JPH0717308B2 - 薄膜搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の搬送技術に関するものであり、特に、
薄膜剥離装置で基板から剥離された薄膜を搬送する薄膜
搬送技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネ
ートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、この
配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通
して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光
性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエッチングマスクパターンを形成する。この
後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線
パターンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィル
ムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹脂
フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィルム
が薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂層の損
傷，破壊が生じないようにするため、指先の器用さ及び
非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている積
層体のうち、透光性樹脂フィルムの一部を針、ブラシ、
ローレット等で浮上させ、その浮上した部分に流体を吹
き付け、透光性樹脂フイルムを剥離することを自動的に
行ったものである。剥離された透光性樹脂フィルムは、
自動薄膜剥離装置に接続又は内蔵された搬送ベルトから
なる薄膜搬送装置で搬送され、排出容器に排出される。

しかしながら、薄膜搬送装置で搬送される透光性樹脂フ
ィルムは、基板から剥離したとき又は搬送ベルトとの摩
擦等により帯電し易く、排出されずに搬送ベルトに巻き
込まれてトラブルを生じるという問題があった。また、
透光性樹脂フィルムは、排出されても搬送ベルトの排出
側の直下にかさばるように排出され、無駄なスペースが
多くなるので、効率良く排出容器に排出されないという
問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解決するために、本発明は、基板とその上
に張り付けられた薄膜とからなる積層体から前記薄膜を
剥離しながら搬送する手段を有し、前記薄膜全体が完全
に剥離された剥離済み薄膜を所定位置に搬送する薄膜搬
送装置であって、前記剥離済み薄膜を薄膜排出方向に搬
送して該薄膜を排出する剥離済み薄膜排出搬送機構と、
該剥離済み薄膜排出搬送機構の剥離済み薄膜排出方向に
向けて流体を排出時に噴出する流体噴出手段とを具備し
たことを特徴とする。

［作用］ 前述の手段によれば、前記剥離済み薄膜を薄膜排出方向
に搬送して該薄膜を排出する際に、前記流体噴出手段で
前記剥離済み薄膜排出搬送機構の剥離済み薄膜排出方向
に向けて流体を排出時に噴出するので、剥離済み薄膜を
効率良く排出することができる。

［実施例］ 以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置の
保護膜搬送装置に適用した一実施例について図面を用い
て説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は、
第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主と
して、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロー
ラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路A-Aには、突起押圧機構
３、流体吹付機構４、剥離角度設定板（剥離補助板）５
及び薄膜搬出機構（薄膜搬送装置）６が設けられてい
る。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、絶
縁性基板1Aの両面（又は片面）に銅等の導電層1Bが形成
されたものである。このプリント配線用基板１の導電層
1B上には、感光性樹脂層1Cと透光性樹脂フィルム（保護
膜）1Dとからなる積層体が熱圧着ラミネートされてい
る。感光性樹脂層1Cは所定の配線パターンフィルムが重
ねられ露光された後の状態にある。プリント配線用基板
１は、第１図に示す矢印Ａ方向に搬送用駆動ローラ２で
搬送されるように構成されている。

前記突起押圧機構３は、第３図（構成図）、第４図（拡
散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように構成
されている。

この突起押圧機構３は、プリント配線用基板１の両面側
に、夫々複数個の突起押圧部材3Aが搬送方向と交差する
方向（プリント配線用基板１の幅方向）に設けられてい
る。突起押圧部材3Aは第５図で示すように針状で構成さ
れており、その先端部で感光性樹脂層1cと透光性樹脂フ
ィルム1Dとの積層体の端部を押圧するように構成されて
いる。突起押圧部材3Aは、前記積層体の端部を押圧した
ときに、導電層1Bと感光性樹脂層1Cとの界面に食込まな
いようにし、かつ透光性樹脂フィルム1Dが感光性樹脂層
1Cから浮上するように、例えば60［度］程度の先端角度
で構成する。対向する位置に設けられた夫々の突起押圧
部材3Aは、ホルダ3Bを介して夫々別々の突起押圧部材支
持回転軸3Cに支持されている。ホルダ3Bは、符号を付け
ていないが、突起押圧部材支持回転軸3Cの貫通穴をそれ
に沿って摺動できるように取り付けられている。

突起押圧部材3Aとホルダ3Bとの間及びホルダ3Bと突起押
圧部材支持回転軸3Cとの間には、夫々、同一又は異なる
弾力性の弾性部材3D及び3Eが設けられている。弾性部材
3D及び3Eは、矢印Ｂ方向、すなわち、プリント配線用基
板１に近接する方向に作用するように取り付けられてい
る。したがって、突起押圧部材3Aの先端部の位置は、矢
印Ｂ方向の所定の圧力により、突起押圧部材支持回転軸
3Cに対して変化できるように構成されている。

突起押圧部材支持回転軸3Cの一端（又は両端）部は、第
３図及び第４図に示すように、ガイド部材3Fのガイド用
長穴3fを通して移動アーム部材3Gの一端部と回転自在に
連結されている。ガイド部材3Fは、図示していないが、
剥離装置装置本体にビス等の取付手段で固着されてい
る。ガイド用長穴3fは、プリント配線用基板１に近接又
はそれから離隔させる方向（矢印Ｃ方向）に、突起押圧
部材支持回転軸3Cすなわち突起押圧部材3Aをガイドする
ように構成されている。

夫々の移動アーム部材3Gの他端部は、回転軸3hを中心に
矢印Ｄ方向に回転自在に取り付けられた回転アーム部材
3Hの回転軸3hを中心として対向する端部に回転自在に取
り付けられている。回転アーム部材3Hは、夫々の移動ア
ーム部材3Gを異なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成
されている。

前記突起押圧部材支持回転軸3Cをガイドするガイド部材
3F、移動アーム部材3G及び回転アーム部材3Hは、両面兼
用駆動源のシャフト3Jの矢印Ｅ方向の動作でプリント配
線用基板１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材3A
を互いに近接させ又は離隔させる突起押圧機構３のリン
ク機構を構成している。シャフト3Jは、回転アーム部材
3Hの一端部に連結アーム部材3Iを介して接続されてい
る。リンク機構を構成する夫々の部材は、鉄、アルミニ
ウム合金、硬質樹脂等の比較的外力に対して変形しずら
い材料で構成する。駆動源としては、空圧シリンダ、油
圧シリンダ、電磁ソレノイド等を使用する。また、シャ
フト3Jは、回転アーム部材3Hの一端部に限定されず、一
方の移動アーム部材3Gの一端部に連結アーム部材3Iを介
して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起押圧部材3Aと両端兼
用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基板
１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材3Aのプリン
ト配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動作
（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなわち、
リンク機構は、プリント配線用基板１の両面側に、突起
押圧部材3Aを駆動する駆動源を別々に設けることなく、
両面兼用駆動源で両面側の突起押圧部材3Aを駆動するこ
とができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材3F、移動アーム
部材3G及び回転アーム部材3Hが略剛体であり、夫々の動
作範囲がガイド用長穴3fや回転軸3hで規定されているの
で、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起押圧部
材3Aの動作量及び動作時間を夫々同等にしかも正確に制
御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少な
く、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、突起押圧
部材3Aと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

前記移動アーム部材3Gを介在させた夫々の前記突起押圧
部材支持回転軸3Cの一端（又は両端）部には、夫々の一
端部が固着された突起押圧部材回転アーム部材3Kが設け
られている。夫々の突起押圧部材回転アーム部材3Kの他
端部には、長穴3kが設けられており、両者の長穴3kに
は、両面兼用駆動源のシヤフト3Lと接続する連結アーム
部材3Mの軸部3mが通されている。すなわち、突起押圧部
材回転アーム部材3Kは、連結アーム部材3Mを介して両面
兼用駆動源のシャフト3Lと連結されている。両面兼用駆
動源としては、前述のリンク機構と同様のものを使用す
ればよい。

前記突起押圧部材回転アーム部材3K及び連結アーム部材
3Mは、シャフト3Lの矢印Ｆ方向の動作により、突起押圧
部材回転アーム部材3Kを矢印Ｇ方向に回転させるととも
に突起押圧部材支持回転軸3Cを矢印Ｈ方向に回転させ、
積層体の端部を押圧する突起押圧機構３の突起押圧部材
押圧機構を構成するようになっている。

このように構成される突起押圧部材押圧機構は、前述の
突起押圧部材3Aを近接させ又は離隔させるリンク機構と
同様に、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起押
圧部材3Aを一つの駆動源で動作させることができるとと
もに、その動作量、動作時間を正確に制御することがで
きる。

また、突起押圧部材押圧機構は、突起押圧部材3Aと駆動
源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることができ
る。

このように突起押圧機構３は、主に、突起押圧部材3A
と、突起押圧部材3Aをプリント配線用基板１に近接させ
又は離隔させるリンク機構と、積層体の端部を突起押圧
部材3Aで押圧させる突起押圧部材押圧機構とで構成され
ている。

なお、本実施例では、リンク機構又は突起押圧部材押圧
機構と両面兼用駆動源を突起押圧部材支持回転軸3Cの一
端側に設けているが、本発明は、その両端側に夫々設け
てもよい。

次に、突起押圧機構３の動作について、第１図乃至第５
図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断面
図）とを用いて簡単に説明する。

まず、図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、電気的にプリント配線用基板１
上に設けられている薄膜の端部を検出するタッチセンサ
又は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でプリント配線用基板１に設けら
れている積層体（薄膜）の端部が検出されると、第１図
及び第２図に示すピンチローラ2Aを押圧手段（図示して
いない）で押圧してプリント配線用基板１に押し付け
て、それと搬送用駆動ローラ２とでプリント配線用基板
１の搬送を一時停止させる。このとき、プリント配線用
基板１の位置がずれないように、ピンチローラ2Aと対向
する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等の摩擦係数の
大きな材料を設け、プリント配線用基板１の搬送を確実
に停止させてプリント配線用基板１を固定する。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャフ
ト3Jを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。この
動作で回転アーム部材3H、移動アーム部材3G、ガイド部
材3Fで構成されるリンク機構が動作し、突起押圧部材支
持回転軸3Cが矢印Ｃ方向に移動する。この突起押圧部材
支持回転軸3Cの移動により、第６図に示すように、プリ
ント配線用基板１の両面側の夫々の突起押圧部材3Aの先
端部が積層体端部の導電層1Bの表面に接触する。この接
触は、弾性部材3D（又は3E）がエネルギを有するように
適度な押圧力で行われる。

次に、突起押圧部材3Aが導電層1Bに接触した状態におい
て、突起押圧部材押圧機構に連結された両面兼用駆動源
のシャフト3Lを矢印Ｆ方向（図中、左方向）に動作させ
る。この動作で突起押圧部材回転アーム部材3K、連結ア
ーム部材3Mで構成される突起押圧部材押圧機構が動作
し、突起押圧部材支持回転軸3Cを矢印Ｈ方向に回転させ
る。この突起押圧部材支持回転軸3Cの回転により、第７
図に示すように、プリント配線用基板１の両面側の夫々
の突起押圧部材3Aの先端部が積層体端部を押圧する。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層1C及
び透光性樹脂フィルム1Dからなる積層体の端部を、突起
押圧機構３の突起押圧部材3Aで押圧することにより、感
光性樹脂層1Cから透光性樹脂フイルム1Dの一部を浮上さ
せ、それらの界面に隙間を生じさせることができる。こ
の隙間は、感光性樹脂層1Cが透光性樹脂フィルム1Dより
も軟材質で構成されており、突起押圧部材3Aの押圧に対
して感光性樹脂層1Cは塑性変形するが、透光性樹脂フィ
ルム1Dは塑性変形する前に感光性樹脂層1Cとの接着力が
低下するために生じる。

また、前記透光性樹脂フィルム1Dの端部の浮上は、針状
の簡単な構成の突起押圧部材3Aで行うことができる。

また、突起押圧部材3Aをプリント配線用基板１の搬送経
路に設けたので、前記透光性樹脂フィルム1Dの端部の浮
上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルム1Dは、熱を加えて圧
着しない限り、感光性樹脂層1Cと再度接着されることは
ない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に対し積層
体が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プ
リント配線用基板１の搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の突起押圧部材3Aを設けてあるが、本発明は
これに限定されない。すなわち、感光性樹脂層1Cと透光
性樹脂フィルム1Dとの一端部が押圧され、後者が必らず
浮上できるならば、プリント配線用基板１の両面側に夫
々１つの突起押圧部材3Aを設けて突起押圧機構３を構成
してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の搬送方向
と交差する方向（幅方向）に突起押圧部材3Aを設けてあ
るが、本発明は、プリント配線用基板１の搬送方向と同
一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突起押
圧部材3Aを設けることもできる。この場合には、流体吹
付機構４のノズル4Aを突起押圧部材3Aの近傍に設ける。

また、本実施例では、突起押圧機構３の突起押圧部材押
圧機構をリンク機構で構成したが、本発明は、積層体の
端部のプリント配線用基板１の表面に突起押圧部材3Aを
接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチロー
ラ2A）を回転させてプリント配線用基板１を微小に搬送
し、積層体の端部を押圧する突起押圧部材押圧機構で構
成してもよい。すなわち、本発明は、搬送機構で突起押
圧部材押圧機構を構成してもよい。

また、本発明は、ホルダ3Bを取り付ける貫通穴の加工精
度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と交差
する方向の突起押圧部材支持回転軸3Cの断面形状を方形
状で構成してもよい。

前記流体吹付機構４は、第１図及び第２図に示すよう
に、ノズル4Aから圧力を加えた流体、例えば、空気，不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付機構４は、プリント配線用基板１
の感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フイルム1Dが浮上した
両者の隙間部分に流体を直接吹き付けるように構成され
ている。そして、流体吹付機構４は、前記隙間部分に即
座に流体を吹き付けられるように、突起押圧機構３の近
接した位置に構成されている。この流体吹付機構４のノ
ズル4Aは、矢印Ｊ方向にその設定角度が可変できるよう
に構成されている。すなわち、流体吹付機構４は、流体
吹き付け時にできる限り前記隙間部分にノズル4Aを近接
させ、流体吹き付け後にプリント配線用基板１が接触し
ない位置にノズル4Aを退避できるように構成されてい
る。

このように、突起押圧部材3Aの押圧で生じた感光性樹脂
層1Cと透光性樹脂フィルム1Dとの隙間部分に、流体吹付
機構４で流体を吹き付けることにより、感光性樹脂層1C
と透光性樹脂フィルム1Dとの間に流体が吹き込まれるの
で、感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フィルム1Dを簡単に
瞬時かつ確実に剥離することができる。

前記流体吹付機構４で剥離された搬送方向の先端側の透
光性樹脂フィルム1dは、第２図及び第８図（要部斜視
図）で示すように、剥離角度設定板（剥離補助板）５に
流体圧で付着し、その剥離位置及び剥離方向の剥離角度
θが設定される。透光性樹脂フィルム1dは、第２図及び
第８図において一点鎖線で示している。剥離角度θは、
プリント配線用基板１に張り付けられている透光性樹脂
フィルム1Dとその状態から引き起された透光性樹脂フィ
ルム1dとがなす角度であり、略直角になるように構成さ
れている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感光
性樹脂層1Cに損傷，破壊を生じないように、プリント配
線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィルム1Dにこ
すれない程度の間隔を置いて設けられている。そして、
剥離角度設定板５は、その先端が、流体吹き付け時に
は、透光性樹脂フィルム1Dに密着するように、移動可能
に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果の低下を防止
する。また、剥離角度設定板５の先端は、曲率半径の小
さい円弧状になっている。例えば、曲率半径が3mm以下
に構成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機構
６よりもプリント配線用基板１側に近接させ、プリント
配線用基板１の搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の長
さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されてい
る。すなわち、第８図に矢印Ｋで流体の流出方向を示す
ように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹抜
けをできる限り防止して剥離効果を高め、かつ剥離され
た透光性樹脂フィルム1dの剥離角度設定板５への付着性
を高めることができる。

剥離角度設定板５は、図示していないが、ノズル4Aから
の流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けられて
いる。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置を
安定させるとともに、透光性樹脂フィルム1Dに一様な剥
離力を加えることができる。したがって、剥離角度設定
板５は、透光性樹脂フィルム1Dの剥離時における剥離位
置の変動防止，剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂層
1Cを損傷，破壊しないようにすることができる。

なお、剥離角度設定板５の剥離角度θは、透光性樹脂フ
ィルム1Dの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件変化
により、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できるよう
に構成してもよい。また、剥離角度設定板５は、異なる
厚さのプリント配線用基板１、異なる厚さの感光性樹脂
層1Cや透光性樹脂フィルム1Dに対応できるように、その
位置を移動できるように構成してもよい。この移動は、
例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等で行うことがで
きる。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性樹
脂フィルム1dは、第１図、第２図及び第９図（拡散分解
斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機構）
６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出機構６は、主に、プリント配線用基板１の両面
側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベル
ト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第９図で詳細に示すように、固
定搬送ベルト6A,6C,6D,6E,6Fと可動搬送ベルト6Bとで構
成されている。

固定搬送ベルト6Aは、従動軸Ｉに支持されたローラ6A
a、駆動軸IIに支持されたローラ6Ab及びローラ6Aaと6Ab
とに巻き回されたベルト6aで構成されている。

可動搬送ベルト6Bは、従動軸IIIに支持されたローラ6B
a、駆動軸IVに支持されたローラ6Bb及びローラ6Baと6Bb
とに巻き回されたベルト6bで構成されている。この可動
搬送ベルト6Bは、駆動軸IVを中心に第２図に示すよう
に、矢印Ｌ方向に回転するように構成されている。すな
わち、可動搬送ベルト6Bは、剥離された透光性樹脂フィ
ルム1dを剥離角度設定板５に付着させ易くするととも
に、この透光性樹脂フィルム1dを固定搬送ベルト6Aとで
挟持して搬送できるように構成されている。また、固定
搬送ベルト6A及び可動搬送ベルト6Bとの挟持は、第８図
に示す剥離角度設定板５に設けられた切込部5Aを通して
行われる。この切込部5Aは、剥離角度設定板５で剥離位
置及び剥離角度が設定された透光性樹脂フィルム1dに固
定搬送ベルト6Aと可動搬送ベルト6Bとが達し、両者でそ
れを挟持できるように構成されている。すなわち、切込
部5Aは、固定搬送ベルト6Aと可動搬送ベルト6Bとで透光
性樹脂フィルム1dを確実に挟持できるように構成されて
いる。

固定搬送ベルト6Cは、駆動軸IIに支持されたローラ6C
a、従動軸Ｖに支持されたローラ6Cb及びローラ6Caと6Cb
とに巻き回されたベルト6cで構成されている。

固定搬送ベルト6Dは、従動軸IVに支持されたローラ6D
a、従動軸VIに支持されたローラ6Db、従動軸VIIに支持
されたローラ6Dc、従動軸VIIIに支持されたローラ6Dd、
従動軸Ｖに支持されたローラ6De及びローラ6Da〜6Deに
巻き回されたベルト6dで構成されている。

固定搬送ベルト6Cと6Dは、前記固定搬送ベルト6A及び可
動搬送ベルト6Bで搬送された透光性樹脂フィルム1dをさ
らに排出方向に搬送するように構成されている。固定搬
送ベルト6Dのローラ6Deは、第10図（要部断面図）で示
すように、固定搬送ベルト6C及び6Dから固定搬送ベルト
6E及び6Fに透光性樹脂フィルム1dを搬送するときに、そ
の搬送方向が大きな角度で変化するために設けられてい
る。すなわち、ローラ6Deは、搬送方向が変化するとき
に、ベルト6c及び6dの透光性樹脂フィルム1dに接触する
側の曲率半径を略同等にすることができる。したがっ
て、搬送時に透光性樹脂フィルム1dにシワが生じること
を防止し、ジャム等のトラブルを防止することができ
る。

また、第11図（部分断面図）に示すように、透光性樹脂
フィルム1dの一方の面に接触し、その搬送方向と交差す
る透光性樹脂フィルム1dの幅方向に所定の間隔で設けら
れた複数の固定搬送ベルト6C（又は6D）の間には、透光
性樹脂フィルム1dの他方の面に接触する固定搬送ベルト
6D（又は6C）が設けられている。換言すれば、固定搬送
ベルト6Cと6Dは、夫々のベルト6c及び6dの表面（透光性
樹脂フィルム1dとの接触面）が一致しているか、或はそ
れよりも相手側に食込むように、透光性樹脂フィルム1d
の幅方向に千鳥状に配置されている。

このように、固定搬送ベルト6Cと6Dとを千鳥状に配置す
ることにより、搬送される透光性樹脂フィルム1dにその
幅方向の張力を与えることができるので、固定搬送ベル
ト6Cと6Dとで均一にしかも確実に透光性樹脂フィルム1d
を挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト6C及び6Dで挟持される透光性樹脂
フィルム1dは、夫々のベルト6c及び6dの表面及び側面側
を包み込むような形状で搬送されるので、ローラ6Ca,6C
bとベルト6c、又はローラ6Da〜6Deとベルト6dとのロー
ラの軸方向のズレを防止することができる。したがっ
て、搬送時に透光性樹脂フィルム1dに加わる挟持力を均
一にし、それにシワが発生することを防止できるので、
ジャム等のトラブルを防止することができる。特に、本
実施例の装置は、後述する上部透光性樹脂フィルム排出
収納容器7Aを設けており、上部搬送ベルト機構の搬送経
路が下部搬送ベルト機構のそれよりも長いので、固定搬
送ベルト6C及び6Dのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト6Eは、従動軸IXに支持されたローラ6E
a、従動軸Ｖに支持されたローラ6Eb及びローラ6Eaと6Eb
とに巻き回されたベルト6eで構成されている。

固定搬送ベルト6Fは、従動軸Ｘに支持されたローラ6F
a、従動軸VIIIに支持されたローラ6Fb及びローラ6Faと6
Fbとに巻き回されたベルト6fで構成されている。

固定搬送ベルト6Eと6Fは、第１図及び第２図に示すよう
に、前記固定搬送ベルト6C及び6Dで搬送された透光性樹
脂フィルム1dを装置本体から矢印Ｍ方向に排出するよう
に構成されている。装置本体から排出された透光性樹脂
フィルム1dは、第１図に示す上部透光性樹脂フィルム排
出収納容器7Aに収納される。この上部透光性樹脂フィル
ム排出収納容器7Aは、装置本体の上部に着脱自在に取り
付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図に示すように、固定
搬送ベルト6Gと可動搬送ベルト6Hとで構成されている。

固定搬送ベルト6Gは、夫々別々の従動軸（図示していな
い）に支持されたローラ6Ga,6Gc、従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ6Gb及びローラ6Ga〜6Gcに巻
き回されたベルト6gで構成されている。

可動搬送ベルト6Hは、夫々別々の従動軸（図示していな
い）に支持されたローラ6Ha,6Hc、従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ6Hb及びローラ6Ha〜6Hcに巻
き回されたベルト6hで構成されている。

固定搬送ベルト6Gと可動搬送ベルト6Hは、前記上部搬送
ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で剥離位置及び
剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹脂フィルム1d
を剥離しながら搬送するとともに、矢印Ｏ方向に装置本
体から透光性樹脂フィルム1dを排出するように構成され
ている。装置本体から排出された透光性樹脂フィルム1d
は、第１図に示す下部透光性樹脂フィルム排出収納容器
7Bに収納される。この下部透光性樹脂フィルム排出収納
容器7Bは、装置本体に着脱自在に取り付けられている。
また、前記上部透光性樹脂フィルム排出収納容器7Aは下
部透光性樹脂フィルム排出収納容器7Bの上部に設けられ
ており、装置本体は、占有面積を縮小しコンパクト化で
きるように構成されている。

また、前記固定搬送ベルト6E、6F、6G及び可動搬送ベル
ト6Hの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第２図及び
第９図に示すように、排出される透光性樹脂フィルム1d
にその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き付ける流体
噴出機構８が設けられている。このとき、排出される透
光性樹脂フィルム1dと流体吹付方向とがなす角度は、流
体の噴出で透光性樹脂フィルム1dを確実に排出方向に誘
導できるように、鋭角θ₁（０≦θ₁≦90）に設定されて
いる。流体噴出機構８は、固定搬送ベルト6E間、6F間、
6G間及び可動搬送ベルト6H間に流体が噴出する噴出口が
設けられたパイプで構成されている。流体としては、圧
力を加えた空気，不活性ガス等の気体、水等の液体を使
用する。なお、図示されていないが、流体噴出装置８に
近接した位置には、透光性樹脂フィルム1dの帯電を低減
する除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト6E、6F、6G及び可動搬送ベル
ト6Hの夫々の排出側に流体噴出機構８を設けることによ
り、排出される透光性樹脂フィルム1dが再度固定搬送ベ
ルト6E、6F、6G又は可動搬送ベルト6Hに巻き込まれるこ
とを防止するとともに、流体で矢印Ｍ又はＯ方向に透光
性樹脂フィルム1dを誘導することができるので、透光性
樹脂フィルム1dを効率良く上部又は下部透光性樹脂フィ
ルム排出収納容器7A又は7Bに排出することができる。

また、固定搬送ベルト6E間、6F間、6G間及び可動搬送ベ
ルト6H間の夫々の排出側の搬送経路の近傍には、フィル
ム巻込防止用部材９が設けられており、透光性樹脂フィ
ルム1dが固定搬送ベルト6E、6F、6G又は可動搬送ベルト
6Hに巻き込まれることを防止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト6Aに近接し
た位置及び可動搬送ベルト6Hに近接した位置には、夫々
除電装置10とイオン拡散装置11とが設けられている。除
電装置10は、イオンを放出し、剥離や搬送時に透光性樹
脂フィルム1dが帯電することを低減できるように構成さ
れている。イオン拡散装置11は、除電装置10から放出さ
れたイオンを拡散し、透光性樹脂フィルム1dの帯電を効
率良く低減できるように構成されている。イオン拡散装
置11は、例えば、圧力が加えられた空気等の流体でイオ
ンを拡散するように構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得
ることは勿論である。

例えば、本発明は、突起押圧機構３の突起押圧部材3Aを
針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成してもよ
い。

また、本発明は、回転体の円周上に複数の針が設けられ
たブラシで透光性樹脂フィルム1Dの端部を引き起す薄膜
浮上機構を有する薄膜剥離装置の薄膜搬送装置に適用す
ることができる。

また、本発明は、ローレットで透光性樹脂フィルム1Dの
端部を押圧し、その部分を浮上させる薄膜浮上機構を有
する薄膜剥離装置の薄膜搬送装置に適用することができ
る。

また、本発明は、突起押圧機構３で透光性樹脂フィルム
1Dの端部を浮上させ、この浮上した部分に粘着部材を押
圧させて透光性樹脂フィルム1Dを剥離する薄膜剥離装置
の薄膜搬送装置に適用することができる。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果 以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

基板とその上に張り付けられた薄膜とからなる積層体か
ら前記薄膜を剥離しながら搬送する手段を有し、前記薄
膜全体が完全に剥離された剥離済み薄膜を所定位置に搬
送する薄膜搬送装置であって、前記剥離済み薄膜を薄膜
排出方向に搬送して該薄膜を排出する剥離済み薄膜排出
搬送機構と、該剥離済み薄膜排出搬送機構の剥離済み薄
膜排出方向に向けて流体を噴出する流体噴出手段とを備
えることにより、前記剥離済み薄膜を薄膜排出方向に搬
送して該薄膜を排出する際に、前記流体噴出手段で前記
剥離済み薄膜排出搬送機構の剥離済み薄膜排出方向に向
けて流体を排出時に噴出するので、剥離済み薄膜を効率
良く排出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図、 第３図は、第１図及び第２図に示す突起押圧機構の構成
図、 第４図は、第３図の拡散分解図、 第５図は、第４図に示す突起押圧部材の部分断面図、 第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図、 第８図は、第１図及び第２図に示す剥離角度設定板の要
部斜視図、 第９図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出機構の拡散
分解斜視図、 第10図及び第11図は、第９図に示す薄膜搬出機構の要部
断面図である。 図中、１……プリント配線用基板、1A……絶縁性基板、
1B……導電層、1C……感光性樹脂層、1D……透光性樹脂
フィルム、２……搬送用駆動ローラ、３……突起押圧機
構、3A……突起押圧部材、４……流体吹付機構、５……
剥離角度設定板、６……薄膜搬出機構（薄膜搬出装
置）、6A〜6H……搬送ベルトである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板とその上に張り付けられた薄膜とから
   なる積層体から前記薄膜を剥離しながら搬送する手段を
   有し、前記薄膜全体が完全に剥離された剥離済み薄膜を
   所定位置に搬送する薄膜搬送装置であって、前記剥離済
   み薄膜を薄膜排出方向に搬送して該薄膜を排出する剥離
   済み薄膜排出搬送機構と、該剥離済み薄膜排出搬送機構
   の剥離済み薄膜排出方向に向けて流体を排出時に噴出す
   る流体噴出手段とを具備したことを特徴とする薄膜搬送
   装置。