JPS6250835A - 薄膜の剥離装置 - Google Patents
薄膜の剥離装置Info
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- JPS6250835A JPS6250835A JP19173785A JP19173785A JPS6250835A JP S6250835 A JPS6250835 A JP S6250835A JP 19173785 A JP19173785 A JP 19173785A JP 19173785 A JP19173785 A JP 19173785A JP S6250835 A JPS6250835 A JP S6250835A
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- film
- peeling
- thin
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の目的
［産業上の利用分野］
本発明は、薄膜の剥離装置に関するものであり。
特に、基板の表面を保護するために張り付けられた保護
膜の剥離装置に適用して有効な技術に関するものである
。
膜の剥離装置に適用して有効な技術に関するものである
。
［従来の技術］
コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
この種のプリント配線板は、次の１２造工程により製造
することができる。まず、絶縁性基板上に設けられたの
導電層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを
保護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層
体を熱圧着ラミネートする。この後、配線パターンフィ
ルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性
樹脂フィルムを通して、感光性樹脂層に所定時間露光す
る。
することができる。まず、絶縁性基板上に設けられたの
導電層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを
保護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層
体を熱圧着ラミネートする。この後、配線パターンフィ
ルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性
樹脂フィルムを通して、感光性樹脂層に所定時間露光す
る。
そして、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された
感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形
成する。この後、前記導電層の不必要部分をエツチング
により除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、
所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成する
。
感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形
成する。この後、前記導電層の不必要部分をエツチング
により除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、
所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成する
。
［発明が解決しようとする問題点コ
前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光後現像するに際して、透光性樹脂フィルムを
剥離する工程が必要とされている。
脂層を露光後現像するに際して、透光性樹脂フィルムを
剥離する工程が必要とされている。
この透光性樹脂フィルムの剥離は、人手作業に頼ってお
り、該フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による損
傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用さ及び
非常な熟練を要する。
り、該フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による損
傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用さ及び
非常な熟練を要する。
このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題点があった。
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題点があった。
なお、本発明の解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は１本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。
問題点と新規な特徴は１本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。
（２）発明の構成
［問題点を解決するための手段］
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本発明は、基板に張り付けられている薄膜を
剥離する剥離装置であって、前記基板に張り付けられて
いる薄膜の一部を引き起す薄膜引起手段と、該引き起さ
れた薄膜と基板との間部に流体を吹き付ける流体吹付手
段と、該流体吹付手段で基板から剥離する剥離角度を設
定するとともに剥離された薄膜の一部を付着させてガイ
ドする剥離薄膜ガイド部材と、該剥離薄膜ガイド部材に
よってガイドされた薄膜を排出する薄膜排出手段を備え
たことを特徴とするものである。
剥離する剥離装置であって、前記基板に張り付けられて
いる薄膜の一部を引き起す薄膜引起手段と、該引き起さ
れた薄膜と基板との間部に流体を吹き付ける流体吹付手
段と、該流体吹付手段で基板から剥離する剥離角度を設
定するとともに剥離された薄膜の一部を付着させてガイ
ドする剥離薄膜ガイド部材と、該剥離薄膜ガイド部材に
よってガイドされた薄膜を排出する薄膜排出手段を備え
たことを特徴とするものである。
［作用］
本発明は、前記薄膜引起手段で薄膜を引起き起し、その
引き起された薄膜と基板との間に流体を吹き付けて薄膜
を剥離薄膜ガイド部材でガイドされる方向に剥離し、そ
の剥離された薄膜を薄膜排出手段で排出するので、剥離
力が薄膜に一様に安定して加えられる。
引き起された薄膜と基板との間に流体を吹き付けて薄膜
を剥離薄膜ガイド部材でガイドされる方向に剥離し、そ
の剥離された薄膜を薄膜排出手段で排出するので、剥離
力が薄膜に一様に安定して加えられる。
［実施例］
以下、プリント配線用基板の保護膜の剥離装置に適用し
た本発明の一実施例について説明する。
た本発明の一実施例について説明する。
なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
本発明の一実施例である保護膜の剥離装置を第１図の概
略断面図で示す。
略断面図で示す。
保護膜の剥離装置は、第１図に示すように、薄膜引起袋
に■と薄膜剥離装置■で構成されている。
に■と薄膜剥離装置■で構成されている。
薄膜引起装置：１ｔは、第１図及び第２図で示すように
、主として、プリント配線用基板１を搬送する搬送ロー
ラ２．搬送制御ローラ３及び簿膜引起部材４で構成され
ている。
、主として、プリント配線用基板１を搬送する搬送ロー
ラ２．搬送制御ローラ３及び簿膜引起部材４で構成され
ている。
前記プリント配線用基板１は、絶縁性基板ＩＡの両面（
又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形成されたものである
。このプリント配線用基板ｌの導電層ＩＢ上には、感光
性樹脂層ＩＣと透光性（保護）樹脂フィルムＩＤとから
なる積層体が熱圧着ラミある。
又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形成されたものである
。このプリント配線用基板ｌの導電層ＩＢ上には、感光
性樹脂層ＩＣと透光性（保護）樹脂フィルムＩＤとから
なる積層体が熱圧着ラミある。
前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第１図にＡ
−Ａ４！？！で示される搬送経路において、プリント配
線用基板ｌを矢印方向に搬送するように構成されている
。
−Ａ４！？！で示される搬送経路において、プリント配
線用基板ｌを矢印方向に搬送するように構成されている
。
前記薄膜引起部材４は、プリント配線用基板１の先端が
当接すると、第３図に示すように、透光性樹脂フィルム
ＩＤの一部を引き起するように構成されている。゛この
薄膜引起部材４は、回転体の外周部に樹脂、鋼等の複数
の硬質針で構成されるブラシが設けられたものである。
当接すると、第３図に示すように、透光性樹脂フィルム
ＩＤの一部を引き起するように構成されている。゛この
薄膜引起部材４は、回転体の外周部に樹脂、鋼等の複数
の硬質針で構成されるブラシが設けられたものである。
そして、このブラシのそれぞれの硬質針の長さは不揃い
に構成されている。これは、薄膜引起部材４とプリント
配線用基板ｌとの当接に多少のバラツキが生じても、透
光性樹脂フィルムＩＤの一部が確実に引き起せるように
するためである。また、薄膜引起部材４は、透光性樹脂
フィルムＩＤの一部を引き起した後に、第２図に矢印Ｂ
で示すように、搬送経路から離隔するように構成しても
よい。これは、薄膜引起部材４のブラシが、透光性樹脂
フィルムＩＤを介して感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を
生じさせることを防止するためである。
に構成されている。これは、薄膜引起部材４とプリント
配線用基板ｌとの当接に多少のバラツキが生じても、透
光性樹脂フィルムＩＤの一部が確実に引き起せるように
するためである。また、薄膜引起部材４は、透光性樹脂
フィルムＩＤの一部を引き起した後に、第２図に矢印Ｂ
で示すように、搬送経路から離隔するように構成しても
よい。これは、薄膜引起部材４のブラシが、透光性樹脂
フィルムＩＤを介して感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を
生じさせることを防止するためである。
このように１回転体にブラシを設けた簡単な構成の薄膜
引起部材４を設けることにより、感光性樹脂層ＩＣに比
べて接着力の弱い透光性樹脂フィルムＩＤの一部を簡単
に引き起すことができる。
引起部材４を設けることにより、感光性樹脂層ＩＣに比
べて接着力の弱い透光性樹脂フィルムＩＤの一部を簡単
に引き起すことができる。
また、プリント配線用基板１の搬送経路に薄膜引起部材
４を設けたことにより、透光性樹脂フィルムＩＤの一部
を自動的に引き起すことができる。
４を設けたことにより、透光性樹脂フィルムＩＤの一部
を自動的に引き起すことができる。
また、一部が引き起された透光性樹脂フィルムＩＤは、
薄膜剥離装置■に搬送される間に搬送ローラ２又は搬送
制御ローラ３で押圧されるが、熱を加えて圧着していな
いので、感光性樹脂１１ｃに再度接続されることはない
。
薄膜剥離装置■に搬送される間に搬送ローラ２又は搬送
制御ローラ３で押圧されるが、熱を加えて圧着していな
いので、感光性樹脂１１ｃに再度接続されることはない
。
前記薄膜剥離装置■は、主として、第１図及び第４図で
示すように、搬送ローラ２、搬送制御ローラ３．流体吹
付装置５、薄膜排出装置６で構成されている。
示すように、搬送ローラ２、搬送制御ローラ３．流体吹
付装置５、薄膜排出装置６で構成されている。
前記流体吹付装置５は、ノズル５Ａから圧力を加えた流
体、例えば、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が
吹出すように構成されている。この流体吹付装置５は、
搬送制御ローラ３で所定の位置に搬送されたプリント配
線用基板１の引き起された透光性樹脂フィルムＩＤと感
光性樹脂層１ｃ（基板）との間部に流体を直接吹き付け
るように構成されている。
体、例えば、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が
吹出すように構成されている。この流体吹付装置５は、
搬送制御ローラ３で所定の位置に搬送されたプリント配
線用基板１の引き起された透光性樹脂フィルムＩＤと感
光性樹脂層１ｃ（基板）との間部に流体を直接吹き付け
るように構成されている。
このように、一部が引き起された透光性樹脂フィルムＩ
Ｄと感光性樹脂層ＩＣとの間部に流体吹付装置５で流体
を吹き付けるこ、とにより、感光性樹脂層ＩＣと透光性
樹脂フィルムＩＤとの間に流体が吹き込まれるので、透
光性樹脂フィルムＩＤを筒単にしかも瞬時に剥離するこ
とができる。そして、剥離された透光性樹脂フィルムｌ
Ｄを排出するように構成されている。
Ｄと感光性樹脂層ＩＣとの間部に流体吹付装置５で流体
を吹き付けるこ、とにより、感光性樹脂層ＩＣと透光性
樹脂フィルムＩＤとの間に流体が吹き込まれるので、透
光性樹脂フィルムＩＤを筒単にしかも瞬時に剥離するこ
とができる。そして、剥離された透光性樹脂フィルムｌ
Ｄを排出するように構成されている。
薄膜排出装置ｍ６は、固定ベルトコンベア６Ａ。
剥離薄膜ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６Ｃ及び
排出ベルト機構６Ｄで構成されている。
排出ベルト機構６Ｄで構成されている。
固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第５図で示すよう
に、一対のローラ６Ａａ、６Ａａ’を複数設け、各一対
のローラ６Ａａ、６Ａａ’に巻回されたベルト６Ａｂで
構成されている。
に、一対のローラ６Ａａ、６Ａａ’を複数設け、各一対
のローラ６Ａａ、６Ａａ’に巻回されたベルト６Ａｂで
構成されている。
剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコンベア６Ａ側
の薄膜剥離装置■の筐体に設けられており、そのガイド
面にベルト６Ａｂがスライドするように構成されている
。この剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、流体吹付袋［５で剥
離された透光性樹脂フィルムＩＤを、流体吹付装置５か
らの間接的な流体圧又は剥離したときに生じる静電気で
付着させるように構成されている。
の薄膜剥離装置■の筐体に設けられており、そのガイド
面にベルト６Ａｂがスライドするように構成されている
。この剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、流体吹付袋［５で剥
離された透光性樹脂フィルムＩＤを、流体吹付装置５か
らの間接的な流体圧又は剥離したときに生じる静電気で
付着させるように構成されている。
剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、剥離された透光性樹脂フィ
ルムＩＤを充分に付着保持できるように、プリント配線
基板ｌに対して略垂直な角度ＯＬ又はそれ以上の角度で
構成することが望ましい。また、剥離薄膜ガイド部材６
Ｂを角度０１又はそれ以上の角度で構成することにより
、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離で感光性樹脂層ｌｃに
与える応力を小さくできるので、感光性樹脂層１ｃの損
傷。
ルムＩＤを充分に付着保持できるように、プリント配線
基板ｌに対して略垂直な角度ＯＬ又はそれ以上の角度で
構成することが望ましい。また、剥離薄膜ガイド部材６
Ｂを角度０１又はそれ以上の角度で構成することにより
、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離で感光性樹脂層ｌｃに
与える応力を小さくできるので、感光性樹脂層１ｃの損
傷。
破壊を防止することができる。
可動ベルトコンベア６Ｃは、第１図及び第４図で示すよ
うに、一対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ’を複数設け、各一
対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ’に巻回されたベルト６Ｃｂ
で構成されている。この可動ベルトコンベア６Ｃは、一
方のローラ６Ｃａ″を中心にエアーシリンダ６Ｃｃで可
動し、固定ベルトコンベア６Ａのベルト６Ａｂ又は剥離
薄膜ガイド部材６Ｂに近接又は接触するように構成さ九
でいる。可動ベルトコンベア６Ｃは、流体吹付装置５で
剥離された透光性樹脂フィルムＩＤを剥離薄膜ガイド部
材６Ｂに確実に保持するとともに、それを排出するよう
に構成されている。
うに、一対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ’を複数設け、各一
対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ’に巻回されたベルト６Ｃｂ
で構成されている。この可動ベルトコンベア６Ｃは、一
方のローラ６Ｃａ″を中心にエアーシリンダ６Ｃｃで可
動し、固定ベルトコンベア６Ａのベルト６Ａｂ又は剥離
薄膜ガイド部材６Ｂに近接又は接触するように構成さ九
でいる。可動ベルトコンベア６Ｃは、流体吹付装置５で
剥離された透光性樹脂フィルムＩＤを剥離薄膜ガイド部
材６Ｂに確実に保持するとともに、それを排出するよう
に構成されている。
このように、薄膜排出装置６を固定ベルトコンベア６Ａ
、剥離薄膜ガイド部材６Ｂ及び可動ベルトコンベア６Ｃ
で構成することにより、流体吹イ、」装置５で剥離され
た透光性樹脂フィルムｌＤを剥離薄膜ガイド部材６Ｂに
付着させ、固定ベル１−コンベア６Ａと可動ベルトコン
ベア６Ｃとで確実に保持しながら、第４図に矢印。ｕｊ
で示す排出方向に排出することができる。
、剥離薄膜ガイド部材６Ｂ及び可動ベルトコンベア６Ｃ
で構成することにより、流体吹イ、」装置５で剥離され
た透光性樹脂フィルムｌＤを剥離薄膜ガイド部材６Ｂに
付着させ、固定ベル１−コンベア６Ａと可動ベルトコン
ベア６Ｃとで確実に保持しながら、第４図に矢印。ｕｊ
で示す排出方向に排出することができる。
排出ベルト機構６Ｄは、第１図に示すように、複数のロ
ーラ６Ｄａと一対のベルト６Ｄｂで構成されている。こ
の排出ベルト機構６Ｄは、プリント配線基板１の上面側
の透光性樹脂フィルムＩＤを排出するように構成されて
いる。
ーラ６Ｄａと一対のベルト６Ｄｂで構成されている。こ
の排出ベルト機構６Ｄは、プリント配線基板１の上面側
の透光性樹脂フィルムＩＤを排出するように構成されて
いる。
なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアーシリンダ
６Ｃｃに代えて、電磁ソレノイドや油圧シリンダで移動
するように構成してもよい。
６Ｃｃに代えて、電磁ソレノイドや油圧シリンダで移動
するように構成してもよい。
このように、プリント配線基板１の搬送経路に。
薄膜引起装置Ｉ及び薄膜剥離装置■を設けたことにより
、プリント配線基板１の透光性樹脂フィルムＬＤの一部
を引き起し、この後に流体吹付装置５で透光性樹脂フィ
ルムＩＤを簡単にしかも瞬時に剥離し、そして、剥離さ
れた透光性樹脂フィルムＩＤを確実に排出することが自
動的に行えるので、作業時間を大幅に短縮することがで
きる。
、プリント配線基板１の透光性樹脂フィルムＬＤの一部
を引き起し、この後に流体吹付装置５で透光性樹脂フィ
ルムＩＤを簡単にしかも瞬時に剥離し、そして、剥離さ
れた透光性樹脂フィルムＩＤを確実に排出することが自
動的に行えるので、作業時間を大幅に短縮することがで
きる。
前記薄膜剥離装置■で透光性樹脂フィルムｌＤが剥離さ
れると、プリント配線基板ｌは、搬送制御ローラ３及び
搬送ローラ２で感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装置に
搬送される。
れると、プリント配線基板ｌは、搬送制御ローラ３及び
搬送ローラ２で感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装置に
搬送される。
なお１本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。
例えば１本発明は、前記ブラシの構成材として、鋼、樹
脂以外に透光性樹脂フィルムＩＤを引き起す程度の硬度
を有するものであればどのようなものであってもよい。
脂以外に透光性樹脂フィルムＩＤを引き起す程度の硬度
を有するものであればどのようなものであってもよい。
また、ブラシの形状は、針状のものに代えて、板状のも
のであってもよい。
のであってもよい。
また、前記実施例は、ブラシで構成される薄膜引起部材
４で透光性樹脂フィルムＩＤの一部を引き起したが、本
発明は、粘着テープで構成される薄膜引起部材で透光性
樹脂フィルムＩＤの一部を引き起してもよい。
４で透光性樹脂フィルムＩＤの一部を引き起したが、本
発明は、粘着テープで構成される薄膜引起部材で透光性
樹脂フィルムＩＤの一部を引き起してもよい。
また、前記実施例は、固定ベルトコンベア６Ａ及びそれ
と連動する剥離薄膜ガイド部Ｈ６Ｂを非可動状態で構成
したが、本発明は、固定ベルトコンベア６Ａ及びそれと
連動する剥離薄膜ガイド部材６Ｂを可動するように構成
してもよい。具体的には１例えば、まず、前記第４図に
示す状態において、流体吹付装置５で剥離された透光性
樹脂フィルムＩＤを剥離薄膜ガイド部材６Ｂに付着させ
る。次に、第４図に点線の矢印Ｃで示すように。
と連動する剥離薄膜ガイド部Ｈ６Ｂを非可動状態で構成
したが、本発明は、固定ベルトコンベア６Ａ及びそれと
連動する剥離薄膜ガイド部材６Ｂを可動するように構成
してもよい。具体的には１例えば、まず、前記第４図に
示す状態において、流体吹付装置５で剥離された透光性
樹脂フィルムＩＤを剥離薄膜ガイド部材６Ｂに付着させ
る。次に、第４図に点線の矢印Ｃで示すように。
固定ローラ６Ａ及び剥離薄膜ガイド部材６Ｂを可動し、
ローラ６Ａ ａ’とプリント配線基板１に接着されてい
る透光性樹脂フィルムｌＤとの間に空間を形成する。そ
して、可動ベルトコンベア６Ｃで透光性樹脂フィルムＩ
Ｄを保持した後、空間部分に流体を吹き付けるように移
動されたノズル５Ａ′から流体を吹き付ける。このよう
に、固定ベルトコンベア６Ａ及び剥離薄膜ガイド部材６
Ｂを移動させて空間を形成し、この部分に流体を吹き付
けることにより、固定ベルトコンベア６Ａよりも後部の
プリント配線基板１に接着さ九ている透光性樹脂フィル
ムＩＤを広い面積で瞬時に剥離することができる。
ローラ６Ａ ａ’とプリント配線基板１に接着されてい
る透光性樹脂フィルムｌＤとの間に空間を形成する。そ
して、可動ベルトコンベア６Ｃで透光性樹脂フィルムＩ
Ｄを保持した後、空間部分に流体を吹き付けるように移
動されたノズル５Ａ′から流体を吹き付ける。このよう
に、固定ベルトコンベア６Ａ及び剥離薄膜ガイド部材６
Ｂを移動させて空間を形成し、この部分に流体を吹き付
けることにより、固定ベルトコンベア６Ａよりも後部の
プリント配線基板１に接着さ九ている透光性樹脂フィル
ムＩＤを広い面積で瞬時に剥離することができる。
また、前記実施例は、プリント配線基板の薄膜の剥離装
置に本発明を適用した例について説明したが、本発明は
１例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の剥
離装置に適用してもよい。
置に本発明を適用した例について説明したが、本発明は
１例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の剥
離装置に適用してもよい。
（３）効果
以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。
果を得ることができる。
〈１〉基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、前記引き起された薄膜と基
板との間部に、流体を吹きイ」ける流体吹付手段とを備
えたことにより、前記基板に張り付けられた薄膜の一部
を引き起し、この部分に流体を吹き付けて、簡単にしか
も瞬時に基板から薄膜を剥離することができるので、薄
膜を剥離する作業時器を著しく短縮することができる。
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、前記引き起された薄膜と基
板との間部に、流体を吹きイ」ける流体吹付手段とを備
えたことにより、前記基板に張り付けられた薄膜の一部
を引き起し、この部分に流体を吹き付けて、簡単にしか
も瞬時に基板から薄膜を剥離することができるので、薄
膜を剥離する作業時器を著しく短縮することができる。
く２〉前記〈１〉の構成に、前記流体吹付手段で基板か
ら剥離された薄膜の一部が付着する剥離薄膜ガイド部材
を有する薄膜排出手段を備えたことにより、前記剥離薄
膜ガイド部材で保持した状態で薄膜を排出できるので、
薄膜を確実に排出することができる。
ら剥離された薄膜の一部が付着する剥離薄膜ガイド部材
を有する薄膜排出手段を備えたことにより、前記剥離薄
膜ガイド部材で保持した状態で薄膜を排出できるので、
薄膜を確実に排出することができる。
〈３〉前記〈１〉の構成に、前記流体吹付手段で基板か
ら剥離された薄膜の一部が付着し、この付着させる角度
を可動できる剥離薄膜ガイド部材を有する薄膜排出手段
を備えたことにより、剥離時′の薄膜剥離角度を直角か
ら鈍角に設定でき、薄膜剥離薄膜ガイド部材と透光性樹
脂フィルムとの間に空間が形成できるので、剥離薄膜ガ
イド部材よりも後部の薄膜を広い面積で瞬時に、感光性
樹脂層に破損、破壊等を起すことなく、剥離することが
できる。
ら剥離された薄膜の一部が付着し、この付着させる角度
を可動できる剥離薄膜ガイド部材を有する薄膜排出手段
を備えたことにより、剥離時′の薄膜剥離角度を直角か
ら鈍角に設定でき、薄膜剥離薄膜ガイド部材と透光性樹
脂フィルムとの間に空間が形成できるので、剥離薄膜ガ
イド部材よりも後部の薄膜を広い面積で瞬時に、感光性
樹脂層に破損、破壊等を起すことなく、剥離することが
できる。
〈４〉前記＜１＞の構成に、前記基板を搬送する搬送手
段を設けたことにより、薄膜の一部を引き起し、この後
に薄膜を剥離することが自動的にできるので１作業時間
をさらに短縮することができる。
段を設けたことにより、薄膜の一部を引き起し、この後
に薄膜を剥離することが自動的にできるので１作業時間
をさらに短縮することができる。
第１図は１本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の
概略断面図、 第２図は、第１図の：ａ膜引起装置の拡大断面図、第３
図は、第２図のプリン１−配線基板の拡大断面図、 第４図は、第１図の薄膜剥１ｌｌＩ装置の拡大断面図。 第５図は、第４図の固定ベルトコンベア及び剥離薄膜ガ
イド部材の要部斜視図である。 図中、■・・・薄膜引起装置、■・・・薄膜剥離装置、
１・・・プリント配線基板、ＩＡ・・絶縁性基板、ＩＢ
・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、ＩＤ・・透光
性樹脂フィルム（保護１漠）、２・・・搬送ローラ、３
・・・搬送制御ローラ、４・・・薄膜引起部材、５・・
流体吹付手段、６・・薄膜非出装置、６Ａ・・・固定ベ
ルトコンベア、６Ｂ・・・剥離薄膜ガイド部材、６Ｃ・
・可動ベルトコンベア、６Ｄ・・・ｕト出ベルトｍ構で
ある。
概略断面図、 第２図は、第１図の：ａ膜引起装置の拡大断面図、第３
図は、第２図のプリン１−配線基板の拡大断面図、 第４図は、第１図の薄膜剥１ｌｌＩ装置の拡大断面図。 第５図は、第４図の固定ベルトコンベア及び剥離薄膜ガ
イド部材の要部斜視図である。 図中、■・・・薄膜引起装置、■・・・薄膜剥離装置、
１・・・プリント配線基板、ＩＡ・・絶縁性基板、ＩＢ
・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、ＩＤ・・透光
性樹脂フィルム（保護１漠）、２・・・搬送ローラ、３
・・・搬送制御ローラ、４・・・薄膜引起部材、５・・
流体吹付手段、６・・薄膜非出装置、６Ａ・・・固定ベ
ルトコンベア、６Ｂ・・・剥離薄膜ガイド部材、６Ｃ・
・可動ベルトコンベア、６Ｄ・・・ｕト出ベルトｍ構で
ある。
Claims (3)
- （１）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、該引き起された薄膜と基板
との間部に流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹
付手段で基板から剥離する剥離角度を設定するとともに
剥離された薄膜の一部を付着させてガイドする剥離薄膜
ガイド部材と、該剥離薄膜ガイド部材によってガイドさ
れた薄膜を排出する薄膜排出手段を備えたことを特徴と
する薄膜の剥離装置。 - （２）前記薄膜引起手段は、ブラシで薄膜を引き起す手
段であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の薄膜の剥離装置。 - （３）前記薄膜排出手段は、前記剥離薄膜ガイド部材を
設けた固定ベルトコンベアと、前記剥離薄膜ガイド部材
に付着された薄膜を保持する可動ベルトコンベアとで薄
膜排出するように構成したことを特徴とする特許請求第
１項又は第２項記載の薄膜の剥離装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19173785A JPS6250835A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 薄膜の剥離装置 |
| US06/905,411 US4867836A (en) | 1985-08-30 | 1986-08-29 | Film peeling apparatus |
| DE3650208T DE3650208T2 (de) | 1985-08-30 | 1986-08-29 | Vorrichtung zum Abschälen eines Films. |
| EP86112004A EP0218873B1 (en) | 1985-08-30 | 1986-08-29 | Film peeling apparatus |
| AT86112004T ATE117499T1 (de) | 1985-08-30 | 1986-08-29 | Vorrichtung zum abschälen eines films. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19173785A JPS6250835A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 薄膜の剥離装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6250835A true JPS6250835A (ja) | 1987-03-05 |
| JPH059019B2 JPH059019B2 (ja) | 1993-02-03 |
Family
ID=16279658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19173785A Granted JPS6250835A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 薄膜の剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6250835A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013235276A (ja) * | 2013-06-10 | 2013-11-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
| JP2016039262A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法並びに剥離開始部形成装置 |
| JP2017045830A (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社ディスコ | 粘着テープ剥離装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5354019A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | Device for developing photosensitive material |
| JPS53137142A (en) * | 1977-05-06 | 1978-11-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Development of separation type |
| JPS5647634U (ja) * | 1979-09-19 | 1981-04-27 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP19173785A patent/JPS6250835A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5354019A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | Device for developing photosensitive material |
| JPS53137142A (en) * | 1977-05-06 | 1978-11-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Development of separation type |
| JPS5647634U (ja) * | 1979-09-19 | 1981-04-27 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013235276A (ja) * | 2013-06-10 | 2013-11-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
| JP2016039262A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法並びに剥離開始部形成装置 |
| JP2017045830A (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社ディスコ | 粘着テープ剥離装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH059019B2 (ja) | 1993-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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