JPH0829874B2

JPH0829874B2 - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPH0829874B2
Application number: JP60266490A
Authority: JP
Inventors: 成夫住
Original assignee: ソマ−ル株式会社
Priority date: 1985-11-27
Filing date: 1985-11-27
Publication date: 1996-03-27
Anticipated expiration: 2011-03-27
Also published as: JPS62126076A

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特
に、基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜
の剥離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線
板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又
は両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造
することができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導
電層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
を熱圧着ラミネートする。この後、配線パターンフィル
ムを重ね、この配線パターフィルム及び前記透光性樹脂
フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。
そして、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された
感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形
成する。この後、前記導電層の不必要部分をエッチング
により除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、
所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成す
る。

［発明が解決しようとする問題点］前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性
樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィ
ルムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹
脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィル
ムが薄いので、剥離応力の偏り等による損傷，破壊が生
じないようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練を
要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大する
ので、プリント配線板の製造工程における作業時間が長
くなるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動
薄膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている
薄膜の端部をローラー、ブラッシ、針等で浮かせ、その
浮いた部分を引き起して剥離し、その剥離した薄膜を外
部に自動的に排出するようにしたものである。

しかしながら、従来の自動薄膜剥離装置では、前記薄
膜の端部が基板の端部から不均一な距離に貼り付けられ
ている場合が多いため、薄膜の端部にローラー、ブラッ
シ、針等で力を加えて薄膜の端部の所定均一幅だけを浮
かせることが困難であるという問題があった。

また、薄い距離は反りや曲りがあるため、前記基板上
の薄膜を浮かせる手段の位置合せに不都合を生ずるとい
う問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他
の問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面
によって明らかになるであろう。

（２）発明の構成［問題点を解決するための手段］本願において開示される発明のうち、代表的なものの
概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、基板に張り付けられている薄膜を剥離して
排出する薄膜剥離装置であって、前記薄膜の端部を検出
する薄膜端部検出手段と、該検出された薄膜端部から内
側の所定の距離までに振動を加えて薄膜端部を一部を浮
かせる薄膜浮上手段を設けたことを特徴とするものであ
る。さらに、前記基板の端部に押え部材で圧力を加えて
その端部の反りや曲りを矯正する薄膜矯正手段を設けた
ことを特徴とするものである。また、さらに、前記基板
の端部を所定位置で停止させるストッパと、その停止位
置で基板の端部に押え部材で圧力を加えた状態で前記薄
膜を浮かせ、この浮かされた薄膜を剥離しながら搬送す
る薄膜剥離搬送手段を設けたことを特徴としたものであ
る。

［作用］本発明は、搬送されてくる基板の端部をストッパで所
定位置に停止させ、基板の端部を押え部材で押えて圧力
を加えてその端部の反りや曲りを矯正し、前記薄膜端部
検出手段で薄膜の端部を検出し、該検出された薄膜端部
から内側の所定の距離までの部分に薄膜浮上手段でエネ
ルギを加えて薄膜端部の一部を浮かせ、その浮いた部分
から剥離しながら薄膜剥離搬送手段で排出することによ
り、前記基板上の薄膜の端部とその端部を浮かせる手段
との位置合せを確実に容易に行うことができる。

［実施例］以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置
に適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するもの
は同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の
保護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用
基板の搬送機構は、第１図に示すように、主として、プ
リント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ローラ２で構
成されている。この搬送機構における搬送経路には、薄
膜端部浮上機構３、薄膜引起機構５の可動部に取付けら
れている粘着部材４、薄膜剥離角度設定部材８が設けら
れている。

前記プリント配線用基板１は、第２図及び第６図に示
すように、絶縁性基板1Aの両面（又は片面）に導等の銅
電層1Bが形成されたものである。このプリント配線用基
板１の導電層1B上には、感光性樹脂層1Cと透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）1Dとからなる積層体が、熱圧着ラミネ
ートされている。感光性樹脂層1Cは所定のパターンに露
光された後の状態にある。

前記搬送用駆動ローラ２は、第１図にＡ−Ａ線で示さ
れる搬送経路において、プリント配線用基板１を矢印方
向に搬送するように構成されている。

前記薄膜端部浮上機構３は、第５図に示すように、装
置本体に摺動自有に取付けられている支持フレーム20
に、基板１を所定位置に停止させるストッパ21及び薄膜
端部浮上装置23が複数個設けられている。

そして、第２図及び第３図に示すように、支持フレー
ム20には、薄膜端部浮上装置23を摺動自在に上下動させ
るガイドレール22Aを有する薄膜端部浮上装置支持フレ
ーム22が設けられている。そして前記支持フレーム20
は、例えば、エアシリンダ20Aによって上下動されるよ
うになっている。前記薄膜端部浮上装置支持フレーム22
には、薄膜端部浮上装置23がガイドレール22Aに支持フ
レーム23Aを介して摺動自在に取付けられている。薄膜
端部浮上装置23は、支持フレーム23Aを介してエアシリ
ンダ24により、基板１に対して近ずいたり遠ざかったり
するようになっている。

また、支持フレーム23Aには、前記ストッパ21によっ
て停止された基板１を押圧してたわみや反りを矯正する
押圧部材23Bが設けられている。さらに、支持フレーム2
3Aには、薄膜端部検出部材23Cを支持する薄膜端部検出
部材支持フレーム23D及び薄膜浮上部材23Eを支持する薄
膜浮上部材支持フレーム23Fが摺動自在に設けられてい
る。

また、前記薄膜浮上部材支持フレーム23Fは、前記薄
膜端部検出部材支持フレーム23Dに摺動自在に支持され
ており、その先端部には、薄膜浮上部材23Eが所定の角
度をもって固定されている。そして、薄膜浮上部材支持
フレーム23Fの後端部には、薄膜浮上部材23Eの移動量調
節用ネジ23Gがフレーム23Hを介して設けられている。ま
た、薄膜浮上部材支持フレーム23Fを常に後方に押圧す
るためのスプリング23Jが設けられている。

前記薄膜端部検出部材23Cの先端23C₁は少し折れ曲っ
た爪状の形になっており、かつコの字形の空間を形成す
るように二又になっている。そして、薄膜端部検出部材
23Cは、薄膜端部検出部材支持フレーム23Dに固定ピン23
D₁により回転自在に支持されている。

前記薄膜浮上部材23Eは、第３図（Ａ図は電力が供給
されていない場合、Ｂ図は電力が供給されている場合で
ある）に示すように、例えば、電磁式バイブレータを用
い、その可動片23E₁に針状部材23E₂を設けて、電磁式バ
イブレータの電磁コイル23E₃に電力が供給されていない
ときには、第３図（Ａ）に示すように、スプリング23E₄
により針状部材23E₂が後部方向に引き込まれて、電源コ
ード23E₅から電磁コイル23E₃に電力が供給されると、第
３図（Ｂ）に示すように、可動片23E₁が吸引又は反発し
て針状部材23E₂を突出させることにより、針状部材23E₂
を振動させるようになっている。

そして、薄膜端部検出部材23Cの先端部と薄膜浮上部
材23Eの先端部は、第４図に示すように、非動作時に
は、押圧部材23Bにより少し引込んだ位置に配置され、
動作時には、それぞれ押圧部材23Bよりも少し突出する
ようになっている。

次に、本実施例の薄膜端部浮上装置23の動作を簡単に
説明する。

第２図において、前記支持フレーム20をエアシリンダ
20Aで基板搬送路に向けて移動させると、搬送されてく
る基板１はそのストッパ21の所で停止する。次に、支持
フレーム23Aを基板搬送路に向けてエアシリンダ24によ
り移動させて基板１の端部を押し付けて圧力を加える。
これにより基板１の反りや曲りを矯正し、この状態で薄
膜端部検出部材支持フレーム23Dをエアシリンダ23Kによ
り右方向に移動させて薄膜端部検出部材23Cを感光性樹
脂層1C又は透光性樹脂フィルム1Dに接触させる。この状
態で薄膜浮上部材支持フレーム23Fをエアシリンダ23Lに
より右方向に移動させ、薄膜浮上部材23Eの針状部材23E
₂を駆動させる。これにより透光性樹脂フィルム1Dに振
動が加わって感光性樹脂層1Cから浮き上がって分離す
る。

前記粘着部材４は、第１図に示すように、薄膜引起機
構５の回動腕5Aに取付けられている。そして、この回動
腕5Aは、軸5Bを中心にして回動するように構成され、粘
着部材４を透光性樹脂フィルム1Dの端部に押付けるよう
に構成されている。前記軸5Bは支持枠5Cに支持されてお
り、粘着部材４の先端を透光性樹脂フィルム1Dの搬送方
向の端部の上面に当接させた状態で、回動腕5Aを、軸5B
を中心に歯車5D,5Eで第１図に示すように、矢印Ｃ方向
に回動するように構成されている。そして、歯車5Fとラ
ック5Gの右方向の移動動作で、透光性樹脂フィルム1Dの
端部を引起して、第１図に示すように、薄膜剥離排出機
構６の引込口まで持って行くようになっている。そし
て、引起された透光性樹脂フィルム1Dは、ローラ6Aa,6B
aに噛み込まれる。その後、回動腕5Aを、図中、左方向
に移動させて、粘着部材４を透光性樹脂フィルム1Dから
引き離す。

この時、粘着部材４と透光性樹脂フィルム1Dとを確実
に引き離すために、第６図に示すように、エアーシリン
ダ等の薄膜端部押え機構７（破線で示す）を用いてもよ
い。

前記薄膜剥離角度設定部材８は、第６図乃至第８図に
示すように、薄膜剥離排出機構６のベルトコンベア6Aの
一端部と整合するように、薄膜剥離装置の筐体に設けら
れている。

この薄膜剥離角度設定部材８は、透光性樹脂フィルム
1Dの剥離時における剥離位置の変動防止，剥離応力の偏
りの防止ができ、かつ、透光性樹脂フィルム1D及び感光
性樹脂層1Cが損傷，破壊しないようにするために、プリ
ント配線用基板１に対して引き起された透光性樹脂フィ
ルム1Dの剥離角度θがほぼ直角から鈍角となるように、
透光性樹脂フィルム1Dの剥離角度を設定するような構造
になっている。そして、薄膜剥離角度設定部材８の先端
を、プリント配線用基板１に近ずけたり、離隔させたり
することができるように設けられている。

また、薄膜剥離角度設定部材８の先端は、その断面が
曲率半径の小さい円弧状になっている。例えば、曲率半
径が3mm以下に構成されている。

このように薄膜剥離角度設定部材８を設けることによ
り、剥離位置を安定させると共に、透光性樹脂フィルム
1D及び感光性樹脂層1Cに一様な剥離応力を加えることが
できる。

前記薄膜剥離排出機構６はベルトコンベア6A及びベル
トコンベア6Bで構成されている。

ベルトコンベア6Aは、第１図及び第６図に示すよう
に、一対のローラ6Aa,6Aa′を複数個設けて、この一対
のローラ6Aa,6Aa′に巻回されたベルト6Abで構成されて
いる。同様にして、ベルトコンベア6Bは、一対のローラ
6Ba,6Ba′を複数設けて、それに巻回されたベルト6Bbで
構成されている。

なお、このベルトコンベア6Bは、一方のローラ6Ba′
を中心にエアーシリンダ等で回動し、ベルトコンベア6A
のベルト6Abに接触するように構成して、薄膜剥離販排
出機構６の引込み口に持って来られた透光性樹脂フィル
ム1Dの端部をより確実に挟持（排出）できるようにし、
薄膜の排出ミス等のトラブルに対応するようにしてもよ
い。

前記ベルトコンベア6Aとベルトコンベア6Bは、薄膜引
起機構５で剥離され薄膜剥離角度設定部材８でガイドさ
れた透光性樹脂フィルム1Dを挟持し、それぞれの一対の
ローラ6Aa,6Aa′及び一対のローラ6Ba,6Ba′を駆動させ
ることにより、透光性樹脂フィルム1Dを順次剥離して排
出するように構成されている。

前記ベルトコンベア6A及び6Bは、搬送方向に少しずれ
て接触又は近接して設けられており、ローラ6Aa′側か
ら剥離された透光性樹脂フィルム1Dが排出されるように
なっている。

前記薄膜の剥離装置で透光性樹脂フィルム1Dが剥離さ
れると、プリント配線用基板１は、搬送用駆動ローラ２
で感光性樹脂層1Cを現像する現像装置へ搬送される。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは
勿論である。

例えば、前記実施例では、薄膜端部浮上機構3a′およ
び一対のローラ6Ba,6Ba′を駆動させることにより、透
光性樹脂フィルム1Dを順次剥離して排出するように構成
されている。

前記保護膜の剥離装置で透光性樹脂フィルム1Dが剥離
されると、プリント配線用基板１は、搬送用駆動ローラ
２で感光性樹脂層1Cを現像する現像装置へ搬送される。

例えば、前記実施例では、薄膜端部浮上機構３を薄膜
剥離角度設定部材８の前段に配置したが、薄膜引起機構
５と薄膜剥離角度設定部材８との間に配置してもよい。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄膜の剥
離装置に本発明を適用した例について説明したが、本発
明は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜
の剥離装置に適用してもよい。

また、前記粘着部材４の代りに、透光性樹脂フィルム
1Dの浮かせた部分に流体に吹き付けて引起してもよい。

（３）効果以上説明したように、本発明によれば、次のような効
果を得ることができる。

（Ａ）．基板上に貼り付けられている薄膜の端部を検出
し、この薄膜端部から内側の所定の距離までの部分に振
動を加えて薄膜端部の一部を浮かせるようにしたことに
より、この薄膜端部から内側の所定の距離までの部分に
振動を加えて薄膜端部の一部を浮かせることができるの
で、基板上の配線パターンを損傷することはなく、薄膜
を浮上させて剥離することできる。

（Ｂ）．薄い基板の端部に押え部材で押えて圧力を加
え、その端部の反りや曲りを矯正するようにしたので、
前記基板上の薄膜の端部とその端部を浮かせる手段との
位置合せを正確にかつ容易に行うことができる。

（Ｃ）．前記（Ｂ）に加えて基板の端部を所定位置で停
止させるストッパを設けることにより、基板の位置を正
確に設定できるので、さらに、前記基板上の薄膜の端部
とその端部を浮かせる手段との位置合せを正確にかつ容
易に行うことができる。

（Ｄ）．前記（Ｃ）に加えて、前記基板上の薄膜の端部
を浮かせる手段を設けたことにより、前記基板上の薄膜
の端部とその端部を浮かせる手段との位置合せを正確に
設定して薄膜の端部を浮かせることができるので、感光
性樹脂層中の配線パターンの損傷を防止することができ
る。

（Ｅ）．前記（Ｄ）に加えて、前記薄膜の端部の浮かさ
れた部分を剥離しながら排出する手段を設けたことによ
り、薄膜剥離作業を自動的に行うことができるので、そ
の作業時間を大幅に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は、本実施例の薄膜端部浮上機構の外観を示す側
面図、第３図は、第２図の薄膜浮上部材の側面図、第４図は、第２図の押え部材の先端部，薄膜端部検出部
材の先端部及び薄膜浮上部材の先端部の配設位置を示す
平面図、第５図は、本実施例のストッパと薄膜端部検出機構の配
設位置を示す斜視図、第６図は、第１図の薄膜剥離搬出機構の概略構成を示す
断面図、第７図及び第８図は、第６図の薄膜剥離搬出機構及び薄
膜剥離角度設定部材の概略構成を示す断面図である。図中、１……プリント配線用基板、２……搬送駆動ロー
ラ、３……薄膜端部浮上機構、４……粘着部材、５……
薄膜引起機構、5A……回動腕、６……薄膜剥離排出機
構、７……薄膜端部押え機構、８……薄膜剥離角度設定
部材、21……ストッパ、23……薄膜端部浮上装置、23C
……薄膜端部検出部材、23E……薄膜浮上部材である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に張り付けられている薄膜を剥離して
排出する薄膜剥離装置において、前記薄膜の端部を検出
する薄膜端部検出手段と、該検出された薄膜端部から内
側の所定の距離までの部分に振動を加えて薄膜端部の一
部を浮かせる薄膜浮上手段を設けたことを特徴とする薄
膜剥離装置。
【請求項２】基板に張り付けられている薄膜を剥離して
排出する薄膜剥離装置において、前記基板の端部に押え
部材で圧力を加えてその端部の反りや曲りを矯正する基
板矯正手段と、該基板矯正手段で基板の端部を押えた状
態で前記薄膜の端部を検出する薄膜端部検出手段と、該
検出された薄膜端部から内側の所定の距離までの部分に
振動を加えて薄膜端部の一部を浮かせる薄膜浮上手段を
設けたことを特徴とする薄膜剥離装置。
【請求項３】基板に張り付けられている薄膜を剥離して
排出する薄膜剥離装置において、前記基板の端部を所定
位置で停止させるストッパと、その停止位置で基板の端
部に押え部材で圧力を加えてその端部の反りや曲りを矯
正する基板矯正手段と、該基板矯正手段で基板の端部を
押えた状態で前記薄膜の端部を検出する薄膜端部検出手
段と、該検出された薄膜端部から内側の所定の距離まで
の部分に振動を加えて薄膜端部の一部を浮かせる薄膜浮
上手段と、前記浮かされた薄膜を剥離しながら搬送する
薄膜剥離搬送手段を設けたことを特徴とする薄膜剥離装
置。