JPS63133693A

JPS63133693A - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPS63133693A
Application number: JP28099986A
Authority: JP
Inventors: 光博関
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1986-11-26
Filing date: 1986-11-26
Publication date: 1988-06-06
Anticipated expiration: 2011-03-04
Also published as: JPH0821766B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的〔産業上の利用分野〕本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は１次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性松
脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネ
５−トする。この後、配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを
通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透
光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂
層を現像してエツチングマスクパターンを形成する。こ
の後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去
し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し：所定の配線
パターンを有するプリント配線板を形成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のプリント配線板の製造工程においては。

感光性樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹
脂フィルムを剥離する工程が必要とされている。この透
光性樹脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該
フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹
脂層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器
用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている積
層体のうち、透光性梼脂フィルムの一部を針、ブラシ、
ローレット等で浮上させ、その浮上した部分に流体を吹
き付け、透光性樹脂フィルムを剥離することを自動的に
行ったものである。

前記積層体の一部を浮上させる浮上装置及びその浮上し
た部分に流体を吹き付ける流体吹付装置は、前記自動薄
膜剥離装置の基板搬送経路の近傍に設けられている。

しかしながら、前記自動薄膜剥離装置は、前記基板搬送
経路の近傍に薄膜浮上装置及び流体吹付装置を設けてい
るので、その領域に基板を搬送する搬送用駆動ローラを
設けることができない。このため、薄い基板を搬送する
場合に、前記領域において自重により基板の先端部が垂
れ下り、基板搬送経路からはずれ、ジャム等を生じるの
で、基板や自動薄膜剥離装置に損傷、破壊を生じるとい
う問題があった。

本発明の目的は、薄膜剥離装置の薄膜浮上装置の近傍に
おいて、搬送中の基板を基板搬送経路内に確実に保持す
ることが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、基板
や装置本体に損傷、破壊を生じることを防止することが
可能な技術を提供することにある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

（２）発明の構成〔問題点を解決するための手段〕本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離
する薄膜剥離装置において、前記薄膜の端部を浮上させ
る浮上部材を有する薄膜浮上装置を基板搬送経路の近傍
に設け、前記浮上部材の近傍に、基板を基板搬送経路内
に保持する基板保持部材を設けたことを特徴としたもの
である。

〔作用〕

本発明は、特に薄い基板を搬送する場合に、自重による
基板の先端部の垂れ下りを防止することができるので、
基板搬送経路内に確実に基板を保持することができる。

また、基板搬送経路内に基板を確実に保持することがで
きるので、搬送中における基板のジャム等を防止し、基
板や薄膜剥離装置が損傷、破壊することを防止すること
ができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

第１図は１本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図は、第１
図の要部拡大側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主と
して、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロー
ラ２で構成されている。

この搬送機構における基板搬送経路Ａ−Ａには。

薄膜浮上装置３、流体吹付装置４．剥離方向設定板（剥
離補助板）５及び薄膜搬送装置（薄膜排出装置）６が設
けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電層ＩＢが
形成されたものである。このプリント配線用基板１の導
電層ＩＢ上には、感光性樹脂層１ｃと透光性樹脂フィル
ム（保護膜）ＩＤとからなる積層体が熱圧着ラミネート
されている。感光性樹脂層ＩＣは所定の配線パターンフ
ィルムが重ねられ鱈光された後の状態にある。プリント
配線用基板１は、第１図に示す矢印入方向に搬送用駆動
ローラ２で搬送されるように構成されている。

前記薄膜浮上装置３は、第３図（要部斜視図）及び第４
図（拡大分解斜視図）に示すように構成されている。

この薄膜浮上装置３は、プリント配線用基板１の両側面
に、夫々、少なくとも１個の浮上部材３Ａが設けられて
いる。浮上部材３Ａは、第３図で示すように、プリント
配線用基板１側の先端部が針状で構成されている。浮上
部材３Ａは、空気式振動装置３Ｂによって、矢印Ｂ方向
に振動するように構成されている。空気式振動装置３Ｂ
は、その詳細な構成を省略するが、流体供給管３Ｃによ
り加圧された空気が供給され、例えば、１分間に２００
〜３００ストロークの振動を浮上部材３Ａに与えるよう
に構成されている。

前記浮上部材３Ａの先端部は、感光性樹脂層１Ｃと透光
性樹脂フィルムＩＤからなる積層体の端部を振動押圧す
なわちエネルギを与えるように構成されている。エネル
ギが与えられた積層体の端部は、感光性樹脂層ＩＣから
透光性樹脂フィルムＩＤが浮上（剥離）するようになっ
ている。エネルギが与えられた積層体の端部において、
感光性樹脂層ＩＣと導電層ＩＢとは、前記感光性樹脂層
ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの接着力に比べて強い
ので剥離されない。

浮上部材３Ａの先端角度は１例えば、６０〜７０〔度〕
程度の角度で構成する。浮上部材３Ａの先端部は、プリ
ント配線用基板１の導電層ＩＢや積層体に損傷を生じな
いように、適度な曲率半径を有するように構成されてい
る。また、浮上部材３Ａは、先端部の摩耗をできる限り
低減できるように、ステンレス鋼、炭素鋼等の金属材料
や、セラミック等の非鉄金属材料で構成されている。

基板搬送経路Ａ−Ａを中心に、その近傍の上下に対向す
る位置に設けられた夫々の浮上部材３Ａ（実際には空気
式振動装置３Ｂ）は、ホルダ３Ｄを介して夫々別々の浮
上部材支持回転軸３Ｅに支持されている。ホルダ３Ｄは
、固定ホルダ部３Ｄ。

と摺動ホルダ部３Ｄ２とで構成されている。固定ホルダ
部３Ｄ、は、浮上部材支持回転軸３Ｅに固着されている
。摺動ホルダ部３Ｄ、は、基板搬送経路Ａ−Ａに対して
、所定の角度で浮上部材３Ａ（空気式振動装置３Ｂ）を
保持するように構成されている。さらに、摺動ホルダ部
３Ｄ、は、所定の振動押圧力で積層体に浮上部材３Ａを
当接できるように、固定ホルダ部３Ｄよ（又は浮上部材
支持回転軸３Ｅ）に対して、矢印Ｃ方向に摺動できるよ
うに構成されている。摺動ホルダ部３Ｄ２の矢印Ｃ方向
への摺動は、図示していないが、例えば。

ばね等の弾性部材で制御される。

浮上部材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部は。

第４図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイド用長穴３
ｆを通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回転自在に連
結されている。ガイド部材３Ｆは、図示していないが、
剥離装置本体（７）にビス等の取付手段で固着されてい
る。ガイド用長穴３ｆは、プリント配線用基板１に近接
又はそれから離反させる方向（矢印り方向）に、浮上部
材支持回転軸３Ｅすなわち浮上部材３Ａをガイドするよ
うに構成されている。

上下、夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は。

回転軸３ｈを中心に矢印Ｅ方向に回転自在に取り付けら
れた回転アーム部材３Ｈの回転軸３ｈを中心として対向
する端部に回転自在に取り付けられている。回転アーム
部材３　Ｈは、上下、夫々の移動アーム部材３Ｇを異な
る矢印り方向に移動させるように構成されている。上側
（又は下側）の浮上部材支持回転軸３Ｅの一端部には、
連結アーム部材３工を介在させて１両面兼用駆動源のシ
ャフト３Ｊが接続されている。

前記浮上部材支持回転軸３Ｅをガイドするガイド部材３
Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈ及び両
面兼用駆動源は、シャフト３Ｊの矢印Ｆ方向の動作でプ
リント配線用基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部
材３Ａを互いに近接させ又は前隅させる薄膜浮上装置３
のリンク機構を構成している。リンク機構を構成する夫
々の部材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の比較
的外力に対して変形しずらい材料で構成する。両面兼用
駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ、電磁ソ
レノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは、移動ア
ーム部材３Ｇの一端部に限定されず、回転アーム部材３
Ｈの一端部に連結させてもよい。

このような構成のリンク機構を用いて浮上部材３Ａと両
面兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用
基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部材３Ａをプリ
ント配線用基板１の表面に接触させ又は離反させる動作
（矢印り方向の動作）を行うことができる。すなわち、
リンク機構は、　゛プリント配線用基板１の両面側に、
浮上部材３Ａを駆動する駆動源を別々に設けることなく
、１つの両面兼用駆動源で両面側の浮上部材３Ａを駆動
することができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈが略剛体であり、夫
々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規定さ
れているので、プリント配線用基板１の両面側の夫々の
浮上部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間等にしかも
正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少なく
、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、浮上部材３
Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単
にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記浮上部
材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部には、夫々の一
端部が固着された浮上部材回転アーム部材３Ｋが設けら
れている。夫々の浮上部材回転アーム部材３にの他端部
には、長穴３ｋが設けられており、両者の長穴３ｋには
、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続する連結アーム
部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すなわち、浮上部
材回転アーム部材３には、連結アーム部材３Ｍを介して
両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結されている。両面
兼用駆動源としては、前記のリンク機構と同様の両面兼
用駆動源を使用すればよい。

前記浮上部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部材３
Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｇ方向の動作により、浮上部
材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｈ方向に回転させるととも
に浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印工方向に回転させる、
薄膜浮上装置３の浮上部材回転機構を構成するようにな
っている。つまり、浮上部材回転機構は、積層体の端部
を浮上部材３Ａで振動押圧すると共に、浮上部材３Ａを
その状態のまま、所定の距離だけ基板搬送方向に移動さ
せるように構成されている。本実施例において、浮上部
材回転機構は、浮上部材３Ａを基板搬送方向に１〜３［
ｍ］程度移動させるように構成されている。

このように構成される浮上部材回転機構は、前述の浮上
部材３Ａを近接させ又は離反させるリンク機構と同様に
、プリント配線用基板１の両面側の夫々の浮上部材３Ａ
を一つの駆動源で動作させることができるとともに、そ
の動作量、動作時間を正確に制御することができる。

また、浮上部材回転機端は、浮上部材３Ａと両面兼用駆
動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることがで
きる。

このように薄膜浮上装置３は、主に、浮上部材３Ａ、空
気式振動装置３Ｂ、リンク機構、浮上部材回転機構で構
成されている。

なお１本発明は、前記薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを
、空気式振動装置３Ｂに代えて、先に本願出願人により
出願された特願昭６１−１８１１２６号に記載される電
磁式振動装置で構成してもよい。

前記流体吹付装置４は、第１図、第２図及び第３図に示
すように、ノズル４Ａから圧力を加えた流体１例えば、
空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように
構成されている。この流体吹付装置４は、プリント配線
用基板１の端部において、感光性樹脂層ＩＣから透光性
樹脂フィルムＩＤが浮上した両者の隙間部分に流体を直
接吹き付けるように構成されて゛いる。流体吹付装置４
は、前記隙間部分に即座に流体を吹き付けられるように
、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａに近接した位置にノズ
ル４Ａが位置するように構成されている。

ノズル４Ａは、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａの先端部
に１両側（２方向）から流体を吹き付けるように一対（
４Ａ工、　４Ａ２）で構成されている。一対のノズル４
Ａには、１つの流体供給管４Ｂから流体が供給されるよ
うに構成されている。

一対のノズル４は、支持部材４Ｃを介在させて、装置本
体（固定支持部材）７に固着されている。ノズル４Ａの
固着は、薄膜剥離装置の動作による微小振動等で、流体
の吹付方向が変動しないようにすることができる。つま
り、ノズル４Ａは、常時、一定の流体吹付方向を確保す
ることができる。

このように、薄膜浮上装置３で生じた感光性樹脂層ＩＣ
と透光性樹脂フィルムＩＤとの隙間部分に、流体吹付装
置４で流体を吹き付けることにより、感光性樹脂層ＩＣ
と透光性樹脂フィルムＩＤとの間に流体が吹き込まれる
ので、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤを
簡単に瞬時かつ確実に剥離することができる。

また、異なる方向から流体を吹き付けられるように、流
体吹付装置４のノズル４Ａを一対に構成することにより
、薄膜浮上装置３で透光性樹脂フィルムＩＤの一部を浮
上させた部分に、確実に流体を吹き付けることができる
ので、流体の吹き付けによる透光性樹脂フィルムＩＤの
剥離効果を高めることができる。

なお１本発明は、ノズル４Ａの流体吹付角度を変化する
ことができるように構成してもよい。このように構成さ
れる流体吹付装置４は、流体吹付時にできる限り前記隙
間部分にノズル４Ａを近接させ、流体吹付後にプリント
配線用基板１が接触しない位置にノズル４Ａを退避する
ことができる。

前記基板搬送経路Ａ−Ａの近傍には、第２図、第３図及
び第５図（要部拡大断面図）で示すように、基板保持部
材８、積層体端部検出装置９の夫々が設けられている。

基板保持部材８、積層体端部検出装置９の夫々は、基板
搬送経路Ａ−Ａと交差する方向において、略同−線上に
設けられている。

基板保持部材８は、ローラ８Ａ及びこのローラ８Ａを一
端で回転自在に支持する支持部材８Ｂで構成されている
。支持部材８Ｂの他端は、ビス等の固着手段によって、
装置本体７に取り付けられている。基板保持部材８は、
薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４を設けて、搬送用駆
動ローラ２の間隔が広くなる領域に構成されている。さ
らに、基板保持部材８は、薄膜浮上装置３の撮動押圧や
流体吹付装置４の加圧された流体によるエネルギがプリ
ント配線用基板１に加わる領域に構成されている。

ローラ８Ａは、プリント配線用基板１（実際には、その
表面の透光性樹脂フィルムＩＤ）と所定の間隔を有する
ように構成されている。つまり、ローラ８Ａは、搬送さ
れるプリント配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保
持し、しかも、流体吹付装置４で透光性樹脂フィルムＩ
Ｄが押え付けられずに剥離できるように、所定の間隔を
有するように構成されている。ローラ８Ａは、プリント
配線用基板１（特に、　ｖｃＡＭ体の感光性樹脂層ＩＣ
）を損傷、破壊しないように、例えば、樹脂、ゴム等の
比較的軟質材料で構成する。支持部材８Ｂは、ローラ８
Ａを支持すると共に、基板搬送経路Ａ−Ａに近接する部
分は、ローラ８Ａと同様に、搬送されるプリント配線用
基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持するように構成さ
れている。支持部材８Ｂは、硬質樹脂や金属等の比較的
硬質材料で構成する。

このように、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａの近傍であ
って、基板搬送経路Ａ−Ａの近傍に、基板保持部材８を
設けることにより、特に、薄いプリント配線用基板１の
先端部の垂れ下りを防止し、プリント配線用基板１を基
板搬送経路Ａ−Ａ内に確実に保持することができる。つ
まり、基板保持部材８は、搬送中におけるジャム等のト
ラブルを防止し、プリント配線用基板１や薄膜剥離装置
の損傷、破壊を防止することができる。

さらに、プリント配線用基板１の表面から所定の間隔を
有するようにローラ８Ａを構成することにより、透光性
樹脂フィルムＩＤを押さえ付けることがないので、流体
吹付装置４で透光性樹脂フィルムＩＤを確実に剥離する
ことができる。

なお、基板保持部材８は、厚いプリント配線用基板１が
接触した時に、その位置が変化できるように、ローラ８
Ａ又は支持部材８Ｂに弾力性を有するように構成しても
よい。

前記基板保持部材８よりも基板排出側の基板搬送経路Ａ
−Ａの近傍には、補助用基板保持部材１０が設けられて
いる。補助用基板保持部材１０は、ローラＩＯＡと、そ
れを回転自在に支持しかつ装置本体７に取り付けられた
回転軸１０Ｂとで構成されている。補助用基板保持部材
１０は、前記基板保持部材８と実質的に同様に、プリン
ト配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持するよう
に構成されている。

前記積層体端部検出装［９は、プリント配線用基板１の
静電容量の変化を検出する静電容量型、又はプリント配
線用基板１の電気抵抗の変化を検出する電気抵抗型で構
成されている。積層体端部検出装置９は、主に、プリン
ト配線用基板１の両面側に夫々設けられた棒状接触子９
Ａと、それを支持する可動支持装置９Ｂとで構成されて
いる。

棒状接触子９Ａは、銅、鋼等の導電性材料で構成されて
いる。可動支持装置９Ｂは、装置本体７に固着されてい
る。可動支持装置９Ｂは、詳細に図示していないが、棒
状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａに近接及び離反（矢
印Ｊ方向に）動作するように構成されている。可動支持
装置９Ｂは、例えば、棒状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ
−Ａ側に近接する方向に移動させる電磁ソレノイドと、
離反室せる方向に移動させる弾性部材とで構成されてい
る。

次に、ここで、第１図乃至第４図疎び第５図乃至第９図
（要部拡大断面図）を用い、プリント配線用基板１の積
層体の端部を浮上させる動作及び剥離させる動作につい
て簡単に説明する。

まず、基板搬送経路Ａ−Ａにおいて、搬送用駆動ローラ
２により、矢印入方向にプリント配線用基板１を搬送す
る。

次に、第５図に示すように、プリント配線用基板１の搬
送方向先端部が、薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４が
設けられた位置を通過すると、搬送用駆動ローラ２の回
転が停止し、プリント配線用基板１の搬送が一旦停止さ
れる。搬送の停止は、プリント配線用基板１の先端部を
検出する透過型又は反射型の光センサＳで行う。

次に、第６図に示すように、積層体端部検出装置９の棒
状接触子９Ａがプリント配線用基板１の積層体（透光性
樹脂フィルム１°Ｄ）の表面に接触する。棒状接触子９
Ａは、可動支持装置９Ｂで矢印Ｊ方向に移動するように
構成されている。この棒状接触子９Ａの動作から、プリ
ント配線用基板１の静電容量（又は電気抵抗）が検出さ
れるようになっている。なお、積層体表面への棒状接触
子９Ａの接触は、光センサＳの検出信号により、プリン
ト配線用基板１の搬送の停止と実質的に同一タイミング
で行ってもよい。

次に、棒状接触子９Ａが積層体表面に接触した状態で、
搬送が停止されているプリント配線用基板１を逆方向に
搬送する。そして、第７図に示すように、棒状接触子９
Ａが搬送方向先端部の積層体の端部に達すると、静電容
量（電気抵抗）が変化し、積層体の端部が検出される。

　次に、積層体の端部の検出信号により、プリント配線
用基板１の逆方向の搬送が停止される。この停止動作と
実質的に同一タイミングで第８図に示すように、棒状接
触子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａから離反（矢印Ｊ方向に
移動）させると共に、積層体の端部の表面に薄膜浮上装
置３の浮上部材３Ａを矢印右方向に振動させながら接触
させる。浮上部材３Ａの移動は、第４図に示す１両面兼
用駆動源のシャフト３Ｊを矢印Ｆ方向（図中、下方向）
に動作させ、この動作で回転アーム部材３Ｈ及び移動ア
ーム部材３Ｇを作動させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを矢
印り方向に移動させることで行われる。つまり、浮上部
材３Ａの移動は、リンク機構により行われる。浮上部材
３Ａの振動は、空気式振動装置３Ｂで行われる。そして
、浮上部材３Ａの振動押圧と同一のタイミングによって
、流体吹付装置４のノズル４Ａの先端部から流体が吹き
付けられる。

次に、第９図に示すように、浮上部材３Ａを振動させた
状態で浮上部材３Ａを基板搬送方向Ａ側に微小移動（矢
印下方向に移動）させる。この浮上部材３Ａの移動は１
両面兼用駆動源のシャフト３Ｌを矢印Ｇ方向（図中、右
方向）に動作させ、この動作で浮上部材回転アーム部材
３に、連結アーム部材３Ｍで構成される浮上部材回転機
構を動作させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印下方向に
回転させる−ことにより行われる。この浮上部材３Ａの
微小移動は、前述したように、例えば、１〜３［講コの
ストロークで行われる。

なお、浮上部材３Ａの振動抑圧及び微小移動に際しては
、プリント配線用基板１の位置が変化しないように、プ
リント配線用基板１を搬送用駆動ローラ２とこの上面に
設けられた基板押えローラ（ピンチローラ）２Ａとによ
り挟持するように構成され、ている。すなわち、プリン
ト配線用基板１の先端部が検知されると信号が発せられ
、この信号により搬送用駆動ローラ２を駆動しているモ
ータの回転が停止し、同時にエアーシリンダが作用して
ブレーキ機構が作用し、ブレーキ用押え板が基板押えロ
ーラ２Ａに当接し、基板押えローラ２Ａを押え、これに
より、プリント配線用基板１をより確実に挟持するよう
になっている。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣ
及び透光性樹脂フィルムＩＤからなる積層体の端部を薄
膜浮上装置３の浮上部材３Ａで振動押圧することにより
、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤを浮上
させ、それらの界面に隙間を生じさせた後、この隙間に
、流体吹付装置４で流体を吹き付けることにより、第９
図に示すように、先端側の透光性樹脂フィルムＩＤを剥
離する（透光性樹脂フィルム１ｄにする）ことができる
。

前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部の浮上は、針状のＮ
ＩＬな構成の浮上部材３Ａで行うことができる。

また、薄膜浮上装置３．流体吹付装置４の夫々をプリン
１〜配線用基板１の基板搬送経路Ａ−Ａに設けたので、
前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部の浮上、剥離の夫々
を自動的に行うことができる。

また、本発明では、プリント配線用基板１に対し積層体
が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プリ
ント配線用基板１の基板搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の浮上部材３Ａ及びノズル４Ａを設けて薄膜
浮上装置３及び流体吹付装置４を構成してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の基板搬送
方向と交差する方向（幅方向）に薄膜浮上装置３の浮上
部材３Ａを設けであるが５本発明は、プリント配線用基
板１の基板搬送方向と同一方向であって、積層体の端部
又は隅角部近傍に浮上部材３Ａを設けることもできる。

この場合には、流体吹付装置４のノズル４Ａを浮上部材
３Ａの近傍に設ける。

また、本実施例は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａをリ
ンク機構で動作させたが、本発明は、浮上部材３Ａをラ
ックアンドピニオン機構で動作させてもよい。

また１本発明は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを粘着
ローラ等の粘着部材で構成してもよい。

前記流体吹付装置４で剥離された基板搬送方向先端側の
透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図、第２図及び第１０
図（要部斜視図）で示すように、剥離方向設定板（剥離
補助板）５に流体圧で付着するようになっている。剥離
方向設定板５は、前記剥離された透光性樹脂フィルム１
ｄの薄膜搬送装置６への剥離方向を設定すると共に、プ
リント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣに接着されてい
る透光性樹脂フィルムＩＤの剥離動作を補助するように
構成されている。剥離された透光性樹脂フィルム１ｄは
、第２図及び第１０図において一点鎖線で示している。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（透光性樹脂フィルム１
ｄの付着面）は、これに限定されないが、プリント配線
用基板１に張り付けられている透光性樹脂フィルムＩＤ
とその状態から引き起こされた透光性樹脂フィルム１ｄ
とがなす角度が略直角になるように構成されている。

剥離方向設定板５の剥離側の先端（剥曜位置）は、感光
性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を生じないように、曲率半径
の小さい円弧状で構成されており、例えば、曲率半径が
３ｍｍ以下で構成されている。

剥離方向設定板５は、感光性樹脂層ＩＣに損傷。

破壊を生じないように、プリント配線用基板１の搬送時
及びその搬送中での透光性帰服フィルムＩＤの剥離時に
、プリント配線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フ
ィルムＩＤにこすれない程度の間隔を置いて設けられて
いる。そして、剥離方向設定板５は、その先端が、積層
体の端部の浮上及び剥離時に透光性樹脂フィルムＩＤに
密着し、プリント配線用基板１を挟持するように構成さ
れている。つまり、剥離方向設定板５は、基板搬送経路
Ａ−Ａに近接及び離反し、その近接時に、底面でプリン
ト配線用基板１を挟持するように、移動可能に構成され
ている。この剥離方向設定板５は、図示していないが、
例えば、基板押えローラ２Ａを押えるためのブレーキ用
押え板の作動（エアーシリンダで作動している）に連動
してプリント配線用基板１に接触又は離反する。

このように、剥離方向設定板５を基板搬送経路Ａ−Ａに
近接及び離反するように構成することにより、流体吹付
装置４のノズル４Ａからの流体が、剥離方向設定板５の
裏側に吹き抜けることを低減することができるので、透
光性樹脂フィルムＩＤの剥離効果を高めることができる
と共に、透光性樹脂フィルム１ｄの剥離方向設定板５及
び搬送ベルト（６）への付着性を高めることができる。

また、剥離方向設定板５は、プリント配線用基板１の基
板搬送経路Ａ　−Ａ幅又は流体吹付幅の略全域の長さで
剥離方向に所定の長さを有するように構成されている。

このように構成される剥離方向設定板５は、第１０図に
矢印にで流体の流出方向を示すように、流体がその裏側
に吹き抜けることを低減することができるので、透光性
樹脂フィルムＩＤの剥離効果を高めることができると共
に、透光性樹脂フィルム１ｄの剥離方向設定板５及び搬
送ベルト（６）への付着性を高めることができる。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（透光性樹脂フィルムＩ
Ｄが直接付着する而）には、第１０図に詳細に示すよう
に、導電性部材５Ａが設けられている。導電性部材５Ａ
は、絶縁性部材５Ｂ上に設けられている。導電性部材５
Ａは、絶縁性部材５Ｂ及び導電性部材５Ｃを介在させて
、剥離方向設定板５のコの字形状で構成される設定板支
持部材５Ｄに接着剤で固着されている。

前記導電性部材５Ａ及び５Ｃは、板形状で構成され、電
気抵抗値が極めて小さい、例えば、銅。

ステンレス鋼等の金属材料で構成されている。絶縁性部
材５Ｂは、板形状で構成されている。設定板支持部材５
Ｄは、例えば、ステンレス鋼等の金属材料で構成されて
いる。つまり、前記導電性部材５Ａは、電気的にフロー
ティング状態で構成されている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面を導電性部
材５Ａで構成し、この導電性部材５Ａを絶縁性部材（絶
縁体）５Ｂ上に設けることにより、プリント配線用基板
１から剥離された時に帯電した透光性樹脂フィルム１ｄ
が導電性部材５Ａに付着すると、静電８景によるクーロ
ン力が作用するので、透光性樹脂フィルム１ｄの付着性
をより高めることができる。つまり、導電性部材５Ａは
、剥に方向設定板５の薄膜付着面に、透光性樹脂フィル
ム１ｄを確実に付着させることができる。

なお、前記導電性部材５Ａは、絶縁体上に設けて電気的
にフローティング状態に構成すればよいので、例えば、
剥離方向設定板５の設定板支持部材５Ｄを樹脂等の絶縁
性材料で構成し、その薄膜付着面に、直接、導電性部材
５Ａを設けてもよい。

この導電性部材５Ａは、所謂コンデンサと同様の作用を
するものである。

剥離方向設定板５の薄膜付着面には、導電性部材５Ａ、
絶縁性部材５Ｂ、導電性部材５Ｃ及び設定板支持部材５
Ｄを貫通する薄膜吸着用孔５Ｅが設けられている。この
薄膜吸着用孔５Ｅには、図示していないが、吸着装置（
真空吸着装置）からの吸着管が接続されており、前記剥
離された透光性樹脂フィルム１ｄを薄膜付着面に吸着す
るように構成されている。薄膜吸着用孔５Ｅは、薄膜付
着面に１つ又は複数設けられている。

このように、剥離方向設定板５のｇｔｆｌｕ付着而に付
着膜吸着用孔５Ｅを、没け、この薄膜吸着用孔５Ｅを吸
着装置に接続することにより、薄膜付着面に透光性樹脂
フィルム１ｄを付着保持することができるので、透光性
樹脂フィルム１ｄの付着性をより高めることができる。

つまり、薄膜吸着用孔５Ｅ及び吸着装置は、剥離方向設
定板５の薄膜付着面に、透光性樹脂フィルム１ｄを確実
に付着させることができる。

また、前記吸着装置又はそれと薄膜吸着用孔５Ｅとを接
続する吸着管に、吸着圧を検出する吸着圧検出器を設け
、剥離された透光性樹脂フィルム１ｄが剥離方向設定板
５の薄膜付着面に付着されているか否か、つまり剥離状
態を検出する薄膜剥離状態検出装置を薄膜剥離装置に設
けてもよい。

前記吸着圧検出器は、吸着圧が高い場合には薄膜付着面
に透光性樹脂フィルム１ｄが確実に付着している検出信
号を出力し、そうでない場合には反対の検出信号を出力
するように構成されている。

薄膜吸着用孔５Ｅは、剥離状態の検出精度を高めるため
に、剥離方向設定板５の薄膜付着面に複数設けることが
好ましい。この薄膜剥離状態検出装置により、薄膜付着
面に透光性樹脂フィルム１ｄの付着が確認できないプリ
ント配線用基板１　（薄膜剥離不良基板）は、この後に
基板搬送経路Ａ−Ａから除去される。

さらに、剥離方向設定板５の薄膜付着面には、薄膜吸着
用孔５Ｅと同様に貫通した薄膜剥離状態検出用孔５Ｆが
設けられている。薄膜剥離状態検出用孔５Ｆは、光セン
サ１１からの放射光が通過するように構成されており、
透光性樹脂フィルム１ｄが剥離方向設定板５の薄膜付着
面に付着されているか否か、つまり剥離状態を検出する
ように構成されている。すなわち、前記薄膜剥離状態検
出用孔５Ｆを透光性樹脂フィルム１ｄが塞ぐとそれ（１
ｄ）による反射光を光センサ１１で検出する。薄膜剥離
状態検出用孔５Ｆ及び光センサ１１で薄膜付着面に透光
性樹脂フィルム１ｄの付着が確認できないプリント配線
用基板１（薄膜剥離不良基板）は。

前述と同様に、この後に基板搬送経路Ａ−Ａから除去さ
れる。光センサ１１は、反射型（又は透過型）で構成し
、第３図に示すように、装置本体７に取り付けられてい
る。

このように構成される剥離方向設定板５は、透光性樹脂
フィルムＩＤの剥離位置を安定させると共に、透光性樹
脂フィルムＩＤに一様な剥離力を加えることができる。

したがって、剥離方向設定板５は、透光性樹脂フィルム
ＩＤの剥離時における剥離位置の変動防止、剥離応力の
偏りを防止し。

感光性樹脂層ＩＣを損傷、破壊させないようにすること
ができる。

なお、剥離方向設定板５の薄膜付着面は、透光性樹脂フ
ィルムＩＤの材質、流体吹付装置４の流体圧、プリント
配線用基板１の搬送速度等の条件変化により、透光性樹
脂フィルムＩＤとそれを剥離した透光性樹脂フィルム１
ｄの剥離方向とがなす角度が鈍角になるように構成して
もよい。また。

剥離方向設定板５の薄膜付着面の角度は、空圧シリンダ
等の駆動源で変化することができるように構成してもよ
い。さらに、この剥離方向設定板５の角度の変化に応じ
て、薄膜搬送装置６の固定搬送ベルト、可動搬送ベルト
等の位置や角度を変化することができるように構成して
もよい。

また、本発明は、前記剥離方向設定板５の薄膜付着面に
、基板搬送方向と交差する方向又は透光性樹脂フィルム
１ｄの剥離する方向に延在する複数本の溝を設け、薄膜
付着面及び溝底面に複数の薄膜吸着用孔５Ｅを設け、夫
々の薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置に接続してもよい。こ
のように構成される剥離方向設定板５は、薄膜付着面に
透光性樹脂フィルム１ｄを確実に付着させることができ
ると共に、その後に薄膜搬送装置６に搬送（排出）する
に際して、薄膜付着面から透光性樹脂フィルム１ｄを瞬
時に離すことができるので、薄膜搬送装置６による透光
性樹脂フィルム１ｄの搬送を確実に行うことができる。

流体吹付装置４で剥離方向設定板５の薄膜付着面に付着
した透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図。

第２図及び第１１図（拡散分解斜視図）で示すように、
薄膜搬送装置（薄膜排出装置）６で剥離しながら搬出さ
れる。この時、剥離方向設定板５は、透光性樹脂フィル
ムＩＤの剥離位置を規定すると共に、透光性胡脂フィル
ムＩＤの剥離を補助するように構成されている。

薄膜搬送装置６は、主に、プリント配線用基板１（基板
搬送経路Ａ−Ａ）の両面側に夫々設けられた上部搬送ベ
ルト機端と下部搬送ベル１−機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第１１図で詳細に示すように、
固定搬送ベルト６Ａ、６Ｃ，６Ｄ、６Ｅ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸Ｉに支持されたローラ６
Ａａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ａｂ及びローラ６
Ａａと６Ａｂとに巻き回されたベルト６ａで構成されて
いる。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｂａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ｂｂ及びローラ６
Ｂａと６Ｂｂとに巻き回されたベルト６ｂで構成されて
いる。この可動搬送ベルト６Ｂは、駆動軸■を中心に、
第２図に示すように。

矢印り方向に回転するように構成されている。すなわち
、可動搬送ベルト６Ｂは、剥離された透光性樹脂フィル
ム１ｄを剥離方向設定板５に付着させ易くすると共に、
この透光性樹脂フィルム１ｄを固定搬送ベルト６Ａとで
挟持して搬送できるように構成されている。また、固定
搬送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂとの挟持は、第
１０図に示す剥離方向設定板５に設けられた切込部５Ｇ
を通して行われる。この切込部５Ｇは、剥離方向設定板
５で剥離位置及び剥離方向が設定された透光性樹脂フィ
ルム１ｄに固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂと
が達し、両者でそれを挟持できるように構成されている
。すにわち、切込部５Ｇは、固定搬送ベルト６Ａと可動
搬送ベルト６Ｂとで透光性樹脂フィルム１ｄを確実に挟
持できるように構成されている。

固定搬送ベルト６Ｃは、駆動軸Ｈに支持されたローラ６
　Ｃａ　、従動軸■に支持されたローラ６Ｃｂ及びロー
ラ６Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６ｃで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸■に
支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■に支持されたローラ
６Ｄｄ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｅ及びローラ
６Ｄａ〜６Ｄｅに巻き回されたベルト６ｄで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６Ｂで搬送された透光性樹脂フィル
ム１ｄをさらに排出方向に搬送するように構成されてい
る。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６Ｄｅは、固定搬送ベ
ルト６ｃ及び６Ｄがら固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透
光性樹脂フィルム１ｄを搬送するときに、その搬送方向
が大きな角度で変化するために設けられている。すなわ
ち、ローラ６Ｄｅは、搬送方向が変化するときに、ベル
ト６ｃ及び６ｄの透光性樹脂フィルム１ｄに接触する側
の曲率半径を略同等にすることができる。したがって、
搬送時に透光性樹脂フィルム１ｄにシワが生じることを
防止し、ジャム等のトラプルを防止することができる。

また、透光性樹脂フィルム１ｄの一方の面に接触し、透
光性樹脂フィルム１ｄの搬送方向と交差する方向に所定
の間隔で設けられた複数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６
Ｄ）の間には、透光性樹脂フィルム１ｄの他方の面に接
触する固定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｃ）が設けられてい
る。換言すれば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々の
ベルト６ｃ及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルム１ｄと
の接触面）が一致しているか、或はそれよりも相手側に
食込むように、透光性樹脂フィルム１ｄの幅方向に千鳥
状に配置されている。

このように、固定電送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性樹脂フィルム１ｄ
にその幅方向の張力を与えることができるので、固定搬
送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一にしかも確実に透光性樹脂
フィルム１ｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルム１ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄの表面
及び側面側を包み込むような形状で搬送されるので、ロ
ーラ５Ｃａ、（３Ｃｂとベルト６ｃ、又はローラ６Ｄａ
〜６Ｄｅとベルト６ｄとのローラの軸方向のズレを防止
することができる。したがって、搬送時に透光性樹脂フ
ィルム１ｄに加わる挟持力を均一にし、それにシワが発
生することを防止できるので、ジャム等のトラブルを防
止することができる。特に、本実施例の薄膜剥離装置は
、後述する上部薄膜排出収納容器７Ａを設けられている
ため、上部搬送ベルト機構の薄膜搬送経路が下部搬送ベ
ルト機構のそれよりも長くなるので、固定搬送ベルト６
Ｃ及び６Ｄのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ５
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ６
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｅで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ６
Ｆａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びローラ６
Ｆａど６Ｆｂとに巻き回されたベルト６ｆで構成されて
いる。

前記下部搬送ベルト機構は、第１図及び第２図に示すよ
うに、固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６Ｈとで構
成されている。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６Ｇｂ、駆動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｃ及びローラ６
Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６ｇで構成されてい
る。

可動搬送ベルト６Ｈは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｈａ、６Ｈｂ、駆動軸（図
示していない）に支持されたローラ６　Ｈｃ及びローラ
６　Ｈａ〜６Ｈｃに巻き回されたベルト６ｈで構成され
ている。可動搬送ベルト６エ］は、前記可動搬送ベルト
６Ｂと同様に、矢印り方向に回転するように構成されて
いる。

前記ベルト６８〜６ｈは、歯付ゴムベルトで構成し、ロ
ーラ６Ｄｅ及び６Ｄｂを除き、ローラ６Ａａ、６Ａｂ、
６Ｂａ、６Ｂｂ、・・・、ローラ６Ｈａ　＋　６　Ｈｂ
　＋　６　Ｈｃの夫々は、歯付プーリで構成されており
、搬送ベルトの走行が確実なものにされている。ローラ
６Ｄｅ及び６Ｄｂは、表面が平滑なローラで構成されて
いる。また、歯付ゴムベルト及び歯付プーリに代えて、
ベルト６８〜６ｈは、表面が粗く摩擦が大きなゴムベル
トで構成し、ローラ６Ａａ〜６Ｈｃの夫々は、網目ロー
レット模様仕上げ等を施した表面が粗いローラで構成し
てもよい。

前記上部搬送ベルト機構の固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは
、第１図及び第２図に示すように、前記固定搬送ベルト
６Ｃ及び６Ｄで搬送された透光性樹脂フィルム１ｄを装
置本体７から矢印Ｍ方向に排出するように構成されてい
る。装置本体７の固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆの排出部
から排出された透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図、第
２図、第１２図（要部拡大断面図）及び第１３図（要部
拡大斜視図）で示すように、上部薄膜排出収納容器１２
Ａに排出される。この透光性樹脂フィルム１ｄの排出は
、固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆの排出部と上部薄膜排出
収納容器１２Ａとの間に、薄膜巻込防止部材１３を介在
させて行われる。

前記下部搬送ベルト機構の固定搬送ベルト６Ｇ及び可動
搬送ベルト６Ｈは、前記上部搬送ベルト機構と同様に、
剥離方向設定板５で剥離位置及び剥離方向が設定された
もう一方の透光性樹脂フィルム１ｄを剥離しながら搬送
するとともに、矢印０方向に装置本体７から透光性樹脂
フィルム１ｄを排出するように構成されている。装置本
体７から排出された透光性樹脂フィルム１ｄは、下部薄
膜排出収納容器１２Ｂに排出される。この透光性樹脂フ
ィルム１ｄの排出は、前述したものと同様に、固定搬送
ベルト６Ｇ及び６Ｈの排出部と下部薄膜排出収納容器１
２Ｂとの間に、薄膜巻込防止部材１３を介在させて行わ
れる。

前記固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆ、固定搬送ベルト６Ｇ
及び可動搬送ベルト６Ｈの夫々の排出部の薄膜搬送経路
の近傍には、第１図、第２図、第１１図及び第１２図に
示すように、排出される透光性樹脂フィルム１ｄにその
排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き付ける流体噴出機
構１４が設けられている。流体噴出機構１４は、排出さ
れる透光性樹脂フィルム１ｄを流体の噴出で確実に排出
方向に誘導できるように構成されている。流体噴出機構
１４は、固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可
動搬送ベルト６Ｈ間に流体が噴出する噴出口が設けられ
たパイプで構成されている。流体としては、圧力を加え
た空気、不活性ガス等の気体を使用する。また、流体と
して、水等の液体を使用することも可能である。なお１
図示されていないが、流体噴出機構１４に近接した位置
には、剥離時、搬送時等に透光性樹脂フィルム１ｄに生
じる帯電を低減する除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆ、固定搬送ベル
ト６Ｇ及び可動搬送ベルト６Ｈの夫々の排出側に流体噴
出機構１４を設けることにより、排出される透光性樹脂
フィルム１ｄが再度固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又
は可動搬送ベルト６Ｈに巻き込まれることを防止すると
共に、流体で矢印Ｍ又は○方向に透光性樹脂フィルム１
ｄを誘導することができるので、透光性樹脂フィルム１
ｄを効率良く上部又は下部薄膜排出収納容器１２Ａ又は
１２Ｂに排出することができる。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置、可動搬送ベルト６Ｈに近接した位置の夫々に
は、除電装置１５とイオン拡散装置１６の夫々が設けら
れている。除電装置１５は、イオンを放出し、剥離や搬
送時に透光性樹脂フィルム１ｄが帯電することを低減で
きるように構成されている。イオン拡散装置１６は、除
電装置１５から放出されたイオンを拡散し、透光性樹脂
フィルム１ｄの帯電を効率良く低減できるように構成さ
れている。イオン拡散装置１６は、例えば、圧力が加え
られた空気等の流体でイオンを拡散するように構成され
ている。

前記薄膜巻込防止部材１３は、固定搬送ベルト６Ｅ間、
６Ｆ間、６Ｇ間、可動搬送ベルト６Ｈ間の夫々の排出部
分の薄膜搬送経路の近傍に設けられており、装置本体７
に固着されている。薄膜巻込防止部材１３は、排出部分
から突出する（装置本体７から突出する）、Ｊ形状、コ
の字形状又は工形状の細長い部材で構成されている。薄
膜巻込防止部材１３は、例えば、鋼等の金属材料で構成
されている。

このように構成される薄膜巻込防止部材１３は、固定搬
送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ、可動搬送ベルト６Ｈの夫々
の排出部分から排出方向（矢印Ｍ又は０方向）に透光性
樹脂フィルム１ｄを誘導することができるので、固定搬
送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ、可動搬送ベルト６Ｈの夫々
に透光性樹脂フィルム１ｄが巻き込まれることを防止す
ることができる。つまり、薄膜巻込防止部材１３は、薄
膜搬送装置６の薄１１！Ｊ搬送経路におけるジャム等の
トラブルを防止するこができる。

前記上部薄膜排出収納容器１２Ａは、第１図、第１２図
及び第１３図に示すように、固定搬送ベルト６Ｅ及び６
Ｆの薄膜排出部近傍の装置本体７に、着脱自在に設けら
れている。上部薄膜排出収納容器１２Ａは、下部薄膜排
出収納容器１２Ｂの上部に設けられており、装置本体７
の占有面積を縮小し、コンパクトな構造に構成すること
ができる。上部薄膜排出収納容器１２Ａは、排出される
透光性樹脂フィルム１ｄを収納する薄膜収納容器１２Ａ
　ａと、その上部を覆う蓋部材１２Ａ　ｂとで構成され
ている。

薄膜収納容器１２Ａ　ａ　、蓋部材１２Ａ　ｂの夫々は
、アルミニウム合金等の軽金属材料、樹脂材料或は木材
等で構成されている。薄膜収納容器１２Ａａの側面には
、透光性樹脂フィルム１ｄが排出される時にその下部の
空気（薄膜収納容器１２Ａ　ａ内部の空気）を引き抜く
ために、長方形状の空気引抜用穴１２ＡＣが複数設けら
れている。蓋部材１２Ａ　ｂには、薄膜収納容器１２Ａ
　ａと同様に、上面に空気引抜用穴１２Ａｄが設けられ
ている。

上部薄膜排出収納容器１２Ａは、装置本体７の固定搬送
ベルト６Ｅ及び６Ｆの薄膜排出部近傍の薄膜収納容器１
２Ａ　ａに、ガイド部材１２Ａ　ｅが設けられている。

ガイド部材１２Ａ　ｅは、板形状で構成されており１例
えば、銅、ステンレス鋼等の金属材料、木材９合成樹脂
等で構成されている。ガイド部材１２Ａａは、上部薄膜
排出収納容器１２Ａの薄膜収納容器１２Ａ　ａと、薄膜
巻込防止部材１３とを連結するように構成されている。

つまり、ガイド部材１２Ａ　８は、固定搬送ベルト６Ｅ
及び６Ｆから排出される透光性樹脂フィルムｌｄ＠：薄
膜巻込防止部材１３で誘導（ガイド）し、さらにこの先
で透光性樹脂フィルム１ｄを薄膜収納容器１２Ａ　ａ内
に誘導するように構成されている。上部薄膜排出収納容
器１２Ａ内への誘導に際しては、第１２図に示すように
、透光性樹脂フィルムｌｄが流体噴出機構１４からの流
体に誘導されるようになっている。つまり、透光性樹脂
フィルム１ｄは、ガイド部材１２Ａｅとの間を流れる流
体に支えられて搬送されるので、ガイド部材１２Ａｅと
ほとんど接触することがなくスムーズに、上部薄膜排出
収納容器１２Ａ内に排出されるようになっている。そし
て、流体噴出機構１４から噴出した流体の一部がガイド
部材１２Ａ８の下側をそれに沿って流れ、ガイド部材１
２Ａ　ｅを通り過ぎた後には、ガイド部材１２Ａ　ｅの
上側を流れてきた流体と合流して同一方向に流れるので
、この流体に誘導された透光性樹脂フィルム１ｄは、延
展した状態で薄膜排出収納容器１２Ａの底部に堆積され
る。

このように、上部薄膜排出収納容器１２Ａにガイド部材
１２Ａ　ｅを設けることにより、固定搬送ベルト６Ｅ及
び６Ｆの排出部直下の上部薄膜排出収納容器１２Ａ（薄
膜収納容器１２Ａａ）内に透光性樹脂フィルム１ｄがか
さばることを防止し、無駄なスペースを低減することが
できるので、上部薄膜排出収納容器１２Ａに効率良く透
光性樹脂フィルム１ｄを排出することができる。特に、
上部薄膜排出収納容器１２Ａの構造上、透光性樹脂フィ
ルム１ｄを横方向から排出しているので、ガイド部材１
２Ａ　ｅは、特に有効である。

また、固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆとの間に薄膜巻込防
止部材１３を設けた（介在させた）ことにより、透光性
樹脂フィルム１ｄの巻き込みを防止しかつスムーズに誘
導しながら、上部薄膜排出収納容器１２Ａに効率良く透
光性樹脂フィルム１ｄを排出することができる。

なお、本発明は、前記ガイド部材１２Ａ　ｅを固定搬送
ベルト６Ｅ及び６Ｆの排出部近傍の装置本体７に設けて
もよい。

また、第１４図（要部斜視図）で示すように、ガイド部
材１２Ａｅは、上部薄膜排出収納容器１２Ａの蓋部材１
２Ａ　ｂに設けることができる。ガイド部材１２Ａ　ｅ
は、偏平状面を有する部材（翼断面に似た形状）で構成
されている。ガイド部材１２Ａ　ｅの中央部分には、符
号を付けないが、その強度を保持するための梁部が設け
られている。ガイド部材１２Ａｅは、ガイド部材支持部
材１２Ａ　ｆを介して、蓋部材１２Ａ　ｂに接着剤、ビ
ス等の固着手段により固着されている。

また、第１５図（要部拡大分解斜視図）で示すように、
ガイド部材１２Ａｅは、矢印Ｐ方向に回転可能なように
構成することができる６つまり、ガイド部材１２Ａ　ｅ
は、固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆの排出部から排出され
る透光性樹脂フィルム１ｄの排出角度を変化できるよう
に構成されている。ガイド部材１２Ａ　ｅは、ワッシャ
１２Ａ　ｈ、スプリングワッシャ１２Ａ　ｉ及び締め付
はナツト１２Ａｊを用い、ガイド部材１２Ａ　ｅの側部
から突出する角度可変軸１２Ａ　ｇを蓋部材１２Ａｂに
締め付けることで、それを所定の角度に固定することが
できる。また、ガイド部材１２Ａａは、前記締め付はナ
ツト１２Ａｊを緩め、固定ナツト１２Ａ１で角度可変軸
１２Ａ　ｇに固定されたハンドル１２Ａ　ｋを矢印ｐ方
向に回転させることにより、その角度を矢印Ｐ方向に変
化させることができる。

このように、ガイド部材１２Ａ　ｅの角度を変化するこ
とができるように構成することにより、常時、透光性樹
脂フィルム１ｄを延展した最適な状態で薄膜排出収納容
器１２Ａの底部に堆積されることができる。

また、第１６図（要部拡大分解斜視図）で示すように、
ガイド部材１２Ａｅの角度可変軸１２Ａ　ｇは、前記第
１５図に示す角度可変軸１２Ａｇの取り付は位置よりも
、固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆの排出部側に近い位置の
先端部に取り付けられている。

つまり、角度可変軸１２Ａ　ｇは、ガイド部材ｔ２Ａｅ
の角度が変化した場合においても、ガイド部材１２Ａｅ
の先端部の位置が変化しないように構成されている。つ
まり、このように構成されるガイド部材１２Ａｅは、排
出される透光性樹脂フィルム１ｄ及びそれを誘導する流
体の流れを常時安定させることができる。

また１図示しないが、ガイド部材１２Ａｅは、上部薄膜
排出収納容器１２Ａに堆積される透光性樹脂フィルム１
ｄの量に応じて、その角度を自動的に変化できるように
構成してもよい。

前記下部簿膜排出収納容器１２Ｂは、固定搬送ベルト６
Ｇ及び可動搬送ベルト６Ｈの薄膜排出部近傍の装置本体
７に１着脱自在に設けられている。

下部薄膜排出収納容器１２Ｂは、上部薄膜排出収納容器
１２Ａと略同様に、側面に空気を引き抜くための空気引
抜用穴１２Ｂａが複数設けられている。下部薄膜排出収
納容器１２Ｂには、その構造上、透光性樹脂フィルム１
ｄを上方向から排出し、スムーズに透光性樹脂フィルム
１ｄが排出されるので、前記ガイド部材１２Ａｅを設け
なくてもよい。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において。

種々変形し得ることは勿論である。

例えば１本発明は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを針
形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成してもよい
。

また、本発明は１回転体の円周上に複数の針が設けられ
たブラシで透光性樹脂フィルムＩＤの端部を引き起す薄
膜浮上装置を有する薄膜剥離装置に適用してもよい。

また、本発明は、ローレットで透光性樹脂フィルムＩＤ
の端部を押圧し、その部分を浮上させる薄膜浮上装置を
有する薄膜剥離装置に適用することができる。

また、本発明は、薄膜浮上装置３で透光性樹脂フィルム
ＩＤの端部を浮上させ、この浮上した部分に粘着部材を
押圧させて透光性樹脂フィルムＩＤを剥離する薄膜剥離
装置に適用することができる。

また１本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥
離装置において、前記薄膜の端部を浮上させる浮上部材
を有する薄膜浮上装置を基板搬送経路の近傍に設け、前
記浮上部材の近傍に、基板を基板搬送経路内に保持する
基板保持部材を設けることにより、特に薄い基板を搬送
する場合に、自重による基板の先端部の垂れ下りを防止
することができるので、基板搬送経路内に確実に基板を
保持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す側面図。第２図は、第１図の要部拡大側面図、第３図は、第１図の要部拡大斜視図。第４図は、第１図の拡大分解斜視図、第５図乃至第９図は、剥離動作工程毎に示す第１図の要
部拡大断面図、第１０図は、第１図の要部斜視図、第１１図は、第１図の拡散分解斜視図、第１２図は、第
１図の要部拡大断面図、第１３図は、第１図の要部拡大
斜視図、第１４図は１本発明の他の実施例である薄膜剥
離装置の要部斜視図、第１５図は、本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の
要部拡大分解斜視図。第１６図は１本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の
要部拡大分解斜視図である。図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＣ・・・感光性
樹脂層、ＩＤ、ｌｄ・・・透光性樹脂フィルム、２・・
・搬送用駆動ローラ、３・・・薄膜浮上装置、３Ａ・・
・浮上部材、３Ｂ・・・空気式振動装置、４・・・流体
吹付装置、４Ａ・・・ノズル、５・・・剥離方向設定板
、５Ａ・・・導電性部材、５Ｂ・・・絶縁性部材、５Ｅ
・・・薄膜吸着用孔、６・・・薄膜搬送装置、６Ａ〜６
Ｈ・・・搬送ベルト、６Ａａ〜６　Ｈｃ・・・ローラ、
７・・・装置本体、８・・・基板保持部材、８Ａ・・・
ローラ、９・・・積層体端部検出装置、１２Ａ・・・上
部薄膜排出収納容器、１２Ａ　ｅ・・・ガイド部材、１
２Ｂ・・・下部薄膜排出収納容器、１３・・・薄膜巻込
防止部材、１４・・・流体噴出機構、１５・・・除電装
置、１６・・・イオン拡散装置である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥離装
置において、前記薄膜の端部を浮上させる浮上部材を有
する薄膜浮上装置を基板搬送経路の近傍に設け、前記浮
上部材の近傍に、基板を基板搬送経路内に保持する基板
保持部材を設けたことを特徴とする薄膜剥離装置。
（２）前記基板保持部材は、前記基板に張り付けられた
薄膜の表面から所定の間隔を有するように設けられてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜
剥離装置。
（３）前記基板保持部材は、前記基板が接触した場合、
その位置が変化できるように弾性を有するように構成さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第
２項に記載の薄膜剥離装置。
（４）前記基板保持部材は、前記基板と接触する部分が
回転自在なローラで構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項乃至第３項に記載の夫々の薄膜剥離
装置。
（５）前記浮上部材は、前記薄膜の端部に振動、押圧等
のエネルギを与え、前記基板から薄膜の一部を浮上させ
るように構成されていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項乃至第４項に記載の夫々の薄膜剥離装置。
（６）前記浮上部材は、前記薄膜の端部を基板から浮上
させる粘着部材で構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項乃至第４項に記載の夫々の薄膜剥離装
置。