JPH0530743B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (1) 発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであ
り、特に、基板の表面を保護するために張り付け
られた保護膜の剥離技術に適用して有効な技術に
関するものである。

〔従来の技術〕

コンピユータ等の電子機器で使用されるプリン
ト配線板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性
基板の片面又は両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程によ
り製造することができる。まず、絶縁性基板上に
設けられた導電層上に、感光性樹脂（フオトレジ
スト）層とそれを保護する透光性樹脂フイルム
（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
する。この後、配線パターンフイルムを重ね、こ
の配線パターンフイルム及び前記透光性樹脂フイ
ルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光す
る。そして、透光性樹脂フイルムを剥離した後、
露光された感光性樹脂層を現像してエツチングマ
スクパターンを形成する。この後、前記導電層の
不必要部分をエツチングにより除去し、さらに残
存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パター
ンを有するプリント配線板を形成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のプリント配線板の製造工程においては、
感光性樹脂層を露光後現像するに際して、透光性
樹脂フイルムを剥離する工程が必要とされてい
る。この透光性樹脂フイルムの剥離は、人手作業
に頼つており、該フイルムが薄いので、剥離応力
の偏り等による損傷、破壊が生じないようにする
ため、指先の器用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フイルムの剥離時間が増
大するので、プリント配線板の製造工程における
作業時間が長くなるという問題があつた。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびに
その他の問題点と新規な特徴は、本明細書の記述
及び添付図面によつて明らかになるであろう。

(2) 発明の構成 〔問題点を解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち、代表的な
ものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられてい
る薄膜を剥離する剥離装置であつて、前記基板に
張り付けられている薄膜の端部に力を加える突起
押圧部材と、該力を加えられた部分の薄膜に、流
体を吹き付ける流体吹付手段とを設けたことを特
徴とするものである。

〔作 用〕

本発明は、前記突起押圧部材で薄膜の端部に力
を加えてその下部に隙間を形成し、この部分に流
体を吹き付けて薄膜を瞬時かつ確実に剥離するこ
とができる。

〔実施例〕

以下、プリント配線用基板の保護膜の剥離装置
に適用した本発明の一実施例について説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有す
るものは同一符号を付け、そのくり返しの説明は
省略する。

第１図は、本発明の一実施例である保護膜の剥
離装置の概略構成を示す断面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント
配線用基板の搬送機構は、第１図に示すように、
主として、プリント配線用基板１を搬送する搬送
ローラ２及び搬送制御ローラ３で構成されてい
る。

この搬送機構における搬送経路には、突起押圧
機構４、流体吹付機構５及び薄膜搬出機構６が設
けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すよ
うに、絶縁性基板１Ａの両面（又は片面）に銅等
の導電層１Ｂが形成されたものである。このプリ
ント配線用基板１の導電層１Ｂ上には、感光性樹
脂層１Ｃと透光性（保護）樹脂フイルム１Ｄとか
らなる積層体が熱圧着ラミネートされている。感
光性樹脂層１Ｃは所定の配線パターンが露光され
た後の状態にある。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第
１図にＡ−Ａ線で示される搬送経路において、プ
リント配線用基板１を矢印方向に搬送するように
構成されている。

前記突起押圧機構４は、第１図及び第２図に示
すように、針状の突起押圧部材４Ａで感光性樹脂
層１Ｃ及び又は透光性樹脂フイルム１Ｄの端部に
力を加えるように構成されている。具体的に説明
すれば、まず、プリント配線用基板１の先端が位
置検出器Ｓで検知すると、このプリント配線用基
板１の先端と、第１図、第２図及び第３図で示す
位置設定部材４Ｂとが当接する。位置検出器Ｓは
フオトセンサで構成する。位置設定部材４Ｂは、
前記位置検出器Ｓの検知信号により、エアーシリ
ンダ、電磁ソレノイド等の駆動装置４Ｃで矢印Ｂ
方向に摺動するように構成されている。次に、感
光性樹脂層１Ｃ及び透光性樹脂フイルム１Ｄの搬
送方向の端部の導電層１Ｂ上に突起押圧部材４Ａ
の先端を当接させる。突起押圧部材４Ａは、軸４
Ｄを中心に歯車４Ｅ，４Ｆで矢印Ｃ方向に可動す
るように構成されている。そして、歯車４Ｇとラ
ツク４Ｈによる矢印Ｄ方向の動作で、導電層１Ｂ
上を摺動するように、突起押圧部材４Ａを矢印
D′方向（図中、右方向）に移動させる。この突
起押圧部材４Ａの移動により、第４図で示すよう
に、感光性樹脂層１Ｃ及び又は透光性樹脂フイル
ム１Ｄの端部に力が加えられる。この後、必要に
応じて、突起押圧部材４Ａを図中、左方向に移動
させる。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹
脂層１Ｃ及び又は透光性樹脂フイルム１Ｄの端部
に、針状の突起押圧部材４Ａで力を加えることに
より、第５図に符号Ｅで示すように、感光性樹脂
層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの間に簡単に
隙間を生じさせることができる。この隙間が生じ
るのは、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム
１Ｄとの材質が異なり、後者に比べて前者の方が
塑性変形し易いと力が加わつたとき、両者間に剪
断応力が生じるためである。

また、プリント配線用基板１の搬送経路に突起
押圧部材４Ａを設けたことにより、感光性樹脂層
１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの端部に自動的
に隙間を生じさせることができる。

なお、隙間を生じた感光性樹脂層１Ｃと透光性
樹脂フイルム１Ｄとは、流体吹付機構５に搬送さ
れる間に、搬送ローラ２又は搬送制御ローラ３で
押圧されるが、熱を加えて圧着していないので、
それらが再度接着されることはない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に
対し、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１
Ｄとが歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮
して、プリント配線用基板１の搬送と交差する方
向に対して３つの突起押圧部材４Ａを設けてある
が、これに限定されない。すなわち、感光性樹脂
層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの端部に必ず
力が加えられるならば、１つ、２つ又は４つ以上
の突起押圧部材４Ａで突起押圧機構４を構成して
もよい。

前記流体吹付機構５は、第１図及び第６図で示
すように、ノズル５Ａから圧力を加えた流体、例
えば、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が
吹出すように構成されている。この流体吹付機構
５は、プリント配線用基板１の感光性樹脂層１Ｃ
と透光性樹脂フイルム１Ｄとの間に生じた隙間部
分に流体を直接吹き付けるように構成されてい
る。プリント配線用基板１は、搬送制御ローラ３
で流体吹付機構５の所定の位置に搬送されるよう
に構成されている。なお、ノズル５Ａは、第６図
に符号５′で示すように、その設定角度を可変で
きるように構成してもよい。

このように、突起押圧部材４Ａにより生じた感
光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの隙
間部分に、流体吹付機構５で流体を吹き付けるこ
とにより、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイル
ム１Ｄとの間に圧力を加えた流体が吹き込まれる
ので、透光性樹脂フイルム１Ｄを簡単に瞬時にか
つ確実に剥離することができる。

薄膜搬送機構６は、固定ベルトコンベア６Ａ、
薄膜剥離ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６
Ｃ及び薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄで構成され
ている。

固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第６図及
び第７図で示すように、一対のローラ６Aa，６
Aa′を複数設け、各一対のローラ６Aa，６Aa′に
巻回されたベルト６Abで構成されている。

可動ベルトコンベア６Ｃは、第１図及び第６図
で示すように、一対のローラ６Ca，６Ca′を複数
設け、各一対のローラ６Ca，６Ca′に巻回された
ベルト６Cbで構成されている。この可動ベルト
コンベア６Ｃは、一方のローラ６Ca′を中心にエ
アシリンダ６Ccで可動し、固定ベルトコンベア
６Ａのベルト６Ab又は薄膜剥離ガイド部材６Ｂ
に近接又は接触するように構成されている。

前記固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコン
ベア６Ｃは、流体吹付機構５で剥離された透光性
樹脂フイルム１Ｄを挟持し（第６図の点線で示す
位置）、それぞれの一対のローラ６Aa，６Aa′及
び一対のローラ６Ca，６Ca′を駆動させることに
より、透光性樹脂フイルム１Ｄを順次剥離して排
出する（剥離しながら排出する）ように構成され
ている。

前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコ
ンベア６Ａ側の薄膜剥離装置の筐体に設けられて
おり、前記ベルト６Ab間に配置されている。

この薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、透光性樹脂フ
イルム１Ｄの剥離時における剥離位置の変動防
止、剥離応力の偏りの防止ができ、かつ、感光性
樹脂層１Ｃが損傷、破壊しないようにするため
に、引き起された透光性樹脂フイルム１Ｄの剥離
角度θ（基板１の搬送方向から見た角度）がプリ
ント配線用基板１の搬送方向に対して鈍角となる
ように、透光性樹脂フイルム１Ｄを剥離ガイドす
るような構造になつている。そして、薄膜剥離ガ
イド部材６Ｂの先端は、プリント配線用基板１に
こすれない程度の間隔を置いて設けられている。
なお、薄膜剥離ガイド部材６Ｂの剥離角度θは、
プリント配線用基板１に対して略垂直となるよう
に構成してもよく、或は、可変できるように構成
してもよい。

また、前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂの先端は、
その断面が曲率半径の小さい円弧状になつてい
る。例えば、曲率半径が３mm以下に構成されてい
る。

このように薄膜剥離ガイド部材６Ｂを設けるこ
とにより、剥離位置を安定させると共に、透光性
樹脂フイルム１Ｄ及び感光性樹脂層１Ｃに一様な
剥離応力を加えることができる。

前述のように、薄膜搬出機構６は、固定ベルト
コンベア６Ａ、薄膜剥離ガイド部材６Ｂ、可動ベ
ルトコンベア６Ｃで構成することにより、流体吹
付機構５で剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄ
は、薄膜剥離ガイド部材６Ｂにガイドされ、固定
ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコンベア６Ｃで
挟持されて剥離されながら搬送され、第６図に矢
印OUTで示す排出方向に搬出することができる。

前記薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、第１図
に示すように、複数のローラ６Daと一対のベル
ト６Dbで構成されている。この薄膜排出用搬送
ベルト機構６Ｄは、プリント配線用基板１の上面
側の透光性樹脂フイルム１Ｄを排出するように構
成されている。

なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアシ
リンダ６Ccに代えて、電磁ソレノイドや油圧シ
リンダで可動するように構成してもよい。

このように、プリント配線用基板１の搬送経路
に、薄膜搬出機構６を設けたことにより、流体吹
付機構５で剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄを
確実に排出することを自動的に行うことができる
ので、作業時間を大幅に短縮することができる。

前記流体吹付機構５及び薄膜搬出機構６で透光
性樹脂フイルム１Ｄが剥離されると、プリント配
線用基板１は、搬送制御ローラ３及び搬送ローラ
２で感光性樹脂層１Ｃを現像する現像装置に搬送
される。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、
種々変形し得ることは勿論である。

例えば、突起押圧部材４Ａは、第８図、第９図
及び第１０図で示すように構成してもよい。すな
わち、第８図に示す突起押圧部材４Ａはクサビ形
状で構成され、第９図に示す突起押圧部材４Ａは
平板形状で構成され、第１０図に示す突起押圧部
材４Ａは曲りクサビ形状で構成している。

また、突起押圧部材４Ａは、第１１図に示すよ
うに、一体に又は別部材で流体吹付機構５のノズ
ル５Ａの先端に設けてもよい。この場合におい
て、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄ
とに力を加えて間隙が生じた部分と流体を吹き付
ける部分とが常に合致するので、透光性樹脂フイ
ルム１Ｄをより瞬時により確実に剥離することが
できる。

前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、第１２図に示
すように、複数の棒状部材で格子状に形成したも
のでもよい。ただし、この薄膜剥離ガイド部材６
Ｂの先端部材は、その断面が曲率半径の小さい円
弧状の構造になつている。

また、薄膜搬出機構６は、回転ローラと回転ロ
ーラを組み合せたもの、固定ベルトと固定ベルト
を組み合せたもの、回転ローラにフイルムを巻き
込む方式のもの、吸盤の吸引力を用いて薄膜剥離
搬送する方式のもの等を用いてもよい。

また、突起押圧部材４Ａは、搬送方向と同一方
向に配置し、プリント配線用基板１の側部（搬出
方向の先端部以外の部分）の透光性樹脂フイルム
１Ｄ及び感光性樹脂層１Ｃに力を加えるように構
成してもよい。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄
膜の剥離装置に本発明を適用した例について説明
したが、本発明は、例えば、建築材に使用される
化粧板を覆う保護膜の剥離装置に適用してもよ
い。

(3) 効 果 以上説明したように、本発明によれば、以下に
述べる効果を得ることができる。

<1> 突起押圧部材で薄膜の端部に力を加えて、
薄膜とその下部とに隙間を形成し、この隙間に
流体吹付手段で流体を吹き付けるようにしたの
で、簡単な構成で前記薄膜を瞬時かつ確実に剥
離することができる。

<2> 前記<1>の流体吹付機構で剥離された薄
膜を保持剥離しながら搬出する薄膜搬出手段を
設けることにより、薄膜の剥離作業を自動化す
ることができるので、その剥離時間を大幅に短
縮することができる。

<3> 前記<2>に流体吹付手段で基板から剥離
される薄膜の剥離方向を設定する薄膜剥離ガイ
ド部材を設けたことにより、透光性樹脂フイル
ム等の薄膜、感光性樹脂層等の薄膜に一様な剥
離応力を加え、剥離位置を安定させるので、透
光性樹脂フイルム等の薄膜の剥離時における剥
離位置の変動防止、剥離応力の偏りの防止がで
き、かつ、感光性樹脂層が損傷、破壊しないよ
うに自動的に剥離することができる。

<4> 前記<1>の流体吹付手段の流体吹付部分
に前記突起押圧部材を設けたことにより、薄膜
に力を加えてその下部に隙間を生じる位置と流
体を吹き付ける位置とを常に合致することがで
きるので、より瞬時により確実に薄膜を剥離す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用
基板の保護膜の剥離装置の概略構成を示す断面
図、第２図は、第１図の突起押圧機構の拡大断面
図、第３図は、第１図の位置設定部材の要部拡大
斜視図、第４図及び第５図は、第２図の要部拡大
断面図、第６図は、第１図の流体吹付機構及び薄
膜搬出機構の拡大断面図、第７図は、第６図の薄
膜搬出機構の要部斜視図、第８図乃至第１０図
は、本発明の他の実施例である突起押圧部材の斜
視図、第１１図は、本発明の他の実施例である突
起押圧部材の斜視図、第１２図は、薄膜剥離ガイ
ド部材の他の実施例の概略構成を示す斜視図であ
る。 図中、１……プリント配線用基板、１Ａ……絶
縁性基板、１Ｂ……導電層、１Ｃ……感光性樹脂
層、１Ｄ……透光性樹脂フイルム（保護膜）、２
……搬送ローラ、３……搬送制御ローラ、４……
突起押圧機構、４Ａ……突起押圧部材、５……流
体吹付機構、５Ａ……ノズル、６……薄膜搬出機
構、６Ａ……固定ベルトコンベア、６Ｂ……薄膜
剥離ガイド部材、６Ｃ……可動ベルトコンベア、
６Ｄ……薄膜排出用搬送ベルト機構である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥
   離装置であつて、前記基板に張り付けられている
   薄膜の端部のみに力を加え、その端部のみを引き
   上げる突起押圧部材と、該突起押圧部材で前記基
   板から引き上げられた前記薄膜を有する基板を搬
   送する基板搬送手段と、前記引き上げられた薄膜
   と前記基板との間に流体を吹き付ける流体吹付手
   段と、該流体吹付手段で剥離された薄膜を保持し
   て残りの部分を剥離しながら搬送する薄膜搬送手
   段とを備えたことを特徴とする薄膜剥離装置。 ２ 基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥
   離装置であつて、前記基板に張り付けられている
   薄膜の端部のみに力を加え、その端部のみを引き
   上げる突起押圧部材と、該突起押圧部材で前記基
   板から引き上げられた前記薄膜を有する基板を搬
   送する基板搬送手段と、前記引き上げられた薄膜
   と前記基板との間に流体を吹き付ける流体吹付手
   段と、該流体吹付手段で剥離された薄膜の剥離方
   向を設定する薄膜剥離ガイド部材と、前記流体吹
   付手段で剥離された薄膜を保持して残りの部分を
   剥離しながら搬送する薄膜搬送手段とを備えたこ
   とを特徴とする薄膜剥離装置。 ３ 基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥
   離装置であつて、前記基板に張り付けられている
   薄膜の端部のみに力を加え、その端部のみを引き
   上げる突起押圧部材と、該突起押圧部材で前記基
   板から引き上げられた前記薄膜を有する基板を搬
   送する基板搬送手段と、前記引き上げられた薄膜
   と前記基板との間に流体を吹き付ける流体吹付手
   段と、該流体吹付手段の流体吹付部分に設けられ
   た前記突起押圧部材と、前記流体吹付手段で剥離
   された薄膜を保持して残りの部分を剥離しながら
   搬送する薄膜搬送手段とを備えたことを特徴とす
   る薄膜剥離装置。