JPH10324454A - 保護フィルムの浮き上がり部分形成方法と形成装置、及び保護フィルムの剥離方法と剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ドライフィルムに全くキズを付けないで、その
表面に密着している保護フィルムの微小部分に剥離のた
めの「きっかけ」、つまり浮き上がり部分を形成するこ
とができて、その後の保護フィルムの剥離を確実に行え
るようにすることのできる浮き上がり部分形成方法を提
供すること。 【構成】軸芯に対して直交する面と側面とによって形成
した断面直角の押圧先端を有した円柱状のフィルム押圧
部材１０を、材料基板２００の搬送方向に対してほぼ直
交させるとともに、材料基板２００のパスラインに対し
て１５°〜６０°の範囲で傾斜させた状態で、支持台１
２に回転自在に軸支するとともに、このフィルム押圧部
材１０と材料基板２００とを、保護フィルム２２０の端
縁上をフィルム押圧部材１０の押圧先端によって押圧し
ながら、相対的に移動させることにより、保護フィルム
２２０の押圧先端によって押圧された部分の周辺にその
剥離のための浮き上がり部分を形成すること。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、保護フィルムの浮
き上がり部分形成方法と形成装置、及び保護フィルムの
剥離方法と剥離装置に関するものである。つまり、本発
明は、保護フィルムを剥離するための「きっかけ」であ
る浮き上がり部分の形成を如何にするかを考慮して具体
化した、浮き上がり部分の形成方法に関するものである
とともに、この浮き上がり部分の形成方法に基づいた保
護フィルムの剥離方法及びその装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】表面に複雑な配線パターンを有するプリ
ント配線板は、片面または両面銅張積層板の表面にドラ
イフィルム（フィルム状の感光性樹脂）を貼付した材料
基板を使用し、このドライフィルムに対して露光・現像
を行ってから、この現像されたドライフィルムをエッチ
ングレジストとして、積層板表面の銅箔等の導体箔をエ
ッチングすることにより、前述した複雑配線パターンを
有したものとして完成されるものである。

【０００３】このようにドライフィルムを貼着した銅張
積層板は、これを運搬したり保管したりする場合に、そ
の表面のドライフィルム上に保護フィルムを貼着してお
かなければならない。何故なら、ドライフィルム上にホ
コリや傷が付いたとすると、これらが配線パターンの断
線やショートの原因となって、規定通りのプリント配線
板とすることができないからである。

【０００４】一方、保護フィルムは、ドライフィルムの
処理を始めるときには全く不安となるものであり、剥離
しなければならないものである。ところが、この保護フ
ィルムは、銅張積層板上にドライフィルムと一緒にラミ
ネートされることの多いものであるから、ドライフィル
ムの全面上に密着した状態となっていて、簡単には剥離
することができないものとなっている。

【０００５】このようなドライフィルムに密着している
保護フィルムを剥離するためには、その周縁の一部に、
ドライフィルムからの剥離部分、つまり浮き上がり部分
を形成して、この浮き上がり部分を剥離のための「きっ
かけ」とすればよいことが従来より知られている。そし
て、この「きっかけ」部分上に、例えば粘着ローラーを
当接させてこれを相対的に回転させれば、保護フィルム
は機械的かつ簡単に剥離することができることも知られ
ている。

【０００６】このため、この剥離のための「きっかけ」
を作るものとしては、従来より種々な方法または装置が
提案されてきている。その例としては、特開平２−１０
６５６０号あるいは特公平６−２９９６９号公報にて提
案されているような「ローレット」を使用するもの、特
開昭６３−５６２４４号公報あるいは特公平５−３０７
４３号公報にて提案されているような「引き起こし針」
を使用するもの、特開昭６３−２５０１９０号公報にて
提案されているような「引き起こし刃」を使用するも
の、そして特開昭６２−５６２４３号公報にて提案され
ているような「ブラシ」を使用するものの４種類のもの
が、代表的なものとして採用されてきている。これらの
４種の方法・装置は、それぞれ次のような未だ解決され
ていない問題を含んでいるものである。

【０００７】（ローレットを使用するもの）特開平２−
１０６５６０号公報に示された剥離装置では、図９に示
すように、「エアーシリンダ４ａ・４ｂによって鉛直方
向かつ小平方向に移動されるシャフトにマーカー４が回
動可能に支持され、その周面には、基板１の先端にフィ
ルムの剥離部を形成する凹凸模様（ローレット）が付し
てあり」（同公報第２頁右上欄）、「このマーカー４が
エアーシリンダ４ａ・４ｂにより下降または上昇し（矢
印ｂ）、基板１の表裏面を各々圧下し、さらにマーカー
４が基板１の進行方向に動き（矢印ｃ）、基板１の先端
の表裏面に凹凸の軽いキズを付ける」（同公報第２頁右
下欄）ようにしたものである。

【０００８】しかしながら、このようなマーカー４は、
基板の端縁に沿って長く延在することになるシャフト上
に支持されるものであるため、その表面が基板と完全に
平行になっていないと、剥離に必要なキズ（前述した
「きっかけ」）を付けることができないものとなってい
る。そのため、通常はシリンダ４ｂの力を強くして、マ
ーカー４の表面のローレットが基板の端縁全体にキズを
付けるように構成しなければならない。そうなると、保
護フィルムの一部が破れることがあり、細片となってド
ライフィルム上に付着することがあって、配線パターン
の形成に悪影響を与えることになる。

【０００９】それだけでなく、強圧されるローレットに
よってドライフィルムそのものにもキズが付いてしま
い、このキズが一定範囲を越えた内方に形成されると、
これまた同様に配線パターン形成に悪影響（例えば、エ
ッチング液が導体箔の導体パターンとなるべき部分に浸
透して、断線した配線パターンとなること）が出ること
になる。以上のことは、特公平６−２９９６９号公報の
「保護フィルムの剥離方法」において採用されている
「スリットローラー」についても同様に言えることであ
る。

【００１０】（引き起こし針を使用するもの）特公平５
−３０７４３号公報にて示された「薄膜剥離装置」で
は、図１０に示すように、「感光性樹脂層（ドライフィ
ルム）及び透光性樹脂フィルム（保護フィルム）の搬送
方向の端部の導電層（銅箔）上に突起押圧部材４Ａの先
端を当接させ」（同公報第４欄第３６行目以下）、「導
電層上を摺動するように、突起押圧部材４Ａを図中右方
向に移動させる」（同第４２行目以下）ものであり、こ
れにより、「感光性樹脂層及び又は透光性樹脂フィルの
端部に、針状の突起押圧部材４Ａで力を加えることによ
り、…簡単に隙間を生じさせる」ようにしたものであ
る。

【００１１】ところが、保護フィルムの下側に針状の突
起押圧部材４Ａを確実に差し込むことそれ自体は相当困
難な作業であり、従ってそのような機能を果たす装置と
することも非常に困難である。それだけでなく、針の先
端を十分にとがったものとしておかなければならない
し、十分とがった針は、今度は保護フィルムの上側を滑
り易いものとなって、結局保護フィルムの下側に剥離の
ための「きっかけ」を作ることは非常に困難となる。し
かも、引き起こし針は、その使用によって先端がつぶれ
てくるから、その交換を頻繁に行わなければならず、作
業効率が低いものとなっている。以上のことは、特開昭
６２−５６２４４号公報にて提案されている「薄膜剥離
装置」の「突起押圧部材４」においても、略同様に言え
ることである。

【００１２】（引き起こし刃を使用するもの）例えば、
特開昭６３−２５０１９０号公報の「薄膜引起用引起部
材及び引起装置」では、上述した「引き起し針」に代え
て「複数の引起線状刃」を採用するようにしているので
あるが、この「引起線状刃」の先端を保護フィルムとド
ライフィルムとの間に確実に挿入することは、「線状
刃」であるため少しのズレも許容されない。このため、
実際上には「きっかけ」作りをすることができないので
ある。このことは、前述した特公平５−３０７４３号公
報中において例示されているような、「針」に代わる
「くさび形状」のものであっても同様である。

【００１３】（ブラシを使用するもの）特開昭６２−５
６２４３号公報の「薄膜の剥離装置」では、図１１に示
すように、「回転体の外周部に、樹脂、鋼等の複数の硬
質針で構成されるブラシ」を設けた薄膜引起部材４によ
って、「透光性樹脂フィルム（保護フィムル）の一部を
引き起」（同公報第３頁左上欄以下）すようにしてい
る。

【００１４】ところが、このようなブラシは、これを回
転させるだけでは、その先端が保護フィルムとドライフ
ィルムとの間に入り込むものではなく、まして基板を搬
送しながらブラシを回転させるのであるから、保護フィ
ルムの剥離を確実に行えるとは考えにくいものである。

【００１５】以上の実状を踏まえて、本発明者が、従来
の上記４種類の方法に代わる何か良い手段はないかと検
討したところ、「きっかけ」はまさに「きっかけ」であ
ればよく、目に見える程の保護フィルムの剥離を行うよ
うにする必要がないことに気付いたのである。つまり、
保護フィルムのドライフィルムに対する「密着状態」を
一部分でも解除できれば、そこを「きっかけ」として粘
着ローラーで剥離したり、この「きっかけ」部分に圧縮
空気を吹き込ませて強制的に浮かせてしまうようにすれ
ばよいのであり、「きっかけ」は大きい必要もなし、ま
た完全に剥離されているものである必要も全くないこと
に気付いたのである。

【００１６】そこで、本発明者は、従来技術を更に精査
したところ、特公平４−３４８３７号公報の第３欄第１
６行目〜第２２行目に、「ストッパー７は基板９の先端
を位置決めし、カッター８が基板９に降りた場合基板先
端から５ピンチローラ３２ピンチローラ３２だけカバー
フィルム１１に切れ目が入るとカバーフィルム１１はそ
の部分が残留応力によってめくれて、基板から剥がれて
浮き上がる」なる記載があり、これを実現するための装
置として、図１２に示すような装置が既に提案されてい
ることを見出したのである。

【００１７】ところが、この特公平４−３４８３７号公
報の「カバーフィルムの剥離方法」は、「印刷配線板用
基板の厚さが薄いと、カバーフィルムを剥離する時、印
刷配線板用基板先端が剥離する方向に曲がりやすい欠点
がある」（上記公報第２頁第１３行目〜同第１５行目）
ことに着目して、「カバーフィルムにカッターによって
切れ目を入れてカバーフィルムを浮かせ、カバーフィル
ムの先端を引き上げ、基板の先端部をクランプし、引き
上げられたフィルムを突き出しピンにより突き出し、突
き出されたフィルムを梱んで剥離すること」（同第２欄
第１９行目〜同第２４行目）を目的としてなされたもの
であるため、保護フィルム剥離の「きっかけ」を形成す
ると考えられる「カッター８」等の構成や動き等につい
て、上記公報中には、当業者が理解できるようには記載
されていない。

【００１８】そこで、本発明者は、保護フィルム剥離の
「きっかけ」を形成するための「カッター」及びその駆
動制御について、これをどのように具体化すればよいか
を検討してきた結果、次の諸点を解決しなければならな
いという結論に到達したのである。 保護フィルム剥離の「きっかけ」は微小なもので十
分であるから、その小さな「きっかけ」を作るものとし
ては、銅箔やドライフィルムの端縁にキズを付けるおそ
れのある「カッター」のような「刃物」を使用しないよ
うにし、しかもメンテナンスが殆ど不要で効率良く働く
ものとすること。 仮に「余白」部分であっても、ドライフィルムの端
縁にキズをつけると、それを元にして配線パターンの形
成に悪影響を及ぼすことがある（例えば銅箔エッチング
剤の浸透）から、「きっかけ」形成作業あるいは剥離作
業によってドライフィルムにキズをつけないようにする
こと。 保護フィルム剥離のための「きっかけ」作りは、プ
リント配線板製造から見ればそれほどコストをかけられ
る工程ではなく、また時間もかける訳にはいかない工程
であるため、短時間で完成できるようにすること。 装置としたとき、その全体の構造を簡単にして、で
きるだけメンテナンスをしなくてもよいようにするこ
と。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の経緯
に基づいてなされたもので、その解決しようとする課題
は、保護フィルム剥離のための「きっかけ」作りを簡単
かつ確実に行えるようにすることと、この「きっかけ」
に基づいて保護フィルムの剥離を効率良く行うようにす
ることである。

【００２０】すなわち、まず請求項１に係る発明の目的
とするところは、ドライフィルムに全くキズを付けない
で、その表面に密着している保護フィルムの微小部分に
剥離のための「きっかけ」、つまり浮き上がり部分を形
成することができて、その後の保護フィルムの剥離を確
実に行えるようにすることのできる浮き上がり部分形成
方法を提供することにあり、請求項２に係る発明の目的
とするところは、請求項１の方法を具体化することがで
きるとともに、作動が確実で、メンテナンスフリーなも
のとすることのできる浮き上がり部分形成装置を簡単な
構成によって提供することにある。

【００２１】また、請求項３に係る発明の目的とすると
ころは、ドライフィルムに全くキズを付けないで、その
表面に密着している保護フィルムの微小部分に剥離のた
めの「きっかけ」、つまり浮き上がり部分を形成するこ
とができて、その後の保護フィルムの剥離をも確実に行
うことのできる剥離方法を提供することにあり、請求項
４に係る発明の目的とするところは、請求項３の方法を
具体化することができるとともに、作動が確実で、メン
テナンスフリーなものとすることのできる剥離装置を簡
単な構成によって提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、まず請求項１に係る発明の採った手段は、後述す
る実施の形態説明中において使用する符号を付して説明
すると、「プリント配線板を製造するための材料基板２
００の表面に貼付してある保護フィルム２２０にその剥
離のための浮き上がり部分２３０を形成する方法であっ
て、軸芯に対して直交する面と側面とによって形成した
断面直角の押圧先端１１を有した円柱状のフィルム押圧
部材１０を、材料基板２００の搬送方向に対してほぼ直
交させるとともに、材料基板２００のパスラインＰ．
Ｌ．に対して１５°〜６０°の範囲で傾斜させた状態
で、支持台１２に回転自在に軸支するとともに、このフ
ィルム押圧部材１０と材料基板２００とを、保護フィル
ム２２０の端縁上をフィルム押圧部材１０の押圧先端に
よって押圧しながら、相対的に移動させることにより、
保護フィルム２２０の押圧先端によって押圧された部分
の周辺にその剥離のための浮き上がり部分２３０を形成
する方法」である。

【００２３】すなわち、この請求項１に係る浮き上がり
部分形成方法は、材料基板２００の保護フィルム２２０
を剥離するための前提である浮き上がり部分２３０を、
図２及び図３に示すように形成するためのものであり、
そのために、本発明の浮き上がり部分形成方法では、円
柱状という最も簡単な形状のフィルム押圧部材１０を使
用するのである。

【００２４】フィルム押圧部材１０は、図１及び図２に
示すように、先端に形成した当該フィルム押圧部材１０
の軸芯と直交する面と側面とによって、断面が直角とな
る押圧先端１１を有しているものであり、この押圧先端
１１が、材料基板２００の保護フィルム２２０上に、図
２に示したように押圧されることになるものである。そ
して、このようなフィルム押圧部材１０と材料基板２０
０とを相対的に移動させることにより、保護フィルム２
２０の、押圧先端１１が当接・押圧した部分の周囲に、
図２及び図３に示したように、浮き上がり部分２３０が
形成されることになるのである。

【００２５】また、この請求項１の浮き上がり部分形成
方法を実施するにあたっては、そのフィルム押圧部材１
０の、材料基板２００のパスラインＰ．Ｌ．に対する支
持角度を１５゜〜６０゜の範囲とする必要があるが、そ
の理由は、フィルム押圧部材１０による保護フィルム２
２０の押圧を常に直角である押圧先端１１の転動によっ
てのみ行うためである。すなわち、フィルム押圧部材１
０の支持角度が材料基板２００のパスラインＰ．Ｌ．に
対して上記のように傾斜していれば、支持台１２に回転
自在に軸支したフィルム押圧部材１０が、フィルム押圧
部材１０と材料基板２００との相対移動によって回転す
ることになるからであり、フィルム押圧部材１０の回転
による押圧先端１１の保護フィルム２２０に対する押圧
角度が常に一定となるからである。特に、支持角度を１
５゜〜６０゜の範囲とする必要があるのは、直角である
押圧先端１１が保護フィルム２２０上を確実に押圧する
ためである。

【００２６】このフィルム押圧部材１０によって浮き上
がり部分２３０が形成されるメカニズムは、次の通りで
ある。まず、フィルム押圧部材１０は、図１に示すよう
に、その支持台１２によってベアリング１３等を介して
回転自在に軸支されており、かつ１５゜〜６０゜の範囲
の一定角度で材料基板２００に対して傾斜状態で支持さ
れている。このため、当該フィルム押圧部材１０の押圧
先端１１が保護フィルム２２０上に当接したままの状態
で、フィルム押圧部材１０と材料基板２００との相対移
動がなされると、直角である押圧先端１１を保護フィル
ム２２０上に当接させたままの状態でフィルム押圧部材
１０が保護フィルム２２０上を相対移動することにな
る。このとき、フィルム押圧部材１０は、回転自在であ
り、かつ円柱状のものであるから、その押圧先端１１が
保護フィルム２２０上を滑ることなく転動するのであ
り、直角になっている押圧先端１１によって保護フィル
ム２２０上に大きな押圧力が働くことになる。

【００２７】保護フィルム２２０はある程度軟質なもの
であり、その下側にはドライフィルム等の軟質な材料の
ものも存在しているから、保護フィルム２２０の押圧先
端１１によって押圧された部分は、材料基板２００の中
心に向かって沈み込むのである。この保護フィルム２２
０の沈み込んだ部分の近傍部分は、丁度積み重ねた座布
団の真中を押したときに周囲が盛り上がるように、盛り
上がることになり、これによって浮き上がり部分２３０
が形成されるのである。

【００２８】この浮き上がり部分２３０が形成された保
護フィルム２２０には、図３に示すように、フィルム押
圧部材１０の押圧先端１１が通った跡が直線上に僅かに
残るだけであり、その下側のドライフィルムや銅箔２１
１に対して損傷が与えられることもない。しかも、この
保護フィルム２２０の浮き上がり部分２３０は、その端
縁に保護フィルム２２０の剥離の「きっかけ」として形
成すれば十分なものであるから、図３にも示したように
微小なものであり、材料基板２００からプリント配線板
を形成するための何等の支障となることもないのであ
る。

【００２９】以上の浮き上がり部分形成方法を具体化す
るために、請求項２に係る発明の採った手段は、同様
に、「プリント配線板を製造するための材料基板２００
の表面に貼付してある保護フィルム２２０にその剥離の
ための浮き上がり部分２３０を形成する装置１００ａで
あって、材料基板２００の搬送路２０と、この搬送路２
０近傍に配置されて材料基板２００の表面の保護フィル
ム２２０の端縁表面上を押圧するフィルム押圧部材１０
とを備えて、このフィルム押圧部材１０を、軸芯に対し
て直交する面と側面とによって形成した断面直角の押圧
先端１１を有した円柱状のものとするとともに、フィル
ム押圧部材１０を支持台１２に回転自在に軸支して、こ
のフィルム押圧部材１０を、材料基板２００の搬送方向
に対してほぼ直交させるとともに、材料基板２００のパ
スラインＰ．Ｌ．に対して１５°〜６０°の範囲で傾斜
させて、フィルム押圧部材１０と材料基板２００とを、
保護フィルム２２０の端縁上をフィルム押圧部材１０の
押圧先端が押圧するようにしながら、相対的に移動させ
ることにより、保護フィルム２２０の押圧先端１１によ
って押圧された部分の周辺にその剥離のための浮き上が
り部分２３０を形成するようにしたことを特徴とする材
料基板２００における保護フィルム２２０の浮き上がり
部分２３０の形成装置１００ａ」である。

【００３０】すなわち、この請求項２に係る浮き上がり
部分形成装置１００ａによれば、上述した請求項１に係
る浮き上がり部分形成方法と同様な作用・機能を発揮す
ることができる他、フィルム押圧部材１０を前述したよ
うな構成・構造のものとしたから、従来の剥離装置にお
いて使用していた例えば針や刃物のように、銅箔２１１
や保護フィルム２２０に傷を付けることが全くないだけ
でなく、当該フィルム押圧部材１０自体の耐久性は格段
に高いものとなっている。

【００３１】従って、この請求項２の浮き上がり部分形
成装置１００ａによれば、保護フィルム２２０を剥離す
るための「きっかけ」である浮き上がり部分２３０を形
成するものとして、全体構造が非常に簡単で耐久性が高
く、メンテナンスフリーなものとなっているのである。

【００３２】上記課題を解決するために、請求項３に係
る発明の採った手段は、同様に、「プリント配線板を製
造するための材料基板２００の表面に貼付してある保護
フィルム２２０を、次の各工程を経て剥離する方法。 （１）軸芯に対して直交する面と側面とによって形成し
た断面直角の押圧先端１１を有した円柱状のフィルム押
圧部材１０を、材料基板２００の搬送方向に対してほぼ
直交させるとともに、材料基板２００のパスラインＰ．
Ｌ．に対して１５°〜６０°の範囲で傾斜させた状態
で、支持台１２に回転自在に軸支して、このフィルム押
圧部材１０と材料基板２００とを相対的に移動させて、
保護フィルム２２０の端縁に浮き上がり部分２３０を形
成する工程； （２）保護フィルム２２０の少なくとも浮き上がり部分
２３０に、圧縮空気を吹き付けながら、材料基板２００
を相対移動させることにより、保護フィルム２２０を材
料基板２００から剥離する工程」である。

【００３３】すなわち、この請求項３に係る保護フィル
ム剥離方法は、上記請求項１に係る浮き上がり部分形成
方法によって形成した浮き上がり部分２３０に対して圧
縮空気を吹き付けることにより、この浮き上がり部分２
３０を「きっかけ」として保護フィルム２２０全体の剥
離を行うようにしたものである。つまり、この請求項３
の保護フィルム剥離方法によれば、まず、工程（１）に
おいて保護フィルム２２０に浮き上がり部分２３０を形
成しておき、この浮き上がり部分２３０を利用して保護
フィルム２２０の剥離作業を行うのに圧縮空気を採用す
るようにしているものである。

【００３４】この圧縮空気を使用して保護フィルム２２
０を剥離するのには、次の２つの理由がある。まず、第
１の理由は、上記請求項２の浮き上がり部分形成装置１
００ａも含めて、後述する請求項４の保護フィルム剥離
装置１００については、その各部の駆動を圧縮空気を利
用したものとするのが、材料基板２００やその銅箔２１
１等に傷を付けなくて済むからであり、圧縮空気供給源
を１つにまとめることができて、装置全体の構成を簡略
化できるからである。

【００３５】また、保護フィルム２２０の剥離作業を圧
縮空気によって行う第２の理由は、浮き上がり部分２３
０形成後の保護フィルム２２０の剥離を、例えば粘着ロ
ーラで行ったとすると、そのメンテナンスに多大な労力
を要するからである。浮き上がり部分２３０を利用し
て、保護フィルム２２０を粘着ローラで剥離するという
ことは、粘着ローラの表面の粘着性を常に一定に保たな
ければならないし、そのためには粘着ローラの交換を頻
繁に行わなければならないから、その作業が大変になる
のである。勿論、粘着ローラの表面にはゴミやホコリが
付着し易いため、これによっても、交換作業が頻繁にな
るのである。

【００３６】そして、以上の請求項３に係る保護フィル
ム剥離方法を具体的に実施するための請求項４に係る発
明の採った手段は、後述の実施形態の説明中で使用する
符号を付して説明すると、「プリント配線板を製造する
ための材料基板２００の表面に貼付してある保護フィル
ム２２０を剥離する装置であって、材料基板２００の搬
送路２０と、この搬送路２０近傍に配置されて材料基板
２００の表面の保護フィルム２２０の端縁表面上を押圧
するフィルム押圧部材１０と、圧縮空気吹き付け装置３
０とを備えて、軸芯に対して直交する面と側面とによっ
て形成した断面直角の押圧先端１１を有した円柱状のも
のとしたフィルム押圧部材１０を、搬送路２０の近傍に
配置した支持台１２に回転自在に軸支し、材料基板２０
０の搬送方向に対してほぼ直交させ、さらに材料基板２
００のパスラインＰ．Ｌ．に対して１５°〜６０°の範
囲で傾斜させるとともに、圧縮空気吹き付け装置３０か
らの圧縮空気を、保護フィルム２２０に形成した浮き上
がり部分２３０に対して吹き付けるようにしたことを特
徴とする材料基板２００における保護フィルム２２０の
剥離装置１００」である。

【００３７】すなわち、この請求項４に係る保護フィル
ム剥離装置１００は、上記請求項２に係る浮き上がり部
分形成装置１００ａと、この浮き上がり部分形成装置１
００ａによって材料基板２００の保護フィルム２２０に
形成した浮き上がり部分２３０に圧縮空気を吹き付ける
圧縮空気吹き付け装置３０を主構成部材とする保護フィ
ルム剥離部１００ｂとからなるものであり、上述した請
求項１及び３の浮き上がり部分形成方法及び保護フィル
ム剥離方法を連続的に実施できるようにしたものであ
る。

【００３８】

【発明の実施の形態】次に、以上のように構成した各請
求項に係る発明を、図面に示した実施の形態である保護
フィルム剥離装置１００に従って説明する。この実施形
態の保護フィルム剥離装置１００は、図４〜図８に示し
たように、その内部に浮き上がり部分形成装置１００ａ
及び保護フィルム剥離部１００ｂを組み込んだものであ
って、浮き上がり部分形成装置１００ａは請求項１の浮
き上がり部分形成方法を、保護フィルム剥離部１００ｂ
は、請求項３の保護フィルム剥離方法を実質的に含むも
のである。従って、この実施形態の保護フィルム剥離装
置１００は、各請求項の発明を実質的に含むものである
ため、以下ではこの保護フィルム剥離装置１００を中心
にして説明することとする。

【００３９】図４には、保護フィルム剥離装置１００の
側面図が示してあり、この保護フィルム剥離装置１００
の図示上部右側に浮き上がり部分形成装置１００ａが、
またこの浮き上がり部分形成装置１００ａの左側に保護
フィルム剥離部１００ｂが組み込んである。これらの浮
き上がり部分形成装置１００ａ及び保護フィルム剥離部
１００ｂ間には、図４中の二点鎖線にて示したパスライ
ンＰ．Ｌ．が形成してあり、このパスラインＰ．Ｌ．上
を材料基板２００が図示右側から左側に向けて搬送され
るのである。

【００４０】なお、この図４中では保護フィルム剥離装
置１００の前後にあるべき搬送路は省略してあり、保護
フィルム剥離装置１００の内部だけが示してある。つま
り、この保護フィルム剥離装置１００は、材料基板２０
０からプリント配線板を形成するための製造ライン中に
配置されるものであり、図４に示した保護フィルム剥離
装置１００の右側には、例えばドライフィルムの露光工
程等があり、同保護フィルム剥離装置１００の左側には
銅箔２１１のエッチング工程等があるものである。

【００４１】保護フィルム剥離装置１００を構成してい
る浮き上がり部分形成装置１００ａは、図５及び図６に
示したように、複数のフィルム押圧部材１０を有してい
て、これらのフィルム押圧部材１０によって、材料基板
２００の表裏に貼付してある保護フィルム２２０の先端
部にそれぞれ浮き上がり部分２３０を形成するものであ
る。

【００４２】また、この浮き上がり部分形成装置１００
ａにおいては、各保護フィルム２２０を剥離すべき材料
基板２００を、図５及び図６中に示したパスラインＰ．
Ｌ．に沿って、当該保護フィルム剥離装置１００の前後
及び内部にある搬送路２０によって搬入・搬出するよう
にしている。換言すれば、パスラインＰ．Ｌ．より上側
にある各フィルム押圧部材１０は、材料基板２００の上
面側に位置し、保護フィルム２２０を剥離するための浮
き上がり部分２３０を形成するものであり、パスライン
Ｐ．Ｌ．より下側の各フィルム押圧部材１０は、下側の
保護フィルム２２０に浮き上がり部分２３０を形成する
ものである。

【００４３】さて、各フィルム押圧部材１０は、図１及
び図２に示したように、軸芯に対して直交する先端面と
側面とによって形成された断面直角の押圧先端１１を有
した円柱状のものであり、ベアリング１３等を介して支
持台１２に対して回転自在に軸支してある。本実施形態
の押圧先端１１は、上述したように形成することが、フ
ィルム押圧部材１０全体の形成及び耐久性を高める上で
有利ではあるが、浮き上がり部分２３０を形成するため
には、押圧先端１１が鋭角となるような加工をフィルム
押圧部材１０に施して実施してもよい。

【００４４】各フィルム押圧部材１０を回転自在に支持
している支持台１２は、図６にも示したように、ブロッ
ク状のもので上下一対のものとして形成したものであっ
て、次に述べるように、図６中のパスラインＰ．Ｌ．に
対して上下動可能であり、かつ、図５中のパスライン
Ｐ．Ｌ．に対して左右動可能としてある。すなわち、各
支持台１２は、供給されてきた圧縮空気によって駆動さ
れる往復動装置１５を介して上下の両支持梁１４に連結
してあり、各支持梁１４は、当該保護フィルム剥離装置
１００を構成している機枠に対して上下動可能でかつ水
平状に支持してある。各支持梁１４は、圧縮空気によっ
て作動する梁駆動シリンダ１６により、パスラインＰ．
Ｌ．に対して上下されるものであり、この支持梁１４に
設けた各往復動装置１５の作動により、支持台１２は図
５の左右方向に往復動されるのである。

【００４５】当該保護フィルム剥離装置１００の浮き上
がり部分形成装置１００ａに向けて材料基板２００を搬
送する搬送路２０は、図６に示したように、搬入してき
た材料基板２００の初期位置を決定するストッパ２１
と、このストッパ２１が後退して材料基板２００の加工
位置を決める銅箔センサ２４とを有している。銅箔セン
サ２４は、本発明が対象としている材料基板２００が、
図３に示したように、基板２１０上に銅箔２１１を一体
化した所謂銅張積層板であることに着目したものであ
り、基板２１０上の銅箔２１１が存在していることを電
気的に検出するものである。すなわち、この銅箔センサ
２４は、搬送路２０上を搬送されてきた材料基板２００
が今浮き上がり部分形成装置１００ａ内のどの位置にあ
るのかを検知するのであり、その検知を材料基板２００
の銅箔２１１によって行うとともに、この銅箔２１１が
保護フィルム２２０によって被覆され始めた位置を検知
したとき、各支持梁１４上の下方クランプ２２や上方ク
ランプ２３を作動させるものである。

【００４６】銅箔センサ２４によって材料基板２００の
銅箔２１１と保護フィルム２２０との境界が検知される
と、その時点で搬送路２０による搬送が停止され、まず
下側の支持梁１４が上動される。この下側の支持梁１４
には下方クランプ２２が一体化してあり、その上面がパ
スラインＰ．Ｌ．上の材料基板２００を支えることにな
る。次に、上方の支持梁１４が下降されるのであるが、
この上方の支持梁１４も材料基板２００を挟持するため
の上方クランプ２３がエアシリンダ２３ａを介して設け
てあるから、この支持梁１４の下降とエアシリンダ２３
ａの作動によって、パスラインＰ．Ｌ．上にある材料基
板２００の上面を上方クランプ２３が弾発的に押圧する
ことになる。以上の結果、パスラインＰ．Ｌ．の所定位
置に停止している材料基板２００は、各下方クランプ２
２及び上方クランプ２３によって弾発的に挟持される。

【００４７】材料基板２００の挟持が完了すると、各フ
ィルム押圧部材１０の押圧先端１１は、材料基板２００
上の保護フィルム２２０の端縁外側に位置することにな
るから、その時点で各支持台１２側の往復動装置１５が
各フィルム押圧部材１０を往復作動するのである。これ
により、各フィルム押圧部材１０の押圧先端１１は、保
護フィルム２２０の端縁部にて、図３中の矢印で示した
ように往復動することになり、これによって、各保護フ
ィルム２２０の端縁には、図２に示したような浮き上が
り部分２３０が形成されるのである。

【００４８】浮き上がり部分２３０が形成された材料基
板２００は、各下方クランプ２２及び上方クランプ２３
による挟持が解かれて搬送路２０によって次の保護フィ
ルム剥離部１００ｂに送られることになる。本実施形態
の保護フィルム剥離部１００ｂは、図７及び図８に示し
たように、保護フィルム２２０の浮き上がり部分２３０
に圧縮空気を吹き付けてこの保護フィルム２２０を剥離
させるようにしたもので、そのための圧縮空気吹き付け
装置３０を有しているものである。

【００４９】保護フィルム剥離部１００ｂは、図７の図
示右側に位置する上下のピンチローラ３２によって、材
料基板２００を挟持しながら搬送路２０上を図示左方に
向けて搬送するようにしたものであり、材料基板２００
のパスラインＰ．Ｌ．の上下に、材料基板２００の両面
にある保護フィルム２２０に圧縮空気を吹き付けるため
のノズル３１をそれぞれ有しているものである。このノ
ズル３１によって圧縮空気が浮き上がり部分２３０内に
強制的に吹き付けられれば、各保護フィルム２２０はパ
スラインＰ．Ｌ．とは反対側に（上方の保護フィルム２
２０は上方に、下方の保護フィルム２２０は下方に）そ
れぞれ剥離され始める。

【００５０】上側の保護フィルム２２０は、図７に示し
たピンチローラ３２に対向するフィルムピンチローラと
ピンチローラ３２との共働によって図示上側の上側フィ
ルム収納部３４内に強制的に送り込まれ、下側の保護フ
ィルム２２０は、下方のピンチローラ３２の近傍に配置
した案内板３３に沿って下側へ送られ、図示しない収納
箱に収納される。この図７及び図８に示した実施形態の
保護フィルム剥離部１００ｂでは、剥離した上側の保護
フィルム２２０を上述した上側フィルム収納部３４内に
無理矢理押し込んで、この上側フィルム収納部３４内に
一定量になった多数の保護フィルム２２０を押出シリン
ダ３５によって下側の収納箱に押し出すようにしてい
る。この上側フィルム収納部３４の上端に収納ホッパを
取付けておいて、大量の保護フィルム２２０をこの収納
ホッパ内に貯めておくようにしてもよいものである。

【００５１】以上のようにして、各保護フィルム２２０
が剥離された材料基板２００は、搬送路２０によって前
方に搬出されるのであり、当該保護フィルム剥離装置１
００は、各材料基板２００を次の加工工程に備えたもの
とするのである。

【００５２】

【発明の効果】以上、詳述した通り、まず請求項１に係
る発明においては、上記実施形態にて例示した如く、
「プリント配線板を製造するための材料基板２００の表
面に貼付してある保護フィルム２２０にその剥離のため
の浮き上がり部分２３０を形成する方法であって、軸芯
に対して直交する面と側面とによって形成した断面直角
の押圧先端１１を有した円柱状のフィルム押圧部材１０
を、材料基板２００の搬送方向に対してほぼ直交させる
とともに、材料基板２００のパスラインＰ．Ｌ．に対し
て１５°〜６０°の範囲で傾斜させた状態で、支持台１
２に回転自在に軸支するとともに、このフィルム押圧部
材１０と材料基板２００とを、保護フィルム２２０の端
縁上をフィルム押圧部材１０の押圧先端によって押圧し
ながら、相対的に移動させること」にその構成上の特徴
があり、これにより、ドライフィルムに全くキズを付け
ないで、その表面に密着している保護フィルムの微小部
分に、剥離のための「きっかけ」、つまり浮き上がり部
分を形成することができて、その後の保護フィルムの剥
離を確実に行えるようにすることのできる浮き上がり部
分形成方法を提供することすることができ、請求項２に
係る発明は、上記請求項１の浮き上がり部分形成方法を
具体的に実施することができるのである。

【００５３】また、請求項３に係る保護フィルム剥離方
法では、「プリント配線板を製造するための材料基板２
００の表面に貼付してある保護フィルム２２０を、次の
各工程を経て剥離する方法。 （１）軸芯に対して直交する面と側面とによって形成し
た断面直角の押圧先端１１を有した円柱状のフィルム押
圧部材１０を、材料基板２００の搬送方向に対してほぼ
直交させるとともに、材料基板２００のパスラインＰ．
Ｌ．に対して１５°〜６０°の範囲で傾斜させた状態
で、支持台１２に回転自在に軸支して、このフィルム押
圧部材１０と材料基板２００とを相対的に移動させて、
保護フィルム２２０の端縁に浮き上がり部分２３０を形
成する工程； （２）保護フィルム２２０の少なくとも浮き上がり部分
２３０に、圧縮空気を吹き付けながら、材料基板２００
を相対移動させる」ことにその構成上の特徴があり、こ
れにより、ドライフィルムに全くキズを付けないで、そ
の表面に密着している保護フィルムの微小部分に剥離の
ための「きっかけ」、つまり浮き上がり部分を形成する
ことができて、その後の保護フィルムの剥離をも確実に
行うことのできる剥離方法を提供することができ、この
ような保護フィルム剥離方法を、請求項４に係る保護フ
ィルム剥離装置１００が具体的かつ効果的に実施するこ
とができるのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の浮き上がり部分形成装置を示す概略正
面図である。

【図２】同浮き上がり部分形成装置を構成しているフィ
ルム押圧部材の押圧先端における状態を示す部分拡大断
面図である。

【図３】同浮き上がり部分形成装置によって形成された
浮き上がり部分を示す材料基板の部分拡大平面図であ
る。

【図４】本発明に係る保護フィルム剥離装置の側面図で
ある。

【図５】同保護フィルム剥離装置を構成している浮き上
がり部分形成装置の、図６中の１−１線に沿ってみた部
分拡大側面図である。

【図６】同浮き上がり部分形成装置の部分正面図であ
る。

【図７】保護フィルム剥離装置を構成している保護フィ
ルム剥離部の部分拡大側面図である。

【図８】同保護フィルム剥離部の部分背面図である。

【図９】従来の技術を示す概略側面図である。

【図１０】従来の他の技術を示す概略側面図である。

【図１１】従来のさらに他の技術を示す概略側面図であ
る。

【図１２】従来の別の技術を示す概略側面図である。

【符号の説明】

１００ 保護フィルム剥離装置 １００ａ 浮き上がり部分形成装置 １００ｂ 保護フィルム剥離部 １０ フィルム押圧部材 １１ 押圧先端 １２ 支持台 １３ ベアリング １４ 支持梁 １５ 往復動装置 ２０ 搬送路 ２１ ストッパ ２２ 下方クランプ ２３ 上方クランプ ２４ 銅薄センサ ３０ 圧縮空気吹き付け装置 ３１ ノズル ３２ ピンチローラ ３３ 案内板 ３４ 上側フィルム収納部 ２００ 材料基板 ２１０ 基板 ２１１ 銅箔 ２２０ 保護フィルム ２３０ 浮き上がり部分

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント配線板を製造するための材料基
   板の表面に貼付してある保護フィルムにその剥離のため
   の浮き上がり部分を形成する方法であって、 軸芯に対して直交する面と側面とによって形成した断面
   直角の押圧先端を有した円柱状のフィルム押圧部材を、
   前記材料基板の搬送方向に対してほぼ直交させるととも
   に、前記材料基板のパスラインに対して１５°〜６０°
   の範囲で傾斜させた状態で、支持台に回転自在に軸支す
   るとともに、 このフィルム押圧部材と前記材料基板とを、前記保護フ
   ィルムの端縁上を前記フィルム押圧部材の押圧先端によ
   って押圧しながら、相対的に移動させることにより、前
   記保護フィルムの前記押圧先端によって押圧された部分
   の周辺にその剥離のための浮き上がり部分を形成する方
   法。
2. 【請求項２】 プリント配線板を製造するための材料基
   板の表面に貼付してある保護フィルムにその剥離のため
   の浮き上がり部分を形成する装置であって、 前記材料基板の搬送路と、この搬送路近傍に配置されて
   前記材料基板の表面の前記保護フィルムの端縁表面上を
   押圧するフィルム押圧部材とを備えて、 このフィルム押圧部材を、軸芯に対して直交する面と側
   面とによって形成した断面直角の押圧先端を有した円柱
   状のものとするとともに、 前記フィルム押圧部材を支持台に回転自在に軸支して、
   このフィルム押圧部材を、前記材料基板の搬送方向に対
   してほぼ直交させるとともに、前記材料基板のパスライ
   ンに対して１５°〜６０°の範囲で傾斜させて、 前記フィルム押圧部材と前記材料基板とを、前記保護フ
   ィルムの端縁上を前記フィルム押圧部材の押圧先端が押
   圧するようにしながら、相対的に移動させることによ
   り、前記保護フィルムの前記押圧先端によって押圧され
   た部分の周辺にその剥離のための浮き上がり部分を形成
   するようにしたことを特徴とする材料基板における保護
   フィルムの浮き上がり部分の形成装置。
3. 【請求項３】 プリント配線板を製造するための材料基
   板の表面に貼付してある保護フィルムを、次の各工程を
   経て剥離する方法。 （１）軸芯に対して直交する面と側面とによって形成し
   た断面直角の押圧先端を有した円柱状のフィルム押圧部
   材を、前記材料基板の搬送方向に対してほぼ直交させる
   とともに、前記材料基板のパスラインに対して１５°〜
   ６０°の範囲で傾斜させた状態で、支持台に回転自在に
   軸支して、このフィルム押圧部材と前記材料基板とを相
   対的に移動させて、前記保護フィルムの端縁に浮き上が
   り部分を形成する工程； （２）前記保護フィルムの少なくとも浮き上がり部分
   に、圧縮空気を吹き付けながら、前記材料基板を相対移
   動させることにより、前記保護フィルムを材料基板から
   剥離する工程。
4. 【請求項４】 プリント配線板を製造するための材料基
   板の表面に貼付してある保護フィルムを剥離する装置で
   あって、 前記材料基板の搬送路と、この搬送路近傍に配置されて
   前記材料基板の表面の前記保護フィルムの端縁表面上を
   押圧するフィルム押圧部材と、圧縮空気吹き付け装置と
   を備えて、 軸芯に対して直交する面と側面とによって形成した断面
   直角の押圧先端を有した円柱状のものとしたフィルム押
   圧部材を、前記搬送路の近傍に配置した支持台に回転自
   在に軸支し、前記材料基板の搬送方向に対してほぼ直交
   させ、さらに前記材料基板のパスラインに対して１５°
   〜６０°の範囲で傾斜させるとともに、 前記圧縮空気吹き付け装置からの圧縮空気を、前記保護
   フィルムに形成した浮き上がり部分に対して吹き付ける
   ようにしたことを特徴とする材料基板における保護フィ
   ルムの剥離装置。