JPS6241159A - 薄膜剥離方法及び薄膜剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的　。

［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保Ｓ膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は両
面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂フィルム（保護膜）とからなる積層フィルムを熱圧着
ラミネートする。この後、配線パターンフィルムを重ね
前記パターンフィルム、透光性樹脂フィルムを通して、
感光性樹脂層に所定時間露光する。そして、透光性樹脂
フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像
してエツチングマスク・パターンを形成する。この後、
前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し、さ
らに残存する感光性樹脂層を剥離し、所定の配線パター
ンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層の現像に際して、透光性樹脂フィルムを剥離する工
程が必要とされている。この透光性樹脂フィルムの剥離
は５人手作業に頼っており、該フィルムが簿いので、剥
離応力の偏り等による損傷、破壊が生じないようにする
ため、指先の器用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題点があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本願の第１番目の発明は、基板に張り付けら
れている薄膜を剥離する剥離方法において、前記基板に
張り付けられている薄膜の刺部方向を基板に対して鈍角
（基板の搬送方向と逆方向から見ると鋭角）から略直角
の範囲において設定できる剥離角度可変型薄膜剥離ガイ
ド部材を用いて剥離することを特徴とする薄膜剥離方法
であり。

第２番目の発明は、基板に張り付けられている薄膜を剥
離する剥離装置であって、前記基板に張り付けられてい
る薄膜を引き起す薄膜引起手段と、剥離時に引き起され
た薄膜の剥離角度を基板に対して鈍角（基板の搬送方向
と逆方向から見ると鋭角）から略直角の範囲において設
定できる剥離角度可変型薄膜剥離ガイド部材と、前記薄
膜引起手段により引き起された薄膜を剥離しながら搬送
する薄膜剥離搬送手段を備えたことを特徴とするもので
ある。

［作用］ 本発明は、前記薄膜引起手段により薄膜を引き起し、そ
の引き起された薄膜の背面を前記薄膜剥離ガイド部材に
当てた状態で、透光性樹脂フィルム等の薄膜を基板から
剥離して搬送するので、剥離力が薄膜に一様に安定して
加えられる。

［実施例］ 以下１本発明をプリント配線用基板の保護膜の剥離装置
に適用した一実施例について説明する。

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

本発明の一実施例のプリント配線用基板の保護膜の剥離
搬送機構の概略構成を第１図に示す。

本実施例のプリント配線用基板の搬送機構は。

第１図及び第２図（第１図の要部の拡大断面図）に示す
ように、主として、プリント配線用基板１を搬送する搬
送ローラ２、搬送制御ローラ３で構成されている。

前記プリント配線用基板ｌは、絶縁性基板ｌＡの両面（
又は片面）に銅の導電層ＩＢが形成されたものである。

このプリント配線用基板１の導電層ＩＤ上には、感光性
樹脂！ＩＣと透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＤとから
なる積層体が熱圧着ラミネートされており、感光性樹脂
ＭＩＣが所定の配線パターンに露光された状態にある。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第１図にＡ
−Ａ線で示される搬送経路において、プリント配線用基
板１を矢印方向に搬送するように構成されている。

前記保護膜引起機構は、プリン１〜配線用基板１の先端
が所定位置に来ると、第３図に示すように、透光性樹脂
フィルムＩＤの一部を引き起すためのものであり、粘着
性回転体４をプリント配線用基板１の透光性樹脂フィル
ムＩＤに押し付けて接着し、その状態で持ち上げて透光
性樹脂フィルムｌＤの一部が確実に引き起すことができ
るようになっている。この粘着性回転体４は、第３図及
び第４図に示すように、円柱形状の回転体の円周面に粘
着性物体４Ａを設け、回転軸４Ｂを中心に可動するアー
ム４Ｃで構成されている。このアーム４Ｃは、歯車機構
５の回転により前記粘着性回転体４を上下動させるため
のものである。そして、第５図に示すように、アーム４
Ｃは、可動搬送ベルト機構のベルトの間に挿入されてい
る。

前記粘着性回転体４は、プリント配線用基板１の先端部
が搬送制御ローラ３の制御で所定の位置に設定されると
、第４図に示すように、アーム４Ｃが矢印Ｂ方向に可動
し、粘着性物体４Ａが透光性樹脂フィルムＩＤの先端部
に当接するようになっている。この後、第４図に示すよ
うに、搬送制御ローラ３でプリント配線用基板１を搬送
方向に搬送するとともに、アーム４Ｃを矢印Ｃ方向に可
動させると、粘着性物体４Ａで透光性樹脂フィルムＩＤ
の先端部が引き起される。この時、透光性樹脂フィルム
ＩＤと感光性樹脂層ＩＣとの接着力に比べて、感光性樹
脂ＭＩＣと導電層ＩＢとの接着力の方が強いため、感光
性樹脂層ｉｃは剥離することはない。

このように、簡単な構成の粘着性回転体４を設けること
により、接着力の弱い透光性樹脂フィルムＩＤの一部を
簡単に引き起すことができる。しかも、粘着性回転体４
を当接して引き上げるだけで透光性樹脂フィルムＩＤの
一部を引き起すことができるので、機械的な衝撃を与え
ることがなく、感光性樹脂層ＩＣの損傷、破壊を生じる
ことがなし１　。

また、プリン１〜配線用基板１の搬送経路に粘着性回転
体４を設けたことにより、透光性樹脂フィルムＩＤの一
部を自動的に引き起すことができる・剥１１１１１送機
構６は、固定ベルトコンベア６Ａ、薄膜剥離ガイド部材
６Ｂ、可動ベル１−コンベア６Ｃ及び薄膜排出用搬送ベ
ルト機構６Ｄで構成されている。

固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第４図及び第６図
の要部斜視図で示すように、一対のローラ６Ａａ、６Ａ
ａ’を複数設け、各一対のローラ６Ａａ、６Ａａ″に巻
回されたベルト６Ａｂで構成されている。

可動ベル１〜コンベア６Ｃは、第１図、第４図及び第５
図で示すように、一対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ　’を複
数設け、各一対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ′に巻回された
ベルト６Ｃｂで構成されている。

この可動ベルトコンベア６Ｃは、一方のローラ６Ｃａを
中心にエアーシリンダ６　Ｃｃで可動し、固定ベルトコ
ンベア６Ａのベルト６Ａｂ又は薄膜剥離ガイド部材６Ｂ
に近接又は接触するように構成されている。可動ベルト
コンベア６Ｃは、粘着性回転体４で剥離された透光性樹
脂フィルムＩＤを薄膜剥准ガイド部材６Ｂに確実に保持
するようになっている。

前記固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコンベア６Ｃ
で、粘着性回転体４で剥離された透光性樹脂フィルムｌ
Ｄを挟持しく第４図の点線で示す位置）、それぞれの一
対のローラ６Ａａ、６Ａａ’及び一対のローラ６Ｃａ、
６Ｃａ’を駆動させることにより、順次剥離して排出す
るように構成されている。

前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコンベア６
Ａ側の薄膜剥離装置の筐体に設けられており、前記ベル
ト６Ａｂ間に配置されている。

この薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、透光性樹脂フィルムＩ
Ｄの剥離時における剥離位置の変動防止。

剥離応力の偏りの防止ができ、かつ、感光性樹脂Ｍ！Ｊ
ＩＣが損傷、破壊しないようにするために、第４図に示
す引き起された透光性樹脂フィルムＩＤの剥離角度θ（
基板ｌの搬送方向から見た角度）を、第７図に示すよう
に、プリント配線用基板１に対して鈍角ＯＬから略直角
θ２の範囲において設定できるように、剥離角度可変型
の構造になっている。このような構造にすることにより
、剥離速度、剥離応力等の大小に応じて最適な剥離角度
０を設定することができる。そして、薄膜剥離ガイド部
材６Ｂの先端は、プリント配線用基板１にこすれない程
度の間隔を置いて設けられている。

また、薄膜剥離ガイド部材６Ｂの先端は、その断面が曲
率半径の小さい円弧状になっている。例えば、曲率半径
が３圃以下に構成されている。

このように薄膜剥離ガイド部材６Ｂを設けることにより
、剥離位置を安定させると共に、透光性樹脂フィルムＩ
Ｄ及び感光性樹脂層ＩＣに一様な剥離応力を加えること
ができる。

前述のように、剥離搬送機構６は、固定ベルトコンベア
６Ａ、薄膜剥離ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６
Ｃで構成することにより、粘着性回転体４で引き起され
た透光性樹脂フィルムＩＤは、薄膜剥離ガイド部材６Ｂ
にガイドされ、固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコ
ンベア６Ｃで挟持されて剥離しながら搬送され、第４図
に矢印ＯＵＴで示す排出方向に排出することができる。

前記薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、第１図に示すよ
うに、複数のローラ６Ｄａと一対のベルト６Ｄｂで構成
されている。この薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、プ
リント配線用基板１の上面側の透光性樹脂フィルムＩＤ
を排出するように構成されている。

なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアーシリンダ
６Ｃｃに代えて、電磁ソレノイドや油圧シリンダで可動
するように構成してもよい。

このように、プリント配線用基板１の搬送経路に、薄膜
剥離装置を設けたことにより、プリント配線基板１の透
光性樹脂フィルムＩＤの一部を粘着性回転体４で引き起
し、この後に剥離搬送機構６により透光性樹脂フィルム
ＩＤを簡単に剥離しながら搬送し、そして、剥離された
透光性樹脂フィルムＩＤを確実に排出することが自動的
に行うことができるので、作業時間を大幅に短縮するこ
とができる。

前記薄膜剥離装置で透光性樹脂フィルムＩＤが剥離され
ると、プリント配線用基板１は、搬送制御ローラ３及び
搬送ローラ２で感光性樹脂層１ｃを現像する現像装置に
搬送される。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、第８図に示す
ように、複数の棒状部材で格子状に形成したものでもよ
い。ただし、この薄膜剥離ガイド部材６Ｂの先端部材は
、その断面が曲率半径の小さい円孤状の構造になってい
る。

また、薄膜剥離搬送手段は、回転ローラと回転ローラを
組み合せたもの、固定ベルトと固定ベルトとを組み合せ
たもの、回転ローラにフィルムを巻き込む方式のもの、
吸盤の吸引力を用いて薄膜剥離搬送する方式のもの等を
用いてもよい。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄膜の剥離
装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明
は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の
剥離装置に適用してもよい。

（３）効果 以上説明したように１本発明によれば、基板に張り付け
られている薄膜の剥離角度を、基板の搬送方向から見て
鈍角（基板の搬送方向と逆方向から見ると鋭角）に設定
する薄膜剥離ガイド部材を用いて、剥離速度、剥離応力
等の大小に応じた最適な剥離角度に設定して剥離するこ
とにより、透光性樹脂フィルム等の薄膜及び感光性樹脂
層に一様な剥離応力を加え、剥離位置を安定させるので
、透光性樹脂フィルム等の薄膜の剥離時における剥離位
置の変動防止、剥離応力の偏りの防止ができ。

かつ、感光性樹脂層が損傷、破壊しないように剥離する
ことができる。

また、基板に張り付けられている薄膜の一部を引き起し
、この引き起された薄膜を、基板の搬送方向から見て鈍
角（培板の搬送方向と逆方向から見ると鋭角）から略直
角の範囲において設定できる剥離角度可変型薄膜剥離ガ
イド部材を用いて剥離しながら搬送するような構造にし
たことにより、透光性樹脂フィルム等の薄膜及び感光性
樹脂層に一様な剥離応力を加え、剥離位置を安定させる
ので、透光性樹脂フィルム等の薄膜の剥離時における剥
離位置の変動防止、剥離応力の偏りの防止ができ、かつ
、感光性樹脂層が損傷、破壊しないように自動的に剥離
することができる。

また、簡単にしかも瞬時に基材から薄膜を剥離すること
ができるので、薄膜を剥離する作業時間を著しく短縮す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離搬送機構の概略構成を示す断面図、 第２図は、第１図の搬送機構の要部の拡大斜視図、 第３図は、本実施例の薄膜引起機構の原理を説明するた
めの図。 第４図及び第７図は、第１図の剥離搬送機構の要部の概
略構成を示す拡大断面図、 第５図は、第１図の薄膜剥離機構の概略構成を示す斜視
図、 第６図は、第１図の固定ベルトコンベア及び薄膜剥離ガ
イド部材の要部の概略構成を示す斜視図。 第８図は、薄膜剥離ガイド部材の他の実施例の概略構成
を示す斜視図である。 図中、■・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性
基板、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、ｌ
Ｄ・・・透光性樹脂フィルム（保護膜）、２・・・搬送
ローラ、３・・搬送制御ローラ、４・・・粘着性回転体
、４Ａ・・・粘性性物体、４Ｂ・回転軸、４Ｃ・・・ア
ーム、５・・・歯車機構、６・・剥離搬送機構、６Ａ・
・・固定ベルトコンベア、６Ｂ・薄膜剥離ガイド部材、
６Ｃ・・・可動ベルトコンベア、６Ｄ・・・薄膜排出用
搬送ベルト機構である。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離方
   法において、前記基板に張り付けられている薄膜の剥離
   角度を基板に対して鈍角（基板の搬送方向と逆方向から
   見ると鋭角）から略直角の範囲において設定できる剥離
   角度可変型薄膜剥離ガイド部材を用いて剥離することを
   特徴とする薄膜剥離方法。
2. （２）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
   置であって、前記基板に張り付けられている薄膜を引き
   起す薄膜引起手段と、剥離時に引き起された薄膜の剥離
   角度を基板に対して鈍角（基板の搬送方向と逆方向から
   見ると鋭角）から略直角の範囲において設定できる剥離
   角度可変型薄膜剥離ガイド部材と、前記薄膜引起手段に
   より引き起された薄膜を剥離しながら搬送する薄膜剥離
   搬送手段を備えたことを特徴とする薄膜剥離装置。
3. （３）前記薄膜剥離搬送手段は、前記薄膜剥離ガイド部
   材を設けた固定ベルトコンベアと、前記薄膜剥離ガイド
   部材に付着された薄膜を挟持する可動ベルトコンベアと
   で薄膜を剥離しながら搬送するように構成したことを特
   徴とする特許請求の範囲第２項記載の薄膜剥離装置。
4. （４）前記薄膜剥離ガイド部材は、基板と小間隙を形成
   する位置に設けたことを特徴とする特許請求の範囲第２
   項又は第３項記載の薄膜剥離装置。
5. （５）前記薄膜剥離ガイド部材の先端は、その断面が曲
   率半径の小さい円弧状に構成されてなることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の薄膜剥離方法又は第２項
   記載の薄膜剥離装置。