JPS63154582A - 薄膜の剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォ１〜レジスト）層とそれを保護する透光性
樹脂製カバーフィルム（以下、カバーフィルムという）
とからなる積層体を熱圧着ラミネートする。この後、配
線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム
及び前記カバーフィルムを通して、感光性樹脂層を所定
時間露光する。そして、カバーフィルムを剥離した後、
露光された感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパ
ターンを形成する。この後、前記導電層の不必要部分を
エツチングにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層
を除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線板
を形成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、カバーフィルムを
剥離する工程が必要とされている。

このカバーフィルムの剥離は、人手作業に頼っており、
該フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性
樹脂層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の
器用さ及び非常な熟練を要する。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている積
層体のうち、カバーフィルムの一部を針。

ブラシ、ローレット等で浮上させ、その浮上した部分に
流体を吹き付け、カバーフィルムを剥離することを自動
的に行ったものである。流体を吹き付けて剥離されたカ
バーフィルムは、一旦、剥離方向設定板に付着保持され
、この後、薄膜搬送装置で基板に張り付けられたカバー
フィルムを剥離しながら搬送される。薄膜搬送装置は、
自動薄膜剥離装置に接続又は内蔵されており、搬送ベル
トで構成されている。薄膜搬送装置で搬送されたカバー
フィルムは、薄膜排出収納容器に排出される。

しかしながら、前記カバーフィルムの剥離工程において
、剥離されたカバーフィルムの剥離方向設定板への付着
性及び保持性が低い。このため、剥離されたカバーフィ
ルムは、薄膜搬送装置のりα＝４− 送ベルトで挟持することができない場合があるので、基
板に張り付けられたカバーフィルムを剥離しながらその
排出を行うことができないという問題があった。

また、前記薄膜剥離工程においては、カバーフィルムが
剥離されているか否かの検出が光センサによって行われ
ている。しかしながら、前述のようにカバーフィルムの
剥離方向設定板への付着性及び保持性が低いので、光セ
ンサでカバーフィルムが剥離されているか否かの検出不
確実になる。

このため、カバーフィルムを剥離したにもかかわらず剥
離していない信号を光センサで出力し、前記搬送ベルト
が始動しなかったり、又、剥離後に剥離方向設定板から
カバーフィルムが離れて、搬送ベルトでカバーフィルム
を挟持できなかったりする問題があった。

本発明の目的は、剥離方向設定板を有する薄膜剥離装置
において、前記剥離方向設定板に、基板から剥離された
薄膜を確実に付着保持することが可能な技術を提供する
ことにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、基板
に張り付けられた薄膜を確実に剥離し、不良基板を低減
することが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、前記
不良基板を検出することが可能な技術を提供することに
ある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、製造
上の歩留りを向上することが可能な技術を提供すること
にある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられた薄膜の一部
を剥離し、この剥離された薄膜の一部を剥離方向設定板
に付着させた後、この薄膜を薄膜搬送装置で排出しなが
ら、前記基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥離
装置であって、前記剥離方向設定板の薄膜付着面を導電
性部材で構成し、該導電性部材を絶縁体上に設けたこと
を特徴としたものである。

また、本発明は、前記構成に、前記導電性部材及び前記
剥離方向設定板に、両者を貫通する薄膜吸着用孔を設け
、該薄膜吸着用孔に基板から剥離された薄膜を吸着する
吸着装置を接続したことを特徴としたものである。

また、本発明は、前記構成に、前記薄膜吸着用孔と吸着
装置との接続経路に、該吸着装置の吸着圧によって薄膜
の剥離状態を検出する薄膜剥離状態検出装置を設けたこ
とを特徴としたものである。

〔作用〕

本発明は、前記剥離方向設定板の薄膜付着面と基板から
剥離された薄膜との間に、静電容量によるクーロン力が
作用するので、剥離方向設定板に薄膜を確実に付着保持
することができる。これによって、基板に張り付けられ
た薄膜を確実に剥離することができるので、不良基板の
発生を防止することができる。

また、本発明は、前記薄膜吸着用孔から薄膜を剥離方向
設定板の吸着面に吸着させる吸引力が作用するので、剥
離方向設定板に薄膜をより確実に付着保持することがで
きる。

また、本発明は、前記薄膜吸着用孔と吸着装置との間の
接続経路における吸着圧の変化を検出し、薄膜が剥離さ
れているか否かの剥離状態を検出することができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図は、第１
図の薄膜剥離部分を示す要部拡大側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリン１〜配線用
基板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主
として、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロ
ーラ２で構成されている。

この搬送機構における基板搬送経路Ａ−Ａには、第２図
に示すように、薄膜浮上装置３、流体吹付装置４、剥離
方向設定板（剥離補助板）５及び薄膜搬送装置（薄膜排
出装置）６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第５図（要部拡大断面図
）で示すように、絶縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に
銅等の導電層ＩＢが形成されたものである。このプリン
ト配線用基板１の導電層ＩＤ上には、感光性樹脂層ＩＣ
とカバーフィルム（保護膜）ＩＤとからなる積層体が熱
圧着ラミネー１〜されている。感光性樹脂層ＩＣは所定
の配線パターンフィルムが重ねられ露光された後の状態
にある。プリント配線用基板１は、第１図及び第２図に
示す矢印六方向に搬送用駆動ローラ２で搬送されるよう
に構成されている。

前記薄膜浮上装置３は、第２図、第３図（要部斜視図）
及び第４図（拡大分解斜視図）に示すように構成されて
いる。

この薄膜浮上装置３は、プリント配線用基板１の両側面
に、夫々、少なくとも１個の浮上部材３Ａが設けられて
いる。浮上部材３Ａは、第３図で示すように、プリント
配線用基板１側の先端部が針状で構成されている。浮上
部材３Ａは、空気式振動装置３Ｂによって、矢印Ｂ方向
に振動するように構成されている。空気式振動装置３Ｂ
は、その詳細な構成を省略するが、流体供給管３Ｃによ
り加圧された空気が供給され、例えば、１分間に２００
〜３００ストロークの振動を浮上部材３Ａに与えるよう
に構成されている。

前記浮上部材３Ａの先端部は、感光性樹脂層ＩＣとカバ
ーフィルムＩＤからなる積層体の端部を振動押圧すなわ
ちエネルギを与えるように構成されている。エネルギが
与えられた積層体の端部は、感光性樹脂１１ｃからカバ
ーフィルムＩＤが浮上（剥離）するようになっている。

エネルギが与えられだ積層体の端部しこおいて、感光性
樹脂層ＩＣと導電層ＩＢとは、前記感光性樹脂ＪＷＩＣ
とカバーフィルムＩＤとの接着力に比べて強いので剥離
されない。

浮上部材３Ａの先端角度は、例えば、６０〜７０〔度〕
程度の角度で構成する。浮上部材３Ａの先端部は、プリ
ント配線用基板１の導電層ＩＢや積層体に損傷を生じな
いように、適度な曲率半径を有するように構成されてい
る。また、浮」；部材３Ａは、先端部の摩耗をできる限
り低減できるように、ステンレス鋼、炭素鋼等の金属器
材や、セラミック等の非鉄金属材料で構成されている。

基板搬送経路Ａ−Ａを中心に、その近傍の」１下に対向
する位置に設けられた夫々の浮−に部材３Ａ（実際には
空気式振動装置３Ｂ）は、ホルダ３Ｄを介して夫々側々
の浮」二部材支持回転軸３Ｅに支持されている。ホルダ
３Ｄは、固定ホルダ部３Ｄ。

と摺動ホルダ部３Ｄ２とで構成されている。固定ホルダ
部３Ｄ、は、浮上部材支持回転軸３Ｅに固着されている
。摺動ホルダ部３Ｄ２は、基板□□□送経路Ａ−Ａに対
して、所定の角度で浮上部材３Ａ（空気式振動装置３Ｂ
）を保持するように構成されている。さらに、摺動ホル
ダ部３Ｄ２は、所定の振動押圧力で積層体に浮上部材３
Ａを当接できるように、固定ホルダ部３Ｄ□（又は浮上
部材支持回転軸３Ｅ）に対して、矢印Ｃ方向に摺動でき
るように構成されている。摺動ホルダ部３Ｄ２の矢印Ｃ
方向への摺動は、図示していないが、例えば。

ばね等の弾性部材で制御される。

浮上部材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部は、第４
図に示すように、カイト部材３Ｆのガイド用長穴３ｆを
通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回転自在に連結さ
れている。ガイド部材３Ｆは、図示していないが、剥離
装置本体（７）にビス等の取付手段で固着されている。

ガイド用長穴３ｆは、プリント配線用基板１に近接又は
それから離反させる方向（矢印り方向）に、浮上部材支
持回転軸３Ｅすなわち浮上部材３Ａをガイドするように
構成されている。

上下、夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３
ｈを中心に矢印Ｅ方向に回転自在に取り付けられた回転
アーム部材３Ｈの回転軸３ｈを中心として対向する端部
に回転自在に取り付けられている。回転アーム部材３Ｈ
は、上下、夫々の移動アーム部材３Ｇを異なる矢印り方
向に移動させるように構成されている。上側（又は下側
）の浮上部材支持回転軸３Ｅの一端部には、連結アーム
部材３工を介在させて、両面兼用駆動源のシャツ１へ３
Ｊが接続されている。

前記浮上部材支持回転軸３Ｅをガイドするガイド部材３
Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈ及び両
面兼用駆動源は、シャフト３Ｊの矢印Ｆ方向の動作でプ
リント配線用基板１０両面側に設けられた夫々の浮」二
部材３Ａを互し）に近接させ又は離隔させる薄膜浮上装
置３のリンク機構を構成している。リンク機構を構成す
る夫々の部材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の
比較的外力に対して変形しずらい材料で構成する。両面
兼用駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ、電
磁ソレノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは、移
動アーム部材３Ｇの一端部に限定されず、回転アーム部
材３Ｈの一端部に連結させてもよい。

このような構成のリンク機構を用いて浮上部材３Ａと両
面兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用
基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部材３Ａをプリ
ン１〜配線用基板１の表面に接触させ又は離反させる動
作（矢印り方向の動作）を行うことができる。すなわち
、リンク機構は、プリント配線用基板１の両面側に、浮
上部材３Ａを駆動する駆動源を別々に設けることなく、
１つの両面兼用駆動源で両面側の浮上部材３Ａを駆動す
ることができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈが略剛体であり、夫
々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規定さ
れているので、プリント配線用基板１の両面側の夫々の
浮上部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間等にしかも
正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少なく
、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、浮上部材３
Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単
にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記浮上部
材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部には、夫々の一
端部が固着された浮上部材回転アーム部材３Ｋが設けら
れている。夫々の浮」三部材回転アーム部材３にの他端
部には、長穴３ｋが設けられており、両者の長穴３１（
には、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続する連結ア
ーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すなわち、浮
上部材回転アーム部材３には、連結アーム部材３Ｍを介
して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結されている。

両面兼用駆動源としては、前記のリンク機構と同様の両
面兼用駆動源を使用すればよい。

前記浮上部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部材３
Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｇ方向の動作により、浮上部
材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｈ方向に回転させるととも
に浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印工方向に回転させる、
薄膜浮上装置３の浮上部材回転機構を構成するようにな
っている。つまり、浮上部材回転機構は、積層体の端部
を浮上部材３Ａで振動押圧すると共に、浮上部材３Ａを
その状態のまま、所定の距離だけ基板搬送方向に移動さ
せるように構成されている。本実施例において、浮上部
材回転機構は、浮上部材３Ａを基板搬送方向に１〜３［
ｍｍ１程度移動させるように構成されている。

このように構成される浮上部材回転機構は、前述の浮上
部材３Ａを近接させ又は離反させるリンク機構と同様に
、プリント配線用基板１の両面側の夫々の浮上部材３Ａ
を一つの駆動源で動作させることができるとともに、そ
の動作量、動作時間を正確に制御することができる。

また、浮上部材回転機構は、浮」二部材３Ａと両面兼用
駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることが
できる。

このように薄膜厚」二装置３は、主に、浮上部材＝１６
− ３Ａ、空気式振動装置３Ｂ、リンク機構、浮上部材回転
機構で構成されている。

なお、本発明は、前記薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを
、空気式振動装置３Ｂに代えて、先に本願出願人により
出願された特願昭６１−１８１１２６号に記載される電
磁式振動装置で構成してもよい。

前記流体吹付装置４は、第２図及び第３図に示すように
、ノズル４Ａから圧力を加えた流体、例えば、空気、不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付装置４は、プリンＩ・配線用基板
１の端部において、感光性樹脂層ＩＣからカバーフィル
ムＩＤが浮上した両者の隙間部分に流体を直接吹き付け
るように構成されている。流体吹付装置４は、前記隙間
部分に即座に流体を吹き付けられるように、薄膜′ｔワ
上装置３の浮上部材３Ａに近接した位置にノズル４Ａが
位置するように構成されている。ノズル４Ａは、薄膜浮
上装置３の浮上部材３Ａの先端部に、両側（２方向）か
ら流体を吹き付けるように一対（４Ａ□、４Ａ２）で構
成されている。一対のノズル４Ａには、１つの流体供給
管４Ｂから流体が供給されるように構成されている。

一対のノズル４は、支持部材４Ｃを介在させて、装置本
体（固定支持部材）７に固着されている。ノズル４Ａの
固着は、薄膜剥離装置の動作による微小振動等で、流体
の吹付方向が変動しないようにすることができる。つま
り、ノズル４Ａは、常時、一定の流体吹付方向を確保す
ることができる。

このように、薄膜浮上装置３で生じた感光性樹脂層ＩＣ
とカバーフィルムＩＤとの隙間部分に、流体吹付袋ｗ４
で流体を吹き付けることにより、感光性樹脂層ＩＣとカ
バーフィルムＩＤとの間に流体が吹き込まれるので、感
光性樹脂層ＩＣからカバーフィルムＩＤを簡単に瞬時か
つ確実に剥離することができる。

また、異なる方向から流体を吹き付けられるように、流
体吹付装置４のノズル４Ａを一対に構成することにより
、薄膜浮」二装置３でカバーフィルムＩＤの一部を浮上
させた部分に、確実に流体を吹き付けることができるの
で、流体の吹き付けによるカバーフィルムＩＤの剥離効
果を高めることができる。

なお、本発明は、ノズル４Ａの流体吹付角度を変化する
ことができるように構成してもよい。このように構成さ
れる流体吹付装置４は、流体吹付時にできる限り前記隙
間部分にノズル４Ａを近接させ、流体吹付後にプリン１
〜配線用基板１が接触しない位置にノズル４Ａを退避す
ることができる。

前記基板搬送経路Ａ−Ａの近傍には、第２図、第３図及
び第５図で示すように、基板保持部材８、積層体端部検
出装置９の夫々が設けられている。

基板保持部材８、積層体端部検出装置９の夫々は、基板
搬送経路Ａ−Ａと交差する方向において、略同−線上に
設けられている。

基板保持部材８は、ローラ８Ａ及びこのローラ８Ａを一
端で回転自在に支持する支持部材８Ｂで構成されている
。支持部材８Ｂの他端は、ビス等の固着手段によって、
装置本体７に取り付けられている。基板保持部材８は、
薄膜浮」二装置３及び流体吹付装置４を設けて、搬送用
駆動ローラ２の間隔が広くなる領域に構成されている。

さらに、基板保持部材８は、薄膜浮上装置３の振動押圧
や流体吹付装置４の加圧された流体によるエネルギがプ
リント配線用基板１に加わる領域に構成されている。

ローラ８Ａは、プリント配線用基板１　（実際には、そ
の表面のカバーフィルムＩＤ）と所定の間隔を有するよ
うに構成されている。つまり、ローラ８Ａは、搬送され
るプリント配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持
し、しかも、流体吹付装置４でカバーフィルムＩＤが押
え付けられずに剥離できるように、所定の間隔を有する
ように構成されている。ローラ８Ａは、プリント配線用
基板１（特に、積層体の感光性樹脂層ｉｃ）を損傷。

破壊しないように、例えば、樹脂、ゴム等の比較的軟質
材料で構成する。支持部材８Ｂは、ローラ８Ａを支持す
ると共に、基板搬送経路Ａ−Ａに近接する部分は、ロー
ラ８Ａと同様に、搬送されるプリント配線用基板１を基
板搬送経路Ａ−Ａ内に＝２０− 保持するように構成されている。支持部材８Ｂは、硬質
樹脂や金属等の比較的硬質材料で構成する。

このように、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａの近傍であ
って、基板搬送経路Ａ、−Ａの近傍に、基板保持部材８
を設けることにより、特に、薄いプリント配線用基板１
の先端部の垂れ下りを防止し、プリント配線用基板１を
基板搬送経路Ａ、　−Ａ内に確実に保持することができ
る。つまり、基板保持部材８は、搬送中におけるジャム
等のトラブルを防止し、プリント配線用基板１や薄膜剥
離装置の損傷、破壊を防止することができる。

さらに、プリント配線用基板１の表面から所定の間隔を
有するようにローラ８Ａを構成することにより、カバー
フィルムＩＤを押さえ付けることがないので、流体吹付
装置４でカバーフィルムＩＤを確実に剥離することがで
きる。

なお、基板保持部材８は、厚いプリント配線用基板１が
接触した時に、その位置が変化できるように、ローラ８
Ａ又は支持部材８Ｂに弾力性を有するように構成しても
よい。

前記基板保持部材８よりも基板排出側の基板搬送経路Ａ
−Ａの近傍には、補助用基板保持部材１０が設けられて
いる。補助用基板保持部材１０は、ローラＩＯＡと、そ
れを回転自在に支持しかつ装置本体７に取り付けられた
回転軸１０Ｂとで構成されている。補助用基板保持部材
１０は、前記基板保持部材８と実質的に同様に、プリン
ト配線用基板１を基板搬送経路Ａ、　−Ａ内に保持する
ように構成されている。

前記積層体端部検出装置９は、プリント配線用−り板１
の静電容量の変化を検出する静電容量型、又はプリント
配線用基板１の電気抵抗の変化を検出する電気抵抗型で
構成されている。積層体端部検出装置９は、主に、プリ
ント配線用基板１の両面側に夫々設けられた棒状接触子
９Ａと、それを支持する可動支持装置９Ｂとて構成され
ている。

棒状接触子９Ａは、銅、鋼等の感電性材料で構成されて
いる。可動支持装置９Ｂは、装置本体７に固着されてい
る。可動支持装置９Ｂは、詳細に図示していないが、棒
状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａに近接及び離反（矢
印Ｊ方向に）動作するように構成されている。可動支持
装置９Ｂは、例えば、棒状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ
−Ａ側に近接する方向に移動させる電磁ソレノイドと、
離反させる方向に移動させる弾性部材とで構成されてい
る。

次に、ここで、第２図乃至第４図及び第５図乃至第９図
（要部拡大断面図）を用い、プリンＩ・配線用基板１の
積層体の端部を浮上させる動作及び剥離させる動作につ
いて簡単に説明する。

まず、基板搬送経路Ａ−Ａにおいて、搬送用駆動ローラ
２により、矢印六方向にプリント配線用基板１を搬送す
る。

次に、第５図に示すように、プリント配線用基板１の搬
送方向先端部が、薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４が
設けられた位置を通過すると、搬送用駆動ローラ２の回
転が停止し、プリント配線用基板１の搬送が一旦停止さ
れる。搬送の停止は、プリント配線用基板１の先端部を
検出する透過型又は反射型の光センサＳで行う。

次に、第６図に示すように、積層体端部検出装置９の棒
状接触子９Ａがプリント配線用基板１の積層体（カバー
フィルムＩＤ）の表面に接触する。

棒状接触子９Ａは、可動支持装置９Ｂで矢印Ｊ方向に移
動するように構成されている。この棒状接触子９Ａの動
作から、プリント配線用基板１の静電容量（又は電気抵
抗）が検出されるようになっている。なお、積層体表面
への棒状接触子９Ａの接触は、光センサＳの検出信号に
より、プリント配線用基板１の搬送の停止と実質的に同
一タイミングで行ってもよい。

次に、棒状接触子９Ａが積層体表面に接触した状態で、
搬送が停止されているプリント配線用基板１を逆方向に
搬送する。そして、第７図に示すように、棒状接触子９
Ａが搬送方向先端部の積層体の端部に達すると、静電容
量（電気抵抗）が変化し、積層体の端部が検出される。

次に、積層体の端部の検出信号により、プリント配線用
基板１の逆方向の搬送が停止される。この停止動作と実
質的に同一タイミングで第８図に＝２４− 示すように、棒状接触子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａから
離反（矢印Ｊ方向に移動）させると共に、積層体の端部
の表面に薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを矢印Ｂ方向に
振動させながら接触させる。浮上部材３Ａの移動は、第
４図に示す、両面兼用駆動源のシャフト３Ｊを矢印Ｆ方
向（図中、下方向）に動作させ、この動作で回転アーム
部材３Ｈ及び移動アーム部材３Ｇを作動させ、浮上部材
支持回転軸３Ｅを矢印り方向に移動させることで行われ
る。つまり、浮上部材３Ａの移動は、リンク機構により
行われる。浮上部材３Ａの振動は、空気式振動装置３Ｂ
で行われる。そして、浮上部材３Ａの振動押圧と同一の
タイミングによって、流体吹付装置４のノズル４Ａの先
端部から流体が吹き付けられる。

次に、第９図に示すように、浮上部材３Ａを振動させた
状態で浮上部材３Ａを基板搬送方向Ａ側に微小移動（矢
印工方向に移動）させる。この浮」二部材３Ａの移動は
、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌを矢印Ｇ方向（図中、
右方向）に動作させ、この動作で浮上部材回転アーム部
材３Ｋ、連結アーム部材３Ｍで構成される浮上部材回転
機構を動作させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印■方向
に回転させることにより行われる。この浮上部材３Ａの
微小移動は、前述したように、例えば、］〜３［ｎｗｎ
］のストロークで行われる。

なお、浮上部材３Ａの振動抑圧及び微小移動に際しては
、プリント配線用基板１の位置が変化しないように、プ
リント配線用基板１を搬送用駆動ローラ２とこの上面に
設けられた基板押えローラ（ピンチローラ）２Ａ（第２
図参照）とにより挟持するように構成されている。すな
わち、まず、プリント配線用基板１の先端部が検知され
ると信号が発せられ、この信号により搬送用駆動ローラ
２を駆動している駆動源（モータ）の回転を停止させる
。

この駆動源の回転の停止と同時に、空圧シリンダ（又は
、油圧シリンダ等）２Ｂ（第１２図参照）が作用してブ
レーキ機構が作用し、Ｌ字形状のブレーキ用押え板２Ｃ
が基板押えローラ２Ａに当接し、基板押えローラ２Ａを
押え、これにより、プリント配線用基板１をより確実に
挟持するようになっている。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣ
及びカバーフィルムＩＤからなる積層体の端部を薄膜浮
上装置３の浮上部材３Ａで振動押圧することにより、感
光性樹脂層１ｃがらカバーフィルムＩＤを浮上させ、そ
れらの界面に隙間を生じさせた後、この隙間に、流体吹
付装置４で流体を吹き付けることにより、第９図に示す
ように、先端側のカバーフィルムＩＤを剥離する（カバ
ーフィルム１ｄにする）ことができる。

前記カバーフィルムＩＤの端部の浮上は、針状の簡単な
構成の浮上部材３Ａで行うことができる。

また、薄膜浮上装置３、流体吹付装置４の夫々をプリン
ト配線用基板１の基板搬送経路Ａ、−Ａに設けたので、
前記カバーフィルムＩＤの端部の浮上、剥離の夫々を自
動的に行うことができる。

また、本発明では、プリント配線用基板１に対し積層体
が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プリ
ント配線用基板１の基板搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の浮上部材３Ａ及びノズル４Ａを設けて薄膜
浮上装置３及び流体吹付装置４を構成してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の基板搬送
方向と交差する方向（幅方向）に薄膜浮上装置３の浮上
部材３Ａを設けであるが、本発明は、プリント配線用基
Ｆｉ１の基板搬送方向と同一方向であって、積層体の端
部又は隅角部近傍に浮上部材３Ａを設けることもできる
。この場合には、流体吹付装置４のノズル４Ａを浮上部
材３Ａの近傍に設ける。

また、本実施例は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａをリ
ンク機構で動作させたが、本発明は、浮上部材３Ａをラ
ックアンドピニオン機構で動作させてもよい。

また、本発明は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを粘着
ローラ等の粘着部材で構成してもよい。

前記流体吹付装置４で剥離された基板搬送方向先端側の
カバーフィルム１ｄは、第２図及び第１０図（要部斜視
図）で示すように、剥離方向設定板（剥離補助板）５に
流体圧で付着するようになっている。剥離方向設定板５
は、前記剥離されたカバーフィルム１ｄの薄膜搬送装置
６への剥離方向を設定すると共に、プリント配線用基板
１の感光性樹脂層ＩＣに接着されているカバーフィルム
ＩＤの剥離動作を補助するように構成されている。剥離
されたカバーフィルム１ｄは、第２図及び第１０図にお
いて一点鎖線で示している。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（カバーフィルム１ｄの
付着面）は、これに限定されないが、プリント配線用基
板↓に張り付けられているカバーフィルムＩＤとその状
態から引き起こされたカバーフィルム１ｄとがなす角度
が略直角になるように構成されている。

剥離方向設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感光
性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を生じないように、曲率半径
の小さい円弧状で構成されており、例えば、曲率半径が
３ｍｍ以下で構成されている。

剥離方向設定板５は、感光性樹脂層ＩＣに損傷。

破壊を生じないように、プリント配線用基板１の搬送時
及びその搬送中でのカバーフィルムＩＤの剥離時に、プ
リント配線用基板１に張り付けられたカバーフィルムＩ
Ｄにこすれない程度の間隔を置いて設けられている。そ
して、剥離方向設定板５は、その先端が、積層体の端部
の浮上及び剥離時にカバーフィルムＩＤに密着し、プリ
ント配線用基板１を挟持するように構成されている。つ
まり、剥離方向設定板５は、基板搬送経路Ａ−Ａに近接
及び離反し、その近接時に、底面でプリント配線用基板
１を挟持するように、移動可能に構成されている。この
剥離方向設定板５は、第２図及び第１２図に示すように
、基板押えローラ２Ａを押えるためのブレーキ用押え板
２Ｃの作動（空気シリンダ２Ｂで作動している）に連動
してプリント配線用基板１に接触又は離反する。すなわ
ち、剥離方向設定板５は、プリント配線用基板１を基板
押えローラ２Ａで挟持している時に、同様に、プリント
配線用基板１を挟持するように構成されている。

このように、剥離方向設定板５を基板搬送経路Ａ−Ａに
近接及び離反するように構成することにより、流体吹付
装置４のノズル４Ａからの流体が、剥離方向設定板５の
裏側に吹き抜けることを低減することができるので、カ
バーフィルムＩＤの剥離効果を高めることができると共
に、カバーフィルム１ｄの剥離方向設定板５及び搬送ベ
ルト（６）への付着力及び保持力を高めることができる
。

また、剥離方向設定板５は、プリント配線用基板１の基
板搬送経路Ａ−Ａ幅又は流体吹付幅の略全域の長さで剥
離方向に所定の長さを有するように構成されている。

このように構成される剥離方向設定板５は、第１０図に
矢印にで流体の流出方向を示すように、流体がその裏側
に吹き抜けることを低減することができるので、カバー
フィルムＩＤの剥離効果を高めることができると共に、
カバーフィルム１ｄの剥離方向設定板５及び搬送ベルト
（６）への付着性及び保持性を高めることができる。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（カバーフィルムＩＤが
直接付着する面）には、第１０図に詳細に示すように、
導電性部材５Ａが設けられている。

導電性部材５Ａは、絶縁性部材５Ｂ上に設けられている
。導電性部材５Ａは、絶縁性部材５Ｂ及び導電性部材５
Ｃを介在させて、剥離方向設定板５のコの字形状で構成
される設定板支持部材５Ｄに接着剤で固着されている。

前記導電性部材５Ａ及び５Ｃは、板形状で構成され、電
気抵抗値が極めて小さい、例えば、銅。

ステンレス鋼等の金属材料で構成されている。絶縁性部
材５Ｂは、板形状で構成されている。設定板支持部材５
Ｄは、例えば、ステンレス鋼等の金属材料で構成されて
いる。つまり、前記導電性部材５Ａは、電気的にフロー
ティング状態で構成されている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面を導電性部
材５Ａで構成し、この導電性部材５Ａを絶縁性部材（絶
縁体）５Ｂ上に設けることにより、プリント配線用基板
１から剥離された時に帯電したカバーフィルム１ｄが導
電性部材５Ａに付着すると、静電容量によるクーロン力
が作用するので、カバーフィルム１ｄの付着力及び保持
力をより高めることができる。つまり、導電性部材５Ａ
は、剥離方向設定板５の薄膜付着面に、カバーフィルム
１ｄを確実に付着保持させることができる。

なお、前記導電性部材５Ａは、絶縁体」二に設けて電気
的にフローティング状態に構成すればよいので、例えば
、剥離方向設定板５の設定板支持部材５Ｄを樹脂等の絶
縁性材料で構成し、その薄膜付着面に、直接、導電性部
材５Ａを設けてもよい。

この導電性部材５Ａは、所謂コンデンサと同様の作用を
するものである。

剥離方向設定板５の薄膜付着面には、導電性部材５Ａ、
絶縁性部材５Ｂ、導電性部材５Ｃ及び設定板支持部材５
Ｄを貫通する薄膜吸着用孔５Ｅが設けられている。この
薄膜吸着用孔５Ｅには、第１１図（ブロック構成図）で
示すように、吸着装置（真空吸着装置）５Ｈにその一端
が接続された吸着管５Ｉが接続されている。薄膜吸着用
孔５Ｅは、吸着管５Ｉを介在させて吸着装置５Ｈからの
吸引力が作用するようになっており、カバーフィルム１
ｄを剥離方向設定板５の薄膜付着面に積極的に吸着しそ
の状態を保持するように構成されている。

薄膜吸着用孔５Ｅは、薄膜付着面に１つ、又はカバーフ
ィルム１ｄの吸着力及び保持力をより高めるために複数
設けられている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面に、薄膜吸
着用孔５Ｅを設け、この薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置５
　Ｈに接続することにより、薄膜付着面にカバーフィル
ム１ｄを確実に付着保持することができる。これによっ
て、カバーフィルム１ｄは、後に詳述する薄膜搬送装置
６の搬送ベルトで確実に挟持することができるので、プ
リント配線用基板１に張り付けられているカバーフィル
ムＩＤを剥離しながら、その排出を確実に行うことがで
きる。つまり、薄膜吸着用孔５Ｅ及び吸着装置５Ｈは、
薄膜剥離工程を施したにもかかわらず、カバーフィルム
ＩＤが剥離されていない、薄膜剥離不良基板の発生を防
止することができる。

また、第１１図に示すように、前記薄膜吸着用孔５Ｅと
吸着装置５Ｈとの間の接続経路すなわち吸着管５■の所
定部には、吸着圧（空気圧）を検出する吸着圧検出器５
Ｊが設けられている。吸着圧検出器５Ｊは、これに限定
されないが、例えば、ダイヤフラム型、ベローズ型等の
弾性体方式で構成する。この吸着圧検出器５Ｊは、剥離
されたカバーフィルム１ｄが剥離方向設定板５の薄膜付
着面に付着されているか否か、つまり剥離状態を検出す
るように構成されている。吸着圧検出器５Ｊは、吸着圧
が高い場合には薄膜付着面にカバーフィルム１ｄが確実
に付着している検出信号を出力し、そうでない場合には
反対の検出信号を出力するように構成されている。これ
らの検出信号は、空気圧や差動トランス等により電気信
号に変換され、制御回路５Ｋ又は表示装置ＳＬに出力さ
れる。

また、前記検出信号は、リンク機構により機械的に制御
回路５Ｋ又は表示装置Ｓ　Ｌに出力してもよい。吸着圧
検出器５Ｊ及び制御回路５Ｋ又は表示装置５Ｌは、薄膜
剥離状態検出装置を構成するようになっている。制御回
路５には、第１図に示すように、薄膜剥離装置本体の中
央部分に配置されている。表示装置５Ｌは、同様に第１
図に示すように、作業者が確認し易い薄膜剥離装置本体
の上部に設けられている。

前記制御回路５には、吸着圧検出器５Ｊの出方信号によ
り、搬送用駆動ローラ２の回転の制御、剥離動作の制御
を行うように構成されている。例えば、制御回路５には
、吸着圧検出器５Ｊがらカバーフィルム１ｄが剥離され
ていない検出信号が入力すると、薄膜搬送装置６の動作
を停止し、薄膜剥離不良基板を搬送用駆動ローラ２でそ
の排除が可能な所定位置まで搬送するようになっている
。

つまり、制御回路５には、薄膜剥離不良基板を基板搬送
経路Ａ−Ａから排除し、次段の現像装置に搬送すること
を防止することができるようになっている。

前記表示装置５Ｌは、例えば、ブザー等の音声発生装置
、ランプ等の光発生装置で構成されている。表示装置５
Ｌは、前記制御装置５にと同様に、薄膜剥離不良基板を
基板搬送経路Ａ−Ａがら排除し、次段の現像装置に搬送
することを防止できるように、作業者に知らせるように
構成されている。

カバーフィルム１ｄの剥離状態の検出精度を高めるため
には、剥離方向設定板５の薄膜付着面に複数の薄膜吸着
用孔５Ｅを設け、この薄膜吸着用孔５Ｅの夫々に薄膜剥
離状態検出装置を設けることが好ましい。

このように、薄膜吸着用孔５Ｅと吸着装置５Ｈとの間に
薄膜剥離状態検出装置を設けることにより、カバーフィ
ルム１ｄが剥離されているか否かを検出し、薄膜剥離不
良基板を検出することができるので、薄膜剥離不良基板
を基板搬送経路Ａ−Ａから排除し、次段の現像装置に搬
送することを防止することができる。これによって、薄
膜剥離不良基板は、再使用が可能となるので、プリン１
−配線用基板１の製造上の歩留りを向上することができ
る。

さらに、剥離方向設定板５の薄膜付着面には、薄膜吸着
用孔５Ｅと同様に貫通した薄膜剥離状態検出用孔５Ｆが
設けられている。薄膜剥離状態検出用孔５Ｆは、光セン
サ１１からの放射光が通過するように構成されており、
カバーフィルム１ｄが剥離方向設定板５の薄膜付着面に
付着されているか否か、つまり剥離状態を検出するよう
に構成されている。すなわち、前記薄膜剥離状態検出用
孔５Ｆをカバーフィルム１ｄが塞ぐとそれ（１ｄ）によ
る反射光を光センサ１１で検出する。薄膜剥離状態検出
用孔５Ｆ及び光センサ１１で薄膜付着面にカバーフィル
ム１ｄの付着が確認できないプリント配線用基板１（薄
膜剥離不良基板）は、前述と同様に、この後に基板搬送
経路Ａ−Ａから除去される。

光センサ１１は、反射型（又は透過型）で構成し、第３
図に示すように、装置本体７に取り付けられている。

このように構成される剥離方向設定板５は、カバーフィ
ルムＩＤの剥離位置を安定させると共に、カバーフィル
ムＩＤに一様な剥離力を加えることができる。したがっ
て、剥離方向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離時
における剥離位置の変動防止、剥離応力の偏りを防止し
、感光性樹脂層ＩＣを損傷、破壊させないようにするこ
とができる。

なお、剥離方向設定板５の薄膜付着面は、カバーフィル
ムＩＤの材質、流体吹付装置４の流体圧、プリント配線
用基板１の搬送速度等の条件変化により、カバーフィル
ムＩＤとそれを剥離したカバーフィルム１ｄの剥離方向
とがなす角度が鈍角になるように構成してもよい。また
、剥離方向設定板５の薄膜付着面の角度は、空圧シリン
ダ等の駆動源で変化することができるように構成しても
よい。さらに、この剥離方向設定板５の角度の変化に応
じて、薄膜搬送装置６の固定搬送ベルト、可動搬送ベル
ト等の位置や角度を変化することができるように構成し
てもよい。

また、本発明は、前記剥離方向設定板５の薄膜付着面に
、基板搬送方向と交差する方向又はカバーフィルム１ｄ
の剥離する方向に延在する複数本の溝を設け、薄膜付着
面及び溝底面に複数の薄膜吸着用孔５Ｅを設け、夫々の
薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置に接続してもよい。このよ
うに構成される剥離方向設定板５は、薄膜付着面にカバ
ーフイ＝３９− ルム１ｄを確実に付着させることができると共に、その
後に薄膜搬送装置６に搬送（排出）するに際して、薄膜
付着面からカバーフィルム１ｄを瞬時に離すことができ
るので、薄膜搬送装置６によるカバーフィルム１ｄの搬
送を確実に行うことができる。

流体吹付装置４で剥離方向設定板５の薄膜付着面に付着
したカバーフィルム１ｄは、第２図、第１２図（要部概
略構成図）及び第１３図（拡散分解斜視図）で示すよう
に、薄膜搬送装置（薄膜排出装置）６で剥離しながら搬
出される。この時、剥離方向設定板５は、カバーフィル
ムＩＤの剥離位置を規定すると共に、カバーフィルムＩ
Ｄの剥離を補助するように構成されている。

薄膜搬送装置６は、主に、プリント配線用基板１（基板
搬送経路Ａ−Ａ）の両面側に夫々設けられた上部搬送ベ
ルト機構と下部搬送ベルト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第１２図及び第１３図で詳細に
示すように、固定搬送ベルト６Ａ、６Ｃ。

４Ｏ− ６Ｄ、ＢＥと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸■に支持されたローラ６
　Ａ　ａ、従動軸■に支持されたローラ６Ａｂ、駆動軸
■に支持されたローラ６　Ａ　ｃ及びローラ６　Ａ　ａ
　、　６　Ａ　ｂ　、　６　Ａ　ｃの夫々に巻き回され
たベルト６ａで構成されている。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｂａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｂｂ、駆動軸■に
支持されたローラ６Ｂｃ及びローラ６Ｂａ、６Ｂｂ、６
Ｂｃの夫々に巻き回されたベルト６ｂで構成されている
。この可動搬送ベルト６Ｂは、駆動軸■を中心に、第２
図及び第１２図に示すように、ローラ６Ｂａが矢印り方
向に回転するように構成されている。すなわち、可動搬
送ベルト６Ｂは、剥離されたカバーフィルム１ｄを剥離
方向設定板５に付着させ易くすると共に、このカバーフ
ィルム１ｄを固定搬送ベル１〜６Ａとで挟持して搬送で
きるように構成されている。また、固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６Ｂとの挟持は、第１０図に示す剥
離方向設定板５に設けられた切込部５Ｇを通して行われ
る。この切込部５Ｇは、剥離方向設定板５で剥離位置及
び剥離方向が設定されたカバーフィルム１ｄに固定搬送
ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとが達し、両者でそれ
を挟持できるように構成されている。すにわち、切込部
５Ｇは、固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとで
カバーフィルム１ｄを確実に挟持できるように構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｃは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｃａ、従動軸■に支持されたローラ６ｃｂ、駆動軸■に
支持されたローラ６Ｃｃ、従動軸Ｘに支持されたローラ
６Ｃｄ及びローラ６Ｃａ。

６Ｃｂ、６Ｃｃ、６Ｃｄの夫々に巻き回されたベルト６
ｃで構成されている。ローラ６Ｃｄは、ベルト６ｃにテ
ンションを与えるように構成されている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸Ｘ■
に支持されたローラ６Ｄｃ及びローラ６　Ｄ　ａ　、　
６　Ｄ　ｂ　、　６　Ｄ　ｃの夫々に巻き回されたベル
ト６ｄで構成されている。ローラ６Ｄｃは、ベルト６ｄ
にテンションを与えるように構成されている。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸朋に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸ＸＩＶに支持されたローラ６Ｅｂ及びロー
ラ６Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｅで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６Ｂで搬送されたカバーフィルム１
ｄをさらに排出方向に搬送するように構成されている。

カバーフィルム１ｄの一方の面に接触し、カバーフィル
ム１ｄの搬送方向と交差する方向に所定の間隔で設けら
れた複数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６Ｄ）の間には、
カバーフィルム１ｄの他方の面に接触する固定搬送ベル
ト６Ｄ（又は６Ｇ）が設けられている。換言すれば、固
定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄ
の表面（カバーフィルム１ｄとの接触面）が一致してい
るか、或はそれよりも相手側に食込むように、カバーフ
ィルム１ｄの幅方向に千鳥状に配置されている。

このように、固定搬送ベルト６ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送されるカバーフィルム１ｄにそ
の幅方向の張力を与えることができるので、固定搬送ベ
ルト６ｃと６Ｄとで均一にしかも確実にカバーフィルム
１ｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持されるカバー
フィルム１ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄの表面及び
側面側を包み込むような形状で搬送されるので、特に、
ローラ６Ｃａ、６Ｃｂとベルト６ｃ、又はローラ６Ｄａ
、６Ｄｂとベルト６ｄとのローラの軸方向のズレを防止
することができる。したがって、搬送時にカバーフィル
ム１ｄに加わる挟持力を均一にし、カバーフィルム１ｄ
にシワが発生することを防止できるので、ジャム等のト
ラブルを防止することができる。特に、本実施例の薄膜
剥離装置は、後述する上部薄膜排出収納容器１２Ａを設
けているため、上部搬送ベルト機構の薄膜搬送経路が下
部搬送ペル１〜機構のそれよりも長くなるので、固定搬
送ベルト６ｃ及び６Ｄのように構成することは有効であ
る。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図及び第１２図に示す
ように、固定搬送ベルト６Ｆと可動搬送ベルト６Ｇとで
構成されている。

固定搬送ベルト６Ｆは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｆａ、６Ｆｂ、駆動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｆｃ及びローラ６
Ｆａ〜６Ｆｃに巻き回されたベルト６ｆで構成されてい
る。

可動搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１駆動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６ｇで構成されてい
る。可動搬送ベルト６Ｇは、前記可動搬送ベルト６Ｂと
同様に、矢印り方向に回転するように構成されている。

前記ベルト６ａ〜６ｇの夫々は、歯付ゴムベルトで構成
し、ローラ６Ｃｄ及び６Ｄｃを除き、口−ラ６　Ａ　ａ
　、　６　Ａ　ｂ　、　６　Ａ　ｃ、６Ｂａ、６Ｂｂ。

６Ｂｃ、・・・、ローラ６Ｇａ、６Ｇｂ、６Ｇａの夫々
は、歯付プーリで構成されており、搬送ベルトの走行が
確実なものにされている。ローラ６Ｃｄ及び６Ｄｃは、
表面が平滑なローラで構成されている。また、歯付ゴム
ベルト及び歯付プーリに代えて、ベルト６ａ〜６ｇは、
表面が粗く摩擦が大きなゴムベルトで構成し、ローラ６
Ａａ〜６Ｇｃの夫々は、網目ローレット模様仕上げ等を
施した表面が粗いローラで構成してもよい。

前記上部搬送ベルト機構は、固定搬送ベル１−６Ａ及び
可動搬送ベルト６Ｂと、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄと
の間に、剥離薄膜ガイド部材６Ｈが設けられている。ま
た、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとの間には、剥離薄膜ガ
イド部材６エが設けられている。さらに、固定搬送ベル
ト６Ｅにさしかかる固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとの間に
は、剥離薄膜ガイド部材６Ｊが設けられている。剥離薄
膜ガイド部材６Ｈ〜６Ｊの夫々は１例えば、針金形状（
棒状）や板形状の金属材料や樹脂材料で構成されている
。剥離薄膜ガイド部材６Ｈ〜６Ｊの夫々は、上部搬送ベ
ルト機構において、ジャム等を生じることがなく、スム
ーズに排出方向にカバーフィルム１ｄを搬送するように
構成されている。

前記上部搬送ベル１へ機構の固定搬送ベルＩ−６Ｃと６
Ｅは、第１２図に示すように、前記固定搬送ベルト６Ｃ
及び６Ｄで搬送されたカバーフィルム１ｄを装置本体７
から矢印Ｍ方向に排出するように構成されている。装置
本体７の固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｅの排出部から排出
されたカバーフィルム１ｄは、第１図、第１４図（要部
拡大断面図）及び第１５図（要部拡大斜視図）で示すよ
うに、上部薄膜排出収納容器１２Ａに排出される。この
カバーフィルム１ｄの排出は、固定搬送ベルト６Ｃ及び
６Ｅの排出部と上部薄膜排出収納容器１２Ａとの間に、
薄膜巻込防止部材１３を介在させて行われる。

前記下部搬送ベルト機構の固定搬送ベルト６Ｆ及び可動
搬送ベルト６Ｇは、前記上部搬送ベルト機構と同様に、
剥離方向設定板５で剥離位置及び剥離方向が設定された
もう一方のカバーフィルム１ｄを剥離しながら搬送する
とともに、矢印０方向に装置本体７からカバーフィルム
１ｄを排出するように構成されている。装置本体７がら
排出されたカバーフィルム１ｄは、下部薄膜排出収納容
器１２Ｂに排出される。このカバーフィルム１ｄの排出
は、前述したものと同様に、固定搬送ベルト６Ｆ及び６
Ｇの排出部と下部薄膜排出収納容器１２Ｂとの間に、薄
膜巻込防止部材１３を介在させて行われる。

前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｅ、固定搬送ベルト６Ｆ
及び可動搬送ベルト６Ｇの夫々の排出部の薄膜搬送経路
の近傍には、第２図、第１２図、第１３図及び第１４図
に示すように、排出されるカバーフィルム１ｄにその排
出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き付ける流体噴出機構
１４が設けられている。流体噴出機構１４は、排出され
るカバーフィルム１ｄを流体の噴出で確実に排出方向に
誘導できるように構成されている。流体噴出機構１４は
、固定搬送ベルト６Ｃ間、６Ｅ間、６Ｆ間及び可動搬送
ベルト６Ｇ間に流体が噴出する噴出口が設けられたパイ
プで構成されている。流体としては、圧力を加えた空気
、不活性ガス等の気体を使用する。また、流体として、
水等の液体を使用することも可能である。なお、図示さ
れていないが、流体噴出機構１４に近接した位置には、
剥離時、搬送時等にカバーフィルム１ｄに生じる帯電を
低減する除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｅ、固定搬送ベル
ト６Ｆ及び可動搬送ベルト６Ｇの夫々の排出側に流体噴
出機構１４を設けることにより、排出されるカバーフィ
ルム１ｄが再度固定搬送ベルト６Ｃ，６Ｅ、６Ｆ又は可
動搬送ベルト６Ｇに巻き込まれることを防止すると共に
、流体で矢印Ｍ又はＯ方向にカバーフィルムｌｃｌを誘
導することができるので、カバーフィルム１ｄを効率良
く上部又は下部薄膜排出収納容器１２Ａ又は１２Ｂに排
出することができる。

また、第２図及び第１２図に示すように、固定搬送ベル
ト６Ａに近接した位置、可動搬送ベルト６Ｇに近接した
位置の夫々には、除電装置１５とイオン拡散装置１６の
夫々が設けられている。除電装置１５は、イオンを放出
し、剥離や搬送時にカバーフィルム１ｄが帯電すること
を低減できるように構成されている。イオン拡散装置１
６は、除電装置１５から放出されたイオンを拡散し、カ
バーフィルム１ｄの帯電を効率良く低減できるように構
成されている。イオン拡散装置１６は、例えば、圧力が
加えられた空気等の流体でイオンを拡散するように構成
されている。

前記薄膜巻込防止部材１３は、固定搬送ベルト６０間、
６Ｅ間、６Ｆ間、可動搬送ベルト６Ｇ間の夫々の排出部
分の薄膜搬送経路の近傍に設けられており、装置本体７
に固着されている。薄膜巻込防止部材１３は、排出部分
から突出する（装置本体７から突出する）、Ｊ形状、コ
の字形状又は■形状の細長い部材で構成されている。薄
膜巻込防止部材１３は、例えば、鋼等の金属材料で構成
されている。

このように構成される薄膜巻込防止部材１３は、固定搬
送ベルト６Ｃ１６Ｅ、６Ｆ、可動搬送ベルト６Ｇの夫々
の排出部分から排出方向（矢印Ｍ又はＯ方向）にカバー
フィルム１ｄを誘導することができるので、固定搬送ベ
ルト６Ｃ１６Ｅ、６Ｆ、可動搬送ベルト６Ｇの夫々にカ
バーフィルム１ｄが巻き込まれることを防止することが
できる。つまり、薄膜巻込防止部材１３は、薄膜搬送装
置６の薄膜搬送経路におけるジャム等のトラブルを防止
するこができる。

前記上部薄膜排出収納容器１２Ａは、第１図、第１４図
及び第１５図に示すように、固定搬送ベルト６Ｃ及び６
Ｅの薄膜排出部近傍の装置本体７に、着脱自在に設けら
れている。上部薄膜排出収納容器１２Ａは、下部薄膜排
出収納容器１２Ｂの上部に設けられており、装置本体７
の占有面積を縮小し、コンパクトな構造に構成すること
ができる。上部薄膜排出収納容器１２Ａは、排出される
カバーフィルム１ｄを収納する薄膜収納容器１２Ａａと
、その上部を覆う蓋部材１２Ａ　ｂとで構成されている
。薄膜収納容器１２Ａ　ａ　、蓋部材１２Ａ、ｂの夫々
は、アルミニウム合金等の軽金属材料、樹脂材料或は木
材等で構成されている。薄膜収納容器１２Ａａの側面に
は、カバーフィルム１ｄが排出される時にその下部の空
気（薄膜収納容器１２Ａ　ａ内部の空気）を引き抜くた
めに、長方形状の空気引抜用穴１２Ａｃが複数設けられ
ている。蓋部材１２Ａｂには、薄膜収納容器１２Ａ　ａ
と同様に、上面に空気引抜用穴１２Ａｄが設けられてい
る。

上部薄膜排出収納容器１２Ａは、装置本体７の固定搬送
ベルト６Ｃ及び６Ｅの薄膜排出部近傍の薄膜収納容器１
２Ａａに、ガイド部材１２Ａｅが設けられている。ガイ
ド部材１２Ａ　ｅは、板形状で構成されており、例えば
、銅、ステンレス鋼等の金属材料、木材、合成樹脂等で
構成されている。ガイド部材１２Ａｅは、上部薄膜排出
収納容器１２Ａの薄膜収納容器１２Ａ　ａと、薄膜巻込
防止部材１３とを連結するように構成されている。つま
り、ガイド部材１２Ａｅは、固定搬送ベルト６Ｃ及び６
Ｅがら排出されるカバーフィルム１ｄを薄膜巻込防止部
材１３で誘導（ガイド）し、さらにこの先でカバーフィ
ルム１ｄを薄膜収納容器１２Ａａ内に誘導するように構
成されている。上部薄膜排出収納容器１２Ａ内への誘導
に際しては、第１４図に示すように、カバーフィルム１
ｄが流体噴出機構１４がらの流体に誘導されるようにな
っている。つまり、カバーフィルム１ｄは、ガイド部材
１２Ａｅとの間を流れる流体に支えられて搬送されるの
で、ガイド部材１２Ａｅとほとんど接触することがなく
スムーズに、」二部薄膜排出収納容器１２Ａ内に排出さ
れるようになっている。そして、流体噴出機構１４がら
噴出した流体の一部がガイド部材１２Ａ　ｅの下側をそ
れに沿って流れ、ガイド部材１２Ａ　ｅを通り過ぎた後
には、ガイド部材１２Ａｅの上側を流れてきた流体と合
流して同一方向に流れるので、この流体に誘導されたカ
バーフィルム１ｄは、延展した状態で薄膜排出収納容器
１２Ａの底部に堆積される。

このように、」二部薄膜排出収納容器１２Ａにガイド部
材１２Ａ　ｅを設けることにより、固定搬送ベルト６Ｃ
及び６Ｅの排出部直下の上部薄膜排出収納容器１２Ａ（
薄膜収納容器１２Ａａ）内にカバーフィルム１ｄがかさ
ばることを防止し、無駄なスペースを低減することがで
きるので、上部薄膜排出収納容器１２Ａに効率良くカバ
ーフィルム１ｄを排出することができる。特に、上部薄
膜排出収納容器１２Ａの構造上、カバーフィルム１ｄを
横方向がら排出しているので、ガイド部材１２Ａｅは、
特に有効である。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｅとの間に薄膜巻込防
止部材１３を設けた（介在させた）ことにより、カバー
フィルム１ｄの巻き込みを防止しかつスムーズに誘導し
ながら、上部薄膜排出収納容器１２Ａに効率良くカバー
フィルム１ｄを排出することができる。

なお、本発明は、前記ガイド部材１２Ａ　ｅを固定搬送
ベルト６Ｃ及び６Ｅの排出部近傍の装置本体７に設けて
もよい。

また、第１６図（要部斜視図）で示すように、ガイド部
材１２Ａｅは、上部薄膜排出収納容器１２Ａの蓋部材１
２Ａｂに設けることができる。ガイド部材１２Ａ　ｅは
、偏平状面を有する部材（翼断面に似た形状）で構成さ
れている。ガイド部材１２Ａｅの中央部分には、符号を
付けないが、その強度を保持するための梁部が設けられ
ている。ガイド部材１２Ａｅは、ガイド部材支持部材１
２Ａｆを介して、蓋部材１２Ａｂに接着剤、ビス等の固
着手段により固着されている。

また、第１７図（要部拡大分解斜視図）で示すように、
ガイド部材１２Ａｅは、矢印Ｐ方向に回転可能なように
構成することができる。つまり、ガイド部材１２Ａｅは
、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｅの排出部から排出される
カバーフィルム１ｄの排出角度を変化できるように構成
されている。ガイド部材１２Ａｅは、ワッシャ１２Ａｈ
、スプリングワッシャ１２Ａｉ及び締め付はナツト１２
Ａ　ｊを用い、ガイド部材１２Ａｅの側部から突出する
角度可変軸１２Ａｇを蓋部材１２Ａｂに締め付けること
で、それを所定の角度に固定することができる。また、
ガイド部材１２Ａｅは、前記締め付はナツト１２Ａｊを
緩め、固定ナツト１２Ａ　１で角度可変軸１２Ａ　ｇに
固定されたハンドル１２Ａｋを矢印ｐ方向に回転させる
ことにより、その角度を矢印Ｐ方向に変化させることが
できる。

このように、ガイド部材１２Ａｅの角度を変化すること
ができるように構成することにより、常時、カバーフィ
ルム１ｄを延展した最適な状態で薄膜排出収納容器１２
Ａの底部に堆積されることができる。

また、第１８図（要部拡大分解斜視図）で示すように、
ガイド部材１２Ａ　ｅの角度可変軸１２Ａｇは、前記第
１７図に示す角度可変軸１２Ａｇの取り付は位置よりも
、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｅの排出部側に近い位置の
先端部に取り付けられている。

つまり、角度可変軸１２Ａｇは、ガイド部材１２Ａｅの
角度が変化した場合においても、ガイド部材１２Ａｅの
先端部の位置が変化しないように構成されている。つま
り、このように構成されるガイド部材１２Ａｅは、排出
されるカバーフィルム１ｄ及びそれを誘導する流体の流
れを常時安定させることができる。

また、図示しないが、ガイド部材１２Ａｅは、上部薄膜
排出収納容器１２Ａに堆積されるカバーフィルム１ｄの
量に応じて、その角度を自動的に変化できるように構成
してもよい。

前記下部薄膜排出収納容器１２Ｂは、固定搬送ベルト６
Ｆ及び可動搬送ベルト６Ｇの薄膜排出部近傍の装置本体
７に、着脱自在に設けられている。

下部薄膜排出収納容器１２Ｂは、上部薄膜排出収納容器
１２Ａと略同様に、側面に空気を引き抜くための空気引
抜用穴１２Ｂａが複数設けられている。下部薄膜排出収
納容器１２Ｂには、その構造」二、カバーフィルム１ｄ
を上方向から排出し、スムーズにカバーフィルム１ｄが
排出されるので、前記ガイド部材１２Ａｅを設けなくて
もよい。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、本発明は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを針
形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成してもよい
。

また、本発明は、回転体の円周上に複数の針が設けられ
たブラシでカバーフィルムＩＤの端部を引き起す薄膜浮
上装置を有する薄膜剥離装置に適用してもよい。

また、本発明は、ローレットでカバーフィルムＩＤの端
部を押圧し、その部分を浮上させる薄膜浮上装置を有す
る薄膜剥離装置に適用することができる。

また、本発明は、薄膜浮上装置３でカバーフィルムＩＤ
の端部を浮上させ、この浮上した部分に粘着部材を押圧
させてカバーフィルムＩＤを剥離する薄膜剥離装置に適
用することができる。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

本発明は、基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、
この剥離された薄膜の一部を剥離方向設定板に付着させ
た後、この薄膜を薄膜搬送装置で排出しながら、前記基
板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥離装置であっ
て、前記剥離方向設定板の薄膜付着面を導電性部材で構
成し、該導電性部材を絶縁体上に設けたことにより、前
記剥離方向設定板の薄膜付着面と基板から剥離された薄
膜との間に、静電容量によるクーロン力が作用するので
、剥離方向設定板に薄膜を確実に付着保持することがで
きる。これによって、基板に張り付けられた薄膜を確実
に剥離することができるので、不良基板の発生を防止す
ることができる。

また、本発明は、前記構成に、前記導電性部材及び前記
剥離方向設定板に、両者を貫通する薄膜吸着用孔を設け
、該薄膜吸着用孔に基板から剥離された薄膜を吸着する
吸着装置を接続したことにより、前記薄膜吸着用孔から
薄膜を剥離方向設定板の吸着面に吸着させる吸引力が作
用するので、剥離方向設定板に薄膜をより確実に付着保
持することができる。

また、本発明は、前記構成に、前記薄膜吸着用孔と吸着
装置との接続経路に、該吸着装置の吸着圧によって薄膜
の剥離状態を検出する薄膜剥離状態検出装置を設けたこ
とにより、前記薄膜吸着用５９一 孔と吸着装置との間の接続経路における吸着圧の変化を
検出し、薄膜が剥離されているか否かの剥離状態を検出
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図は、第１
図の要部拡大側面図、 第３図は、第１図の要部拡大斜視図、 第４図は、第１図の拡大分解斜視図、 第５図乃至第９図は、剥離動作工程毎に示す第１図の要
部拡大断面図、 第１０図は、第１図の要部斜視図、 第１１図は、薄膜剥離状態検出装置のブロック構成図、 第１２図は、第１図の要部概略構成図、第１３図は、第
１図の拡散分解斜視図、第１４図は、第１図の要部拡大
断面図、第１５図は、第１図の要部拡大斜視図、第１６
図は、本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の要部斜
視図、 第１７図は、本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の
要部拡大分解斜視図、 第１８図は、本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の
要部拡大分解斜視図である。 図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＣ・・・感光性
樹脂層、ＩＤ、ｌｄ・・・カバーフィルム、２・・・搬
送用駆動ローラ、３・・・薄膜浮上装置、３Ａ・・・浮
上部材、３Ｂ・・・空気式振動装置、４・・・流体吹付
装置、４Ａ・・・ノズル、５・・・剥離方向設定板、５
Ａ・・・導電性部材、５Ｂ・・・絶縁性部材、５Ｅ・・
・薄膜吸着用孔、５工・・・吸着管、５Ｈ・・・吸着装
置、５Ｊ・・・吸着圧検出器、５Ｋ・・・制御回路、５
Ｌ・・・表示装置、６・・・薄膜搬送装置、６Ａ〜６Ｈ
・・・搬送ベルト、６Ａａ〜６　Ｈｃ・・・ローラ、７
・・・装置本体、８・・・基板保持部材、８Ａ・・ロー
ラ、９・・・積層体端部検出装置、１２Ａ・・・上部薄
膜排出収納容器、１２Ａ、ｅ・・・ガイド部材、１２Ｂ
・・・下部薄膜排出収納容器、１３・・・薄膜巻込防止
部材、１４・・・流体噴出機構、１５・・・除電装置、
１６・・・イオン拡散装置である。 第１５し １２Ａ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
   剥離された薄膜の一部を剥離方向設定板に付着させた後
   、この薄膜を薄膜搬送装置で排出しながら、前記基板に
   張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥離装置であって、
   前記剥離方向設定板の薄膜付着面を導電性部材で構成し
   、該導電性部材を絶縁体上に設けたことを特徴とする薄
   膜剥離装置。
2. （２）前記導電性部材は、銅、ステンレス鋼等の金属材
   料で形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項に記載の薄膜剥離装置。
3. （３）前記剥離方向設定板は、薄膜の剥離方向を設定す
   ると共に、基板からの薄膜の剥離を補助するように構成
   されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
   第２項に記載の薄膜剥離装置。
4. （４）前記剥離方向設定板は、前記基板の搬送方向に対
   して実質的に直角方向に薄膜を剥離するように構成され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３
   項に記載の夫々の薄膜剥離装置。
5. （５）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
   剥離された薄膜の一部を剥離方向設定板に付着させた後
   、この薄膜を薄膜搬送装置で排出しながら、前記基板に
   張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥離装置であって、
   前記剥離方向設定板の薄膜付着面を導電性部材で構成し
   、該導電性部材を絶縁体上に設け、該導電性部材及び前
   記剥離方向設定板に、両者を貫通する薄膜吸着用孔を設
   け、該薄膜吸着用孔に基板から剥離された薄膜を吸着す
   る吸着装置を接続したことを特徴とする薄膜剥離装置。
6. （６）前記薄膜吸着用孔は、１つ又は複数設けられてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の薄膜
   剥離装置。
7. （７）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
   剥離された薄膜の一部を剥離方向設定板に付着させた後
   、この薄膜を薄膜搬送装置で排出しながら、前記基板に
   張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥離装置であって、
   前記剥離方向設定板の薄膜付着面を導電性部材で構成し
   、該導電性部材を絶縁体上に設け、該導電性部材及び前
   記剥離方向設定板に、両者を貫通する薄膜吸着用孔を設
   け、該薄膜吸着用孔に基板から剥離された薄膜を吸着す
   る吸着装置を接続し、前記薄膜吸着用孔と吸着装置との
   接続経路に、該吸着装置の吸着圧によって薄膜の剥離状
   態を検出する薄膜剥離状態検出装置を設けたことを特徴
   とする薄膜剥離装置。