JPH032680B2

JPH032680B2 -

Info

Publication number: JPH032680B2
Application number: JP28079685A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Sumi
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-12-13
Filing date: 1985-12-13
Publication date: 1991-01-16
Also published as: JPS62139554A

Description

【発明の詳細な説明】 (1) 発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであ
り、特に、基板の表面を保護する薄膜の剥離技術
に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］コンピユータ等の電子機器で使用されるプリン
ト配線板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性
基板の片面又は両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程によ
り製造することができる。

まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に、
感光性樹脂（フオトレジスト）層とそれを保護す
る透光性樹脂フイルム（保護膜）とからなる積層
体を熱圧着ラミネート（張り付け）する。この熱
圧着ラミネートは、薄膜張付装置所謂ラミネータ
により量産的に行われる。この後、前記積層体に
配線パターンフイルムを重ね、この配線パターン
フイルム及び透光性樹脂フイルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹
脂フイルムを薄膜剥離装置所謂ピーラで剥離した
後、露光された感光性樹脂層を現像してエツチン
グマスクパターンを形成する。この後、前記導電
層の不必要部分をエツチングにより除去し、さら
に残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パ
ターンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］前述のプリント配線板の製造工程においては、
感光性樹脂層を現像する前に、感光性樹脂層上の
透光性樹脂フイルムを薄膜剥離装置で剥離する工
程が必要とされている。

この種の剥離工程は、次のように行われる。ま
ず、基板を剥離位置に搬送し、透光性樹脂フイル
ムと感光性樹脂層との間に予じめ形成された微小
の隙間部分に流体を吹き付ける。この流体の吹き
付けで、透光性樹脂フイルムの一部が剥離され
る。この剥離された一部の透光性樹脂フイルム
は、薄膜剥離ガイド部材に付着され、基板の搬送
とともにコンベア等の搬出機構で排出される。

本発明者の実験ならびにその検討によれば、薄
膜剥離ガイド部材を基板に近接した位置に設定す
ると、透光性樹脂フイルムの剥離を確実にしかつ
剥離効果を高めることができた。しかしながら、
透光性樹脂フイルムの剥離後、基板の搬送に際し
て感光性樹脂層と接触し損傷を生じ易いので、薄
膜剥離ガイド部材を最適位置に設定することが極
めて難しいという問題があつた。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびに
その他の問題点と新規な特徴は、本明細書の記述
及び添付図面によつて明らかになるであろう。

(2) 発明の構成［問題点を解決するための手段］本願において開示される発明のうち、代表的な
ものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられてい
る薄膜を剥離する薄膜剥離方法であつて、前記薄
膜の剥離方向を設定する薄膜剥離ガイド部材を前
記基板に近接させる段階と、該薄膜剥離ガイド部
材を近接させた状態で、該薄膜剥離ガイド部材に
薄膜の一部を剥離して付着させる段階と、前記薄
膜剥離ガイド部材に付着された薄膜を挟持する段
階と、薄膜剥離ガイド部材を前記基板から離隔す
る段階と、該薄膜剥離ガイド部材を離隔させた状
態で、前記薄膜を剥離しながら基板を搬送する段
階とを具備したことを特徴としたものである。

また、本発明は、前記薄膜剥離方法を実施する
薄膜剥離装置であつて、前記薄膜の剥離方向を設
定する薄膜剥離ガイド部材と、該薄膜剥離ガイド
部材に薄膜の一部を剥離して付着させる剥離手段
と、該薄膜剥離ガイド部材に付着された薄膜を挟
持し排出する薄膜搬出手段と、前記薄膜剥離ガイ
ド部材を前記基板に近接させたり離隔させたりす
るガイド部材移動手段と、前記薄膜の一部が剥離
された基板を搬送する搬送手段とを具備したこと
を特徴としたものである。

さらに、本発明は、前記薄膜剥離方法を実施す
る薄膜剥離装置であつて、前記薄膜の剥離方向を
設定する薄膜剥離ガイド部材と、該薄膜剥離ガイ
ド部材に、流体の吹き付けで薄膜の一部を剥離し
て付着させる流体吹付機構と、該薄膜剥離ガイド
部材に付着された薄膜を挟持し排出する薄膜搬出
手段と、前記薄膜剥離ガイド部材を前記基板に近
接させたり離隔させたりするガイド部材移動手段
と、前記流体吹付機構の流体吹付部を前記基板に
近接させたり離隔させたりする流体吹付部移動手
段と、前記薄膜の一部が剥離された基板を搬送す
る搬送手段とを具備したことを特徴としたもので
ある。

［作用］本発明は、薄膜剥離ガイド部材を基板に近接さ
せて、薄膜を確実に剥離し薄膜の剥離効果を高め
ることができ、薄膜剥離ガイド部材を基板から離
隔させて、基板を搬送し基板ならびに基板にラミ
ネートされている感光性樹脂層等の損傷を防止す
ることができる。

［実施例］以下、プリント配線用基板に熱圧着ラミネート
された感光性樹脂層を保護する透光性樹脂フイル
ムを剥離する薄膜剥離装置（ピーラ）に本発明を
適用した一実施例について図面を用いて説明す
る。

なお、実施例の全図において、同一機能を有す
るものは同一符号を付け、そのくり返しの説明は
省略する。

本発明の一実施例である薄膜剥離装置及びそれ
に連結された基板搬送装置を第１図（概略構成
図）で示す。

プリント配線用基板１（第４図を参照）は、絶
縁性基板１Ａの両面（又は片面）に銅等の導電層
１Ｂが形成されたものである。このプリント配線
用基板（以下、単に基板という）１の導電層１Ｂ
上には、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂（保護）
フイルム１Ｄとが順次熱圧着ラミネートされてい
る。

所定の配線パターンフイルムが重ねられ露光装
置で感光性樹脂層１Ｃが露光された基板１は、第
１図にＡ−Ａ線で示す基板搬送経路を矢印方向に
搬送されるように構成されている。この基板搬送
経路には、基板１を搬送する搬送ローラ２及び搬
送制御ローラ３を夫々有する薄膜剥離装置及び
基板搬送装置が設けられている。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、繊
維強化プラスチツク製の円柱状部材（中実又は中
空：好ましくは中空）で構成されている。搬送ロ
ーラ２及び搬送制御ローラ３は、薄膜剥離装置
、基板搬送装置の夫々の本体フレームに回転
自在に複数取り付けられている。搬送ローラ２及
び搬送制御ローラ３は、特に、薄い基板１の端部
が垂れ下がらないように所定の間隔で配列されて
いる。搬送制御ローラ３は、その一部又はその全
部が駆動源（図示していない）に連結されてい
る。また、搬送ローラ２は、駆動源に連結されて
いないが、必要に応じて駆動源に連結してもよ
い。

上下一対に設けられた搬送制御ローラ３（又は
搬送ローラ２でもよい）は、搬送中の基板１を押
え付けるように構成されている。これは、特に、
薄い基板１の湾曲等を矯正するようになつてい
る。また、搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３
は、比較的厚く湾曲が小さい基板１を使用する場
合には、複数の円板状部材を串差しにした回転体
で構成してもよい。

薄膜剥離装置は、主として、突起押圧機構
４、流体吹付機構５及び薄膜搬出機構６で構成さ
れている。

基板搬送装置は、主として、基板センタ位置
合せ機構７及び基板浮上機構８で構成されてお
り、薄膜剥離装置に連結されている。

前記基板搬送装置の基板センタ位置合せ機構
７は、第１図及び第２図（斜視図）で示すよう
に、搬送方向のセンタラインに基板１の搬送方向
のセンタラインを合致させるように構成されてい
る。

基板センタ位置合せ機構７は、支持部材７Ａ，
７A′に基板位置合せ部材７Ｂ，７B′を支持して
構成されている。基板位置合せ部材７Ｂ，７
B′は、基板搬送経路Ａ−Ａを搬送されてくる基
板１の幅方向（搬送方向と略垂直の方向）の端部
に当接し、基板搬送装置の搬送方向のセンタラ
インに基板１の搬送方向のセンタラインを合致さ
せるように構成されている。基板位置合せ部材７
Ｂ，７B′は、円柱形状で構成されているが、例
えば、板形状で構成してもよい。

前記支持部材７Ａ，７A′は、夫々支持棒７Ｃ
に摺動自在に取り付けられている。支持部材７
Ａ，７A′は、ピニオン（歯車）７Ｄ及び夫々に
設けられたラツク７Ｅ，７E′を介して連結されて
いる。支持部材７Ａには、Ｌ字状部材（符号を符
していない）を介して、エアーシリンダ（又は油
圧シリンダ）７Ｆが取り付けられている。このよ
うに構成される基板センタ位置合せ機構７は、矢
印Ｂ方向にエアーシリンダ７Ｆのシヤフトを移動
すると、基板位置合せ部材７Ｂ，７B′が互いに
近づくように構成されている。この基板センタ位
置合せ機構７は、フレーム７Ｇにより支持されて
いる。

フレーム７Ｇの底部に設けられたナツト部材７
Ｈ（第１図参照）には、制御ハンドル７Ｉで回転
するネジ棒７Ｊが係合されている。フレーム７Ｇ
は、制御ハンドル７Ｉを回転させることで、基板
１の幅方向（矢印Ｃ方向）に移動するように構成
されている。この移動機構（又は微調整機構）
は、基板搬送装置の搬送方向のセンタラインと
基板センタ位置合せ機構７のセンタラインとがず
れた場合、両者を合致させるように構成されてい
る。この移動機構（基板センタ位置合せ機構７）
の位置の固定は、ネジ棒７Ｊの回転を固定するネ
ジ７ｉで行われる。

第１図に示す基板位置検出センサS₁は、基板１
の搬送方向の先端（又は後端）を検出して、基板
センタ位置合せ機構７の基板位置合せ部材７Ｂ，
７B′の駆動開始信号を発生するようになつてい
る。この基板位置検出センサS₁はフレーム７Ｇ又
は基板搬送装置のフレームに支持されている。
基板位置検出センサS₁は、例えば、反射型光セン
サを用いる。

第１図と第２図に示す基板位置検出センサS₂
は、基板１の幅方向の両端を夫々検出して、基板
センタ位置合せ機構７の基板位置合せ部材７Ｂ，
７B′の駆動停止信号を発生するようになつてい
る。この基板位置検出センサS₂は、前記基板位置
合せ部材７Ｂ，７B′よりもセンタライン側の支
持部材７Ａ，７A′に設けられている。基板位置
検出センサS₂は、基板搬送装置の搬送方向のセ
ンタラインと基板１の搬送方向のセンタラインと
が合致した時、前記基板位置合せ部材７Ｂ，７
B′を停止させるように構成されている。基板位
置合せ部材７Ｂ，７B′の制御は、遅延回路を用
いて基板位置検出センサS₂により基板１の両端が
検出されてから少し遅れて駆動動作停止信号を発
生させるようにすれば簡単に実現できる。基板位
置検出センサS₂は、例えば、透過型光センサで構
成する。

このように、基板搬送装置の搬送方向のセン
タラインに基板１の搬送方向のセンタラインを合
致させる基板センタ位置合せ機構７を設け、この
基板センタ位置合せ機構７の動作を開始させる基
板位置検出センサS₁及び基板センタ位置合せ機構
７の動作を停止させる基板位置検出センサS₂を設
けることにより、基板搬送装置の搬送方向のセ
ンタラインに基板１の搬送方向のセンタライン
を、基板１に湾曲、破損等を生じることなく、正
確かつ容易に合致（位置合せ）することができ
る。

なお基板センタ位置合せ機構７の支持部材７
Ａ，７A′の移動機構は、ラツク７Ｅ，７E′とピ
ニオン７Ｄに代えて、ベルトとプーリで構成して
もよい。また、支持部材７Ａ，７′は、エアーシ
リンダ７Ｆに代えて、サーボモータで直接ピニオ
ン７Ｄを回転させ、その移動を行つてもよい。

前記基板浮上機構８は、第１図、第２図及び第
３図（斜視図）で示すように、基板センタ位置合
せ機構７の動作中に、基板１と搬送ローラ２又は
搬送制御ローラ３との摩擦力（摩擦抵抗）を低減
するように構成されている。基板浮上機構８は、
基板１の幅方向の摩擦力を低減するローラ８Ａ，
８A′がくの字形状の可動部材８Ｂ，８B′の一端
に回転自在に取り付けられている。ローラ８Ａ，
８A′は、例えば、搬送ローラ２又は、搬送制御
ローラ３と同一材料で構成すればよい。可動部材
８Ｂ，８B′は、回転軸８Ｃで回転自在にＴ字形
状の支持部材８Ｄで支持され、フレーム８Ｅに取
り付けられている。支持部材８Ｄには、２つの可
動部材８Ｂ，８B′が支持されている。フレーム
８Ｅは、基板センタ位置合せ機構７のフレーム７
Ｇに取り付けられている。

可動部材８Ｂ，８B′の他端部は、フレーム８
Ｅに設けられたガイド部材８Ｆを摺動する摺動部
材８G₁〜８G₄に取り付けられている。可動部材
８Ｂ，８B′は、回転軸８Ｃを回転中心として、
摺動部材８G₁〜８G₄の摺動で回転するように構
成されている。可動部材８Ｂ，８B′は、回転軸
８Ｃでスムーズに回転するように、長穴、大径穴
等の、比較的自由度がある穴を介して、摺動部材
８G₁〜８G₄に取り付けられている。また、ガイ
ド部材８Ｆと摺動部材８G₁〜８G₄との間には、
摺動部材８G₁〜８G₄がスムーズに摺動するよう
に、適度なクリアランスを有している。

摺動部材８G₁，８G₂及び８G₃，８G₄は夫々連
結部材８ｇで連結されており、夫々同一方向に摺
動するように構成されている。そして、摺動部材
８G₁と８G₃は、摺動部材８G₂と８G₄に比べて長
い寸法で構成され、回転軸８Ｈで回転する回転部
材８Ｉを介して連結されている。回転部材８Ｉと
摺動部材８G₁又は８G₃との連結部は、エアーシ
リンダ（又は油圧シリンダ）８Ｊのシヤフトで押
圧されるように構成されている。また、回転部材
８Ｉの連結部は、摺動部材８G₁及び８G₃が摺動
できるように、長穴で構成されている。また、摺
動部材８G₁と８G₄には、互いに引張り合う弾性
部材８Ｋが接続されている。

この基板浮上機構８は、エアーシリンダ８Ｊの
シヤフトを矢印Ｄ方向に動作させると、回転部材
８Ｉが矢印Ｅ方向に回転し、摺動部材８G₁〜８
G₄が矢印Ｆ，F′方向に移動するように構成され
ている。この摺動部材８G₁〜８G₄の移動は、回
転軸８Ｃを中心にローラ８Ａ，８A′を矢印Ｇ，
G′方向に回転させることができる。このローラ
８Ａ，８A′の回転は、搬送ローラ２又は搬送制
御ローラ３から基板１を浮上させるようになつて
いる。

基板浮上機構８は、基板センタ位置合せ機構７
と同様に、前述の基板位置検出センサS₁でその動
作を開始させ、基板位置検出センサS₂でその動作
を停止するように構成されている。

また、基板浮上装置８の基板位置検出センサ
は、基板センタ位置合せ機構７と別に設けてもよ
い。

また、基板浮上装置８は、ローラ８Ａ，８
A′に代えて、基板１と搬送ローラ２又は搬送制
御ローラ３との摩擦力が低減するように、球状部
材で基板１を浮上させてもよい。

このように、基板搬送装置の搬送方向のセン
タラインに基板１の搬送方向のセンタラインを合
致させる基板センタ位置合せ機構７を設け、この
基板センタ位置合せ機構７の動作中に、基板１と
搬送ローラ２又は搬送制御ローラ３との摩擦力を
低減するように基板１を浮上させる基板浮上装置
８を設けたことにより、基板搬送装置の搬送方
向のセンタラインに基板１の搬送方向のセンタラ
インを、基板１に湾曲、破損等を生じることな
く、正確かつ極めて容易に合致させることができ
る。基板浮上装置８は、特に、薄い基板１に有効
である。

また、基板浮上装置８は、基板位置検出センサ
S₁で動作し基板位置検出センサS₂でその動作を停
止させたことにより、基板１の浮上を自動的に行
うことができる。

この基板搬送装置において、前述の位置合せ
が行われた基板１は、薄膜剥離装置に搬送され
るように構成されている。

前記薄膜剥離装置の突起押圧機構４は、第４
図（概略構成図）で示すように、針状の突起押圧
部材４Ａで感光性樹脂層１Ｃ及び又は透光性樹脂
フイルム１Ｄの端部に応力を加わえるように構成
されている。具体的に説明すれば、まず、基板１
の先端が基板位置検出センサS₃で検出されると、
基板１の搬送方向の先端と、第４図及び第５図
（斜視図）で示す位置設定部材４Ｂとが当接する。
基板位置検出センサS₃は例えば透過型の光センサ
で構成する。位置設定部材４Ｂは、前記基板位置
検出センサS₃の検出信号により、エアーシリン
ダ、電磁ソレノイド等の駆動装置４Ｃで矢印Ｈ方
向に上下移動するように構成されている。次に、
感光性樹脂層１Ｃ及び透光性樹脂フイルム１Ｄの
搬送方向の端部の導電層１Ｂ上に、突起押圧部材
４Ａの先端を当接させる。突起押圧部材４Ａは、
回転軸４Ｄを中心に歯車４Ｅ，４Ｆで矢印Ｉ方向
に可動するように構成されている。そして、歯車
４Ｇとラツク４Ｈによる矢印Ｊ方向の動作で、導
電層１Ｂ上を摺動するように、突起押圧部材４Ａ
を矢印J′方向（図中、右方向）に移動させる（突
起押圧部材４Ａの移動とともに、歯車４Ｅ，４Ｆ
が移動する）。この突起押圧部材４Ａの移動によ
り、第６図（要部拡大断面図）で示すように、感
光性樹脂層１Ｃ及び又は透光性樹脂フイルム１Ｄ
の端部に応力が加えられる。この後、第４図に示
すように、突起押圧部材４Ａを矢印J′方向（図
中、左方向）に後退させる。突起押圧部材４Ａの
後退は、主に、ラツク４Ｈと軸４Ｄに設けられた
矢印Ｊ方向（図中、左方向）に作用する弾性部材
（図示してない）とで行われる。

このように、基板１の感光性樹脂層１Ｃ及び又
は透光性樹脂フイルム１Ｄの端部に、針状の突起
押圧部材４Ａで応力を加えることにより、第７図
に符号Ｋで示すように、感光性樹脂層１Ｃと透光
性樹脂フイルム１Ｄとの間に隙間を生じることが
できる。この隙間は、感光性樹脂層１Ｃが透光性
樹脂フイルム１Ｄに比べてかなり軟い材質であ
り、感光性樹脂層１Ｃの端部を押込んだときに、
透光性樹脂フイルム１Ｄの端部が引き起されるた
めに生じる。

また、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム
１Ｄとは、針状の簡単な構成の突起押圧部材４Ａ
で隙間を生じることができる。

また、基板１の基板搬送経路に、突起押圧部材
４Ａを設けたことにより、感光性樹脂層１Ｃと透
光性樹脂フイルム１Ｄとの端部に自動的に隙間を
生じることができる。

なお、隙間を生じた感光性樹脂層１Ｃと透光性
樹脂フイルム１Ｄとは、流体吹付機構５に搬送さ
れる間に、搬送ローラ２又は搬送制御ローラ３で
押圧されても、熱を加えて圧着していないので、
それらが再度接着されることはない。

また、本実施例では、基板１に対して感光性樹
脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとが歪んで熱
圧着ラミネートされることを考慮して、基板１の
搬送方向に対して３つの突起押圧部材４Ａを設け
てあるが、これに限定されない。すなわち、感光
性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの端部
に必ず応力が加えられるならば、１つ、２つ又は
４つ以上の突起押圧部材４Ａで突起押圧機構４を
構成してもよい。

前記流体吹付機構５は、第１図及び第８図（要
部概略構成図）で示すように、ノズル５Ａから圧
力を加えた流体、例えば、空気、不活性ガス等の
気体、水等の液体が吹出すように構成されてい
る。この流体吹付機構５は、プリント配線用基板
１の感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄ
との間に生じた隙間部分に流体を直接吹き付ける
ように構成されている。ノズル５Ａは、前記突起
押圧部材４Ａに対応した数で設けられている。ノ
ズル５Ａは、透光性樹脂フイルム１Ｄの剥離効果
（初期剥離効果）を高めるために、前記隙間部分
にかなり近接した位置に設定されるように構成さ
れている。基板１は、搬送制御ローラ３で流体吹
付機構５の所定の位置に搬送されるように構成さ
れている。そして、ノズル５Ａは、第８図に符号
５′Ａで示すように、透光性樹脂フイルム１Ｄを
剥離して基板１を搬送するときに、感光性樹脂層
１Ｃに損傷を生じないように、その設定角度を可
変できるように構成されている。ノズル５Ａの設
定角度の可変は、例えば、サーボモータ、エアー
シリンダ等で行うことができる。

このように、突起押圧部材４Ａにより生じた感
光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの隙
間部分に、流体吹付機構５で流体を吹き付けるこ
とにより、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイル
ム１Ｄとの間に流体が吹き込まれるので、透光性
樹脂フイルム１Ｄを簡単に瞬時かつ確実に剥離す
ることができる。

また、流体吹付機構５の設定角度を可変できる
構成することにより、隙間部分にノズル５Ａを近
接させて確実に透光性樹脂フイルム１Ｄを剥離し
かつ剥離効果を高めることができ、その後、ノズ
ル５Ａを隙間部分から離して、搬送される基板１
の特に感光性樹脂層１Ｃの損傷を防止することが
できる。

薄膜搬出機構６は、固定ベルトコンベア６Ａ、
薄膜剥離ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６
Ｃ及び薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄで構成され
ている。

固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第８図及
び第９図（要部斜視図）で示すように、複数の一
対のローラ６Aa及びこの一対のローラ６Aaに巻
き回された複数のベルト６Abで構成されている。

可動ベルトコンベア６Ｃは、第１図及び第８図
で示すように、一対のローラ６Ca及びこの一対
のローラ６Caに巻回されたベルト６Cbで構成さ
れている。この可動ベルトコンベア６Ｃは、一方
のローラ６Caを中心にエアーシリンダ６Ccで可
動し、固定ベルトコンベア６Ａのベルト６Ab又
は薄膜剥離ガイド部材６Ｂに近接又は接触するよ
うに構成されている。

前記固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコン
ベア６Ｃは、流体吹付機構５で剥離された透光性
樹脂フイルム１Ｄを挟持し（第８図の点線で示す
位置）、それぞれの一対のローラ６Aa及び一対の
ローラ６Caを駆動させることにより、透光性樹
脂フイルム１Ｄを順次剥離して排出するように構
成されている。

前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコ
ンベア６Ａ側の薄膜剥離装置のフレームに設け
られており、前記ベルト６Ab間に配置されてい
る。

この薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、透光性樹脂フ
イルム１Ｄの剥離時における剥離位置の変動防
止、剥離応力の偏りの防止、感光性樹脂層１Ｃの
損傷、破壊を防止して、透光性樹脂フイルム１Ｄ
を剥離方向にガイドするような構造になつてい
る。このため、薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、引き
起された透光性樹脂フイルム１Ｄの剥離角度θ
（剥離前の透光性樹脂フイルム１Ｄと剥離された
後の透光性樹脂フイルム１Ｄとがなす角度）が基
板１に対して直角及至鈍角（90〜150［度］：望ま
しくは略直角）で構成されている。

薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、その先端が基板１
とこすれない程度の隙間を置いて近接した位置に
設定されており、基板１を搬送するときに、感光
性樹脂層１Ｃが損傷しないように、前記設定位置
から矢印Ｋ方向に可動するように構成されてい
る。

薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、例えば、サーボモ
ータ、エアーシリンダ等で可変するように構成さ
れ、この薄膜剥離ガイド部材６Ｂの移動は、流体
吹付装置５のノズル５Ａと同期して行われるよう
に構成されている。薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、
固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコンベア６
Ｃとが挟持された時点で移動するように構成され
ている。また、薄膜剥離ガイド部材６Ｂとノズル
５Ａの移動は、同一又は別々の図示していないセ
ンサの検出信号で行われる。

なお、薄膜剥離ガイド部材６Ｂの剥離角度θ
は、必要に応じて変化できるように構成してもよ
い。

また、前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂの先端は、
その断面が曲率半径の小さい円孤状になつてい
る。例えば、曲率半径が３mm以下に構成されてい
る。

このように薄膜剥離ガイド部材６Ｂを設けるこ
とにより、剥離位置を安定させると共に、透光性
樹脂フイルム１Ｄ及び感光性樹脂層１Ｃに一様な
剥離応力を加えることができる。

また、薄膜剥離ガイド部材６Ｂの設定位置を可
変できるように構成したことにより、薄膜剥離ガ
イド部材６Ｂを基板１に近接させて、基板１の先
端から薄膜剥離ガイド部材６Ｂまでの透光性樹脂
フイルム１Ｄの剥離面全域に流体を効率良く吹き
付けることができるので、初期剥離効果を高めて
確実に透光性樹脂フイルム１Ｄを薄膜剥離ガイド
部材６Ｂに付着させることができ、又薄膜剥離ガ
イド部材６Ｂを基板１から離隔させて、基板１を
搬送するときに、感光性樹脂層１Ｃの損傷を防止
することができる。特に、薄膜剥離ガイド部材６
Ｂを基板１に近接させると、基板１の幅方向に流
れる流量が増加する。したがつて、前記突起押圧
部材４Ａにより形成される複数の隙間部分のう
ち、いくつかの不備があつても、確実に透光性樹
脂フイルム１Ｄを剥離することができる。

前述のように、固定ベルトコンベア６Ａ、薄膜
剥離ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６Ｃで
薄膜搬出機構６を構成することにより、流体吹付
機構５で剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄは、
薄膜剥離ガイド部材６Ｂにガイドされ、固定ベル
トコンベア６Ａと可動ベルトコンベア６Ｃで挟持
されて剥離しながら搬送され、第８図に矢印
OUTで示す排出方向に搬出することができる。

前記薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、第１図
に示すように、複数のローラ６Daと一対のベル
ト６Dbで構成されている。この薄膜排出用搬送
ベルト機構６Ｄは、基板１の上面側の透光性樹脂
フイルム１Ｄを排出するように構成されている。

なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアー
シリンダ６Ccに代えて、電磁ソレノイドや油圧
シリンダで可動するように構成してもよい。

このように、基板１の基板搬送経路に、薄膜搬
出機構６を設けたことにより、流体吹付機構５で
剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄを確実に排出
し、しかも自動的に行うことができるので、作業
時間を大幅に短縮することができる。

前記流体吹付機構５及び薄膜搬出機構６で透光
性樹脂フイルム１Ｄが剥離されると、基板１は、
搬送制御ローラ３及び搬送ローラ２で感光性樹脂
層１Ｃを現像する現像装置に搬送される。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、
種々変形し得ることは勿論である。

例えば突起押圧部材４Ａは、第１０図、第１１
図及び第１２図（斜視図）で示すように構成して
もよい。すなわち、第１０図に示す突起押圧部材
４Ａはクサビ形状で構成され、第１１図に示す突
起押圧部材４Ａは平板形状で構成され、第１２図
に示す突起押圧部材４Ａは曲りクサビ形状で構成
している。

また、突起押圧部材４Ａは、第１３図に示すよ
うに、一体に又は別部材で流体吹付機構５のノズ
ル５Ａの先端に設けてもよい。この場合におい
て、感光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄ
とに応力を加えて間隙が生じた部分と流体を吹き
付ける部分とが常に合致するので、透光性樹脂フ
イルム１Ｄを確実に剥離することができる。

また、突起押圧部材４Ａは、バイブレーシヨン
機構を設けて振動するように構成し、透光性樹脂
フイルム１Ｄをより確実に剥離できるようにして
もよい。

また、薄膜搬出機構６は、回転ローラと回転ロ
ーラを組み合せたもの、固定ベルトと固定ベルト
を組み合せたもの、回転ローラにフイルムを巻き
込む方式のもの、吸盤の吸引力を用いて薄膜剥離
搬送する方式のもの等を用いてもよい。

また、突起押圧部材４Ａは、搬送方向ではなく
搬送経路と交差する方向に設けてもよい。

また、流体吹付機構５に代えて、粘着性のテー
プ、ローラ等で透光性樹脂フイルム１Ｄを剥離し
てもよい。

また、前記実施例は、基板センタ位置合せ機構
７を基板位置合せ部材７Ｂ，７B′が移動するよ
うに構成されているが、本発明は、基板センタ位
置合せ機構を固定ガイド板で構成してもよい。こ
の場合でも、基板１が固定ガイドで位置合せされ
ている際（動作中）に、基板浮上機構８で基板１
と搬送ローラ２又は搬送制御ローラ３との摩擦力
を低減することができる。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄
膜剥離装置に本発明を適用した例について説明し
たが、本発明は、これに限定されない。例えば、
本発明は、建築材に使用される化粧板の保護薄膜
を剥離する剥離装置に適用してもよい。

(3) 効果以上説明したように、本発明によれば、以下に
述べる効果を得ることができる。

＜１＞基板に張り付けられている薄膜を剥離す
る薄膜剥離方法であつて、前記薄膜の剥離方向
を設定する薄膜剥離ガイド部材を前記基板に近
接させる段階と、該薄膜剥離ガイド部材を近接
させた状態で、該薄膜剥離ガイド部材に薄膜の
一部を剥離して付着させる段階と、前記薄膜剥
離ガイド部材に付着された薄膜を挟持する段階
と、薄膜剥離ガイド部材を前記基板から離隔す
る段階と、該薄膜剥離ガイド部材を離隔させた
状態で、前記薄膜を剥離しながら基板を搬送す
る段階とを具備したことにより、薄膜剥離ガイ
ド部材を基板に近接させて、薄膜を確実に剥離
しかつ薄膜の剥離効果を高めることができ、薄
膜剥離ガイド部材を基板から離隔させて、基板
を搬送し基板ならびに基板にラミネートされて
いる感光性樹脂層等の損傷を防止することがで
きる。

＜２＞基板に張り付けられている薄膜を剥離す
る薄膜剥離装置であつて、前記薄膜の剥離方向
を設定する薄膜剥離ガイド部材と、該薄膜剥離
ガイド部材に薄膜の一部を剥離して付着させる
剥離手段と、該薄膜剥離ガイド部材に付着され
た薄膜を挟持し排出する薄膜搬出手段と、前記
薄膜剥離ガイド部材を前記基板に近接させたり
離隔させたりするガイド部材移動手段と、前記
薄膜の一部が剥離された基板を搬送する搬送手
段とを具備することにより、前記＜１＞の剥離
方法を実施することができる。

＜３＞前記＜２＞の構成に、流体の吹き付けで
薄膜の一部を剥離して付着させる流体吹付機構
と、流体吹付機構の流体吹付部を前記基板に近
接させたり離隔させたりする流体吹付部移動手
段を具備することにより、前記＜１＞の効果
に、流体吹付部を基板に近接させて、薄膜を確
実に剥離しかつ薄膜の剥離効果を高めることが
でき、流体吹付部を基板から離隔させて、基板
を搬送し基板、薄膜等の損傷を防止することが
できる効果を付加することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である薄膜剥離装
置及びそれに連結された基板搬送装置の概略構成
図、第２図は、基板搬送装置の基板センタ位置合
せ装置の斜視図、第３図は、基板搬送装置の基板
浮上装置の斜視図、第４図は、薄膜剥離装置の突
起押圧機構の概略構成図、第５図は、突起押圧機
構の位置設定部材の要部拡大斜視図、第６図及び
第７図は、突起押圧機構及び基板の要部拡大断面
図、第８図は、薄膜剥離装置の流体吹付機構及び
薄膜搬出機構の要部概略構成図、第９図は、薄膜
搬出機構の要部斜視図、第１０図乃至第１２図
は、本発明の他の実施例である突起押圧部材の斜
視図、第１３図は、本発明の他の実施例である突
起押圧部材の斜視図である。図中、１……基板、２……搬送ローラ、３……
搬送制御ローラ、４……突起押圧機構、５……流
体吹付機構、６……薄膜搬出機構、７……基板セ
ンタ位置合せ機構、８……基板浮上装置、Ｓ……
基板位置検出センサである。

Claims

【特許請求の範囲】１基板に張り付けられている薄膜を剥離する薄
膜剥離方法であつて、前記薄膜の剥離方向を設定
する薄膜剥離ガイド部材を前記基板に近接させる
段階と、該薄膜剥離ガイド部材を近接させた状態
で、該薄膜剥離ガイド部材に薄膜の一部を剥離し
て付着させる段階と、前記薄膜剥離ガイド部材に
付着された薄膜を挟持する段階と、薄膜剥離ガイ
ド部材を前記基板から離隔する段階と、該薄膜剥
離ガイド部材を離隔させた状態で、前記薄膜を剥
離しながら基板を搬送する段階とを具備したこと
を特徴とする薄膜剥離方法。２基板に張り付けられている薄膜を剥離する薄
膜剥離装置であつて、前記薄膜の剥離方向を設定
する薄膜剥離ガイド部材と、該薄膜剥離ガイド部
材に薄膜の一部を剥離して付着させる剥離手段
と、該薄膜剥離ガイド部材に付着された薄膜を挟
持し排出する薄膜搬出手段と、前記薄膜剥離ガイ
ド部材を前記基板に近接させたり離隔させたりす
るガイド部材移動手段と、前記薄膜の一部が剥離
された基板を搬送する搬送手段とを具備したこと
を特徴とする薄膜剥離装置。３前記剥離手段は、流体を吹き付けて薄膜を剥
離する流体吹付機構であることを特徴とする特許
請求の範囲第２項に記載の薄膜剥離装置。４前記剥離手段は、粘着性部材で薄膜を剥離す
る剥離機構であることを特徴とする特許請求の範
囲第２項に記載の薄膜剥離装置。５基板に張り付けられている薄膜を剥離する薄
膜剥離装置であつて、前記薄膜の剥離方向を設定
する薄膜剥離ガイド部材と、該薄膜剥離ガイド部
材に、流体の吹き付けで薄膜の一部を剥離して付
着させる流体吹付機構と、該薄膜剥離ガイド部材
に付着された薄膜を挟持し排出する薄膜搬出手段
と、該薄膜剥離ガイド部材に付着された薄膜を挟
持し排出する薄膜搬出手段と、前記薄膜剥離ガイ
ド部材を前記基板に近接させたり離隔させたりす
るガイド部材移動手段と、前記流体吹付機構の流
体吹付部を前記基板に近接させたり離隔させたり
する流体吹付部移動手段と、前記薄膜の一部が剥
離された基板を搬送する搬送手段とを具備したこ
とを特徴とする薄膜剥離装置。