JPH063550B2

JPH063550B2 - 薄膜の剥離装置

Info

Publication number: JPH063550B2
Application number: JP25343485A
Authority: JP
Inventors: 成夫住
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-11-12
Filing date: 1985-11-12
Publication date: 1994-01-12
Anticipated expiration: 2009-01-12
Also published as: JPS62113145A

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導電
層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護
する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を
熱圧着ラミネートする。この後、配設パターンフィルム
を重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂
フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。
そして、透光性樹脂フイルムを剥離した後、露光された
感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形
成する。この後、前記導電層の不必要部分をエッチング
により除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、
所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成す
る。

［発明が解決しようとする問題点］前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光後現像するに際して、透光性樹脂フィルムを
剥離する工程が必要とされている。この透光性樹脂フィ
ルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィルムが薄
いので、剥離応力の偏り等による損傷，破壊が生じない
ようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練を要す
る。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配設板の製造工程における作業時間が長く
なるといる問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成［問題点を解決するための手段］本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられている感光性
樹脂層と透光性樹脂フイルムとからなる積層体薄膜の端
部にバイブレータのロッドの振動を与えて叩くことによ
り、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上
させるフィルム浮上手段と、この浮上された部分のフィ
ルムを剥離するフィルム剥離手段と、該剥離されたフイ
ルムを搬出する搬出手段とを具備したことを特徴とする
ものである。

［作用］本発明は、バイブレータのロッドで薄膜の端部に直線的
な振動を与えて叩くことにより、フィルムと樹脂層の界
面に隙間を形成してフイルムを浮上させ、この浮上部分
をフィルム剥離手段で確実に剥離し、剥離されたフィル
ムを搬出することができる。

［実施例］以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配設用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図に示すように、主として、プリ
ント配線用基板１を搬送する搬送ローラ２で構成されて
いる。この搬送機構における搬送経路には、薄膜端部浮
上機構３、薄膜引起機構５の可動部に取付けられている
粘着部材４、薄膜剥離角度設定部材８が設けられてい
る。

前記プリント配線用基板１は、第２図及び第６図に示す
ように、絶縁性基板１Ａの両面（又は片面）に銅等の電
動層１Ｂが形成されたものである。このプリント配線用
基板１の導電層１Ｂ上には、感光性樹脂層１Ｃと透光性
樹脂フィルム（保護膜）１Ｄとからなる積層体が、熱圧
着ラミネートされている。感光性樹脂層１Ｃは所定のパ
ターンに露光された後の状態にある。

前記搬送用駆動ローラ２は、第１図にＡ−Ａ線で示され
る搬送経路において、プリント配線用基板１を矢印方向
に搬送すうように構成されている。

前記薄膜端部浮上機構３は、第５図に示すように、装置
本体に摺動自在に取付けられている支持フレーム２０
に、基板１を所定位置に停止させるストッパ２１が複数
個設けられている。

そして、第２図及び第３図に示すように、支持フレーム
２０には、薄膜端部浮上装置２３を摺動自在に上下動さ
せるガイドレール２２Ａを有する薄膜端部浮上装置支持
フレーム２２が複数個設けられている。そして前記支持
フレーム２０は、例えば、エアシリンダ２０Ａによって
上下動されるようになっている。前記薄膜端部浮上装置
支持フレーム２２には、薄膜端部浮上装置２３がガイド
レール２２Ａに支持フレーム２３Ａを介して摺動自在に
取付けられている。薄膜端部浮上装置２３は、支持フレ
ーム２３Ａを介してエアシリンダ２４により、基板１に
対して近ずいたり遠ざかったりするようになっている。

前記薄膜端部浮上装置２３の支持フレーム２３Ａには、
前記ストッパ２１によって停止された基板１を押圧して
たわみや反りを矯正する押圧部材２３Ｂが設けられてい
る。また、支持フレーム２３Ａには、薄膜端部検出部材
２３Ｃを支持する薄膜端部検出部材支持フレーム２３Ｄ
及び薄膜浮上部材２３Ｅを支持する薄膜浮上部材支持フ
レーム２３Ｆが摺動自在に設けられている。

前記薄膜浮上部材支持フレーム２３Ｆは、前記薄膜端部
検出部材支持フレーム２３Ｄに摺動自在に支持され、そ
の先端部には、薄膜浮上部材２３Ｅが所定の角度をもっ
て固定されている。その後端部には、薄膜浮上部材２３
Ｅの移動量調節用ネジ２３Ｇがフレーム２３Ｈを介して
設けられている。また、薄膜浮上部材支持フレーム２３
Ｆを常に後方に押圧するためのスプリング２３Ｊが設け
られている。前記移動量調節用ネジ２３Ｇの突出量によ
って薄膜浮上部材２３Ｅの薄膜の端からの設定距離を調
節するようになっている。

前記薄膜端部検出部材２３Ｃの先端２３C₁は少し折れ曲
った爪状の形になっており、かつコの字形の空間を形成
するように二又になっている。そして、薄膜端部検出部
材２３Ｃは、薄膜端部検出部材支持フレーム２３Ｄに固
定ピン２３D₁により回転自在に支持されている。

前記薄膜浮上部材２３Ｅは、第３図（Ａ図は電力が供給
されていない場合、Ｂ図は電力が供給されている場合で
ある）に示すように、例えば、電磁式バイブレータを用
い、その可動片２３E₁にロッド２３E₂を設け、電磁式バ
イブレータの電磁コイム２３E₃に電力が供給されていな
い時は、第３図（Ａ）に示すように、スプリング２３E₄
によりロッド２３E₂が後部方向に引き込まれ、電源コー
ド２３E₅から電磁コイル２３E₃に電力が供給されると、
第３図（Ｂ）に示すように、可動片２３E₁が、吸引また
は反発してロッド２３E₂を突出させることにより、ロッ
ド２３E₂を直線的に振動させるようになっている。

前記薄膜浮上部材２３Ｅとして、電磁式バイブレータの
他に、（１）超音波によって振動させる超音波式バイブ
レータ、（２）回転運動を直線運動に変換することによ
って振動させる機械式バイブレータ、（３）流体圧力に
より振動させる流体式バイブレータ等を使用してもよ
い。

そして、薄膜端部検出部材２３Ｃの先端部と薄膜浮上部
材２３Ｅの先端部は、第４図に示すように、非動作時に
は、押え部材２３Ｂにより少し引込んだ位置に配置さ
れ、動作時には、それぞれ押え部材２３Ｂよりも少し突
出すうようになっている。

次に、本実施例の薄膜端部浮上装置２３の動作を簡単に
説明する。

第２図において、前記支持フレーム２０を、エアシリン
ダ２０Ａで基板搬送路に向けて移動させると、搬送され
てくる基板１はそのストッパー部２１で停止する。次
に、支持フレーム２３Ａを基板搬送路に向けてエアシリ
ンダ２４により移動させて基板１の端部を押し付けて圧
力を加える。これにより基板１の反りや曲りを矯正し、
この状態で支持フレーム２３Ｄをエアシリダ２３Ｋによ
り右方向に移動させて薄膜端部検出部材２３Ｃを感光性
樹脂層１Ｃ又は透光性樹脂フィルム１Ｄ接触させる。こ
の状態で支持フレーム２３Ｆをエアシリンダ２３Ｌによ
り右方向に移動させ、薄膜浮上部材２３Ｅのロッド２３
E₂を駆動させる。これにより透光性樹脂フィルム１Ｄに
振動が加って感光性樹脂層１Ｃから浮き上がって分離す
る。

即ち、ロッド２３E₂の直線的な振動により、該ロッド２
３E₂の先端が薄膜（感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイ
ルム１Ｄの積層体）の端部に当ると、表面のフィルム１
Ｄと樹脂層１Ｃが押し下げられて局所的に変形し、ロッ
ド２３E₂の先端が薄膜から離れると、薄膜は、元の形状
（平面）に戻ろうとする。しかしながら、フィルム１Ｄ
と樹脂層では応力回復に差があり、フィルム１Ｄはロッ
ド２３E₂の先端が離れると直ちに元の形状に戻るが、樹
脂層１Ｃの方は、元の形状に戻り難い。このため、両者
の界面にずれが生じて、樹脂層１Ｃからフィルム１Ｄが
少し浮き、端部近辺から空気が入ると、更に、フィルム
１Ｄが浮き上る。

前記粘着部材４は、第１図に示すように、薄膜引起機構
５の回動腕５Ａに取付けられている。そして薄膜引起機
構５の回動腕５Ａは、軸５Ｂを中心にして回動するよう
に構成され、粘着部材４を透光性樹脂フィルム１Ｄの端
部に押付けるように構成されている。前記軸５Ｂは支持
杆５Ｃに支持されており、粘着部材４の先端を透光性樹
脂フィルム１Ｄの搬送方向の端部の上面に当接させた状
態で薄膜引起機構５の回動腕５Ａを、軸５Ｂを中心に歯
車５Ｄ，５Ｅで、第１図示すように、矢印Ｃ方向に回動
するように構成されている。そして、歯車５Ｆとラック
５Ｇの右方向の移動動作で透光性樹脂フイルム１Ｄの端
部を引起して、第１図に示すように、薄膜剥離排出機構
６の引込口まで持って行くようになっている。そして、
引起された透光性樹脂フィルム１Ｄは、ローラ６Ａａ，
６Ｂａに噛み込まれる。その後、回動腕５Ａを、図中、
左方向に移動させて、粘着部材４を透光性樹脂フィルム
１Ｄから引き離す。

この時、粘着部材４と透光性樹脂フィルム１Ｄとを確実
に引き離すために、第６図に示すように、エアシリンダ
等の薄膜端部押え機構７（破線で示す）を用いてもよ
い。

前記薄膜剥離角度設定部材８は、第６図乃至第８図に示
すように、薄膜剥離排出機構６のベルトコンベア６Ａの
一端部と整合するように、薄膜剥離装置の筐体に設けら
れている。

この薄膜剥離角度設定部材８は、透光性樹脂フィルム１
Ｄの剥離時における剥離位置の変動防止，剥離応力の偏
りの防止ができ、かつ、透光性樹脂フィルム１Ｄ及び感
光性樹脂層１Ｃが損傷，破壊しないようにするために、
プリント配線用基板１に対して引き起された透光性樹脂
フイルム１Ｄの剥離角度θがほぼ直角乃至純角となるよ
うに、透光性樹脂フィルム１Ｄの剥離角度を設定するよ
うな構造になっている。そして、薄膜剥離角度設定部材
８の先端が、プリント配線用基板１に近ずけたり、離隔
させたりすることができるように設けられている。

また、薄膜剥離角度設定部材８の先端は、その断面が曲
率半径の小さい円弧状になっている。例えば、曲率半径
が３mm以下に構成されている。

このように薄膜剥離角度設定部材５を設けることによ
り、剥離位置を安定させると共に、透光性樹脂フィルム
１Ｄ及び感光性樹脂層１Ｃに一様な剥離応力を加えるこ
とができる。

前記薄膜剥離排出機構６は、ベルトコンベア６Ａ及びベ
ルトコンベア６Ｂで構成されている。

ベルトコンベア６Ａは、第１図及び第６図で示すよう
に、一対のローラ６Ａａ，６Ａａ’を複数個設け、この
一対のローラ６Ａａ，６Ａａ’に巻回されたベルト６Ａ
ｂで構成されている。また、同じように、ベルトコンベ
ア６Ｂは、一対のローラ６Ｂａ，６Ｂａ’と、それに巻
回されたベルト６Ｂｂで構成されている。

なお、このベルトコンベア６Ｂは、一方のローラ６Ｂ
ａ’を中心にエアーシリンダ等で回動し、ベルトコンベ
ア６Ａのベルト６Ａｂに接触するようにして構成して、
薄膜剥離搬排出機構６の引込み口に持って来られた透光
性樹脂フィルム１Ｄの端部をより確実に挟持（排出）で
きるようにし、薄膜の排出ミス等のトラブルに対応する
ようしてもよい。

前記ベルトコンベア６Ａとベルトコンベア６Ｂは、薄膜
引起機構５で剥離されて、薄膜剥離角度設定部材８でガ
イドされた透光性樹脂フィルム１Ｄを挟持して、それぞ
れの一対のローラ６Ａａ，６Ａａ’及び一対のローラ６
Ｂａ，６Ｂａ’を駆動させることにより、透光性樹脂フ
ィルム１Ｄを順次剥離して排出するように構成されてい
る。

前記ベルトコンベア６Ａ及び６Ｂは、搬送方向に少しず
れて接触又は近接して設けられており、ローラ６Ａａ’
側から剥離された透光性樹脂フィルム１Ｄが排出される
ようになっている。

前記保護膜の剥離装置で透光性樹脂フイルム１Ｄが剥離
されると、プリント配線用基板１は、搬送用駆動ローラ
２で感光性樹脂層１Ｃを現像する現像装置へ搬送され
る。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、前記実施例では、薄膜端部浮上機構３を薄膜剥
離角度設定部材８の前段に配置したが、薄膜引起機構５
と薄膜剥離角度設定部材８との間に配置してもよい。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄膜の剥離
装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明
は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の
剥離装置に適用してもよい。

また、前記粘着部材４の代りに、透光性樹脂フィルム１
Ｄの浮かせた部分に流体を吹き付けて引起してもよい。

（３）効果以上説明したように、本発明によれば、バイブレータを
ロッド積層体薄膜の端部を叩くことにより、フィルムの
一部を浮かせることができるので、基板上の配線パター
ンを損傷することなくフィルムを浮かせることができ
る。

また、前記フィルムの端部の浮かされた部分を剥離しな
がら排出する手段を設けたことにより、フィルム剥離作
業を自動的に行うことができるので、その作業時間を大
幅に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は、本実施例の薄膜端部浮上機構の外観を示す側
面図、第３図は、第２図の薄膜浮上部材の側面図、第４図は、第２図の押え部材の先端部，薄膜端部検出部
材の先端部及び薄膜浮上部材の先端部の配置位置を示す
平面図、第５図は、本実施例のストッパと薄膜端部検出機構の配
設位置を示す斜視図、第６図は、第１図の薄膜剥離搬出機構の概略構成を示す
断面図、第７図及び第８図は、第６図の薄膜剥離搬出機構及び薄
膜剥離角度設定部材の概略構成を示す断面図である。図中、１…プリント配線用基板、２…搬送駆動ローラ、
３…薄膜端部浮上機構、４…粘着部材、５…薄膜引起機
構、５Ａ…回動腕、６…薄膜剥離排出機構、７…薄膜端
部押え機構、８…薄膜剥離角度設定部材、２１…ストッ
パ、２３…薄膜端部浮上装置、２３Ｃ…薄膜端部検出部
材、２３Ｅ…薄膜浮上部材（バイブレータ）、２３E₂…
ロッドである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に張り付けられている感光性樹脂層と
透光性樹脂フィルムとからなる積層体薄膜の端部にバイ
ブレータのロッドの振動を与えて叩くことにより、透光
性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上させるフ
ィルム浮上手段と、この浮上された部分のフィルムを剥
離するフィルム剥離手段と、該剥離されたフィルムを搬
出する搬出手段とを具備したことを特徴とする薄膜の剥
離装置。
【請求項２】前記フィルム浮上手段は、電磁式バイブレ
ータからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の薄膜の剥離装置。
【請求項３】前記フィルム浮上手段は、超音波式バイブ
レータからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の薄膜の剥離装置。
【請求項４】前記フィルム浮上手段は、回転運動を直線
運動に変換することによって振動させる機械式バイブレ
ータからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の薄膜の剥離装置。
【請求項５】前記フイルム浮上手段は、流体圧力により
振動させる流体式バイブレータからなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の薄膜の剥離装置。
【請求項６】前記バイブレータのロッドの振動を、前記
基板が停止している時に、前記薄膜の端部に与えること
を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項のいずれ
か１項に記載の薄膜の剥離装置。