JPS6256243A

JPS6256243A - 薄膜の剥離装置

Info

Publication number: JPS6256243A
Application number: JP19290985A
Authority: JP
Inventors: Fumio Hamamura; 濱村　文雄
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-08-31
Filing date: 1985-08-31
Publication date: 1987-03-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（＋）発明の目的［産業−１，の利用分ツｆ］本発明は、薄膜の剥離装置に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けら才ｔた保護膜の
剥離′ＪＡ置に適用して有効な技術に関するものである
。

［従来の技ｔ＃］コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導電
層ｌ−に、感光性樹脂（フカｌ−レジスト）層とぞれを
保護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層
体髪熱圧着ラミネートする。

二の後、配線パターンフィルムも東ね、この配４！パタ
ーンフィルｌＮ及び前ＡＩ！透光竹樹脂フィル１１Δ通
して、感光性樹脂層Ｌ３所定８馬間塵光する。ｔｌ。

で、透光性樹脂フィルムを剥離し、た後、塵界された感
光性樹脂層を現像し２て丁ツチングマスクパターンを形
成する。ごの後、Ｍｆ記導電層の不必要部分をエツチン
グにより除去し、さｔ′）に残存ｊ−る感光性樹脂層も
・除去し、所定の配線パターンを有するプリン１−配線
板を形成する。

［発明が解決し７ようとｊる問題点］前述のプリン！へ配線板の製造工程においては、感光性
樹脂層を露光後現像する１−際して、透光性樹脂フィル
ムを！（Ｉ　ｌ１ｔ−する工程が必要とされている。

この透光れ樹脂フィルｌ、の剥離は、人手仕業！ＪＸ頼
っており、該）、イルムが薄いので、剥離応力の偏り等
による損傷、破壊が牛［今ない、Ｌうにするため、指先
の器用さ及び）］常な熟練をイ１する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリン１〜配線板の製造工程にｔ言Ｊる作業時間が
長くなるという問題がありｌ−６なお、本発明で解決し
ようとする、前記な＃）びに子の他の問題点と新規な特
徴は１本明ｍ書の記述及びｍ４・１図面によって明らか
になるであろう。

（２）発明の構成［問題点を解決するだめの手段］本願において開示さオしる発明のうち、代表的なものの
概要を簡明に説明すれば、下記のとおりである。

すなオ）ち、本発明は、基板に張り付けられている薄膜
を剥離する剥離装置であって、前記基板に張り付けられ
ている薄膜の一部を引き起す薄膜引起手段と、該引き起
された薄膜と基板との間部に流体を吹き細目る流体吹付
手段と、該流体吹＋１手段で基板から薄膜を剥離する剥
離角度（基板の搬送方向から見た角度）を、鈍角（基板
の搬送方向と逆方向から見ると鋭角）又は基板に苅して
鈍角θ慕から略直角θ２の範囲において変化させて剥離
方向を設定するとともに、剥離薄膜を付着さ刊る剥離薄
膜ガイド部材と、該剥離薄膜ガイド部材によってガイド
されてくる薄膜を損出する薄膜徘出手段も備えノーこと
をｔＳ徴どするものである。

［作用］本発明は、前記薄膜引起手段で薄膜を引き起し、（の引
き起された薄膜と基板との間に流体を吹き付けると、剥
離薄膜ガイド部Ｈで、薄膜を鈍角（基板の搬送方向と逆
方向から見ると鋭角）又は基板に対し、て鈍角Ｏ８から
略直角０２の範囲の剥離方向に剥離し、その剥離された
薄膜を薄１漠排出手段で損出することによ１１、感光性
樹脂層に損傷。

破壊等を起すことなく、薄喚髪基板から剥離することが
できる。

「実施例）以下、プリント配線用基板の保護膜の一１離装置に適用
し・た本発明の一実施例について説明する。

なお、実施例の全回において、同一機能も有するものは
同一符号をイ」け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の
概略構成４示す断面図である。

保護膜の剥離装置は、第１図に示す、１うｔ：、薄膜引
起装置■と薄膜剥離装置１１で構成されている。

薄膜引起装置Ｉは、第１図及び第２図で示すように、主
として、プリント配線用基板ｌを搬送する搬送ローラ２
、搬送制御ローラ３及び薄膜引起部材４で構成されてい
る。

前記プリント配線用基板ｌは、絶縁性基板ＩＡの両面（
又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形成されたものである
。このプリント配線用基板１の導電層ＩＢ上には、感光
性樹脂層ｔＣと透光性樹脂フィルム（保護膜）ｌＤとか
らなる積層体が熱圧着ラミネートされており、感光性樹
脂層ＩＣは所定のパターンに露光された後の状態にある
。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第１図にＡ
−Ａ線で示される搬送経路において、プリント配線用基
板ｌを矢印方向に搬送するように構成されている。

前記＃吸引起部材４は、プリント配線用基板１の先端が
当接すると、第３図に示すように、透光性樹脂フィルム
ＩＤの一部を引き起すように構成されている。この薄膜
引起部材４は、回転体の外周部に樹脂、鋼等の複数の硬
質針で構成されるブラシが設けられたものである。そし
て、このブラシのそれぞれの硬質側の長さは不揃いに構
成されている。これは、薄膜引起部材４とプリント配線
用基板ｌとの当接に多少のバラツキが生じても、透光性
樹脂フィルムｌＤの一部が確実に引き起すことができる
ようにするためである。

また、薄膜引起部材４は、透光性樹脂フィルムｌＩ）の
一部を引き起した後に、第２図に矢印Ｂで示すように、
搬送経路から離隔するように構成してもよい。これによ
って、薄膜引起部材４のブラシが、透光性樹脂フィルム
ＩＤ＆介して感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を起すこと
を防止することができる。

このように、回転体にブラシを設けた簡単な構成の薄膜
引起部材４を設けることにより、感光性樹脂層ＩＣに比
べて接着力の弱い透光性樹脂フィルムＩＤの一部を簡単
に引き起すことができる。

また、プリント配線用基板ｌの搬送経路に薄膜引起部材
４を設けたことにより、透光性樹脂フイ７一ルムｌｒ）の一部を自動的に引き起すことができる。

また、一部が引き起された透光性樹脂フィルム１ｎは、
薄膜剥離装置Ｈに搬送される間に搬送ローラ２又は搬送
制御ローラ３で押圧されるが、熱を加えて圧着していな
いので、感光性樹脂層ｌＣに再度接続されることはない
。

前記薄膜剥離装置■は、主として、第１図及び第４図の
拡大断面図で示すように、搬送ローラ２、搬送制御ロー
ラ３．流体吹付装置５．薄膜排出装置６で構成されてい
る。

前記流体吹付装置５は、ノズル５Ａから圧力を加えた流
体、例えば、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が
吹出すように構成されている。この流体吹付装置５は、
搬送制御ローラ３で所定の位置に搬送されたプリント配
線用Ｕ板ｌの引き起された透光性樹脂フィルムｌｒ）と
感光性樹脂層ＩＣ（基板）との間部に流体を直接吹き付
けるように構成されている。

このように、一部が引き起された透光性樹脂フィルムｌ
ｒ）と感光性樹脂層ＩＣとの間部に流体吹針装置５で流
体を吹き付けることにより、透光性樹脂フィルｌｚ　１
１’）を筒中にしかも瞬時に剥離することができる。そ
して、剥離された透光性樹脂フィルムＩＤを排出するよ
うに構成されている。

剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコンベア６Ａ側
の薄膜剥離装置Ｈの筐体に設けられており、そのガイド
面にベルト６Ａｈがスライ１くするように構成されてい
る。

また、剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、剥離された透光性樹
脂フィルム１ｒ′）を充分に付着保持できるように、プ
リント配線用基板ｌに対して略垂直な角度０．又はそれ
以−１−の角度で構成することが望ましい。また、剥離
薄膜ガイド部材６Ｂを、角度θ１又はそれ以上の角度で
構成することにより、透光性樹脂フィルムＩｎの剥離で
感光性樹脂層ＩＣに与える力を小さくできるので、感光
性樹脂層１ｃの損傷、破壊を防止することができる。

また、剥離薄膜ガイド部材６Ｂの構成を、第６図に示す
ように、前記剥離角度をプリント配線用基板ｌに対して
鈍角θ、から略直角θ２の範囲において変化できるよう
な構造に４ることにより、薄膜剥離速度又はネリ離応力
に応じて最適ろ゛剥離角度を設定することができるので
、どのようなプリント配線用基板ｌ及びどのような薄膜
ＩＩＩ離条イ！１においても、最適な剥離角度杏設定す
ることができる。

また、剥離薄膜ガイド部＋４６＋（は、流体吹イ・１装
置５で剥離された透光性樹脂フィル１％　Ｉ　Ｉ）を、
流体吹付装置５からの間接的な流体圧又ｉＪ剥離したど
きに生じる静電餐でｆ、Ｉ　、１さぜろように構成さオ
ｔでいる。

可動ベルトコンベア６Ｃは、第１図及び第４図で示すよ
うに、−・対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ’　を複数設け、
各一対の［］−ラ６Ｃａ　、　６Ｃａ’に巻回されたベ
ルｈ　６　Ｃｌ）で構Ｉ戊されている。このｎｆ動ベル
トコンベア６（：は、一方のｍｌ−ラ６　Ｃａを中心に
エアーシリンダ６　Ｃｃで移動し、固定ベル１〜コンベ
ア６Δのベルｈ　６　Ａ　ｈ又は剥離簿膜ガイド部材６
Ｂに近接叉は接触するように構成されている。可動ベル
トコンベア６Ｃは、流体吹イ・１装置５で剥離さｈた透
ｙ１１竹樹脂フィルノ、１■）を？Ｉ離薄膜ガイド部Ｎ
　６１（に確実に保持するとともに、−ｆ−れを＃Ｉ゛
、’ｌｉずろように構Ｉ戊さ才している。

このようＬ−１薄膜［１出装置（ｊを固定ベル１−丁１
ンベア６Ａ、剥離薄膜ガイド部材ｆｉ　Ｒ及び可動ベル
ｌ−：″Ｉンベア６Ｃで構成することにより、流体吹イ
、１装置５で剥離された透光性樹脂フィルｔｚ　−Ｉ　
＋）をφり離薄膜ガイド部Ｈ６１（に付着さ仕、固定ベ
ルｌ＝　＝ｌンベア６Ａと可動ベルｌ−″ｙｘンベア（
）（゛どで確実に保持しながら、第４図に矢印ｏｕｔ′
７″示すυｌ出力向に排出することができる。

餠：出ベル１−機構６１）ＩＪ：、第１図に示すように
、複数の［ｌ−ラ６［）ａと−・吋のベルｈ　６１’）
　ｂで構成されている。、二の杉Ｖ出ベル１−機構６０
け、プリンｌ配線用基板１−の十面側の透光＋′Ｉ樹脂
フィルＩｓ　１Ｆ）を４１１＝出するように構成されｒ
いろ。

なお、前記ｒｊｆ動ベルベル＝】ンベ７６（″、は、エ
アーシリンダＢＣｃに代えて、電磁ソレノイドや油圧シ
リンダで移動するように構成してもよい。

このように、プリント配線用基板１の搬送経路に、薄膜
引起装置Ｉ及び薄膜剥離装置■製膜けたことにより、プ
リン１−配線用基板ｌの透光＋′［樹脂フィルム１Ｆ）
の一部を引き起し、この後に流体吹付装置５で透光性樹
脂フィルｌｚ　１１）を簡１ｉｊにしかも瞬時に剥離し
、そして、剥離された透光性樹脂フィルム１１”）　＆
確実にｖ１出することが自動的に行うことができるので
、作業時間髪大幅に短縮することができる。

前記薄膜剥離装置■で透光性樹脂フィルムＩｎが剥離さ
れると、プリント配線用基板１は、搬送制御ローラ３及
び搬送「１−ラ２で感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装
置に搬送される。

なお、本発明は、酌記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲にＪ′；いて、種々変形し
得ることは勿論である。

例えば１本発明は、前記ブラシの材料として、鋼、樹脂
以外に透光性樹脂フィルＡｓ　１　ｒ）を引き起す程度
の硬度を有するものであればどのようなものであっても
よい。また、ブラシの形状は、針状のものに代えて、板
状のものであってもよい。

また、前記実施例は、ブラシで構成さｉｔろ薄膜引起部
十シ４ｅ透光性樹脂フィルｌ＝　１１−１の・部を引き
起したが、本発明は、粘ｎテープで構成さ狙る薄膜引起
部材で透光性樹脂フィルノ、１［）の・部を引き起しで
もよい。

また、前記実施例は、プリンｌ−配線用基板の薄膜の剥
離装置に本発明を適用した例に′）いて説明したが、本
発明は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保Ｓ
膜のネリ離装置番−適用し、でもよい。

（３）効果以十説明【、またように１本発明によれば、以Ｆに述べ
る効果を得ることができろ。

〈１〉基板に張り付けられている薄膜をφり離する剥離
装置であって、前記基板に張り付けｒＸれている薄膜の
−・部を引き起ず薄膜引起装置と、１）１１記引き起さ
れた薄膜と基板との間部に、流体を吹き付ける流体吹付
手段とを備えたことによｉＪ、前記基板に張り付けられ
た薄膜の−・部を引き起し、この部分に流体を吹き付け
て、筒中にし、かも瞬時に基板から薄膜製剥離すること
ができるので、薄膜を剥離する作業時間を鼓しく短縮す
ることができる。

〈２〉前記〈１〉の構成に、白ｆｌ記流体吹イ・１手段
で基板から剥離された薄膜の−・部が（−１着するｔｌ
ｌ　Ｍ薄膜ガイド部利を有する薄膜排出手段を備えたこ
とにより、前記剥離薄膜ガイド部材で保持した状態で薄
膜を排出できるので、薄膜を確実に排出することができ
る。

〈３〉前記〈２〉の剥離薄膜ガイド部材の構成を剥離時
の薄膜剥離角度を鈍角に設定できる構造にしたことによ
り、薄膜剥離薄膜ガイド部＋４と透光性樹脂フィルムと
の間に空間が形成できるので、剥離薄膜ガイド部材より
も後部の薄膜を広い面積で瞬時に、感光性樹脂層に損傷
、破壊等を起すことなく、剥離することができる。

〈４〉前記〈２〉の剥離簿膜ガイド部材の構成を剥離時
の薄膜剥離角度を鈍角から略直角に設定できる構造にし
たことにより、薄膜剥離速度又は剥離応力にじて最適な
剥離角度で設定できるので。

感光性樹脂層に損傷、破壊等を起すことなく、剥離する
ことができる。

〈５〉前記〈１〉の構成に、前記基板を搬送する搬送手
段を設けたことにより、薄膜の一部を引き起し、この後
に薄膜を剥離することか自動的にできるので、作業時間
をさらに短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の
概略断面図。第２図は、第１図の薄膜引起装置の拡大断面図、第３図
は、第２図のプリン１〜配線用基板の拡大断面図、第４図は、第１図の薄膜の剥離装置の要部の拡大断面図
、第５図は、第１図の薄膜の剥離装置の要部の拡大断面図
、第６図は、固定ベルトコンベア及び剥離薄膜ガイド部材
の要部斜視図である。図中、１・・・薄膜引起装置、■・・薄膜剥離装置、１
・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性基板、ｌ
Ｂ・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、ＩＤ・・・
透光性樹脂フィルム（保護膜）、２・・・搬送ローラ、
３・・・搬送制御ローラ、４・・・薄膜引起部材、５・
・・流体吹付装置、６・・・薄膜排出装置、１５　Ａ・
・・固定ベルトコンベア、６Ｂ・・・剥離薄膜ガイド部
材、６Ｃ・・・可動ベルトコンベア、６Ｄ・・・排出ベ
ルト機構である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、該引き起された薄膜と基板
との間部に流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹
付手段で基板から薄膜を剥離する剥離角度（基板の搬送
方向から見た角度）を鈍角（基板の搬送方向と逆方向か
ら見ると鋭角）に設定するとともに、剥離薄膜を付着さ
せる剥離薄膜ガイド部材と、該剥離薄膜ガイド部材によ
ってガイドされてくる薄膜を排出する薄膜排出手段を備
えたことを特徴とする薄膜の剥離装置。
（２）前記薄膜引起手段は、ブラシで薄膜を引き起す手
段であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の薄膜の剥離装置。
（３）前記薄膜排出手段は、前記剥離薄膜ガイド部材を
設けた固定ベルトコンベアと、前記剥離薄膜ガイド部材
に付着された薄膜を保持する可動ベルトコンベアとで薄
膜を排出するように構成したことを特徴とする特許請求
第１項又は第２項記載の薄膜の剥離装置。
（４）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、該引き起された薄膜と基板
との間部に流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹
付手段で基板から薄膜を剥離する剥離角度を基板に対し
て鈍角θ＿１から略直角θ＿２の範囲において変化させ
て剥離方向を設定するともに、剥離薄膜を付着させる剥
離薄膜ガイド部材と、該剥離薄膜ガイド部材によってガ
イドされてくる薄膜を排出する薄膜排出手段を備えたこ
とを特徴とする薄膜の剥離装置。
（５）前記薄膜引起手段は、ブラシで薄膜を引き起す手
段であることを特徴とする特許請求の範囲第４項に記載
の薄膜の剥離装置。
（６）前記薄膜剥離排出手段は、前記剥離薄膜ガイド部
材を設けた固定ベルトコンベアと、前記剥離方向ガイド
部材に付着された薄膜を挟持する可動ベルトコンベアと
で薄膜を剥離しながら排出するように構成したことを特
徴とする特許請求の範囲第４項又は第５項記載の薄膜剥
離装置。