JPS62181489A

JPS62181489A - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPS62181489A
Application number: JP2317486A
Authority: JP
Inventors: 住　成夫
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1986-02-05
Filing date: 1986-02-05
Publication date: 1987-08-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］コンピュータ等の１！　７−　ｎ　Ｇで使用されるプリ
ント配線板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板
の両面（又は片面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により１２造
することができる。まず、絶縁性基板の両面の導電層上
に、感光性樹脂（フォトレジス１−）届とそれを保護す
る透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱
圧着ラミネートする。この後。

配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィル
ム及びＯｆ記透光性樹脂フィルムを通して。

感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂
フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像
してエツチングマスクパターンを形成する。この後、前
記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し、さら
に残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターン
を有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィル
ムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹脂
フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィルム
が薄いので、Ｍ１応力の偏り等による感光性樹脂層の損
傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用さ及び
非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板の両面に張り付けられて
いる積層体のうち、透光性樹脂フィルムを針等の突起押
圧部材で浮かせ、その浮いた部分に流体を吹き付け、透
光性樹脂フィルムを剥離することを自動的に行ったもの
である。

しかしながら、前記自動薄膜剥離装置では、突起押圧部
材をラックアンドビニオン機構及び歯車機構で動作させ
ており、これらの機構が基板の両面で夫々別々の駆動装
置（例えば、モータ）で制御されている。このため、基
板の両面側で複数の駆動装置を必要とし、又夫々の駆動
装置を同様に制御することが難しいという問題があった
。

また、突起押圧部材と駆動装置とが、ラックアンドビニ
オン機構や歯車機構等の複雑な形状の部品からなる連結
機構で連結されているため、その連結機構の構成が複雑
になるという問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細ξの記述及びｆ５句図而
面よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成Ｃ問題点を解決するための手段］本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわら、基板の片面又は両面に張り付けられでいる薄
膜を剥離する薄膜剥離装置であって、前記基板に張り付
けられている薄膜の端部に応力を加わえる突起押圧部材
を、基板の両面側に夫々設け、該夫々の突起押圧部材を
、両面兼用駆動源で前記簿膜端部の基板表面に接触させ
又は離隔させるリンク機構を設け、前記夫々の突起押圧
部材を、前記リンク機構で基板に接触させた状態で前記
薄膜の端部に押圧させる突起押圧部材押圧機構を設け、
該突起押圧部材押圧機構で押圧された部分の薄膜に、流
体を吹き付ける流体吹付手段を設けたことを特徴とした
ものである。

［作用コ本発明は５両面兼用駆動源で動作しかつ動作量の制御性
が良い前記リンク機構で、前記薄膜端部の基板表面に夫
々の突起押圧部材を接触させ、前記突起押圧部材押圧機
構で、基板に接触させた状態の突起押圧部材を薄膜の端
部に押圧させて薄膜を浮上させ、前記流体吹付手段で、
薄膜を浮上させた部分に流体を吹き付けたので、自動的
にしかも短い時間で薄膜を剥慮することができる６また
。前記両面兼用駆動源と突起押圧部材とを籍甲、な形状
の部品からなるリンク＠構で連結したので、両者間の連
結機構の構成を簡単にすることができる。

［実施例コ以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥閏［装置
に適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は１本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、１５２図は
、第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保１膜の剥ｍ装随におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主と
して、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロー
ラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起押圧機
購３．流体吹付ｍｍ４、剥離角度設定板（剥ｍ補助板）
５及び薄膜搬出機構６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電層ＩＢが
形成されたものである。このプリント配線用基Ｆｉｌの
導電ＭＩＢ上には、感光性樹脂１１Ｇと透光性樹脂フィ
ルム（保３膜）１０とからなる積層体が熱圧着ラミネー
１−されている。感光性樹脂ＷＩＣは所定の配線パター
ンフィルムが重ねられ露光された後の状態にある。プリ
ント配線用基板１は、第１図に示す矢印Ａ方向に搬送用
駆動ローラ２で搬送されるように構成されている。

前記突起押圧機構３は、第３図（摺成図）、第４図（拡
散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように構成
されている。

この突起押圧機構３は、プリント配線用基板１の両面側
に、夫々複数個の突起押圧部材３Ａが搬送方向と交差す
る方向（プリント配線用基板１の幅方向）に設けられて
いる。突起押圧部材３Ａは第５図で示すように針状で構
成されており、その先端部で感光性樹脂層ＩＣと透光性
樹脂フィルムＩＤとの積層体の端部を押圧するように構
成されている。突起押圧部材３Ａは、前記積層体の端部
を押圧したときに、導電層ＩＢと感光性樹脂層ＩＣとの
界面に食込まないようにし、かつ透光性樹脂フィルムｌ
Ｄが感光性樹脂層ＩＣから浮上するように、例えば６０
［度］程度の先端角度で構成する。対向する位置に設け
られた夫々の突起押圧部材３Ａは、ホルダ３Ｂを介して
夫々別々の突起押圧部材支持回転軸３Ｃに支持されてい
る。ホルダ３Ｂは、符号を付けていないが、突起押圧部
材支持回転軸３Ｃの貫通穴をそれに沿って摺動できるよ
うに取り付けられている。

突起押圧部材３Ａとホルダ３Ｂとの間及びホルダ３Ｂと
突起押圧部材支持回転軸３Ｃとの間には、夫々、同−又
は異なる弾力性の弾性部材３Ｄ及び３Ｅが設けられてい
る。弾性部材３Ｄ及び３Ｅは。

矢ｒ１月３方向、すなわち、プリント配線用基板１に近
接する方向に作用するように取り付けられている。した
がって、突起押圧部材３Ａの先端部の位置は、矢印Ｂ方
向の所定の圧力により、突起押圧部材支持回転輪３Ｃに
対して変化できるように構成されている。

突起押圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部は、
第３図及び第４図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイ
ド用長穴３ｆを通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回
転自在に連結されている。ガイド部材３Ｆは、図示して
いないが、装置本体にビス等の取付手段で固着されてい
る。ガイド用長穴３ｆは、プリント配線用基板ｌに近接
又はそれから離隔させる方向（矢印Ｃ方向）に、突起押
圧部材支持回転軸３Ｃすなわち突起押圧部材３Ａをガイ
ドするように構成されている。

夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３ｈを中
心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転アーム
部材３１−１の回転軸３ｈを中心として対向する端部に
回転自在に取り付けられている。

回転アーム部材３Ｈは、夫々の移動アーム部材３Ｇを異
なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成されている。

前記突起押圧部材支持回転軸３Ｃをガイドするガイド部
材３Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３　Ｈ
は１両面兼用駆動源のシャフト３Ｊの矢印Ｅ方向の動作
でプリント配線用基板ｌの両面側に設けられた夫々の突
起押圧部材３Ａを互いに近接させ又は離隔させる突起押
圧機構３のリンク機構を構成している。シャフト３Ｊは
、回転アーム部材３Ｈの一端部に連結アーム部材３■を
介して接続されている。リンク機構を構成する夫々の部
材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の比較的外力
に対して変形しずらい材料で構成する。

駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ、′ｉ１
１磁ソレメソレノイド用する。また、シャフト３ｊは、
回転アーム部材３１−Ｉの一端部に限定されず、一方の
移動アーム部材３Ｇの一端部に連結アーム部材３■を介
して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起押圧部材３Ａと両面
兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基
板１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材３Ａのプ
リント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動
作（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなわち
、リンク機構は、プリント配線用基板ｌの両面側に、突
起押圧部材３Ａを駆動する駆動源を別々に設けることな
く、両面兼用駆動源で両面側の突起押圧部材３Ａを駆動
することができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈが略剛体であり、夫
々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規定さ
れているので、プリント配線用基板ｌの両面側の夫々の
突起押圧部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間等にし
かも正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて１部品点数が少なく
１個々の部材が単純（簡単）な形状なので、突起押圧部
材３Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記突起押
圧部材支持回転軸３ｃの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された突起押圧部材回転アーム部材３Ｋ
が設けられている。夫々の突起押圧部材回転アーム部材
３にの他端部には、長穴３ｋが設けられており、両者の
長穴３ｋには、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続す
る連結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すな
わち、突起押庄部材回転アーム部材３には、連結アーム
部材３Ｍを介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結
されている。両面兼用駆動源としては。

前述のリンク機構と同様のものを使用すればよい。

前記突起押圧部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部
材３Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、突
起押圧部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転させ
るとともに突起押圧部材支持回転軸３Ｃを矢印ｌ（方向
に回転させ、積層体の端部を押圧する突起押圧機ｎ３の
突起押圧部材押圧機構を構成するようになっている。

このように構成される突起押圧部材押圧機構は。

前述の突起押圧部材３Ａを近接させ又は離隔させるリン
ク機構と同様に、プリント配線用基板ｌの両面側の夫々
の突起押圧部材３Ａを−っの駆動源で動作させることが
できるとともに、その動作量。

動作時間を正確に制御することができる。

また、突起押圧部材押圧Ｉａ構は、突起押圧部材３Ａと
駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることが
できる。

このように突起押圧機構３は、主に、突起押圧部材３Ａ
と、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板ｌに近接さ
せ又は離隔させるリンク機構と。

積層体の端部を突起押圧部材３Ａで押圧させる突起押圧
部材押圧機構とで構成されている。

なお１本実施例では、リンク機構又は突起押圧部材押圧
機構と両面兼用駆動源を、突起押圧部材支持回転軸３Ｃ
の一端側に設けているが１本発明は、その両面側に夫々
設けてもよい。

次に、突起押圧機構３の動作について、第１図乃至第５
図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断面
図）とを用いて簡単に説明する。

まず、図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、電気的にプリント配線用基板１
上に設けられている薄膜の端部を検出するタッチセンサ
又は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でこのプリント配線用基板１に設
けられている積層体（薄膜）の端部が検出されると、第
１図及び第２図に示すピンチローラ２Ａを押圧手段（図
示していない）で押圧してプリン１〜配線用基板ｌに押
し付け、それと搬送用駆動ローラ２とでプリント配線用
基板ｌの搬送を一時停止させる。このとき、プリント配
線用基［１の位置がずれないように、ピンチローラ２Ａ
と対向する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等の摩擦
係数の大きな材料を設け、プリント配線用基板ｌの搬送
を確実に停止させてプリント配線用基板１を固定する。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャフ
ト３Ｊを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。こ
の動作で回転アーム部材３Ｈ，移動アーム部材３Ｇ、ガ
イド部材３Ｆで構成されるリンク４！Ｉｆ！構が動作し
、突起押圧部材支持回転軸３ｃが矢印Ｃ方向に移動する
。この突起押圧部材支持口（ｔａ　Ｍ　ａ　ｃの移動に
、しり、第６図に示すように。

プリン１−配線用基板ｌの両面側の夫々の突起押圧部材
３Δの先端部が積層体端部の導電層ＩＢの表面に接触す
る。この接触は１弾性部材３Ｄ（又は３Ｅ）がエネルギ
を有するように適度な押圧力で行われる。

次に、突起押圧部材３Ａが導電層ＩＢに接触した状態に
おいて、突起押圧部材押圧４１ｍ構に連結された両面兼
用駆動源のシャフト３Ｌを矢印Ｆ方向（図中、左方向）
に動作させる。この動作で突起押圧部材回転アーム部材
３Ｋ、連結アーム部材３Ｍで構成される突起押圧部材押
圧ｊａ構が動作し、突起押圧部材支持回転軸３Ｃを矢印
Ｈ方向に回転させる。この突起押圧部材支持回転軸３Ｃ
の回転により、第７図に示すように、プリント配線用基
板ｌの両面側の夫々の突起押圧部材３Ａの先端部が積層
体端部を押圧する。

このように、プリント配線用基板ｌの感光性樹脂ＷＩＩ
Ｃ及び透光性樹脂フィルムＬＤからなる積層体の端部を
、突起押圧機構３の突起押圧部材３Ａで押圧することに
より、感光性樹脂層１　に　ｉ’ａら透光性樹脂フィル
ムｌＤの一部を浮上させ、それらの界面に隙間を生じさ
せることができる。この隙間は、感光性樹脂層ｉｃが透
光性樹脂フィルムＩＤよりも軟材質で構成されており、
突起押圧部材３Δの押圧に対して感光性樹脂層ＩＣは塑
性変形するが、透光性樹脂フィルムＩＤは塑性変形する
前に感光性樹脂層ＩＣとの接着力が低下するために生じ
る。

また、前記透光性樹脂フィルムｌＤの端部の浮上は、針
状の簡単な構成の突起押圧部材３Ａで行うことができる
。

また、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板ｌの搬送
経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルムｌＤの端部
の浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルムｌＤは、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂ＷＩＩＣと再度接着される
ことはない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に対し積層
体が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プ
リント配線用基板ｌの搬送方向と交差する方向（幅方向
）に複数の突起押圧部材３Ａを設けであるが、本発明は
これに限定されない。

すなわち、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤ
との一端部が押圧され、後者が必らず浮上できるならば
、プリント配線用基板ｌの両面側に夫々１つの突起押圧
部材３Ａを設けて突起押圧機構３を構成してもよい。

また１本実施例では、プリント配線用基板ｌの搬送方向
と交差する方向（幅方向）に突起押圧部材３Ａを設けで
あるが、本発明は、プリント配線用基Ｍｌの搬送方向と
同一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突起
押圧部材３Ａを設けることもできる。この場合には、流
体吹付機構４のノズル４Ａを突起押圧部材３Ａの近傍に
設ける。

また、本実施例では、突起押圧機構３の突起押圧部材押
圧機構をリンク機構で構成したが１本発明は、積層体の
端部のプリント配線用基板ｌの表面に突起押圧部材３Ａ
を接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチロ
ーラ２Ａ）を回転させてプリント配線用基板１を微小に
搬送し、　　１体の端部を押圧する突起押圧部材押圧機
構で（ＩＸ７成してもよい。すなわち、本発明は、搬送
機構で突起押圧部材押圧機構を構成してもよい。

また１本発明は、ホルダ３Ｂを取り付ける貫通穴の加］
二情度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と
交差する方向の突起押圧部材支持回転軸３Ｃの断面形状
を方形状で構成してもよい。

前記流体吹付８！構４は、第１図及び第２図に示すよう
に、ノズル４Ａから圧力を加えた流体、例えば、空気、
不活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成さ
れている。この流体吹付機構４は、プリント配線用基板
ｌの感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムｌＤが浮
上した両者の隙間部分に流体を直接吹き付けるように構
成されている。そして、流体吹付機構４は、前記隙間部
分に即座に流体を吹き付けられるように、突起押圧機構
３の近接した位置に構成されている。この流体吹イ４’
　ｔｒｉ　構４のノズル４Ａは、矢印ｊ方向にその設定
角度が可変できるように構成されている。すなわち、流
体吹イ」機構４は、流体吹き付は時にできる限り前記隙
間部分にノズル４Ａを近接させ、流体吹きイ１け後にプ
リント配線用基板１が接触しない位置にノズル４Ａを退
避できるように構成されている。

このように、突起押圧部材３Ａの押圧で生じた感光性樹
脂層ｉｃと透光性樹脂フィルムＩＤとの隙間部分に、流
体吹付機構４で流体を吹き付けることにより、感光性樹
脂ＭＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの間に流体が吹き
込まれるので、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィル
ムＩＤを簡単に瞬時かつ確実に剥離することができる。

前記流体吹イ・」機構４で剥離された搬送方向の先端側
の透光性樹脂フィルムｌｄは、第２図及び第８図（要部
斜視図）で示すように、剥離角度設定板（剥離補助Ｆｉ
）５に流体圧で付着し、その剥離位置及び剥離方向の剥
離角度Ｏが設定される。透光性樹脂フィルムｌｄは、第
２図及び第８図において一点鎖線で示している。剥ｍ角
度Ｏは、プリント配線用基板１に張り付けられている透
光性樹脂フィルムＩＤとその状態から引き起された透光
性樹脂フィルム１ｄとがなす角度であり、略直角になる
ように構成されている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位ｌｉりは。

感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を生じないように。

プリント配線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィ
ルムＩＤにこすれない程度の間隔を置いて設けられてい
る。そして、剥離角度設定板５は、その先端が流体吹き
付は時には、透光性樹脂フィルムＬＤに密着するように
、移動可能に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果の
低下を防止する。

また、剥離角度設定板５の先端は１曲率半径の小さい円
孤状になっている。例えば、曲率半径が３ｎｗｎ以下に
構成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜駆出機構
６よりもプリント配線用基板ｌ側に近接させ、プリン１
〜配線用基板ｌの搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の
長さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されて
いる。すなわち、第８図に矢印にで流体の流出方向を示
すように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹
抜けをできる限り防止して剥離効果を高め、かつ剥離さ
れた透光性樹脂フィルムｌｄの剥離角度設定板５への付
着性を高めることができる。

剥離角度設定板５は、図示していないが、ノズル４Ａか
らの流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けられ
ている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置を
安定させるとともに、透光性樹脂フィルムＩＤに一様な
剥雇力を加えることができる。したがって、剥離角度設
定板５は、透光性樹脂フィルムｌＤの剥離時における剥
離位置の変動防止。

剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂層ＩＣを損傷、破
壊しないようにすることができる。

なお、剥離角度設定板５の剥離、角度０は、透光性樹脂
フィルムＩＤの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件
変化により、鈍角或はそれと直角との箱間で可変できる
ように構成してもよい。また、剥離角度設定板５は、異
なる厚さのプリント配線用基板１、異なる厚さの感光性
樹脂層１ｃや透光性樹脂フィルムｌＤに対応できるよう
に、その位置を移動できるように構成してもよい。この
移動は、例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等で行う
ことができる。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性樹
脂フィルム１ｄは、第１図、第２図及び第９図（拡散分
解斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機端
）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出機構６は、主に、プリント配線用基板ｌの両面
側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベル
トｅ［とで構成されている。

上部搬送ベルト’ａ　１ｉｔＪは、第９図で詳細に示す
ように、固定搬送ベルト６Ａ、６Ｃ，６Ｄ、６Ｅ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸！に支持されたローラ６
Ａａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ａｂ及びローラ６
　Ａ　ａと６Ａｂとに巻き回されたベル１−６ａで構成
されている。

可動搬送ベル１−６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ
６１３　ａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ｂｂ及びロ
ーラ６１３　ａと６Ｂｂとに巻き回されたベルト６ｂで
構成されている。この可動搬送ベルト６Ｂは、駆動軸■
を中心に第２図に示すように、矢印丁、方向に回転する
ように構成されている。すなわち、可動搬送ベルト６　
Ｂは、剥離された透光性樹脂フィルム１ｄを剥離角度設
定板５に付着させ易くするとともに、この透光性樹脂フ
ィルム１ｄを固定搬送ベルト６Δとで挟持して搬送でき
るように構成されでいる。また、固定搬送ベルト６Ａ及
び可動搬送ベルト６Ｂとの挟持は、第８図に示す剥離角
度設定板５に設けられた切込部５Ａを通して行われる。

この切込部５Ａは、剥離角度設定板５で剥離位置及び剥
離角度が設定された透光性樹脂フィルム１ｄに固定搬送
ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとが達し、両者でそれ
を挟持できるように構成されている。すなわち、切込部
５Ａは、固定搬送ベル１−６Ａと可動搬送ベルト６Ｂと
で透光性樹脂フィルムｌｄを確実に挟持できるように構
成されている。

固定搬送ベルト６Ｃは、駆動軸■１に力持されたローラ
６　Ｃａ、従動軸■に支持されたローフ６Ｃｂ及びロー
ラ６Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６ｃで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸■に
支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■に支持されたローラ
６Ｄｄ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｅ及びローラ
６Ｄａ〜６Ｄｅに巻き回されたベルト６ｄで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６Ｂで搬送された透光性樹脂フィル
ム１ｄをさらに排出方向に搬送するように構成されてい
る。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６ＤＱは、第１０図（
要部断面図）で示すように、固定搬送ベル＋−６Ｃ及び
６Ｄから固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透光性樹脂フィ
ルムｌｄを搬送するときに、その図送方向が大きな角度
で変化するために設けられている。すなわち、ローラ６
Ｄｅは、搬送方向が変化するときに、ベルト６Ｃ及び６
ｄの透光性樹脂フィルム１ｄに接触する側の曲率半径を
略同等にすることができる。したがって、搬送時に透光
性樹脂フィルムｌｄにシワが生じることを防止し、ジャ
ム等のトラブルを防止することができる。

また、第１１図（部分断面図）に示すように２透光性樹
脂フイルムｌｄの一方の面に接触し、その搬送方向と交
差する透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に所定の間隔で
設けられた複数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６Ｄ）の間
には、透光性樹脂フィルムｌｄの他方の面に接触する固
定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｃ）が設けられている。換言
すれば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト６
Ｃ及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルム１ｄとの接触面
）が一致しているか、或はそれよりも相手側に食込むよ
うに、透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に千鳥状に配置
されている。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性樹脂フィルム１ｄ
にその幅方向の張力を与えることができるので、固定搬
送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一にしかも確実に透光性樹脂
フィルムｌｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルム１ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄの表面
及び側面側を包み込むような形状で搬送されるので、ロ
ーラ６Ｃａ　、　６Ｃｂとベルト６ｃ、又はローラ６　
Ｄ　ａ　〜６　Ｄ　ａとベルト６ｄとのローラの軸方向
のズレを防止することができる。したがって、搬送時に
透光性樹脂フィルム１ｄに加わる挟持力を均一にし、そ
れにシワが発生することを防止できるので、ジャム等の
トラブルを防止することができる。特に、本実施例の装
置は、後述する上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７
　Ａを設けており、上部搬送ベルト機構の搬送経路が下
部搬送ベルト機構のそれよりも長いので、固定搬送ベル
ト６Ｃ及び６Ｄのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸医に支持されたローラ６
Ｅａ、従ｌＩＪ輔Ｖに支持されたローラ６Ｅｂ及びロー
ラ（３Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｃで構成
されている。

固定搬送ベルト６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ６
Ｆａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びローラ６
Ｆａと６Ｆｂとに巻き回されたベル１〜６ｆで構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第１図及び第２図に示す
ように、前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで搬送された
透光性樹脂フィルムｌｄを装置本体から矢印Ｍ方向に排
出するように構成されている。装置本体から排出された
透光性樹脂フィルムｌｄは、第１図に示す上部透光性樹
脂フィルム排出収納容器７Ａに収納される。この上部透
光性樹脂フィルムＭ１：出収納容器７Ａは、装置本体の
上部に着脱自在に取り付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図に示すように、固定
搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６　Ｈとで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６ｇで構成されてい
る。

可動搬送ベルト６１（は、夫々別々の従動軸（図示して
いない）に支持されたローラ６Ｈａ、６ＨＣ１従動軸（
図示していない）に支持されたローラ６Ｈｂ及びローラ
６　Ｈａ〜６　Ｈｃに巻き回されたベルト６ｈで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６Ｈは。

前記上部搬送ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で
剥離位置及び剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹
脂フィルムｌｄを剥離しながら搬送するとともに、矢印
Ｏ方向に装置本体から透光性樹脂フィルム１ｄを排出す
るように構成されている。′！Ａ置本棒本体排出された
透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図に示す下部透光性樹
脂フィルム排出収納容器７Ｂに収納される。この下部透
光性樹脂フィルム排出収納容器７Ｂは、装置本体に着脱
自在に取り付けられている。また、前記上部透光性樹脂
フィルム排出収納容器７Ａは下部透光性樹脂フィルム排
出収納容器７Ｂの上部に設けられており、装置本体は、
占有面積を縮小しコンパクト化できるように構成されて
いる。

また、前記固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第
２図及び第９図に示すように、排出される透光性樹脂フ
ィルムｌｄにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き
付ける流体噴出機構８が設けられているにのとき、排出
される透光性樹脂フィルム１ｄと流体吹付方向とがなす
角度は、流体の噴出で透光性樹脂フィルム１ｄを確実に
排出方向に誘導できるように、鋭角０Ｉ（０≦０１≦９
０）に設定されている。流体噴出機構８は、固定搬送ベ
ルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動搬送ベルト６　Ｈ
間に流体が噴出する噴出口が設けられたパイプで構成さ
れている。流体としては、圧力を加えた空気、不活性ガ
ス等の気体、水等の液体を使用する。なお１図示されて
いないが、流体噴吊装置８に近接した位置には、透光性
樹脂フｒルム１ｄの帯電を低減する除電装置が設けられ
ている。

このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの夫々の排出側に流体噴出機構８を設ける
ことにより、排出される透光性樹脂フィルム１ｄが再度
固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可動搬送ベルト６
Ｈに巻き込まれることを防止するとともに、流体で矢印
Ｍ又はＯ方向に透光性樹脂フィルム１ｄを誘導すること
ができるので、透光性樹脂゛フィルム１ｄを効率良く上
部又は下部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａ又は７
Ｂに排出することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動
搬送ベルト６Ｈ間の夫々の排出側の搬送経路の近傍には
１巻込防止用部材９が設けられており、透光性樹脂フィ
ルムｌｄが固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可動搬
送ベルト６Ｈに巻き込まれることを防止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置及び可動搬送ベルト６Ｈに近接した位置には、
夫々除電装置１１１０とイオン拡散装置１１とが設けら
れている。除電装置１０は、イオンを放出し、剥離や搬
送時に透光性樹脂フィルム１ｄが＃ｉＦ　電することを
低減できるように構成されている。イオン拡散装置１２
１１は、除電装置１ｆｆｌＯから放出されたイオンを拡
散し、透光性樹脂フィルムｌｄの帯電を効率良く低減で
きるように構成されている。イオン拡散装置１１は、例
えば、圧力が加えられた空気等の流体でイオンを拡散す
るように構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、本発明は、突起押圧機構３の突起押圧部材３Ａ
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成しても
よい。

また１本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果以上説明したように１本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

基板の片面又は両面に張り付けられている薄膜を剥離す
る薄膜剥離装置であって、前記基板に張り付けられてい
る薄膜の端部に応力を加わえる突起押圧部材を、基板の
両面側に夫々設け、該夫々の突起押圧部材を、両面兼用
駆動源で前記薄膜端部の基板表面に接触させ又は離隔さ
せるリンク機構を設け、前記夫々の突起押圧部材を、前
記リンク機構で基板に接触させた状態で前記薄膜の端部
に押圧させる突起押圧部材押圧機構を設け、該突起押圧
部材押圧機構で押圧された部分のｙ４膜に、流体を吹き
付ける流体吹付手段を設けたことにより、両面兼用駆動
源で動作しかつ動作量の制御性が良い前記リンク機構で
、前記薄膜端部の基板表面に夫々の突起押圧部材を接触
させ、前記突起押圧部材押圧ＩａＷで、基板に接触させ
た状態の突起押圧部材を薄膜の端部に押圧させて薄膜を
浮上させ、前記流体吹付手段で、薄膜を浮上させた部分
に流体を吹き付けたので、自動的にしかも短い時間で薄
膜を剥離することができる。

また、前記両面兼用駆動源と突起押圧部材とを簡単な形
状の部品からなるリンク機構により連結したので、両者
間の連結機構の構成を簡単にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図。第２図は、第１図の要部拡大模写側面図、第３図は、第
１図及び第２図に示す突起押圧機構の構成図、第４図は、第３図の拡散分解図、第５図は、第４図に示す突起押圧部材の部分断面図、第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図、第８図は、第１図及び第２図に示す剥離角度設定板の要
部斜視図、第９図は、第１図及び第２図に示す？ｆｌ搬出機構の拡
散分解斜視図。第１０図及び第１１図は、第９図に示す薄膜搬出機構の
要部断面図である。図中、１・・・プリント配線用基板、ＬＡ・・・絶縁性
基板、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・感光性樹脂層、ＩＤ
・・透光性樹脂フィルム、２・・・搬送用駆動ローラ。３・・・突起押圧機構、３Ａ・・突起押圧部材、４・・
・流体吹付機構、５・・・剥離角度設定板、６・・・薄
膜搬出機構である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板の片面又は両面に張り付けられている薄膜を
剥離する薄膜剥離装置であって、前記基板に張り付けら
れている薄膜の端部に力を加える突起押圧部材を、基板
の両面側に夫々設け、該夫々の突起押圧部材を、両面兼
用駆動源で前記薄膜端部の基板表面に接触させ又は離隔
させるリンク機構を設け、前記夫々の突起押圧部材を、
前記リンク機構で基板に接触させた状態で前記薄膜の端
部に押圧させる突起押圧部材押圧機構を設け、該突起押
圧部材押圧機構で押圧された部分の薄膜に、流体を吹き
付ける流体吹付手段を設けたことを特徴とする薄膜剥離
装置。
（２）前記リンク機構は、回転軸を中心に回転する回転
アーム部材と、一端部が回転軸を中心に前記回転アーム
部材の対向する夫々の端部に連結され、他端部が前記夫
々の突起押圧部材を支持し、前記回転アームの回転で突
起押圧部材を基板に接触させ又は離隔させる移動アーム
部材と、該移動アーム部材の他端部の移動方向をガイド
するガイド部材とで構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の薄膜剥離装置。
（３）前記突起押圧部材押圧機構は、両面兼用駆動源と
、該両面兼用駆動源で薄膜の端部を押圧するように、基
板の両面側に設けられた突起押圧部材の夫々を回転させ
るリンク機構とで構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載の薄膜剥離装置。
（４）前記突起押圧部材押圧機構は、薄膜の端部を押圧
するように、基板を搬送する搬送機構で構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜剥
離装置。