着用液状媒体をｔｌ与する接
着用液状媒体付り手段とを設けてなることを特徴とする
薄膜剥離装置である。

［作用］ 本発明は、基板に張り付けられている薄膜の端部に突起
押圧部材で力を加え、該力を加えられた部分の薄膜に、
流体吹付手段で流体を吹き付け、該流体吹付手段で基板
から引起された薄膜の剥離角度を薄膜剥離角度設定部材
で鈍角に設定し、Ａｉｆ記流体流体吹付手段起された薄
膜を薄膜剥離排出手段で剥離しながら排出し、該薄膜剥
離排出手段により排出されてくる薄膜を排出薄膜巻取手
段で回転体に巻き取り、その巻き取りに際し、薄膜の回
転体に巻き取られる内側の而及び又は回転体の円周面に
接着用液状媒体付ケ手段で接着用液状媒体を付与したの
で、その液状媒体の接着（４４着）力を利用して巻取り
を確実かつ能率よく行うことができる。

［実施例］ 以下、プリント配線用基板の保護膜の剥離装置に適用し
た本発明の一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリン１〜配線用基板の
保護膜の剥離方法及びその実施装置の概略構成を示す概
略模写断面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図に示すように、主として、プリ
ント配線用基板１を搬送する搬送駆動ローラ２で構成さ
れている。この搬送機構における搬送経路には、突起押
圧部材３、流体吹付機構４及び薄膜剥離角度設定部材５
が設けらオしている。

前記プリント配線用基板ｌは、第２図（突起押圧部材３
及び流体吹付機構４の拡大断面図）で示すように、絶縁
性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形
成され、導電層Ｉ　Ｂ　、１−には、感光性樹脂層ｌＣ
と透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＤとからなる積層体
が熱圧着ラミネートされている。感光性樹脂層ＩＣは所
定のパターンに露光された後の状態にある。

前記搬送用駆動ローラ２は、第１図にＡ−Ａ線で示さオ
Ｌる搬送経路において、プリント配線用基板ｌを矢印方
向に搬送するように構成されている。

前記突起押圧部材３は、第２図及び第３図に示すように
、例えば針状部材からなっており、流体吹付機構４の流
体吹付部（ノズルの先端部）に取り付けられている。そ
して、この流体吹付機１１！４は、第１図及び第２図に
示すように、ノズル４Ａから圧力を加えた流体、例えば
、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すよう
に構成されている。この流体吹付機構４は、プリント配
線用基板ｌの感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩ
Ｄとの間に生じた隙間部分に流体を直接吹き付けるよう
に構成さｉｃている。なお、ノズル４Ａは、その設定角
度を可変できるように構成してもよい。

前記流体吹付機構４は、その吹付部に設けられている突
起押圧部材３で感光性樹脂層ＩＣ及び又は透光性樹脂フ
ィルムｌｒ）の端部に力を加えるように構成されている
。具体的に説明すれば、まず、−Ｂ＝ プリント配線用基板ｌの先端が位置検出器Ｓで検知され
ると、このプリント配線用基板ｌの先端と、第１図、第
２図及び第４図に示す位置設定部材３Ａとが当接する。

位置検出器Ｓはフォトセンサで構成する。位置設定部材
３Ａけ、前記位置検出器Ｓの検知信号により、エアーシ
リンダ、電磁ソレノイド等の駆動装置３Ｂで矢印Ｂ方向
に摺動するように構成されている。次に、感光性樹脂層
１ｃ及び透光性樹脂フィルムＩＤの搬送方向の端部の導
電層ＩＢｆに突起押圧部材３の先端を当接させる。ノズ
ル４Ａの先端部に突起押圧部材３を設けた流体吹付機構
４は、第２図に示すように、軸４Ｃを中心に歯車４Ｅ、
４Ｆ’で矢印Ｃ方向に移動するように構成されている。

そして、歯車４Ｇとラック４１１による矢印り方向の動
作で、導電層ＩＢ」二を摺動するように、突起押圧部材
３を設けたノズル４Ａを矢印Ｄ′方向（図中、右方向）
に移動させる。この突起押圧部材３の移動により、第５
図（要部拡大断面図）で示すように、感光性樹脂層１．
ｃ及び又は透光性樹脂フィルムＩＤの端部に力が加えら
れる。この後、必要に応じて、突起押圧部材３を設けた
ノズル４Ａ＆、図中、左方向に移動させる。

このように、プリント配線用基板１の感３’４性樹脂層
ＩＣ及び又は透光性樹脂フィルｌｚ　１１’）の端部に
、組状の突起押圧部材３で力を加えることにより、第６
図に符号】２で示すように、感光性樹脂層Ｉｃと透光性
樹脂フィルム１１−）との間に隙間を生しることができ
る。この隙間を生じるのは、感光性樹脂層ＩＣと透光性
樹脂フィルム１１〕との材質が異なり、後者にχ・１し
て前者の方が塑性変形し易いためと力が加わったとき同
各間に剪断応力が生じるｌ二めである。

また、プリント配線用基板１の搬送経路に、突起押圧部
材３を設けたことにより、感光性樹脂層ｌ　Ｃと透光性
樹脂フィルム１１）との端部に自動的に隙間を生じるこ
とができる。

また、本実施例ではプリント配線用基板１に対し、感光
性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルｌｚ　Ｉ　Ｕ’）とが
歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プリン
ト配線用基板１の順送方向に対（，７て３つの突起押圧
部材３本・設けであるが、ごれし限定されない。ずなわ
も、感）■性樹脂層ＩＣと透）イ□牲樹脂フィルＡ　Ｉ
　Ｄとの端部に必ず力が加えられるならば、１つ、２−
）又は４つ以−１の突起押圧部材３を設けてもよい３、 前記流体吹付機構４は、プリン１−配線用基板１の感光
性樹脂層１（゛と透光性樹脂フィルＡ　ｔ　ｒ）との間
に生じた隙間部分Ｌｒ流体を直接吹き伺けるように構成
されている。前記歯車４Ｅ、４Ｆ、４Ｇ及びうツク４１
１は、第１図に示すように、それぞれ支持台４Ｊに支持
され、支持台４Ｊは、エアーシリンダー４に等により矢
印方向に移動されるようになっている。

このように、突起押圧部材３により生じた感光性樹脂層
ＩＣと透光＋ｉ＋樹脂フィルＡ　１　＋−１との隙間部
分に、流体吹（＝−ｔ　ａ構４で流体を吹き付けること
により、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルム１１］
との間に流体が吹き込まわるので、透光性樹脂フィルｉ
ｚ　１１−１を簡Ｑｊに瞬時か′）確実に剥離すること
ができる。

前記薄膜剥離角度設定部材５は、第７図乃至第９［イに
示すように、薄膜剥離排出機構６のベルトコンベア６Ａ
の一端部と整合するように、薄膜剥離装置の筐体に設け
られている。

この薄膜剥離角度設定部材５は、透光性樹脂フィルｌｚ
　Ｉ　Ｄの剥離時における剥離位置の変動防止。

剥離応力の偏りの防止ができ、かつ、透光性樹脂フィル
ム１　ｒ）及び感光性樹脂層ｌＣが損傷、破壊しないよ
うにするために、引き起された透光性樹脂フィルｌｚ　
Ｉ　ＤのＩＩＪ離角離角度広板ｌの搬送方向から見た角
度）がプリント配線用基板ｌに対して鈍角となるように
、透光れ樹脂フィルＡ　Ｉ　Ｄの剥離角度を設定するよ
うな構造になっている。そして、薄膜剥離角度設定部材
５の先端は、プリント配線用基板１にこすれない程度の
間隔を置いて設けられている。また、薄膜剥離角度設定
部材５の剥離角度Ｏは、プリント配線用基板１に対して
、１５０度以１−にするのが好ましい。また、この剥離
角度Ｏを可変できるように構成してもよい。

また、薄膜剥離角度設定部材５の先端は、その断面が曲
率半径の小さい円孤状になっている。例えば、曲率半径
が３　ａｎｔ以下に構成されている。

このように薄膜剥離角度設定部材５夕設けることにより
、ネリ離位置を安定させると共に、透光性樹脂フィルム
１１−）及び感光性樹脂層ＩＣに一様な剥離力を加える
ことができる。

前記薄膜剥離排出機構６は、ベルｌ−コンベア６Ａ及び
ベルトコンベア６Ｂで構成されている。

ベル１へコンベア６Ａば、第１図及び第７図で示すよう
に、複数の一対のローラ６Ａａ、６Ａａ’及びこの−ｔ
Ｊのローラ６Ａａ、６Ａａ’に巻回された複数のベルｈ
　６　Ａ　ｂで構成されている。同様に、ベルトコンベ
ア６Ｂは、一対のローラ５　Ｂａ　＊６Ｂ８′に巻回さ
れたベルｔ”　６　Ｂ　ｂで構成されている。

なお、このベルトコンベア６１３は、一方のローラ６　
Ｂ　ａ　’を中心にエアーシリンダ等で回動し、べ月用
−コンベア６Ａのベルト６Ａｈ又は薄膜剥離角度設定部
材５に接触するように構成して、薄膜剥離排出機構６の
引込み口に持って来られた透光性樹脂フィルムｌ　Ｄの
端部をより確実に挟持、排出できるようにし、薄膜の初
出ミス等の１ヘラプルに対応するようにしてもよい。

前記ベルトコンベア６Ａとベル１−コンベア６Ｂは、流
体吹付機構４で剥離され、薄膜剥離角度設定部材５でガ
イドされた透光性樹脂フィルムｌｒ）を挟持し、それぞ
れの−・対のローラ６Ａａ、６Ａａ″及び一対のローラ
ｆｉＲａ、６Ｂｂ’を駆動させることにより、透光性樹
脂フィルムＩＤを順次剥離して排出するように構成され
ている。

前記ベルトコンベア６Ａ及び６Ｂは、搬送方向に少しす
れて接触又は近接して設けられており、ローラ６Ａ　ａ
’側から剥離された透光性樹脂フィルムｔｎが排出され
るようになっている。

前記薄膜剥離装置で透光性樹脂フィルムＬＤが剥離され
ると、プリント配線用基板１は、搬送用駆動ローラ２で
感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装置へ搬送される。

前記排出されてくる透光性樹脂フィルムＩＤが自重で垂
れ下って薄膜剥離排出機構６のベルトコンベア６Ａから
落ちてしまわない位置に、第１図及び第７図で示すよう
に、回転体７Ａを有するセ１：出薄膜巻取装置７を剥離
装置本体の筐体に設けられている。そして、ｉＩＩ記ロ
ーラ６Ａａ’と排出薄膜巻取装置７との間の所定位置に
、排出されてくる透光性樹脂フィル１％　Ｌ　Ｄの少な
くとも一面に接着用液状媒体８を放射（噴射、噴ｍ）し
て付与する液体噴射器９が設けられている。また、前記
排出薄膜巻取装置７の回転体７Ａの円周面部に接着用液
状媒体８を放射して付与する液体噴射器９が複数個所に
設けられている。

なお、前記ローラ６Ａ　ａ’と排出薄膜巻取装置７との
間の所定位置に、図示していないが、静電除去手段、例
えば、イオン化した空気を吹出す構成の静電除去装置を
設けると好ましい。

前記液体噴射器９から放射された接着用液状媒体８の残
余を収集するトレイ１０が排出薄膜巻取装置７及び液体
噴射器９の下部に設けられている。

このトレイｌＯに収集された接着用液状媒体８は、排液
パイプ１１によりｊＪｌｉ出されるように構成されてい
る。

前記接着用液状媒体８は、例えば、水、接着剤を含有す
る液体、液状接着剤等を用いる。

前記排出薄膜巻取装置７は、第１０図に示すように、回
転体７Ａの軸受台７Ｂを油圧昇降装置１２のピストン１
２Ａで支持し、制御用電磁弁１２Ｂでその高さを制御す
るようになっている。制御用電磁弁１２Ｂは、図示して
いないフォトセンサ等からなる回転体７Ａの径検出器か
らの信号によって制御用電磁弁１２Ｂの電磁弁駆動装置
１２Ｃによって制御されるようになっている。７Ｃは回
転体７Ａを駆動するモータである。

このように構成することにより、排出されてくる透光性
樹脂フィルムＩＯに液体噴射器９で接着用液状媒体８を
付与し、これを排出薄膜巻取装置７で順次巻き取るよう
にしたので、剥離された透光性樹脂フィルムＩＤを確実
に能率よく処理することができる。

また、前記排出薄膜巻取装置７の回転体７Ａに＝１６− 透光性樹脂フィルムＩＤが巻き付けられて、その径が大
きくなると、第１０図に示すように、制御用電磁弁７Ｅ
が開いて、油圧を下げて回転体７Ａの軸受台７Ｂを下げ
てさらに透光性樹脂フィルムＩＤを巻き取ることができ
る。前記軸受台７Ｂを移動させる機構は、剥離薄膜巻径
の増加に応じて連続的に下げる方式、あるいは段階的に
下げる方式のいずれにしてもよい。そして、透光性樹脂
フィルムＩＤの巻き取り径が所定の大きさになると、回
転体７Ａを取り外ずして、新しい回転体を取り付ける。

なお、前記排出薄膜巻取装置７０回転体７Ａ１；排出さ
れた透光性樹脂フィルムｌＤの巻き付けを確実にするた
めに、第１１図に示すように、巻付補助部材１３を設け
てもよい。

この巻付補助部材１３は、第１１図に示すように、剥離
装置本体の筐体１３Ａに回転自在に設けられ、その先端
部が接触するように他端をスプリング１３Ｂで引張っで
ある。

以上の説明かられかるように、本実施例によれば、ブＩ
Ｊン１−配線用Ｍ［１の搬送ＪＹ　路ｉ−１薄ｆｌｕ　
＃’１離装置を、設けたことによｊｌ、プリンｌ−配線
用」ん扱１の透光性樹脂フィルノ、１ｒ）及び感光性樹
脂層ＩＣの端部に突起押圧部材３で力を加えて透）−６
刊樹脂フイルＩｓ　１　ｒ）を浮かせて、その浮いた部
分に流体吹付機構４で流体を吹きイ・１け′Ｃ透光付樹
脂フィルノ％　１　ｒ〕の一部を簡ｉＢに剥離し、薄膜
ｉｌｌ踵μｍ出機構６で透光性樹脂フィルムｌｒ）を剥
離し、な７１１’　ｌ”ｉ　（Ｉｌｆ実に排出すること
が自動的に行う二とができるので、作業時間を大幅に短
縮するごとができろ。

また、排出されてくろ透光性樹脂）−イル／、　ｉ　ｌ
”’）を液体噴射Ｗ７ｊ９で接着用液状媒体８Δ１−ｆ
　＃ｉＬ１、υ１゛出薄膜巻取装置７で順次巻き取るよ
うにしたので。

剥離された透光性樹脂フィルムｌ　ｉ”）　夕確実に能
率よくコンパクトに１１’２集することができろ。

以１−１本発明を実施例に基づき具体的に説明し。

だが、本発明は、前記実施例に限定さ１するものではな
く、その要旨を逸脱１−２ない範囲にＪ８いて、種々変
形し得ることは勿論である。

例えば、前記突起押圧部材３は、第１２図に示すクサビ
形状、第１：３図１−示す甲を反射状、第１１図に示す
曲ｊｌタサビ形状のいＣ′＃ｔ　ｔｌので−あ〉で１よ
い４．前記薄膜剥離角度設定部＋４５目−５第１　Ｐｉ
図に示すように、複数の棒状部材で（３１ｒ状に形成し
２だもので’ＩＪ　、、、Ｅい５、八だし、ごの薄膜！
１１離角度、没定部Ｈ５の先端部４４１１、−ｆの断面
が間室’ｌ’　？￥の小さい円孤状の楕ｉ告にｌ！ｉ’
、　＝ｖ　ｒいる。

土だ、前記実施例（」、プリント配線用１□（板の薄膜
の剥Ｍ装置に本発明を適用１−Ｊ　ｔ−例１−７）いて
説明ｌ、・八が、本発明は、例えば、り１１築ｔ４　ｌ
Ｔ使用、、′！、ｔｌろ化粗、板を覆う保護膜の１３１
１前装置（−適用し、てｔｊ　、ｔ、い４、（３）効果 以−１−説明し、たよ）に、本発明１゛′Ｌれば、以Ｆ
に述べろ効果を得る。二とができる８ 〈１〉突起押圧部材で薄膜の端部に力を加λて。

浮かせて、その浮い！一部分に流体吹イ・１装置で流体
を吹き付けて薄膜の一部１１１稍こ剥離し、簿１漠ナリ
離排出装置で薄膜■ネ１１離り、ながＩＦ、確実Ｌ」１
１出オろごとによｊ１２薄膜剥離仕業を自動的に行）、
て、）：ができるので、作業時間を大幅に短縮する、て
どがで　１ｇ　− きる。

〈２〉前記〈１〉のｌＡｔ体吹ず・１装置で剥離さ才ｌ
だ薄膜を、基板の搬送方向かｒ’ＡＩ−ｃ鈍角（１，１
：板の搬送ＪＪ向と逆方向から見ると鋭角）のＡｌｌ離
角度を設定し、−ｆの設定されたＪＩＩ射角度で剥離［
、ながＩ’、　ｉｔ出するような構造にし７たごとによ
１）、透）’Ｉｓ　（１樹脂フイルム等の薄膜及び感光
ｔ′ｌ樹ｎ１７層に・様な刺部応力を加え、剥離位置を
安定さ仕るのτ、ｓ　＞’ｒ性樹脂フィル！１等の薄膜
の剥離時にＪ月ｙるＭ１１重位置の変動防止、ネリ離応
力の偏りの防１１．かてさ、かつ、感光性樹脂層が損傷
、破唆シ、ないよ°〕を用′ｊ動的に剥離することかで
きる１、 ＜ｒ３〉前記〈１〉の流体吹付機構の流体吹イ、１部に
突起押圧部材を設けたので、薄膜を基板かＩ−１ｉ・２
かせた位置ど’ｔＡ１体吹イ・１部の設定位置が常に・
致【７ているので、一部ｉｌｌ離を確実に（１うことか
でさる。

〈４〉排出されでくる薄膜に液体噴射器で接、ｎ用液状
媒体を付すするか、ＩＢるいはＪＪＩ’出Ａ’ｌ膜’ｉ
’ｆ　ＩＩｖ！Ａ置の回転体に接着用液状媒体を付ケ１
１．、Ｐ１出薄ｌ摸巻取装置で順次巻き取るようにしノ
ーので、Ｊ１１離された薄膜を確実Ｌ：　６１ｉ申よ＜
二」ンバクトにＩＩＶｊ隼１−ることができる５、 〈５〉前記く・１〉のｌ］出薄膜巻取装置の取イ・１位
Ｗｔ髪可変にすることにより、さｔ″ｊに、多蓋の剥離
薄膜をｍｌンパグトに収集する、′とができる４、

【図面の簡単な説明】

第１図１よ、本発明の−・実施例のプリン１−配線用基
板の保護膜の剥離Ｊｊθ、及びｔの実施装置の概略構成
を示す模写断面図、 第２図は、第１図の突起押圧機構及び流体吹イ・１機構
の構成を・示す断面図、 第；）図ＩＪ、第１図の突起押圧部材の拡大断面図、第
４図は、第１図の位１１′？設定部材の構成も示す斜視
図、 第５図及び第６図は、薄膜引き起し状態をで示す図、 第７［シ１け、第１図の薄膜剥離搬出機構の概ｌ１８構
成を示す断面図、 第８図及び第９図は、第７図の薄膜剥離角度設定部＋（
及び薄膜剥離搬出機構の要部の概略構成を示す斜視図及
び断面図。 第１０図は、第７図の剥離薄膜巻取装置の設定位置制御
機構の概略構成を示す模写図、第１１図は、巻イ・ｌ補
助部材の構成を示す斜視図。 第１２図乃至第１４図は、本発明の突起押圧部材の実施
例の構成を示す斜視図である。 図中、ｌ・・・プリント配線用基板、２・・・搬送駆動
ローラ、３・突起押圧部＋（，４・・・流体吹付機構、
４ハ・・・ノズル、５・・簿膜剥離角度設定部材、６・
・・薄膜剥離排出機構、７Ａ・・・回転体、７・排出薄
膜巻取装置、８・・・接着用液状媒体、９・・・液体噴
射器、１０−１−レイ、１１　・排出パイプ、１２・・
・油圧昇降装置である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられている薄膜の端部に力を加え
   浮かし、該浮かされた部分の薄膜に、流体を吹き付けて
   前記薄膜の一部を引起し、該引起された薄膜を所定方向
   に剥離しながら排出し、該排出されてくる薄膜を回転体
   に巻き取り、その巻き取りに際し、薄膜の巻き取られる
   内側の面及び又は回転体の円周面に接着用液状媒体を付
   与することを特徴とする薄膜剥離方法。
2. （２）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
   置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
   に力を加える突起押圧部材と、該力を加えられた部分の
   薄膜に、流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付
   手段で基板から引起された薄膜の剥離角度を鈍角に設定
   する薄膜剥離角度設定部材と、前記流体吹付手段で引起
   された薄膜を剥離しながら排出する薄膜剥離排出手段と
   、該薄膜剥離排出手段により排出されてくる薄膜を巻き
   取る排出薄膜巻取手段と、薄膜の回転体に巻き取られる
   内側の面及び又は回転体の円周面に接着用液状媒体を付
   与する接着用液状媒体付与手段とを設けてなることを特
   徴とする薄膜剥離装置。
3. （３）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
   置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
   に力を加える突起押圧部材と、該力を加えられた部分の
   薄膜に、流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付
   手段で基板から引起された薄膜の剥離角度を鈍角に設定
   する薄膜剥離角度設定部材と、前記流体吹付手段で引起
   された薄膜を剥離しながら排出する薄膜剥離排出手段と
   、該薄膜剥離排出手段により排出されてくる薄膜を回転
   体に巻き取る排出薄膜巻取手段と、薄膜の回転体に巻き
   取られる内側の面及び又は回転体の円周面に接着用液状
   媒体を付与する接着用液状媒体付与手段とを備え、前記
   流体吹付手段の流体吹付部分に前記突起押圧部材を設け
   てなることを特徴とする薄膜剥離装置。
4. （４）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
   置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
   に力を加える突起押圧部材と、該力を加えられた部分の
   薄膜に、流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付
   手段で基板から引起された薄膜の剥離角度を鈍角に設定
   する薄膜剥離角度設定部材と、前記流体吹付手段で引起
   された薄膜を剥離しながら排出する薄膜剥離排出手段と
   、該薄膜剥離排出手段により排出されてくる薄膜を回転
   体に巻き取る排出薄膜巻取手段と、薄膜の回転体に巻き
   取られる内側の面及び又は回転体の円周面に接着用液状
   媒体を付与する接着用液状媒体付与手段と、該排出薄膜
   巻取手段の位置を移動させる排出薄膜巻取手段位置制御
   手段とからなることを特徴とする薄膜剥離装置。