JPH01156480A

JPH01156480A - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPH01156480A
Application number: JP62315552A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhiro Seki; 光博関
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1987-12-14
Filing date: 1987-12-14
Publication date: 1989-06-20
Also published as: US4961817A; EP0320868A2; CA1290672C; EP0320868A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離し、この剥
離された薄膜を排出する薄膜剥離技術に適用して有効な
技術に関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の両面（又
は片面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂製カバーフィルム（以下、カバーフィルムという）と
からなる積層体を熱圧着ラミネートする。この後、配線
パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及
び前記カバーフィルムを通して、感光性樹脂層を所定時
間露光する。そして、カバーフィルムを剥離した後、露
光された感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパタ
ーンを形成する。この後、前記導電層の不必要部分をエ
ツチングにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層を
除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線板を
形成する。

前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、カバーフィルムを
剥離する工程が必要とされている。

カバーフィルムの剥離は１人手作業に頼っており、該フ
ィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂
層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用
さ及び非常な熟練を要する。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。この自動薄膜剥離装置は
、基板に張り付けられている積層体のうち、上側のカバ
ーフィルムの一部を針、ブラシ、ローレット等で浮上さ
せ、その浮上した部分に流体を吹き付け、カバーフィル
ムを剥離することを自動的に行ったものである。流体を
吹き付けて剥離されたカバーフィルムは、−旦、剥離方
向設定板に付着保持され、この後、薄膜搬送装置で基板
に張り付けられたカバーフィルムを剥離しながら搬送さ
れる。薄膜搬送装置は、カバーフィルムを基板から剥離
しかつ搬送するため、カバーフィルムを挟持する２個の
搬送用ベルトコンベアで構成されている。この薄膜搬送
装置は自動薄膜剥離装置に接続又は内蔵されている。薄
膜搬送装置の搬送用ベルトコンベアで搬送されたカバー
フィルムは薄膜排出収納容器に排出される。

本願出願人によって先に出願された特願昭６１−３８８
８０号に記載される自動薄膜剥離装置の薄膜排出収納容
器は、基板の搬送経路の上下に夫々薄膜排出収納容器を
設けている。下側の薄膜排出収納容器には基板の下側表
面のカバーフィルムが排出される。上側の薄膜排出収納
容器には基板の上側表面のカバーフィルムが排出される
。このように構成される自動薄膜剥離装置は、薄膜排出
収納容器を立体的に配置したので、装置の小型化を図る
ことができる特徴がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前記基板の上側表面のカバーフィルムは、上側の薄膜排
出収納容器の上部の収納口まで薄膜搬送装置の搬送用ベ
ルトコンベアで搬送され、この後に排出される。搬送用
ベルトコンベアはカバーフィルムを挟持した状態で搬送
している。このため、搬送用ベルトコンベアが上側の薄
膜排出収納容器の高さに相当する分長く構成されるので
、カバーフィルムを介在して対向するベルト間に微小な
テンションのずれを生じ易く、カバーフィルムの搬送不
良（ジャム不良）が多発するという問題点があった。

また、上側の薄膜排出収納容器は基板の搬送経路よりも
高い位置に配置されるので、排出されたカバーフィルム
の廃棄処理作業等、上側の薄膜排出収納容器の取扱いが
面倒で作業性が低下するという問題点があった。特に、
薄膜排出収納容器をステンレス鋼等の金属材料で構成す
る場合、薄膜排出収納容器自体の重量が重くなるので１
作業性が著しく低下する。

本発明の目的は、基板に張り付けられた薄膜を剥離しな
がら搬送しかつ排出する薄膜剥離装置において、剥離さ
れた薄膜の搬送不良を低減することが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、静電
気の発生に起因する薄膜の搬送不良を低減することが可
能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、製造
上の歩留りを向上することが可能な技術を提供すること
にある。

本発明の他の目的は、基板に張り付けられた薄膜を剥離
しながら搬送しかつ薄膜排出収納容器に排出する薄膜剥
離装置において、剥離された薄膜の搬送不良を低減する
と共に、前記薄膜排出収納容器の取扱いの作業性を向上
することが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、基板の夫々の表面に張り付けられ
た薄膜を剥離しながら搬送しかつ薄膜排出収納容器に排
出する薄膜剥離装置において、剥離された薄膜の搬送不
良を低減すると共に、前記ｍ吸排出収納容器の取扱いの
作業性を向上し、しかも装置の小型化を図ることが可能
な技術を提供することにある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新蜆な特徴
は１本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち１代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

（１）本発明は、基板に張り付けられた薄膜の一部を剥
離し、この剥離された一部分から薄膜を剥離すると共に
この剥離された薄膜を排出する薄膜剥離装置において、
前記剥離された薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥
離すると共に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上
方向に搬送する第１薄膜搬送装置を設け、該第１薄膜搬
送装置で搬送された薄膜を載置し、この状態で薄膜を基
板の搬送方向と交差する方向に搬送する第２薄膜搬送装
置を設けたことを特徴とする。

（２）本発明は、前記（１）の構成に、前記第１薄膜搬
送装置で搬送された薄膜を載置しかつこの状態で薄膜を
基板の搬送方向と交差する方向に搬送する導電性ベルト
を有する第２薄膜搬送装置を設けたことを特徴とする。

（３）本発明は、前記（１）の構成に、前記第２薄膜搬
送装置を前記薄膜を剥離する位置よりも前段側の前記基
板の搬送経路の上部に設けた構成を加えたことを特徴と
する。

（４）本発明は、基板に張り付けられた薄膜の一部を剥
離し、この剥離された一部分から薄膜を剥離すると共に
この剥離された薄膜を薄膜排出収納容器に排出する薄膜
剥離装置において、前記剥離された薄膜の一部を挟持し
て基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜
を基板の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送装置を
設け、該第１Ｒ膜搬送装置で搬送された薄膜を載置しか
つこの状態で薄膜を前記基板の搬送経路と交差する方向
に搬送する第２薄膜搬送装置を設け、該第２薄膜搬送装
置で搬送された薄膜を収納する薄膜排出収納容器を前記
基板の搬送経路の側部に設けたことを特徴とする。

（５）本発明は、基板の夫々の表面に張り付けられた薄
膜の一部を剥離し、この剥離された一部分から薄膜を剥
離すると共にこの剥離された薄膜を薄膜排出収納容器に
排出する薄膜剥離装置であって。

前記基板の上側表面の剥離された薄膜の一部を挟持して
基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜を
基板の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送装置を設
け、該第１薄膜搬送装置で搬送された薄膜を載置しかつ
この状態で薄膜を前記基板の搬送経路と交差する方向に
搬送する第２薄膜搬送装置を設け、該第２薄膜搬送装置
で搬送された薄膜を収納する第１薄膜排出収納容器を前
記基板の搬送経路の側部に設け、前記基板の下側表面の
剥離された薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離す
ると共に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の下方向
に搬送する第３薄膜搬送装置を設け、該第３薄膜搬送装
置で搬送された薄膜を収納する第２薄膜排出収納容器を
前記基板の搬送経路の下部に前記第１薄膜排出収納容器
と一体に構成して設けたことを特徴とする。

〔作　用〕

（１）本発明は、前記（１）の手段により、薄膜を挟持
した状態で搬送する長さ（第１薄膜搬送装置の長さ）を
第２薄膜搬送装置に相当する分短縮することができるの
で、薄膜の排出経路における薄膜の搬送不良（ジャム）
を低減することができる。

（２）本発明は、前記（２）の手段により、前記（１）
の効果を有すると共に、基板から薄膜を剥離した時や第
１薄膜搬送装置で薄膜を搬送する時に発生する静電気を
前記導電性ベルトで放電することができるので、薄膜の
搬送経路における前記静電気の発生に起因する薄膜の搬
送不良を低減することができる。

（３）本発明は、前記（３）の手段により、前記（１）
の効果を有すると共に、剥離された薄膜に付着する異物
や第２薄膜搬送装置からの異物が薄膜を剥離した基板表
面に付着することを低減することができるので、基板の
製造上の歩留りを向上することができる。

（４）本発明は、前記（４）の手段により、前記（１）
の効果を有すると共に、前記薄膜排出収納容器を基板の
搬送経路の側部の低い位置に設けたので。

排出された薄膜の廃棄処理作業等、薄膜排出収納容器の
取扱いの作業性を向上することができる。

（５）本発明は、前記（５）の手段により、前記（４）
の効果を有すると共に、薄膜排出収納容器のサイズを縮
小することができるので、薄膜剥離装置の小型化を図る
ことができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明をプリント配線用基板のカバーフィルム（
保護膜）剥離装置に適用した一実施例について図面を用
いて説明する。

なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板のカ
バーフィルム剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図
は、第１図のカバーフィルム剥離部分を示す要部拡大側
面図である。

本実施例のカバーフィルム剥離装置におけるプリント配
線用基板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように
、主としてプリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動
ローラ２で構成されている。

この搬送機構における基板搬送経路Ａ−Ａには、第２図
に示すように、薄膜浮上装置３．流体吹付装置４、剥離
方向設定板（剥離補助板）５及び薄膜搬送装置（薄膜排
出装置）６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第５図（前記第２図の要
部拡大断面図）で示すように、絶縁性基板ＩＡの両面（
又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形成されたものである
。このプリント配線用基板１の導電層ＩＤ上には、感光
性樹脂層（フォトレジスト層）ＩＣとカバーフィルム（
保護用薄膜）ＩＤとからなる積層体が熱圧着ラミネート
されている。

感光性樹脂層ＩＣは所定の配線パターンフィルムが重ね
られ露光された後の状態にある。プリント配線用基板１
は、第１図及び第２図に示す矢印入方向に搬送用駆動ロ
ーラ２で搬送されるように構成されている。

前記薄膜浮上装置３は、第２図、第３図（要部斜視図）
及び第４図（拡大分解斜視図）に示すように構成されて
いる。

この薄膜浮上装置３は、プリント配線用基板１の両側面
に、夫々、少なくとも１個の浮上部材３Ａが設けられて
いる。浮上部材３Ａは、第３図に示すように、プリント
配線用基板１側の先端部が針状で構成されている。浮上
部材３Ａは、空気式振動装置３Ｂによって、矢印Ｂ方向
に振動するように構成されている。空気式振動装置３Ｂ
は、その詳細な構成を省略するが、流体供給管３Ｃによ
り加圧された空気が供給され、例えば、１分間に２００
〜３００ストロークの振動を浮上部材３Ａに与えるよう
に構成されている。

前記浮上部材３Ａの先端部は、感光性樹脂層ＩＣとカバ
ーフィルムＩＤからなる積層体の端部を振動押圧すなわ
ちエネルギを与えるように構成されている。エネルギが
与えられた積層体の端部は、感光性樹脂層ＩＣからカバ
ーフィルムＩＤが浮上（剥離）するようになっている。

エネルギが与えられた積層体の端部において、感光性樹
脂層ＩＣと導電層ＩＢとは、前記感光性樹脂層ＩＣとカ
バーフィルムＩＤとの接着力に比べて強いので剥離され
ない。

浮上部材３Ａの先端角度は１例えば６０〜７０［度］程
度の角度で構成する。浮上部材３Ａの先端部は、プリン
ト配線用基板１の導電層ＩＢや積層体（主に、感光性樹
脂層１Ｇ）に損傷を生じないように、適度な曲率半径を
有するように構成されている。

また、浮上部材３Ａは、先端部の摩耗をできる限り低減
できるように、ステンレス鋼、炭素鋼等の金属材料や、
セラミック等の非鉄金属材料で構成されている。

基板搬送経路Ａ−Ａを中心に、その近傍の上下に対向す
る位置に設けられた夫々の浮上部材３Ａに連結された空
気式振動装置３Ｂは、ホルダ３Ｄを介して夫々別々の浮
上部材支持回転軸３Ｅに支持されている。ホルダ３Ｄは
固定ホルダ部３Ｄ。

と摺動ホルダ部３Ｄ、とで構成されている。固定ホルダ
部３Ｄ１は、浮上部材支持回転軸３Ｅに固着されている
。摺動ホルダ部３ｏｚは、基板搬送経路Ａ−Ａに対して
、所定の角度で浮上部材３Ａ及び空気式振動装置３Ｂを
保持するように構成されている。さらに、摺動ホルダ部
３Ｄ、は、所定の振動押圧力で積層体に浮上部材３Ａを
当接できるように、固定ホルダ部３Ｄよ（又は浮上部材
支持回転軸３Ｅ）に対して、矢印Ｃ方向に摺動できるよ
やに構成されている。摺動ホルダ部３Ｄ、の矢印Ｃ方向
への摺動は、図示していないが１例えば、ばね等の弾性
部材で制御される。

浮上部材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部は、第４
図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイド用長穴３ｆを
通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回転自在に連結さ
れている。ガイド部材３Ｆは、図示していないが、剥離
装置本体（７）にビス等の取付手段で固着されている。

ガイド用長穴３ｆは。

プリント配線用基板１に近接又はそれから離反させる方
向（矢印り方向）に、浮上部材支持回転軸３Ｅすなわち
浮上部材３Ａをガイドするように構成されている。

上下、夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３
ｈを中心に矢印Ｅ方向に回転自在に取り付けられた回転
アーム部材３Ｈの回転軸３ｈを中心として対向する端部
に回転自在に取り付けられている。回転アーム部材３Ｈ
は、上下、夫々の移動アーム部材３Ｇを異なる矢印り方
向に移動させるように構成されている。上側（又は下側
）の浮上部材支持回転軸３Ｅの一端部には、連結アーム
部材３工を介在させて、両面兼用駆動源のシャフト３Ｊ
が接続されている。

前記浮上部材支持回転軸３Ｅをガイドするガイド部材３
Ｆ、移動アーム部材３Ｇ、回転アーム部材３Ｈ及び両面
兼用駆動源は、シャフト３Ｊの矢印Ｆ方向の動作でプリ
ント配線用基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部材
３Ａを互いに近接させ又は離隔させる薄膜浮上装置３の
リンク機構を構成している。リンク機構を構成する夫々
の部材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の比較的
外力に対して変形しずらい材料で構成する。両面兼用駆
動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ、電磁ソレ
ノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは、移動アー
ム部材３Ｇの一端部に限定されず、回転アーム部材３Ｈ
の一端部に連結させてもよい。

このような構成のリンク機構を用いて浮上部材３Ａと両
面兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用
基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部材３Ａをプリ
ント配線用基板１の表面に接触させ又は離反させる動作
（矢印り方向の動作）を行うことができる。このリンク
機構は、プリント配線用基板１の両面側に、浮上部材８
Ａを駆動する駆動源を別々に設けることなく、１つの両
面兼用駆動源で両面側の浮上部材３Ａを駆動することが
できる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ。

移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈが略剛体で
あり、夫々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈ
で規定されているので、プリント配線用基板１の両面側
の夫々の浮上部材３Ａの動作量及び動作時間を同等にし
かも正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少なく
、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、浮上部材３
Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単
にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた上下夫々の前記浮
上部材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された浮上部材回転アーム部材３Ｋが設
けられている。上下夫々の浮上部材回転アーム部材３に
の他端部には、長大３ｋが設けられており１両者の長穴
３ｋには、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続する連
結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すなわち
。

浮上部材回転アーム部材３には、連結アーム部材３Ｍを
介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結されている
。両面兼用駆動源としては、前記のリンク機構と同様の
空気シリンダ等を使用する。

前記浮上部材回転アーム部材３Ｋ、連結アーム部材３Ｍ
及び両面兼用駆動源は、シャフト３Ｌの矢印Ｇ方向の動
作により、浮上部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｈ方向に
回転させるとともに浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印１方
向に回転させる、薄膜厚上装置３の浮上部材回転機構を
構成するようになっている。つまり、浮上部材回転機構
は、積層体の端部を浮上部材３Ａで振動押圧すると共に
、浮上部材３Ａをその状態のまま、所定の距離だけ基板
搬送方向に移動させるように構成されている。

本実施例において、浮上部材回転機構は、浮上部材３Ａ
を基板搬送方向に１〜３［ｍｍ］程度移動させるように
構成されている。

このように構成される浮上部材回転機構は、前述の浮上
部材３Ａを近接させ又は離反させるリンク機構と同様に
、プリント配線用基板１の両面側の夫々の浮上部材３Ａ
を一つの駆動源で動作させることができるとともに、上
下夫々の浮上部材３Ａの動作量及び動作時間を正確に制
御することができる。

また、浮上部材回転機構は、浮上部材３Ａと両面兼用駆
動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることがで
きる。

このように薄膜浮上装置３は、主に、浮上部材３Ａ、空
気式振動装置３Ｂ、リンク機構、浮上部材回転機構で構
成されている。

なお、本発明は、前記薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを
、空気式振動装置３Ｂに代えて、先に本願出願人により
出願された特願昭６１−１８１１２６号に記載される電
磁式振動装置で構成してもよい。

前記流体吹付装置４は、第２図及び第３図に示すように
、ノズル４Ａから圧力を加えた流体１例えば、空気、不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付装置４は、プリント配線用基板１
の端部において、前記薄膜浮上装置３によって感光性樹
脂層１ｃがらカバーフィルムＩＤを浮上させた両者間の
隙間部分に流体を直接吹き付けるように構成されている
。

流体吹付装置４は、前記隙間部分に即座に流体を吹き付
けられるように、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａに近接
した位置にノズル４Ａが位置するように構成されている
。ノズル４Ａは、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａの先端
部に、両側（２方向）から流体を吹き付けるように一対
（４Ａ工、４Ａ、）で構成されている。一対のノズル４
Ａには、１つの流体供給管４Ｂから流体が供給されるよ
うに構成されている。

一対のノズル４は、支持部材４Ｃを介在させて。

装置本体（固定支持部材）７に固着されている。ノズル
４Ａの固着は薄膜剥離装置の動作による微小振動等で流
体の吹付方向が変動しないように行う。

つまり、ノズル４Ａは常時一定の流体吹付方向を確保す
るように構成されている。

このように、薄膜浮上装置３で生じた感光性樹脂層ＩＣ
とカバーフィルムＩＤとの隙間部分に流体吹付装置４で
流体を吹き付けることにより、感光性樹脂層ＩＣとカバ
ーフィルムＩＤとの間に流体が瞬時に吹き込まれるので
、感光性樹脂層ＩＣからカバーフィルムＩＤを簡単に瞬
時かつ確実に剥離することができる。

また、異なる方向から流体を吹き付けられるように、流
体吹付装置４のノズル４Ａを一対に構成することにより
、薄膜浮上装置３でカバーフィルムＩＤの一部を浮上さ
せた部分に、確実に流体を吹き付けることができるので
、流体の吹き付けによるカバーフィルムＩＤの剥離効果
を高めることができる。

なお、本発明は、ノズル４Ａの流体吹付角度を変化する
ことができるように構成してもよい、具体的には、流体
吹付装置４は、流体吹付時にできる限り前記隙間部分に
ノズル４Ａを近接させ、流体吹付後にプリント配線用基
板１が接触しない位置にノズル４Ａを退避するように構
成する。

前記基板搬送経路Ａ−Ａの近傍には、第３図及び第５図
で示すように、基板保持部材８、積層体端部検出装置９
の夫々が設けられている。基板保持部材８、積層体端部
検出装置９の夫々は、基板搬送経路Ａ−Ａと交差する方
向において、略同−線上に位置するように構成されてい
る。

基板保持部材８は、ローラ８Ａ及びこのローラ８Ａを一
端で回転自在に支持する支持部材８Ｂで構成されている
。支持部材８Ｂの他端は、ビス等の固着手段によって、
装置本体７に取り付けられている。基板保持部材８は、
薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４を設けることによっ
て、搬送用駆動ローラ２の間隔が広くなる領域に構成さ
れている。また、基板保持部材８は、薄膜浮上装置３の
振動押圧や流体吹付装置４の加圧された流体によるエネ
ルギがプリント配線用基板１に加わる領域に構成されて
いる。

ローラ８Ａは、プリント配線用基板１　（実際には、そ
の表面のカバーフィルムＩＤ）と所定の間隔を有するよ
うに構成されている。つまり、ローラ８Ａは、搬送され
るプリント配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持
し、しかも、流体吹付装置４でカバーフィルムＩＤが押
え付けられずに剥離できるように、所定の間隔を有する
ように構成されている。ローラ８Ａは、プリント配線用
基板１と接触した時、特に積層体の感光性樹脂層ＩＣを
損傷、破壊しないように、例えば、樹脂、ゴム等の比較
的軟質材料で構成する。支持部材８Ｂはローラ８Ａを支
持すると共に、支持部材８Ｂの基板搬送経路Ａ−Ａの近
傍部分はローラ８Ａと同様に搬送されるプリント配線用
基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持するように構成さ
れている。

支持部材８Ｂは硬質樹脂や金属等の比較的硬質材料で構
成する。

このように、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａの近傍であ
って、基板搬送経路Ａ−Ａの近傍に、基板保持部材８を
設けることにより、特に、薄いプリント配線用基板１の
搬送方向の先端部の垂れ下りを防止し、プリント配線用
基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に確実に保持することが
できる。つまり、基板保持部材８は、プリント配線用基
板１の搬送中における搬送不良（ジャム）等のトラブル
を防止し、プリント配線用基板１や薄膜剥離装置の損傷
、破壊を防止することができる。

さらに、プリント配線用基板１の表面から所定の間隔を
有するようにローラ８Ａを構成することにより、カバー
フィルムＩＤを押さえ付けることがないので、流体吹付
装置４でカバーフィルムＩＤを確実に剥離することがで
きる。

なお、基板保持部材８は、厚いプリント配線用基板１が
接触した時に、ローラ８Ａ又は支持部材８Ｂの位置が変
化できるように、ローラ８Ａ又は支持部材８Ｂに弾力性
を有するように構成してもよい。

前記基板保持部材８よりも基板排出側の基板搬送経路Ａ
−Ａの近傍には、補助用基板保持部材１０が設けられて
いる。補助用基板保持部材１０は、ローラＩＯＡと、そ
れを回転自在に支持しかつ装置本体７に取り付けられた
回転軸１０Ｂとで構成されている。補助用基板保持部材
１０は、前記基板保持部材８と実質的に同様にプリント
配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持するように
構成されている。

前記積層体端部検出装置９は、プリント配線用基板１の
静電容量の変化を検出する静電容量型、又はプリント配
線用基板１の電気抵抗の変化を検出する電気抵抗型で構
成されている。積層体端部検出袋Ｍ９は、主に、プリン
ト配線用基板１の両面側に夫々設けられた棒状接触子９
Ａと、それを支持する可動支持装置９Ｂとで構成されて
いる。

棒状接触子９Ａは、銅、Ｉｌ等の導電性材料で構成され
ている。棒状接触子９Ａは、プリント配線用基板１の端
部にスムーズに接触できるように、Ｌ字形状で構成され
ている。可動支持装置９Ｂは装置本体７に固着されてい
る。可動支持装置９Ｂは、詳細に図示していないが、棒
状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａに近接及び離反（矢
印Ｊ方向に）動作するように構成されている。可動支持
装置９Ｂは１例えば、棒状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ
−Ａ側に近接する方向に移動させる電磁ソレノイドと、
離反させる方向に移動させる弾性部材とで構成されてい
る。

次に、ここで、第２図乃至第４図及び第５図乃至第９図
（各剥離工程毎に示す要部拡大断面図）を用い、プリン
ト配線用基板１の積層体の端部を浮上させる動作及び剥
離させる動作について簡単に説明する。

まず、基板搬送経路Ａ−Ａにおいて、搬送用駆動ローラ
２により、矢印Ａ方向にプリント配線用基板１を搬送す
る。

次に、第５図に示すように、プリント配線用基板１の搬
送方向先端部が、薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４が
設けられた位置を通過すると、搬送用駆動ローラ２の回
転が停止し、プリント配線用基板１の搬送が一旦停止さ
れる。搬送の停止は、プリント配線用基板１の先端部を
検出する透過型又は反射型の光センサＳで行う。

次に、第６図に示すように、積層体端部検出装置９の棒
状接触子９Ａがプリント配線用基板１の積層体（カバー
フィルムＩＤ）の表面に接触する。

棒状接触子９Ａは、可動支持装置９Ｂで矢印Ｊ方向に移
動するように構成されている。この棒状接触子９Ａの動
作から、プリント配線用基板１の静電容量（又は電気抵
抗）が検出されるようになっている。なお、積層体表面
への棒状接触子９Ａの接触は、光センサＳの検出信号に
より、プリント配線用基板１の搬送の停止と実質的に同
一タイミングで行ってもよい。

次に、棒状接触子９Ａが積層体表面に接触した状態で、
搬送が停止されているプリント配線用基板１を基板の搬
送方向と逆方向に搬送する。そして、第７図に示すよう
に、棒状接触子９Ａが搬送方向先端部の積層体の端部に
達すると、静電容量（電気抵抗）が変化し、積層体の端
部が検出される。

次に、積層体の端部の検出信号により、プリント配線用
基板１の逆方向の搬送が停止される。この停止動作と実
質的に同一タイミングで第８図に示すように、棒状接触
子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａから離反（矢印Ｊ方向に移
動）させると共に、積層体の端部の表面に薄膜浮上装置
３の浮上部材３Ａを矢印Ｂ方向に振動させながら接触さ
せる。浮上部材３Ａの移動は、第４図に示す、両面兼用
駆動源のシャフト３Ｊを矢印Ｆ方向（第４図中、下方向
）に動作させ、この動作で回転アーム部材３Ｈ及び移動
アーム部材３Ｇを作動させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを
矢印り方向に移動させることで行われる。つまり、浮上
部材３Ａの移動は、リンク機構により行われる。浮上部
材３Ａの振動は、空気式振動装置３Ｂで行われる。そし
て、浮上部材３Ａの振動抑圧と同一のタイミングによっ
て、流体吹付装置４のノズル４Ａの先端部から流体が吹
き付けられる。

次に、第９図に示すように、浮上部材３Ａを振動させた
状態で浮上部材３Ａを基板搬送方向Ａ側に微小移動（矢
印工方向に移動）させる。この浮上部材３Ａの移動は、
両面兼用駆動源のシャフト３Ｌを矢印Ｇ方向（第４図中
、右方向）に動作させ、この動作で浮上部材回転アーム
部材３Ｋ、連結アーム部材３Ｍで構成される浮上部材回
転機構を動作させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印工方
向に回転させることにより行われる。この浮上部材３Ａ
の微小移動は、前述したように例えば１〜３［ＩＩｆｉ
］のストロークで行われる。

なお、浮上部材３Ａの振動抑圧及び微小移動に際しては
、プリント配線用基板１の位置が変化しないように、プ
リント配線用基板１を搬送用駆動ローラ２とこの上面に
設けられた基板押えローラ（ピンチローラ）２Ａ（第２
図参照）とにより挟持するように構成されている。すな
わち、まず、プリント配線用基板１の先端部が検知され
ると信号が発せられ、この信号により搬送用駆動ローラ
２を駆動している駆動源（モータ）の回転を停止させる
。

この駆動源の回転の停止と同時に、図示しない空圧シリ
ンダ（又は、油圧シリンダ等）が作用してブレーキ機構
が作用し、Ｌ字形状のブレーキ用押え板２Ｃが基板押え
ローラ２Ａに当接し、基板押えローラ２Ａを押え、これ
により、プリント配線用基板１を確実に挟持するように
構成されている。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣ
及びカバーフィルムＩＤからなる積層体の端部を薄膜浮
上装置３の浮上部材３Ａで振動押圧することにより感光
性樹脂層ＩＣからカバーフィルムＩＤを浮上させ、それ
らの界面に隙間を生じさせた後、この隙間に流体吹付表
Ｍ４で流体を吹き付けることにより第９図に示すように
先端側のカバーフィルムＩＤを剥離する（剥離されたカ
バーフィルム１ｄにする）ことができる。

前記カバーフィルムＩＤの端部の浮上は、針状の簡単な
構成の浮上部材３Ａで行うことができる。

また、薄膜浮上装置３．流体吹付装置４の夫々をプリン
ト配線用基板１の基板搬送経路Ａ−Ａに設けたので、前
記カバーフィルムＩＤの端部の浮上、剥離の夫々を自動
的に行うことができる。

また１本発明では、プリント配線用基板１に対し積層体
が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プリ
ント配線用基板１の基板搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の浮上部材３Ａ及びノズル４Ａを設けてもよ
い。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の基板搬送
方向と交差する方向（幅方向）に薄膜浮上装置３の浮上
部材３Ａを設けであるが、本発明は、プリント配線用基
板１の基板搬送方向と同一方向であって、積層体の端部
又は隅角部近傍に浮上部材３Ａを設けることもできる。

この場合には、流体吹付装置４のノズル４Ａは浮上部材
３Ａの近傍に設けられる。

また１本実施例は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａをリ
ンク機構で動作させたが、本発明は、浮上部材３Ａをラ
ックアンドピニオン機構で動作させてもよい。

また、本発明は、薄膜浮上装置８の浮上部材３Ａを粘着
ローラ等の粘着部材、針、ブラシ、爪等の突起部材で構
成してもよい。

前記流体吹付装置４で剥離された基板搬送方向先端側の
カバーフィルム１ｄは、第２図及び第１０図（要部斜視
図）で示すように、流体吹付装置４からの流体圧で剥離
方向設定板（剥離補助板）５に付着するようになってい
る。剥離方向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離位
置及び剥離角度を規定すると共に、剥離されたカバーフ
ィルム１ｄを薄膜搬送装置６で搬送し排出する際の搬送
方向を設定するように構成されている。第１０図に示す
ように、剥離されたカバーフィルム１ｄは一点鎖線で示
されている。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（カバーフィルム１ｄの
付着面）は、これに限定されないが、プリント配線用基
板１に張り付けられているカバーフィルムＩＤとその状
態から引き起こされたカバーフィルム１ｄとがなす角度
が略直角になるように構成されている。つまり、剥離方
向設定板５は、プリント配線用基板１の表面に対して垂
直方向にカバーフィルム１ｄを剥離するように構成され
ている。

剥離方向設定板５の剥離側の先端（剥離位置部分）は、
感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を生じないように、曲率
半径の小さい円弧状例えば曲率半径が３　［ａｍ１以下
で構成されている。

剥離方向設定板５は、感光性樹脂層ＩＣに損傷。

破壊を生じないように、プリント配線用基板１の搬送時
及びその搬送中でのカバーフィルムＩＤの剥離時に、プ
リント配線用基板１に張り付けられたカバーフィルムＩ
Ｄにこすれない程度の間隔を置いて設けられている。そ
して、剥離方向設定板５の先端は、積層体の端部の浮上
及び剥離時にカバーフィルムＩＤに密着し、プリント配
線用基板１を挟持するように構成されている。つまり、
剥離方向設定板５は、基板搬送経路Ａ−Ａに近接及び離
反し、その近接時に底面でプリント配線用基板１を挟持
するように、移動可能に構成されている。この剥離方向
設定板５は、第２図に示すように、基板押えローラ２Ａ
を押えるためのブレーキ用押え板２Ｃの作動（空気シリ
ンダで作動している）に連動してプリント配線用基板１
に接触又は離反するように構成されている。すなわち、
剥離方向設定板５は、プリント配線用基板１を基板押え
ローラ２Ａで挟持している時に、同様にプリント配線用
基板１を挟持するように構成されている。

このように、剥離方向設定板５を基板搬送経路Ａ−Ａに
近接及び離反するように構成することにより、流体吹付
装置４のノズル４Ａからの流体が、剥離方向設定板５の
裏側に吹き抜けることを低減することができるので、カ
バーフィルムＩＤの剥離効果を高めることができると共
に、カバーフィルム１ｄの剥離方向設定板５及び搬送ベ
ルト（６）への付着力及び保持力を高めることができる
。

また、剥離方向設定板５は、プリント配線用基板１の基
板搬送経路Ａ−Ａの幅又は流体吹付幅の略全域の長さで
剥離方向に所定の長さを有するように構成されている。

このように構成される剥離方向設定板５は、第１０図に
矢印にでノズル４Ａからの流体の流出方向を示すように
、流体がその裏側に吹き抜けることを低減することがで
きるので、カバーフィルムＩＤの剥離効果を高めること
ができると共に、カバーフィルム１ｄの剥離方向設定板
５及び搬送ベルト（６）への付着性及び保持性を高める
ことができる。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（カバーフィルム１ｄが
直接付着する面）には、第１０図に詳細に示すように、
導電性部材５Ａが設けられている。

導電性部材５Ａは、絶縁性部材５Ｂ上に設けられている
。導電性部材５Ａは、１１！縁性部材５Ｂ及び導電性部
材５Ｃを介在させて、剥離方向設定板５のコの字形状で
構成される設定板支持部材５Ｄに接着剤で固着されてい
る。

前記導電性部材５Ａ及び５Ｃは、板形状で構成され、電
気抵抗値が極めて小さい例えば銅、ステンレス鋼等の金
属材料で構成されている。絶縁性部材５Ｂは板形状で構
成されている。設定板支持部材５Ｄは例えばステンレス
鋼等の金属材料で構成されている。前記導電性部材５Ａ
は電気的にフローティング状態で構成されている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面を導電性部
材５Ａで構成し、この導電性部材５Ａを絶縁性部材（絶
縁体）５Ｂ上に設けることにより、プリント配線用基板
１から剥離された時に帯電したカバーフィルム１ｄが導
電性部材５Ａに付着すると、静電容量によるクーロン力
が作用するので、カバーフィルム１ｄの付着力及び保持
力をより高めることができる。つまり、導電性部材５Ａ
は、剥離方向設定板５の薄膜付着面にカバーフィルム１
ｄを確実に付着保持させることができるように構成され
ている。

なお、前記導電性部材５Ａは、絶縁体上に設けて電気的
にフローティング状態に構成すればよいので、例えば、
剥離方向設定板５の設定板支持部材５Ｄを樹脂等の絶縁
性材料で構成し、その薄膜付着面に直接導電性部材５Ａ
を設けてもよい。この導電性部材５Ａは、所謂コンデン
サの一方の電極と同様の作用をするものである。

剥離方向設定板５の薄膜付着面には、導電性部材５Ａ、
絶縁性部材５Ｂ、導電性部材５Ｃ及び設定板支持部材５
Ｄを貫通する薄膜吸着用孔５Ｅが設けられている。この
薄膜吸着用孔５Ｅには、第１１図（ブロック構成図）で
示すように、吸着管５工を介在させて吸着袋＠（真空吸
着装置）５Ｈが接続されている。薄膜吸着用孔５Ｅには
吸着管５工を介在させて吸着装置５Ｈからの吸引力が作
用するようになっている。この吸引力はカバーフィルム
１ｄを剥離方向設定板５の薄膜付着面に積極的に吸着さ
せその状態を保持するように構成されている。薄膜吸着
用孔５Ｅは、薄膜付着面に１つ、又はカバーフィルム１
ｄの吸着力及び保持力をより高めるために複数設けられ
ている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面に薄膜吸着
用孔５Ｅを設け、この薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置５Ｈ
に接続することにより、薄膜付着面にカバーフィルム１
ｄを確実に付着保持することができる。これによって、
カバーフィルム１ｄは、後に詳述する薄膜搬送装置６の
搬送ベルトで確実に挟持することができるので、プリン
ト配線用基板１に張り付けられているカバーフィルムＩ
Ｄを剥離しながら、その搬送（排出）を確実に行うこと
ができる。つまり、薄膜吸着用孔５Ｅ及び吸着装置５Ｈ
は、薄膜剥離工程を施したにもがかわらず、カバーフィ
ルムＩＤが剥離されない、薄膜剥離不良基板の発生を防
止することができる。

また、第１１図に示すように、前記薄膜吸着用孔５Ｅと
吸着装置５Ｈとの間の接続経路すなわち吸着管５工の所
定部には、吸着圧（真空圧）を検出する吸着圧検出器５
Ｊが設けられている。吸着圧検出器５Ｊは、これに限定
されないが１例えば、ダイヤフラム型、ベローズ型等の
弾性体方式で構成する。この吸着圧検出器５Ｊは、剥離
されたカバーフィルム１ｄが剥離方向設定板５の薄膜付
着面に付着されているか否か、つまり剥離状態を検出す
るように構成されている。吸着圧検出器５Ｊは、吸着圧
が高い場合には薄膜付着面にカバーフィルム１ｄが確実
に付着している検出信号を出力し、そうでない場合には
反対の検出信号を出方するように構成されている。これ
らの検出信号は。

空気圧や差動トランス等により電気信号に変換され、制
御回路５Ｋ又は表示装置５Ｌに出力される。

また、前記検出信号は、リンク機構により機械的に制御
回路５Ｋ又は表示装置５Ｌに出力してもよい。吸着圧検
出器５Ｊ及び制御回路５Ｋ又は表示装置ＳＬは、薄膜剥
離状態検出装置を構成するようになっている。制御回路
５には、第１図に示すように、薄膜剥離装置本体の中央
部分に配置されている。表示装置５Ｌは、同様に第１図
に示すように、作業者が確認し易い薄膜剥離装置本体の
上部に設けられている。

前記制御回路５には、吸着圧検出器５Ｊの出力信号によ
り、搬送用駆動ローラ２の回転の制御、剥離動作の制御
を行うように構成されている０例えば、制御回路５には
、吸着圧検出器５Ｊからカバーフィルム１ｄが剥離され
ていない検出信号が入力すると、薄膜搬送装置６の動作
を停止し、薄膜剥離不良基板を搬送用駆動ローラ２でそ
の排除が可能な所定位置（不良基板排除装置）まで搬送
するように構成されている。つまり、制御回路５には、
薄膜剥離不良基板を基板搬送経路Ａ−Ａから排除し、次
段の現像装置に搬送することを防止することができるよ
うに構成されている。

前記表示装置５Ｌは１例えば、ブザー等の音声発生装置
、ランプ等の光発生装置で構成されている。表示装置５
Ｌは、前記制御回路５にと同様に、薄膜剥離不良基板を
基板搬送経路Ａ−Ａから排除し、次段の現像装置に搬送
することを防止できるように、作業者に知らせるように
構成されている。

カバーフィルム１ｄの剥離状態の検出精度を高めるため
には、剥離方向設定板５の薄膜付着面に複数の薄膜吸着
用孔５Ｅを設け、この薄膜吸着用孔５Ｅの夫々に薄膜剥
離状態検出装置を設けることが好ましい。

このように、薄膜吸着用孔５Ｅと吸着装置５Ｈとの間に
薄膜剥離状態検出装置を設けることにより、カバーフィ
ルム１ｄが剥離されているか否かを検出し、薄膜剥離不
良基板を検出することができるので、薄膜剥離不良基板
を基板搬送経路Ａ−Ａから排除し１次段の現像装置に搬
送することを防止することができる。これによって、薄
膜剥離不良基板は、再使用が可能となるので、プリント
配線用基板１の製造上の歩留りを向上することができる
。

さらに、剥離方向設定板５の薄膜付着面には。

第１０図に示すように、薄膜吸着用孔５Ｅと同様に貫通
した薄膜剥離状態検出用孔５Ｆが設けられている。薄膜
剥離状態検出用孔５Ｆは、光センサ１１からの放射光が
通過するように構成されており。

カバーフィルム１ｄが剥離方向設定板５の薄膜付着面に
付着されているか否か、つまり剥離状態を検出するよう
に構成されている。光センサ１１は、前記薄膜剥離状態
検出用孔５Ｆがカバーフィルム１ｄで塞がれていると、
カバーフィルム１ｄによる反射光を検出できるように構
成されている。薄膜剥離状態検出用孔５Ｆ及び光センサ
１１で薄膜付着面にカバーフィルム１ｄの付着が確認で
きないプリント配線用基板１（薄膜剥離不良基板）は、
前述と同様に、この後に基板搬送経路Ａ−Ａから排除さ
れる。光センサ１１は１反射型（又は透過型）で構成し
、第３図に示すように、装置本体７に取り付けられてい
る。

このように構成される剥離方向設定板５は、カバーフィ
ルムＩＤの剥離位置を安定させると共に、カバーフィル
ムＩＤに−様な剥離力を加えることができる。したがっ
て、剥離方向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離時
における剥離位置の変動防止、剥離応力の偏りを防止し
、感光性樹脂層ＩＣを損傷、破壊させないようにするこ
とができる。

なお、剥離方向設定板５の薄膜付着面は、カバーフィル
ムＩＤの材質、流体吹付装置４の流体圧、プリント配線
用基板１の搬送速度等の条件変化に応じて、カバーフィ
ルムＩＤとそれを剥離したカバーフィルム１ｄの剥離方
向とがなす角度が鈍角になるように構成してもよい、ま
た、剥離方向設定板５の薄膜付着面の角度は、空気シリ
ンダ等の駆動源で変化することができるように構成して
もよい。さらに、この剥離方向設定板５の角度の変化に
応じて、薄膜搬送装置６の固定搬送ベルト、可動搬送ベ
ルト等の位置や角度を変化することができるように構成
してもよい。

また、本発明は、前記剥離方向設定板５の薄膜付着面に
、基板搬送方向と交差する方向又はカバーフィルム１ｄ
の剥離する方向に延在する複数本の溝を設け、薄膜付着
面及び溝底面に複数の薄膜吸着用孔５Ｅを設け、夫々の
薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置に接続してもよい、このよ
うに構成される剥離方向設定板５は、薄膜付着面にカバ
ーフィルム１ｄを確実に付着させることができると共に
、その後に薄膜搬送装置６に搬送（排出）するに際して
、薄膜付着面からカバーフィルム１ｄを瞬時に離すこと
ができるので、薄膜搬送装置６によるカバーフィルム１
ｄの搬送を確実に行うことができる。

流体吹付装置４で剥離方向設定板５の薄膜付着面に付着
したカバーフィルム１ｄは、第１図、第２図及び第１２
図（要部斜視図）で示す薄膜搬送装置（薄膜排出装置）
６で剥離しながら搬送され排出される。この時、剥離方
向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離位置を規定す
ると共に、カバーフィルムＩＤの剥離を補助するように
構成されている。

薄膜搬送装置６は、第２図に示すように、主に、プリン
ト配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの上側に設けられた上
部薄膜搬送装置（上部搬送ベルト機構）と、下側に設け
られた下部薄膜搬送装置（下部搬送ベルト機構）とで構
成されている。上部薄膜搬送装置は、第１薄膜搬送装置
（６Ａ及び６Ｂ）及び第２薄膜搬送装置（６Ｄ）で構成
されている。

上部薄膜搬送装置の第１薄膜搬送装置は、第２図で詳細
に示すように、固定搬送ベルト（固定搬送ベルトコンベ
ア）６Ａ及び可動搬送ベルト（可動搬送ベルトコンベア
）６Ｂで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸に支持されたローラ６　
Ａ　ａ、従動軸に支持されたローラ６Ａｂ、駆動軸に支
持されたローラ６Ａｃ及びローラ６Ａａ　＋　６　Ａ　
ｂ　ｇ　６　Ａ　ｃの夫々に巻き回されたベルト６ａで
構成されている。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸に支持されたローラ６Ｂ
ａ、従動軸に支持されたローラ６Ｂｂ、駆動軸に支持さ
れたローラ６Ｂｃ及びローラ６Ｂａ　＊　６　Ｂ　ｂ　
＋　６　Ｂ　ｃの夫々に巻き回されたベルト６ｂで構成
されている。可動搬送ベルト６Ｂは、ローラ６Ｂｂが支
持された従動軸を中心に、第２図に示すように、ローラ
（３Ｂａが矢印り方向に回転するように構成されている
。この可動搬送ベルト６Ｂは、剥離されたカバーフィル
ム１ｄを剥離方向設定板５に付着させ易くすると共に、
このカバーフィルム１ｄを固定搬送ベルト６Ａと共に挟
持するように構成されている。剥離方向設定板５の薄膜
付着面に付着されたカバーフィルム１ｄは。

固定搬送ベルト６Ａのベルト６ａ及び可動搬送ベルト６
Ｂのベルト６ｂで挟持されると、その挟持した状態で上
方向に搬送される。したがって、カバーフィルム１ｄは
、固定搬送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂでプリン
ト配線用基板１の表面から剥離しながら搬送される。

また、固定搬送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂとの
挟持は、第１０図に示す剥離方向設定板５に設けられた
切込部５Ｇを通して行われる。この切込部５Ｇは、剥離
方向設定板５で剥離位置、剥離角度及び剥離方向が設定
されたカバーフィルム１ｄに固定搬送ベルト６Ａと可動
搬送ベルト６Ｂとが達し１両者でそれを挟持できるよう
に構成されている。すなわち、切込部５Ｇは、固定搬送
ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとでカバーフィルム１
ｄを確実に挟持できるように構成されている。

第１薄膜搬送装置である固定搬送ベルト６Ａ及び可動搬
送ベルト６Ｂで挟持された状態において搬送されたカバ
ーフィルム１ｄは、ガイド部材６Ｃａ及び６Ｃｂ矢印Ｍ
方向に誘動され、第２薄膜搬送装置に搬送される。

ガイド部材６Ｃａ、６Ｃｂの夫々は、カバーフィルム１
ｄの搬送方向を垂直方向から水平方向に変えるように構
成されている。ガイド部材６Ｃａ、６Ｃｂの夫々は、カ
バーフィルム１ｄとの接触面積をできる限り小さくでき
るように棒状部材によって構成され、プリント配線用基
板１の搬送経路Ａ−Ａと交差する方向において複数個設
けられている。ガイド部材６　Ｃａ及び６Ｃｂはステン
レス鋼等の導電性材料で構成する。導電性材料で構成さ
れるガイド部材（３Ｃａ及び６Ｃｂは、剥離時や搬送時
にカバーフィルム１ｄに発生した静電気を放電できるよ
うに構成されている。また、ガイド部材６　Ｃａ及び６
Ｃｂは樹脂等の絶縁性材料で構成してもよい。

また、刀イド部材６Ｃａ、６Ｃｂの夫々は、第１薄膜搬
送装置から第２薄膜搬送装置にカバーフィルム１ｄを搬
送する際に、固定搬送ベルト６Ａのローラ６Ａｃや可動
搬送ベルト６Ｂのローラ６Ｂｃにカバーフィルム１ｄが
巻き込まれることを防止するように構成されている。

ガイド部材６　Ｃａ、６Ｃｂの夫々の近傍には、流体噴
出装置１２及び除電装置１５が設けられている。

ガイド部材５　Ｃａの近傍に設けられた流体噴出装置１
２は矢印Ｎ方向に流体を噴出するように構成されている
。ガイド部材６Ｃｂの近傍に設けられた流体噴出装置ｔ
！１２は、矢印０方向に流体を噴出するように構成され
ている。これらの流体噴出装置１２は、第１薄膜搬送装
置で搬送されたカバーフィルム１ｄの両面側に流体を通
過させ、カバーフィルム１ｄをスムーズに第２薄膜搬送
装置に搬送するように構成されている。また、流体噴出
装置１２は、第１′Ｒ膜搬送装置から第２薄膜搬送装置
にカバーフィルム１ｄを搬送する際に、固定搬送ベルト
６Ａのローラ６　Ａ　ｃや可動搬送ベルト６Ｂのローラ
（３Ｂｃにカバーフィルム１ｄが巻き込まれることを防
止するように構成されている。

除電装置１５は、剥離時や搬送時にカバーフィルム１ｄ
に発生した静電気を低減できるように構成されている。

前記第１薄膜搬送装置で搬送されたカバーフィルム１ｄ
は第１図、第２図、第１２図及び第１３図（第１２図の
要部拡大斜視図）に示すように第２薄膜搬送装置に搬送
され、第２薄膜搬送装置によって搬送され排出される。

第２薄膜搬送装置（６Ｄ）は、主に、駆動ローラ６Ｄａ
、駆動軸６Ｄｂ、従動ローラ６ＤＱ、従動軸６Ｄｄ、搬
送用ベルト６Ｄｓ、枠体６Ｄｆ、支持体６Ｄｇ、駆動用
モータ６Ｄｈで構成されている。

前記駆動ローラ６　Ｄ　ａは駆動軸６Ｄｂに取り付けら
れている。駆動ローラ５Ｄａは、駆動軸６Ｄｂ及び伝達
ベルト（３Ｄｉを介在させて駆動用モータ６Ｄｈに連結
されており、駆動用モータ６Ｄｈによって矢印Ｐ方向に
回転するように構成されている。駆動ローラ６Ｄａは、
その円周部に所定の間隔で歯が設けられた歯車或はスプ
ロケットで構成されている。駆動ローラ６Ｄａは導電性
材料例えば鋼、ステンレス鋼、導電性樹脂で構成する。

駆動ローラ（３Ｄａは、駆動軸６Ｄｂの軸方向に沿って
複数個配置されており、この駆動軸６Ｄｂを介在させて
その両端部において枠体６Ｄｆで支持されている。

従動ローラ６Ｄｃは従動軸６Ｄｄに取り付けられている
。従動ローラ６ＤＣは、搬送用ベルト６Ｄｅを介在させ
て駆動ローラ（３Ｄａの回転力が伝達されるように構成
されている。従動ローラ６ＤＣは、基本的にはその円周
部に歯を設けていない回転体で構成されている。従動ロ
ーラ６ＤＣは駆動ローラ６Ｄａと同一材料で構成されて
いる。従動ローラ６００は、従動軸６Ｄｄの軸方向に沿
って複数個配置されており、この従動軸６Ｄｄを介在さ
せてその両端部において枠体６Ｄｆで支持されている。

搬送用ベルト６Ｄｅは前記駆動ローラ６Ｄａ及び従動ロ
ーラ６Ｄｃに巻き回されている。この撤退用ベルト［３
Ｄｅは、第１２図に示すように、第１薄１□、コ送装置
で矢印Ｍ方向に搬送されたカバーフィルム１ｄをプリン
ト配線用基板１の搬送方向Ａ（又は搬送経路Ａ−Ａ）と
交差する方向である矢印Ｑ方向に搬送するように構成さ
れている。この搬送用ベルト（３Ｄｅは、第１薄膜搬送
装置で搬送されたカバーフィルム１ｄを載置し、この載
置した状態でカバーフィルム１ｄを実質的に水平方向に
搬送するように構成されている。

搬送用ベルト６Ｄｅは導電性材料例えばステンレス鋼、
銅、導電性樹脂で構成されている。この搬送泪ベルト６
Ｄｅは、前述の導電性材料を線状に形成し、この線状の
導電性材料を編んだメツシュ形状で構成されている。こ
の搬送用ベルト６Ｄｅのメツシュのサイズは、種々選別
することができるが、基本的にはカバーフィルム１ｄを
載置し搬送することができればよい。

前記枠体６Ｄｆは、支持体６Ｄｇを介在させて薄膜剥離
装置本体７に取り付けられている。枠体６Ｄｆ及び支持
体６Ｄｇは導電性材料例えばステンレス鋼で構成されて
いる。

搬送用ベルト６Ｄｅを中心に、前記ガイド部材６Ｃａ及
び６Ｃｂに対向する位置には、ストッパ一部材６Ｄｊが
設けられている。ストッパ一部材６Ｄｊは、第１薄膜搬
送装置から矢印Ｍ方向に搬送されるカバーフィルム１ｄ
を確実に搬送用ベルトＧＤｅ上に載置できるように構成
されている。

ストッパ一部材６Ｄｊは枠体６Ｄｆに取り付けられてい
る。

第２薄膜搬送装置は、プリント配線用基板１のカバーフ
ィルムＩＤを剥離する位置（剥離方向設定板５の位置）
よりも前段側のプリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａ
の上部に配置されている。

つまり、第２薄膜搬送装置は、剥離されたカバーフィル
ム１ｄに付着する異物（ゴミ）や第２薄膜搬送装置から
の異物がカバーフィルムＩＤを剥離したプリント配線用
基板１の感光性樹脂層ＩＣの表面に付着すること低減で
きる位置に配置されている。また、前記カバーフィルム
ＩＤを剥離する位置よりも後段側は薄膜浮上装置３、流
体吹付装置４及び後述する不良基板排除装置１８等が設
けられているので、それらのメンテナンス作業性を向上
するために、第２薄膜搬送装置は前述のように前段側に
配置されている。

前記第２薄膜搬送装置の搬送用ベルト６Ｄｅで矢印Ｑ方
向に搬送されるカバーフィルム１ｄは。

プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの側部に設けら
れた排出用ガイド部材６Ｅを通して、矢印Ｒ方向に搬送
される。この搬送されたカバーフィルム１ｄは、前記搬
送経路Ａ−Ａと交差する方向に若干突出した薄膜排出収
納容器１３に排出される。

前記排出用ガイド部材６Ｅは、できる限り狭いスペース
においてカバーフィルム１ｄを下方の薄膜排出収納容器
１３に排出できるように、カバーフィルム１ｄの搬送経
路を規定するように構成されている。排出用ガイド部材
６Ｅは、基本的にはどのような材料で構成してもよいが
、本実施例ではステンレス鋼で構成されている。

薄膜排出収納容器１３は、プリント配線用基板１の搬送
経路Ａ−Ａと同一方向に短く、搬送経路Ａ−Ａと交差す
る方向に長く、プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａ
の高さ（例えば地上約１［ｍ］程度）よりも低い高さを
有する長方体形状で構成されている。薄膜排出収納容器
１３は、下部薄膜搬送装置（第３薄膜搬送装置）で搬送
されるカバーフィルム１ｄを排出する薄膜排出収納容器
を若干排出用ガイド部材６Ｅに相当する分大きくして構
成されている。言換すれば、薄膜排出収納容器１３は、
上部薄膜搬送装置で搬送されるカバーフィルム１ｄを排
出する薄膜排出収納容器と、下部薄膜搬送装置で搬送さ
れるカバーフィルム１ｄを排出する薄膜排出収納容器と
を一体に構成した（両者を共有した）ものである。

薄膜排出収納容器１３は、アルミニウム合金等の軽金属
材料、ステンレス鋼等の金属材料、樹脂材料或は木材等
で構成されている。薄膜排出収納容器１３の側面には、
カバーフィルム１ｄが排出される時にその下部の空気（
薄膜排出収納容器１３の内部の空気）を引き抜くために
、長方形状の空気引抜用穴１３Ａが複数設けられている
。この空気引抜用穴１３Ａは丸形状で構成してもよい。

前記下部薄膜搬装置は、第２図に示すように、固定搬送
ベルト６Ｆと可動搬送ベルト６Ｇとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ｆは、夫々別々の従動軸に支持された
ローラ６Ｆａ、６Ｆｂ、駆動軸に支持されたローラ６Ｆ
ｃ及びローラ６Ｆａ〜６Ｆｃに巻き回されたベルト６ｆ
で構成されている。

可動搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸に支持された
ローラ（３Ｇａ、６Ｇｃ、駆動軸に支持されたローラ６
Ｇｂ及びローラ６Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６
ｇで構成されている。可動搬送ベルト６Ｇは、前記可動
搬送ベルト６Ｂと同様に、矢印り方向に回転するように
構成されている。

前記下部薄膜搬送装置は、上部薄膜搬送装置の第１薄膜
搬送装置と同様に、剥離方向設定板５で剥離位置及び剥
離方向が設定されたプリント配線用基板１のもう一方の
カバーフィルム１ｄを剥離しながら搬送するとともに、
下方向（矢印Ｓ方向）にカバーフィルム１ｄを排出する
ように構成されている。

前記上部薄膜搬送装置を構成するベルト６ａ及び６ｂ、
下部薄膜搬送装置を構成するベルト６ｆ及び６ｇの夫々
は歯付ゴムベルトで構成されている。ローラ６Ａａ、６
Ａｂ、６Ａｃ、６Ｂａ、６Ｂｂ、６Ｂｃ、ローラ１３　
Ｆ　ａ　ｔ　６　Ｆ　ｂ　ｐ　６　Ｆ　ｃ、ローラ（３
Ｇ　ａ　ｒ　６　Ｇ　ｂ　ｐ　６　Ｇ　ｃの夫々は、歯
付プーリで構成されている。すなわち、これらローラは
ベルトの走行が確実なもので構成されている。

また、歯付ゴムベルト及び歯付プーリに代えて、ベルト
は表面が粗く摩擦が大きなゴムベルトで構成し、ローラ
は網目ローレット模様仕上げ等を施した表面が粗いロー
ラで構成してもよい。

前記固定搬送ベルト６Ｆ、可動搬送ベルト６Ｇの夫々の
排出部の薄膜搬送経路の近傍には、第２図に示すように
、排出されるカバーフィルム１ｄにその排出方向に流体
を吹き付ける流体噴出装置１２が設けられている。流体
噴出装置１２は、排出されるカバーフィルム１ｄを流体
の噴出で確実に排出方向に誘導できるように構成されて
いる。前述の流体噴出装置１２も同様であるが、この流
体噴出装置１２は流体が噴出する噴出口が設けられたパ
イプで構成されている。流体としては、圧力を加えた空
気、不活性ガス等の気体を使用する。また、流体として
、水等の液体を使用することも可能である。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置、可動搬送ベルト６Ｇに近接した位置の夫々に
は、除電装置１５とイオン拡散装置１６の夫々が設けら
れている。除電装置１５は、イオンを放出し、剥離や搬
送時にカバーフィルム１ｄが帯電することを低減できる
ように構成されている。イオン拡散装置１６は、除電装
置１５から放出されたイオンを拡散し、カバーフィルム
１ｄの帯電を効率良く低減できるように構成されている
。イオン拡散装置１６は１例えば、圧力が加えられた空
気等の流体でイオンを拡散するように構成されている。

このように、プリント配線用基板１に張り付けられたカ
バーフィルムＩＤの一部を剥離し、この剥離された一部
分からカバーフィルムＩＤを剥離すると共にこの剥離さ
れたカバーフィルム１ｄを排出する薄膜剥離装置におい
て、前記剥離されたカバーフィルム１ｄの一部を挟持し
てプリント配線用基板１からカバーフィルムＩＤを剥離
すると共に、挟持した状態でカバーフィルム１ｄをプリ
ント配線用基板１の表面側の上方向に搬送する第１薄膜
搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）を設け、該第１薄膜搬送装置
で搬送されたカバーフィルム１ｄを載置し、この状態で
カバーフィルム１ｄをプリント配線用基板１の搬送経路
Ａ’−Ａと交差する方向に搬送する第２薄膜搬送装置（
６Ｄ）を設けたことにより、カバーフィルム１ｄを挟持
した状態で搬送する長さ（第１薄膜搬送装置の長さ）を
第２薄膜搬送装置に相当する分短縮することができるの
で、カバーフィルム１ｄの排出経路におけるカバーフィ
ルム１ｄの搬送不良（ジャム）を低減することができる
。

また、前記構成に、前記第１薄膜搬送装置で搬送された
カバーフィルム１ｄを載置しかつこの状態でカバーフィ
ルム１ｄをプリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａと交
差する方向に搬送する導電性の搬送用ベルト６Ｄｅを有
する第２薄膜搬送装置を設けたことにより、前記効果を
有すると共に、プリント配線用基板１からカバーフィル
ムＩＤを剥離した時や第１薄膜搬送装置でカバーフィル
ム１ｄを搬送する時に発生する静電気を前記導電性の搬
送用ベルト５Ｄｅで放電することができるので、カバー
フィルム１ｄの搬送経路における前記静電気の発生に起
因するカバーフィルム１ｄの搬送不良を低減することが
できる。

また、前記プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの上
部に、搬送用ベルト６Ｄ８をメツシュで形成した第２薄
膜搬送装置を設けることにより、プリント配線用基板１
の搬送状態を作業者が確認することができる。

また、前記第２薄膜搬送装置の搬送用ベルト６Ｄｅをメ
ツシュで構成することにより、搬送用ベルト６Ｄｅで囲
まれた領域内からその外側に向って流体を噴出する流体
噴出装置１２を設けることができる。

また、前記構成に、前記第２薄膜搬送装置を前記カバー
フィルムＩＤを剥離する位置よりも前段側の前記プリン
ト配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの上部に設けた構成を
加えることにより、前記の効果を有すると共に、剥離さ
れたカバーフィルム１ｄに付着する異物や第２１膜搬送
装置からの異物がカバーフィルムＩＤを剥離したプリン
ト配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣの表面に付着するこ
とを低減することができるので、プリント配線用基板１
の製造上の歩留りを向上することができる。

また、プリント配線用基板１に張り付けられたカバーフ
ィルムＩＤの一部を剥離し、この剥離された一部分から
カバーフィルムＩＤを剥離すると共にこの剥離されたカ
バーフィルム１ｄを薄膜排出収納容器に排出する薄膜剥
離装置において、前記剥離されたカバーフィルム１ｄの
一部を挟持してプリント配線用基板１からカバーフィル
ムＩＤを剥離すると共に、挟持した状態でカバーフィル
ムｌｃｌをプリント配線用基板１の表面側の上方向に搬
送する第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）を設け、該第
１薄膜搬送装置で搬送されたカバーフィルム１ｄを載置
しかつこの状態でカバーフィルム１ｄを前記プリント配
線用基板１の搬送経路Ａ−Ａと交差する方向に搬送する
第２薄膜搬送装置（６Ｄ）を設け、該第２薄膜搬送装置
で搬送されたカバーフィルム１ｄを収納する薄膜排出収
納容器１３を前記プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−
Ａの側部に設けたことにより、前記効果を有すると共に
、前記薄膜排出収納容器１３をプリント配線用基板１の
搬送経路Ａ−Ａの側部の低い位置に設けたので、排出さ
れたカバーフィルム１ｄの廃棄処理作業等、薄膜排出収
納容器１３の取扱いの作業性を向上することができる。

また、プリント配線用基板１の夫々の表面に張り付けら
れたカバーフィルムＩＤの一部を剥離し。

この剥離された一部分からカバーフィルムＩＤを剥離す
ると共にこの剥離されたカバーフィルム１ｄを薄膜排出
収納容器に排出する薄膜剥離装置であって、前記プリン
ト配線用基板１の上側表面の剥離されたカバーフィルム
１ｄの一部を挟持してプリント配線用基板１からカバー
フィルムＩＤを剥離すると共に、挟持した状態でカバー
フィルム１ｄをプリント配線用基板１の表面側の上方向
に搬送する第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）を設け。

該第１薄膜搬送装置で搬送されたカバーフィルム１ｄを
載置しかつこの状態でカバーフィルム１ｄを前記プリン
ト配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａと交差する方向に搬送
する第２薄膜搬送装置（６Ｄ）を設け、該第２薄膜搬送
装置で搬送されたカバーフィルム１ｄを収納する第１薄
膜排出収納容器１３を前記プリント配線用基板１の搬送
経路Ａ−Ａの側部に設け、前記プリント配線用基板１の
下側表面の剥離されたカバーフィルム１ｄの一部を挟持
してプリント配線用基板工からカバーフィルムよりを剥
離すると共に、挟持した状態でカバーフィルム１ｄをプ
リント配線用基板１の表面側の下方向に搬送する下部薄
膜搬送装置（第３薄膜搬送装置６Ｆ及び６Ｇ）を設け、
該第３Ｂ膜搬送装置で搬送されたカバーフィルム１ｄを
収納する第２薄膜排出収納容器１３を前記プリント配線
用基板１の搬送経路Ａ−Ａの下部に前記第１薄膜排出収
納容器１３と一体に構成しく共有し）で設けたことによ
り、前記効果を有すると共に、第１薄膜排出収納容器１
３に相当する分、薄膜排出収納容器１３のサイズを縮小
することができるので、薄膜剥離装置の小型化を図るこ
とができる。

なお、第１図に示すプリント配線用基板１の搬送経路Ａ
−Ａにおいて、プリント配線用基板１のカバーフィルム
ＩＤを剥離する位置よりも前段には、搬送経路Ａ−Ａの
幅方向の中心位置とプリント配線用基板１の幅方向の中
心位置とを一致させる中心位置合せ装置１７が設けられ
ている。また、前記搬送経路Ａ−Ａにおいて、プリント
配線用基板１のカバーフィルムＩＤを剥離する位置より
も後段には、薄膜剥離不良基板を搬送経路Ａ−Ａから排
除する不良基板排除装置１８が設けられている。

不良基板排除装置１８は、薄膜剥離不良基板を搬送経路
Ａ−Ａから矢印Ｔ方向に排除し、排出部１８Ａに収納す
るように構成されている。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、本発明は、薄膜搬送装置６の第２薄膜搬送装置
（６Ｄ）の搬送用ベルト６Ｄｅを絶縁性材料例えばゴム
材料で構成してもよい。

また１本発明は、前記搬送用ベルト６Ｄｅをメツシュで
構成しなくてもよい。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

薄膜剥離装置において、薄膜の搬送不良を低減すること
ができる。

薄膜剥離装置において、基板の製造上の歩留りを向上す
ることができる。

薄膜剥離装置において、薄膜を排出する薄膜排出収納容
器の取扱いの作業性を向上することができる。

薄膜剥離装置の小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図は、第１
図の要部拡大側面図、第３図は、第２図の要部拡大斜視図、第４図は、第１図の拡大分解斜視図、第５図乃至第９図は、前記保護膜剥離装置の剥離動作を
各工程毎に示す要部拡大断面図。第１０図は、第２図の要部斜視図、第１１図は、前記第１０図に示す薄膜剥離状態検出装置
のブロック構成図、第１２図は、第１図に示す薄膜搬送装置の要部概略斜視
図、第１３図は、第１２図の要部拡大斜視図である。図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＣ・・・感光性
樹脂層、ＩＤ、ｌｄ・・・カバーフィルム、２・・・搬
送用駆動ローラ、３・・・薄膜浮上装置、３Ａ・・・浮
上部材、３Ｂ・・・空気式振動装置、４・・・流体吹付
装置、４Ａ・・・ノズル、５・・・剥離方向設定板、６
・・・薄膜搬送装置、６Ａ、６Ｆ・・・固定搬送ベルト
、６Ｂ、６Ｇ・・・可動搬送ベルト、６Ａａ〜６Ｇｃ・
・・ローラ、６ａ〜６ｇ・・・ベルト、６Ａ及び６Ｂ・
・・第１薄膜搬送装置、６Ｄ・・・第２？Ｗ膜搬送装置
、６Ｆ及び６Ｇ・・・第３薄膜搬送装置、６Ｃ・・・ガ
イド部材、６Ｄａ・・・駆動ローラ、６Ｄｃ・・・従動
ローラ、６Ｄｅ・・・搬送用ベルト、６Ｄｈ・・・駆動
用モータ、６Ｅ・・・排出用ガイド部材、７・・・装置
本体、１３・・・薄膜排出収納容器である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離さ
れた薄膜を排出する薄膜剥離装置において、前記剥離さ
れた薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共
に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送
する第１薄膜搬送装置を設け、該第１薄膜搬送装置で搬
送された薄膜を載置し、この状態で薄膜を基板の搬送方
向と交差する方向に搬送する第２薄膜搬送装置を設けた
ことを特徴とする薄膜剥離装置。
（２）前記第１薄膜搬送装置は前記基板の表面に対して
実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第２
薄膜搬送装置は前記基板の表面に対して平行な面におい
て基板の搬送方向と交差する方向に薄膜を搬送するよう
に構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載に薄膜剥離装置。
（３）前記第１薄膜搬送装置と前記第２薄膜搬送装置と
の間には、薄膜の搬送方向を変化させるガイド部材が設
けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項に記載の薄膜剥離装置。
（４）前記ガイド部材は線状の導電性材料で構成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載の薄
膜剥離装置。
（５）前記第１薄膜搬送装置と前記第２薄膜搬送装置と
の間には、前者から後者に薄膜をスムーズに搬送するた
めの流体噴出装置が設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第２項乃至第４項に記載の夫々の薄膜剥離
装置。
（６）前記第１薄膜搬送装置と前記第２薄膜搬送装置と
の間には、前者から後者に薄膜をスムーズに搬送するた
めの除電装置が設けられていることを特徴とする特許請
求の範囲第２項乃至第５項に記載の夫々の薄膜剥離装置
。
（７）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離さ
れた薄膜を排出する薄膜剥離装置において、前記剥離さ
れた薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共
に、挟持した状態で薄膜を前記基板の表面側の上方向に
搬送する第１薄膜搬送装置を設け、該第１薄膜搬送装置
で搬送された薄膜を載置しかつこの状態で薄膜を基板の
搬送方向と交差する方向に搬送する導電性ベルトを有す
る第２薄膜搬送装置を設けたことを特徴とする薄膜剥離
装置。
（８）前記第２薄膜搬送装置の導電性ベルトは、線状の
ステンレス鋼材を編んで構成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第７項に記載の薄膜剥離装置。
（９）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離さ
れた薄膜を排出する薄膜剥離装置において、前記剥離さ
れた薄膜の一部を挟持して前記基板から薄膜を剥離する
と共に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に
搬送する第１薄膜搬送装置を設け、該第１薄膜搬送装置
で搬送された薄膜を載置しかつこの状態で薄膜を前記基
板の搬送方向と交差する方向に搬送する第２薄膜搬送装
置を設け、該第２薄膜搬送装置を前記薄膜を剥離する位
置よりも前段側の前記基板の搬送経路の上部に設けたこ
とを特徴とする薄膜剥離装置。
（１０）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、こ
の剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離
された薄膜を薄膜排出収納容器に排出する薄膜剥離装置
において、前記剥離された薄膜の一部を挟持して基板か
ら薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜を基板の
表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送装置を設け、該
第１薄膜搬送装置で搬送された薄膜を載置しかつこの状
態で薄膜を前記基板の搬送経路と交差する方向に搬送す
る第２薄膜搬送装置を設け、該第２薄膜搬送装置で搬送
された薄膜を収納する薄膜排出収納容器を前記基板の搬
送経路の側部に設けたことを特徴とする薄膜剥離装置。
（１１）基板の夫々の表面に張り付けられた薄膜の一部
を剥離し、この剥離された一部分から薄膜を剥離すると
共にこの剥離された薄膜を薄膜排出収納容器に排出する
薄膜剥離装置であって、前記基板の上側表面の剥離され
た薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共に
、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送す
る第１薄膜搬送装置を設け、該第１薄膜搬送装置で搬送
された薄膜を載置しかつこの状態で薄膜を前記基板の搬
送経路と交差する方向に搬送する第２薄膜搬送装置を設
け、該第２薄膜搬送装置で搬送された薄膜を収納する第
１薄膜排出収納容器を前記基板の搬送経路の側部に設け
、前記基板の下側表面の剥離された薄膜の一部を挟持し
て基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜
を基板の表面側の下方向に搬送する第３薄膜搬送装置を
設け、該第３薄膜搬送装置で搬送された薄膜を収納する
第２薄膜排出収納容器を前記基板の搬送経路の下部に前
記第１薄膜排出収納容器と一体に構成して設けたことを
特徴とする薄膜剥離装置。