JPS6337352A

JPS6337352A - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPS6337352A
Application number: JP61181126A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhiro Seki; 光博関
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1986-07-31
Filing date: 1986-07-31
Publication date: 1988-02-18
Also published as: US4770737A; EP0255129A2; EP0255129A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的〔産業上の利用分野〕本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜を剥
離する剥離技術に適用して有効な技術に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は１次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネ
ートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、この
配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通
して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光
性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエツチングマスクパターンを形成する。この
後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し
、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パ
ターンを有するプリン］・配線板を形成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のプリント配線板のｆｆＢ造工程においては、感光
性樹脂層を露光したａ現像するに際して、透光性樹脂フ
ィルムを剥離する工程が必要とされている。この透光性
樹脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィ
ルムが薄いので、剥離位置の変動、剥離応力の偏り等に
よる感光性樹脂層の損傷、破壊が生じないようにするた
め、指先の器用さ及び非常な熟練を要するという問題が
あった。

また、このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大
するので、プリント配線板の製造工程における作業時間
が長くなるという問題があった。

そこで、前記透光性樹脂フィルムの剥離工程を機械で自
動的に行う自動薄膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、薄膜浮上装置と流体吹付装置
とを有しており、それらで透光性樹脂フィルムを自動的
に剥離できるようにしたものである。薄膜浮上装置は、
基板に張り付けられている積層体の端部を突起抑圧部材
で抑圧し、積層体のうち透光性樹脂フィルムの一部を浮
上させるように構成されている。流体吹付装置は、′４
上させた透光性樹脂フィルムの端部に流体を吹き付け、
透光性樹脂フィルムを瞬時かつ確実に剥離するように構
成されている。

しかしながら、前記自動薄膜剥離装置では、積層体の端
部が基板の端部から不均一な距踵に張り付けられている
場合が多いため、積層体の端部の所定均一幅だけを浮上
させることが困難である。

つまり、確実に積層体の端部を浮上させることが難しく
、積層体を確実に剥離することができないという問題が
あった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成〔問題点を解決するための手段〕本願において開示される発明のうち１代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

本発明は、基板に張り付けられた薄膜の端部を浮上させ
、この浮上させた部分から薄膜を剥離する薄膜剥離装置
であって、前記基板に張り付けられた薄膜の端部を検出
する突起状検出部材を設け、前記薄膜の端部の検出で前
記突起状検出部材を振動させ、薄膜の端部を浮上させる
振動装置を設けたことを特徴としたものである。

また１本発明は、前記構成に加えて、前記振動装置で浮
上させた薄膜の端部に流体を吹付け、薄膜を基板から剥
離する流体吹付装置ｎを設けたことを特徴としたもので
ある。

〔作　用〕

本発明は、前記突起状検出部材で薄膜の端部を検出し、
この薄膜の端部に位置する突起状検出部材を前記検出信
号によって動作する振動装置で振動させるので、薄膜の
端部を確実に浮上させることができる。

また、本発明は、前記確実に浮上させた薄膜の端部に流
体吹付装置で流体を吹き付けるので、瞬時かつ確実に薄
膜を剥離することができる。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の構成について１本発明をプリント配線用
基板の保護膜を剥離する薄膜剥離装置に適用した一実施
例を用いて具体的に説明する。

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例であるプリント配線用基板
の薄膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図。

第２図は、第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の薄膜剥離装置におけるプリント配線用基板の
搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主として
、プリント配線ハ１基板ｌを搬送する搬送用駆動ローラ
２で構成されている。

この搬送機構におけろ搬送経路Ａ−Ａには、薄ｗＡ：ｆ
１．上装置ｉ！！３．流体吹付装置４、剥離角度設定板
（剥離補助７板）５及び薄膜搬出装置（薄膜搬送装置）
６が設けられている。

前記プリント配線用基板ｌは、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電層ＩＢが
形成されたものである。このプリント配線用基板１の導
電ＭＩＢ上には、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィル
ム（保護ＷＡ）ＬＤとからなる積層体が熱圧着ラミネー
トされている。感光性樹脂層ｌＣは所定の配線パターン
フィルムが重ねられ露光された後の状態にある。プリン
ト配線用基板ｌは、第１図に示すように、搬送経路Ａ−
八を矢印Ａ方向（基板搬送方向）に搬送用駆動ローラ２
で搬送されるように構成されている。

前記薄膜浮上装置３、流体吹付装置４の夫々は。

第３図（夫々の具体的な構成図）で示すように構成され
ている。

：ＮＩ膜浮膜袋上装置３主に、突起状検出部材３Ａ及び
振動袋ｆｉ３Ｂで構成されている。

突起状検出部材３Ａは、プリント配線用基板１の両面側
に設けられており、搬送機構で搬送されるプリント配線
用基板１の積層体の端部を検出する検出装置の接触子を
構成している。検出装置として、静電容量型検出装置を
用いた場合は、積層体が設けられた部分、積層体が設け
られていない部分（導電層ＩＢが露出する部分）の夫々
におけるプリント配線用基板ｌの静電容菫を検出するこ
とで積層体の端部を検出することができる。また。

検出装置としては、透光性樹脂フィルムＩＤＩ。

導電層ＩＢ上の夫々の電気抵抗を検出し、積層体の端部
を検出する電気抵抗型検出装置、透光性樹脂フィルム１
０．導ｔｆｆＪｆ！Ｆ１ｆ３の夫々の表面における光反
射率を検出し、積層体の端部を検出する光反射型検出装
置等をあげることができる。突起状検出部材３Ａは１例
えば、銅等の導電性材料、若しくは絶縁性材料の表面に
導電性材料が設けられて構成されている。第５図（第３
図の模写図）で！示すように、突起状検出部材３Ａは、リード線りを介し
て、前記静電容量型（若しくは電気抵抗型）検出装置に
接続されている。突起状検出部材３Ａの先端部は、積層
体の端部を確実に押圧し、この抑圧により積層体の端部
が第４図（要部拡大断面図）に示すような状態とするた
めに尖鋭な円錐形状で構成することが好ましい。

プリント配線用基板１に接触しない側である突起状検出
部材３Ａの他端部は、振動装置１３Ｂに固着されている
。振動袋［３Ｂは、絶縁性部材３Ｂａを介して突起状検
出部材３Ａを固着し、かつ回転軸３Ｂｂを中心に矢印Ｂ
方向に回転するＬ字形状の可動部材３Ｂｃと、電磁石３
Ｂｄと、ばね３Ｂｅとで構成されている。振動部材３Ｂ
は、１１！磁石３Ｂｄの断続的な作動とばね３Ｂｅの弾
性とで可動部材３１１　ｃを矢印Ｂ方向に往復回転させ
、突起状検出部材３Ａを矢印Ｃ方向に振動させるように
構成されている。つまり、振動装置３Ｂは、突起状検出
部材３Ａで積層体の端部が検出されると。

例えば静電容量型検出装置が検出信号を出力し。

この出力によって電磁石３Ｂｄを作動させ、突起状検出
部材３Ａを振動するように構成されている。

積層体の端部において、振動装置３Ｂで突起状検出部材
３Ａを振動させると、第４図で示すように、感光性樹脂
層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤの一部を浮上させ、
それらの界面に隙間を生じさせることができる。この隙
間は、感光性樹脂層ｌＣが透光性樹脂フィルムｌＤより
も軟材質で構成されており、突起状検出部材３Ａの振動
による抑圧に対して感光性樹脂層ｉｃが塑性変形するた
めに生じる。つまり、隙間は、透光性樹脂フィルムＩＤ
と感光性樹脂層ＩＣとの塑性変形点が相違するために生
じる。

薄膜浮上装置３は、第３図に示すように、振動３ＡＩ！
！３Ｂに設けられた矢印り方向に回転できる回転軸３Ｃ
を介して可動部材３Ｄに支持されている。

薄膜浮上装置３は１図示していないが、エアーシリング
、油圧シリンダ、電磁ソレノイド等の駆動源によって、
可動部材３Ｄに対して矢印り方向に回転するように構成
されている。薄膜浮上装置３を支持する可動部材３Ｄは
、リニアヘッド３Ｅにより、装置本体に対して、矢印Ｅ
方向（ＩＩ送方向及び搬送方向と逆方向）に移動するよ
うに構成されている。また、可動部材３Ｄは、リニアヘ
ッド３Ｅに代えて、エアーシリンダ、油圧シリンダ。

電磁ソレノイド等で構成してもよい。

このように構成される薄膜浮上装置３は、プリント配線
用基板１の両面側の夫々に、搬送方向と交差する方向（
プリント配線用基板ｌの幅方向）に１つ又は複数設けら
れている。薄膜浮上装置３は。

絶縁性基板ＬＡと積層体との熱圧着ラミネート時に生じ
る誤差量を考慮すると、理想的には、搬送方向と交差す
る方向において、少なくとも３個所に設けることが望ま
しい。

また、薄膜浮上装置１３は、プリント配線用基板ｌの両
面側の夫々に、搬送方向と同一方向又はプリント配線用
基板ｌの隅角部分に位置するように。

１つ又は複数設けてもよい。

前記流体吹付袋！ｉ！４は、第３図及び第５図に示すよ
うに、薄膜浮上装置３と一体的に構成された流体吹付ノ
ズル４Ａ及び流体供給部材４Ｂとで構成されている。

流体吹付ノズル４Ａは、流体供給部材４Ｂで供給される
圧力を加えた流体Ｆ、例えば、空気、不活性ガス等の気
体、水等の液体を吹き出すように構成されている。この
流体吹付ノズル４Ａは、前記突起状検出部材３Ａを覆う
ように、換言すれば。

突起状検出部材３Ａは、流体吹付ノズル４Ａ内を振動装
置３Ｂで振動するように構成されている。

流体吹付ノズル４Ａから吹き出される流体Ｆは。

薄膜浮上装置３の突起状検出部材３Ａで浮上させた（隙
間が形成された）積層体の端部に、直接、吹き付けられ
るように構成されている。つまり、流体吹付ノズル４Ａ
は、その内部に突起状検出部材３Ａを設けた構造で構成
しているので、浮上させた積層体の端部に流体吹付口を
正確にガイドし。

かつかなり近づけることができ、浮上させた積層体の端
部に確実に流体Ｆを吹き付けることができる。

流体吹付ノズル４Ａは、突起状検出部材３Ａとの接触で
積層体の端部の位置の検出に誤動作を生じないように、
硬質樹脂等の絶縁性材料で構成する。また、流体吹付ノ
ズル４Ａは、突起状検出部材３Ａと接触し易い部分を絶
縁性材料で構成してもよい。

このように構成される流体吹付装置４は１回転軸３Ｃ，
リニアヘッド３Ｅの夫々の動作により。

薄膜浮上装置３の移動と共に移動するように構成されて
いる。

次に、前記薄膜浮上装置３及−び流体吹付装置４の動作
について、第１図乃至第５図、及び第６図乃至第１１図
（各動作毎に示す薄膜浮上装置及び流体吹付装置の構成
図）を用いて簡単に説明する。

まず、プリント配線用基板１を搬送用駆動ローラ２で搬
送する。

次に、第６図に示すように、プリント配線用基板１の積
層体の先端が薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４がセッ
トされた位置を通過する所で、プリント配線用基板ｌの
搬送を一旦停止する。薄膜浮上装置３及び流体吹付装置
４は、プリント配線用基板１と接触しない離隔した位置
にセットされている。搬送の停止は１例えば、プリント
配線用基板１の先端部を検出する透過型、又は反射型の
光センサで行う。搬送が停止されたプリント配線用基板
１には第２図に示すピンチローラ２人が押圧され、ピン
チローラ２Ａと搬送用駆動ローラ２とでプリント配線用
基板ｌが挟持され固定される。

次に、第７図に示すように１回転軸３Ｃによって、薄膜
浮上装置３及び流体吹付装置４を矢印り方向に回転させ
、突起状検出部材３Ａを積層体の表面つまり透光性樹脂
フィルムＩＤの表面に接触させる。

次に、第８図に示すように、透光性樹脂フィルムＩＤの
表面に突起状検出部材３Ａを接触した状態で、リニアヘ
ッド３Ｅで可動部材３Ｄを矢印Ｅ方向（搬送方向と同一
方向）に移動させる。突起状検出部材３Ａが透光性樹脂
フィルムｌＤの表面から導電層ＩＢの表面に達する。つ
まり積層体の端部に位置すると、図示しない静電容量型
検出装置でその位置が検出され、この検出信号でリニア
ヘッド３Ｅの動作を停止させる。この積層体の端部は、
前述したように、プリント配線用基板１の静電容量値が
変化することで検出することができる。

そして、突起状検出部材３Ａが積層体の端部に位置した
状態において、前記静電容量型検出装置の検出信号によ
り振動装置３Ｂで突起状検出部材３Ａを矢印Ｃ方向に振
動させる。この突起状検出部材３Ａの振動により、第９
図に示すように、積層体の端部において、感光性樹脂層
ｌＣから透光性樹脂フィルムｌＤの一部が浮上する。

次に、積層体の端部が浮上した部分（感光性樹脂層ＩＣ
と透光性樹脂フィルムＩＤとの隙間部分）に、流体吹付
ノズル４Ａで加圧された流体Ｆを吹き付け、第１０図に
示すように、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離を開始する
。

次に、第１１図に示すように、矢印り方向の回転で感光
性樹脂層ＩＣと接触しない位置に突起状検出部材３Ａの
先端部を離隔すると共に、剥離位置に流体Ｆを連続的に
吹き付け、透光性樹脂フィルムＩＤ（ｌｄ）を連続的に
剥離する。剥離位置への連続的な流体Ｆの吹き付けは、
リニアヘッド３Ｅで可動部材３Ｄを矢印Ｅ方向に移動す
る、若しくは搬送用駆動ローラ２でプリント配線用基板
１を搬送する。或はそれら両者により行う。

このように、プリント配線用基板１に張り付けられた積
層体の端部を検出する突起状検出部材３Ａを設け、前記
積層体の端部の検出で前記突起状検出部材３Ａを振動さ
せ、積層体の端部を浮上させる揚動装置３Ｂを設けたこ
とにより、前記突起状検出部材３Ａで積層体の端部を正
確に検出し、この積層体の端部に正確に位置する突起状
検出部材３Ａを前記検出信号によって動作する振動装置
３Ｂで振動させるので、積層体の端部において、感光性
樹脂層ｔＣから透光性樹脂フィルムＩＤの一部を確実に
浮上させることができろ。

また、突起状検出部材３Ａの振動で浮上させた積層体の
端部に加圧された流体Ｆを吹き付ける流体吹付装置４を
設けたことにより、加圧された流体Ｆで感光性樹脂層Ｉ
Ｃから透光性樹脂フィルム、　　　　　１０を瞬時かつ
確実に剥離することができる。

また、前記突起状検出部材３Ａを、積層体の端部を検出
する接触子として構成すると共に、積層体の端部を浮上
させる突起部材として構成することにより、確実に積層
体の端部を浮上できる薄膜浮上装置［￥３に要する空間
を低減することができるので、薄膜剥離装置の小型化を
図ることができる。

また、前記突起状検出部材３Ａは、前記流体吹付装置４
の流体吹付ノズル４Ａ内を前記振動装置３Ｂで振動する
ように構成したことにより、薄膜浮上装置３及び流体吹
付袋は４に要する空間を低減することができるので、薄
膜剥離装置の小型化を図ることができる。

また、前記突起状検出部材３Ａは、前記流体吹付装置４
の流体吹付ノズル４Ａ内を前記振動装置３Ｂで振動する
ように構成したことにより、突起状映出部材３Δで積層
体の端部を浮上させた位置に、流体吹付ノズル４Ａの流
体吹付口を精度良くガイドし、しかもかなり近づけるこ
とができるので、剥離効果を高め、感光性樹脂層ｌＣか
ら透光性樹脂フィルムＩＤをより確実かつ効率良く剥離
することができる。さらに、このように構成される薄膜
浮上装置３及び流体吹付装置４は、プリント配線用基板
１の厚さに関係なく、流体吹付ノズル４Ａの流体吹付口
を精度良くガイドし、しかもかなり近づけることができ
ろ。

また、積層体の端部の浮上は、簡単な構成の突起状検出
部材３Ａで行うことができる。

また、突起状検出部材３Ａをプリント配線用基板１の搬
送経路に設けたので、前記積層体の端部の浮−Ｌを自動
的に行うことができる。

前記流体吹付袋Ｖ１４で剥離された搬送方向の先端側の
透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図、第２図及び第１２
図（要部斜視図）で示すように、剥離角度設定板（剥離
補助板）５に流体圧で付着し、その剥に位置及び剥離方
向の剥離角度Ｏが設定されろ。透光性樹脂フィルム１ｄ
は、第２図及び第１２図において一点鎖線で示している
。剥離角度Ｏは、プリント配線用基板ｌに張り付けられ
ている透光性樹脂フィルムＩＤとその状態から引き起さ
れた透光性樹脂フィルム１ｄが排出される方向とがなす
角度である。剥離角度設定板５は、プリント配線用基板
１に対して、略直角の角度を有するように設定されてい
る。剥離位置における剥離角度は、プリント配線用基板
ｌの搬送方向に対して鈍角となるように設定することが
好ましい、略直角の角度を有する剥離角度膜板５におい
ては、透光性樹脂フィルム１ｄの剥離方向の剥離角度が
略直角なので、透光性樹脂フィルム１ｄの排出速度より
も、若干、プリント配線用基板ｌの搬送速度を速＜Ｌ、
！ｆ離位置での剥離角度を鈍角に設定する。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位Ｗ）は。

感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を生じないように、プリ
ント配線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィルム
ＩＤにこすれない程度の間隔を置いて設けられている。

そして、剥離角度設定板５は。

その先端が、流体吹き付は時には、透光性樹脂フィルム
ＩＤに密着するように、移動可能に構成され、流体の吹
抜けによる剥離効果の低下を防止するように構成されて
いる。剥離角度設定板５を移動可能に構成することは、
異なる厚さのプリント配線用基板１が搬送された場合に
おいても正確な剥離位置を確保することができる。剥離
角度設定板５は１例えば、エアーシリンダ、油圧シリン
ダ等により移動可能に構成されている。

また、剥離角度設定板５の先端は１曲率半径の小さい円
孤状になっている。例えば９曲率半径が３＋ｍ以下に構
成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出装置
６よりもプリント配線用基板ｌ側に近接させ、プリント
配線用基板ｌの搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の長
さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されてい
る。すなわち、第１２図に矢印にで流体の流出方向を示
すように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹
抜けをできる限り防止して剥離効果を高め、かつ剥離さ
れた透光性樹脂フィルムｌｄの剥離角度設定板５への付
着性を高めることができる。

剥離角度設定板５は、装置本体の所定位置に取り付けら
れている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置を
安定させると共に、透光性樹脂フィルムＩＤに一様な剥
離力を加えることができる。したがって、剥離角度設定
板５は、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離時における剥離
位置の変動防止、剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂
層ＩＣを損傷。

破壊しないようにすることができる。

また、前記剥離角度設定板５は、剥離された透光性樹脂
フィルムｌｄが付着する位置に、剥離薄膜検出用の貫通
孔５Ｂが設けられている。この貫通孔５Ｂは、光センサ
５ｃからの検出光が通過するように構成されており、剥
離角度設定板５上に透光性樹脂フィルムｌｄが確実に剥
離されて存在しているか否かを検出するように構成され
ている。

この検出により透光性樹脂フィルムｌｄの存在が確認さ
れないプリント配線用基板１（薄１摸剥離不良基板）は
、透光性樹脂フィルムｌｄの剥離後に搬送経路から除出
される。

流体吹付装置４で剥離角度設定板５に付着した透光性樹
脂フィルムｌｄは、第１図、第２図及び第１３図（拡散
分解斜視図）で示すように、薄膜搬出装［ｉ！！（薄膜
搬送装置）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出装置６は、主に、プリント配線用基板ｌの両面
側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベル
ト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第１３図で詳細に示すように、
固定搬送ベル１−６Ａ、６Ｃ，６Ｄ、６Ｅ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸Ｉに支持されたローラ６
　Ａ　ａ　、駆動軸Ｈに支持されたローラ６Ａｂ及びロ
ーラ６Ａａと６Ａｂとに巻き回されたベルト６ａで構成
されている。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｂａ、駆動軸ＩＶに支持されたローラ６Ｂｂ及びローラ
６Ｂａと６［３ｂとに巻き回されたベルト６ｂで構成さ
れている。この可！！ｌ搬送ベル１〜６Ｂは、駆動軸■
を中心に第２図に示すように。

矢印り方向に回転するように構成されている。すなわち
、可動搬送ベルト６Ｂは、剥離された透光性樹脂フィル
ムｌｄを剥離角度設定板５に付着させ易くすると共に、
この透光性樹脂フィルムｌｄを固定搬送ベルト６Ａとで
挟持して搬送できるように構成されている。固定搬送ベ
ルト６Ａと可動搬送ベルｌ−６Ｂとの挟持は、第１２図
に示す剥離角度設定板５に設けられた切込部５Ａを通し
て行われる。

固定搬送ベルト６Ｃは、駆動軸■に支持されたローラ６
Ｃａ、従動軸Ｖに支持されたローラ６Ｃｂ及びローラ６
Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベル１−６Ｃで構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸■に
支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■に支持されたローラ
６Ｄｄ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｅ及びローラ
６Ｄａ〜６Ｄａに巻き回されたベルト６ｄで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６８″ｒ！搬送された透光性樹脂フ
ィルムｌｄをさらに排出方向に搬送するように構成され
ている。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６Ｄｅは、第１４
図（要部断面図）で示すように、固定搬送ベルト６Ｃ及
び６Ｄから固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透光性樹脂フ
ィルムｌｄを搬送するときに、その搬送方向が大きな角
度で変化するために設けられている。すなわち、ローラ
６Ｄｅは、搬送方向が変化するときに、ベルト６Ｃ及び
６ｄの透光性樹脂フィルムｌｄに接触する側の曲率半径
を略同等にすることができる。したがって、搬送時に透
光性樹脂フィルム１ｄにシワが生じることを防止し、ジ
ャム等のトラブルを防止することができる。

また、第１５図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム１ｄの一方の面に接触し、その搬送方向と交
差する透光性樹脂フィルム１ｄの幅方向に所定の間隔で
設けられた複数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６Ｄ）の間
には、透光性樹脂フィルムｌｄの他方の面に接触する固
定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｇ）が設けられている。固定
搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄの
表面（透光性樹脂フィルム１ｄとの接触面）が一致して
いるか、或はそれよりも相手側に食込むように。

透光性樹脂フィルム１ｄの幅方向に千鳥状に配置されて
いる。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性樹脂フィルムｌｄ
にその幅方向の張力を与えることができるので、固定搬
送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一な挟持力でしかも確実に透
光性樹脂フィルムｌｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルム１ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄの表面
及び側面側を包み込むような形状で搬送されるので、ロ
ーラ６Ｃａ、６Ｃｂとベルト６ｃ、又はローラ６　Ｄ　
ａ　〜６　Ｄ　ｅとベルト６ｄとのローラの軸方向のズ
レを防止することができる。したがって、搬送時に透光
性樹脂フィルムｌｄに加わる挟持力を均一にし、それに
シワが発生することを防止できるので、ジャム等のトラ
ブルを防止することができる。特に１本実施例の装置は
、後述する上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａを
設けており、上部搬送ベルト機構の搬送経路が下部搬送
ベルト機構のそれよりも長いので。

固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄのように構成することは有
効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ６
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｅで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ６
Ｆａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びローラ６
Ｆａと６Ｆｂとに巻き回されたベルト６ｆで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第１図及び第２図に示す
ように、前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで搬送された
透光性樹脂フィルムｌｄを装置本体から矢印Ｍ方向に４
Ｊ１：出するように構成されている。装置本体から排出
された透光性樹脂フィルムｌｄは、第１図に示す上部透
光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａに収納される。この
上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａは、装置本体
の上部に着脱自在に取り付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図に示すように、固定
搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６　Ｈとで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６ｇで構成されてい
る。

可動搬送ベルト６Ｈは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｈａ、６Ｈｅ、ｙｊＡ動軸
（図示していない）に支持されたローラ６Ｈｂ及びロー
ラ６Ｈａ〜６Ｈｃに巻き回されたベルト６ｈで構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６Ｈは、前記上部
搬送ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で剥離位置
及び剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹脂フィル
ムｌｄを剥離しながら搬送するとともに、矢印０方向に
装置本体から透光性樹脂フィルム１ｄを排出するように
構成されている。装置本体から排出された透光性樹脂フ
ィルムｌｄは、第１図に示す下部透光性樹脂フィルム排
出収納容器７Ｂに収納される。この下部透光性樹脂フィ
ルム排出収納容器７Ｂは、装置本体に着脱自在に取り付
けられている。また、前記上部透光性樹脂フィルム排出
収納容器７ＡはＦ部透光性樹脂フィルム排出収納容器７
Ｂの上部に設けられており、装置本体は、占有面積を縮
小しコンパクト化できるように構成されている。

また、前記固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第
２図及び第１３図に示すように、排出される透光性樹脂
フィルム１ｄにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹
き付ける流体噴出機構８が設けられている。このとき、
排出される透光性樹脂フィルム１ｄと流体吹付方向とが
なす角度は、流体の噴出で透光性樹脂フィルムｌｄを確
実に排出方向に誘導できるように、鋭角０．（０≦０、
≦９０）に設定されている。流体噴出機構８は。

固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動搬送ベ
ルト６Ｈ間に流体が噴出する噴出口が設けられたパイプ
で構成されている。流体としては、圧力を加えた空気、
不活性ガス等の気体、水等の液体を使用する。なお１図
示されていないが、流体噴出装置８に近接した位置には
、透光性樹脂フィルム１ｄの帯電を低減する除電装置が
設けられている。

このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの夫々の排出側に流体噴出機構８を設ける
ことにより、排出される透光性樹脂フィルムｌｄが再度
固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ。

６Ｇ又は可動搬送ベルト６Ｈに巻き込まれることを防止
するとともに、流体で矢印Ｍ又はＯ方向に透光性樹脂フ
ィルムｌｄを誘導することができるので、透光性樹脂フ
ィルムＡｄを効率良く上部又は下部透光性樹脂フィルム
排出収納容器７Ａ又は７Ｂに排出することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｅ間、６　Ｆ　ｔｉｌｌ、　６
０間及び可動搬送ベルト６８間の夫々の排出側の搬送経
路の近傍には、巻込防止用部材９が設けられており、透
光性樹脂フィルムｌｄが固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６
Ｇ又は可動搬送ベルト６１−１に巻き込まれることを防
止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置及び可動搬送ベルト６Ｈに近接した位置には、
夫々除電装置！！！ｌＯとイオン拡散装置！ｌｌとが設
けられている。除電装置１０は、イオンを放出し、剥離
や搬送時に透光性樹脂フィルムｌｄが帯電することを低
減できるように構成されている。イオン拡散装置１１は
、除電装置１０から放出されたイオンを拡散し、透光性
樹脂フィルムｌｄの帯電を効率良く低減できるように構
成されている。イオン拡散装置ｉｉは、例えば、圧力が
加えられた空気等の流体でイオンを拡散するように構成
されている。

また１本発明は、第１６図（薄膜剥離装置の要部拡大模
写図）及び第１７図（剥離角度設定板の要部斜視図）で
示すように、剥離角度設定板５の剥離方向の角度０が鈍
角になるように設定してもよい、このように構成される
剥離角度設定板５は。

透光性樹脂フィルム１ｄの排出速度とプリント配線用基
板ｌの搬送速度とが実質的に等しい場合でも、剥離位置
における剥離角度を鈍角に設定することができる。つま
り、この剥離角度設定板５は、透光性樹脂フィルムｌＤ
の剥離位置、剥離応力の偏り等を防止し、感光性樹脂層
ＩＣの損傷、破壊を防止することができる。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において。

種々変形し得ることは勿論である。

例えば１本発明は、薄膜浮上装置３の突起状検出部材３
Ａをクサビ形状、平板形状等で構成してもよい。

また１本発明は、薄膜浮上装置３の突起状検出部材３Ａ
で浮上させた積層体の端部を、流体吹付装置４に代えて
、粘着性テープで剥離する薄膜搬送装置に適用すること
ができる。

また、本発明は、剥離角度設定板５の剥離方向の剥離角
度を、直角から鈍角の範囲において、可変できるように
構成してもよい。この角度の可変は、例えば、エアーシ
リンダ、油圧シリンダ等で行う。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果以上説明したように１本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

基板に張り付けられた薄膜の端部を浮上させ、この浮上
させた部分から薄膜を剥離する薄膜剥離装置であって、
前記基板に張り付けられた薄膜の端部を検出する突起状
検出部材を設け、前記薄膜の端部の検出で前記突起状検
出部材を振動させ、薄膜の端部を浮上させる振動装置を
設けたことにより、突起状検出部材で薄膜の端部を検出
し、このＷｌｌＩＩの端部に位置する突起状検出部材を
前記検出信号によって動作する振動装置で振動させるの
で、薄膜の端部を瞬時かつ確実に浮上させることができ
る。

また、前記構成に加えて、前記突起状検出部材で浮トさ
せた薄膜の端部に流体を吹付け、薄膜を基板から剥離す
る流体吹付装置を設けたことにより、前記確実に浮りさ
せた薄膜の端部に僚体吹付装置で流体を吹き付けたので
、確実かつ効率良く薄膜を剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例であるプリント配線用基板
の薄膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は、第１図の要部拡大模写側面図。第３図は、第１図及び第２図に示す薄膜厚１；装置及び
流体吹付装置の具体的な構成図、第４図は、第３図の要
部拡大断面図、第５図は、第３図に示す薄膜浮上装置及び流体吹付装置
の模写図。第６図乃至第１１図は、前記第２図に示す薄膜浮上装置
及び流体吹付装置の各動作毎の構成図、第１２図は、第
１図及び第２図に示す剥離角度設定板の要部斜視図。第１３図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出装置の拡
散分解斜視図。第１４図及び第１５図は、第１３図に示す薄膜搬出装置
の要部断面図、第１６図は、本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の
概略構成を示す要部模写側面図。第１７ｙＡは、第１６図に示す剥離角度設定板の要部斜
視図である。図中、ｌ・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性
基板、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、Ｉ
Ｄ。１ｄ・・・透光性樹脂フィルム、２・・・搬送用ｒＩｊ
ＡｉＪ？Ｊローラ、３・・・薄膜浮上装置１．３Ａ・・
・突起状検出部材、３Ｂ・・・振動装置、３Ｄ・・・可
動部材、３Ｅ・・・リニアヘッド、４・・・流体吹付装
置、４Ａ・・・流体吹付ノズル、４Ｂ・・・流体供給部
材、５・・・剥離角度設定板、６・・・薄膜搬出装置、
６Ａ〜６日・・・搬送ベルトである。第５図第６図第７図第８図第９図旧ｍｌＩ図第１４図　　、。第１５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられた薄膜の端部を浮上させ、こ
の浮上させた部分から薄膜を剥離する薄膜剥離装置であ
って、前記基板に張り付けられた薄膜の端部を検出する
突起状検出部材を設け、前記薄膜の端部の検出で前記突
起状検出部材を振動させ、薄膜の端部を浮上させる振動
装置を設けたことを特徴とする薄膜剥離装置。
（２）基板に張り付けられた薄膜の端部を浮上させ、こ
の浮上させた部分から薄膜を剥離する薄膜剥離装置であ
って、前記基板に張り付けられた薄膜の端部を検出する
突起状検出部材を設け、前記薄膜の端部の検出で前記突
起状検出部材を振動させ、薄膜の端部を浮上させる振動
装置を設け、該振動装置で浮上させた薄膜の端部に流体
を吹き付け、薄膜を基板から剥離する流体吹付装置を設
けたことを特徴とする薄膜剥離装置。
（３）前記突起状検出部材は、前記流体吹付装置の流体
吹付ノズル内を前記振動装置で振動するように構成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の
薄膜剥離装置。