JPS6256244A - 薄膜剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネ
ートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、この
配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通
して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光
性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層
を現像してエツチングマスクパターンを形成する。この
後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し
、さらに残存Ｊ−る感光性樹脂層を剥離１７、所定の配
線パターンに有するプリン１へ配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造Ｉ−程に才？いては、感光
性樹脂層を闘光後現像するに際して、透光性樹脂フィル
ム、を剥離す゛る一ＴＰ＋’、が必要とされている。

この透光性樹脂フィルムの＃Ｉ離は、人１作業に頼って
おり、該フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による
損傷、破壊がａ’、　Ｕ　７’Ｊ’、いようにするため
、指先の器用さ及びＪ＋常な熟練も要する。

このため、透光（１樹脂フイルムの剥離時間が増大する
ので、プリン１へ配線板の製造工程における作業時間が
長くなるという問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための１段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡７１に、１２明ずｉｔば、１−記σ９どおり１゛
ある。

すなオ）も、本発明は、ｖ板に張番（イ・口ｔ　Ｌ”ｖ
　、ｊｌでいる薄ＷＡを剥離する剥離装置であ−）ｒ、
的４■；括抜に張り４：１けられでいる薄膜の端部に力
を加える突起押圧部材と、核力を加λら訂だ部分の！Ｊ
／膜を浮かしで引き起し、剥離し７ながｒ、ｍ送する薄
膜剥離搬出手段どもで設けＣなる。′″′とを特徴とす
る薄膜判１装置であり、ま１−１該薄（換！１ｊ離′！
！！２置に前記薄膜剥離搬出１段で基板かｐ、　、Ｊｌ
ｌ離さｊｌ、ろ薄膜の剥ＩＩＩ　Ｊｊ向を設定゛する薄
筒剥離ガイＩ・部材どを設けてなる二と衣特徴とする薄
膜ＪＩＩ離装首装置る。

［作用］ 本発明は、０１１記突起押圧部材で１腺の端部に力を加
えて゛、その部−／Ｊ）の薄膜Δ−１ｔか１７で引き起
し薄膜の剥離力向を薄膜剥離ガイド部材で設定し、薄膜
剥離搬出手段で基板から薄膜を剥離し、ながｌ’ｌｌｌ
送り、て剥離薄膜を排出する。

［実施例］ 以十、ブ電（ンｌ〜配線用基板の保護膜の剥離装置−：
３− に適用した本発明の・実施例について説明する。

なお、実に例の＋Ｍにおいて、同一機能を有するものは
同・符号をイ・１け、その＜　＋＋返【−７の説明は省
略する。

第１図は、本発明の・実施例である保護膜の剥離装置の
概略構成を示す断面図である。

本実施例の保護膜の７１１離装置におけるプリン１〜配
線用基板の搬送機構は、第１図に示すように、ｌとし７
゛Ｃ、プリント配線用括板１を搬送する搬送ローラ２及
び搬送制御［１−ラ３で構成されでいる。

この搬送機構にｊ；目る搬送経路には、突起押圧機構４
、粘着性回転体５（第１図には図示しでいない）及び薄
膜搬出１幾構６が設けらｔしている、前記プリン１−配
線用量、板ｌは、第２図（突起押圧機構４の拡大断面図
）で示すように、絶縁＋１基板ＩＡの両ｉｌ＋ｉ　（又
はＩ”＋１ｆｉ　）に銅等の導電層Ｉ　Ｂが形成された
ものである。二のプリン１へ配線用基板１の導電層１１
も［、には、感光性′樹脂層ＩＣと透）１．９性樹脂フ
−イルム（保護膜）ＩＩ）とからなる積層体が熱圧着う
ミネー１−さＪしている。感光性樹脂層ＩＣは−・１− 所定のパターンに露光さオＣまたｔ６：の状態１−ある
。

前記搬送Ｌｌ−ラ２及び搬送制御ローラ３４は、第１図
に△−Ａ線で示される搬送経路にｔ；いＣ３−ｌリント
配線用ｊｊ（板ＩＫへ印方向１−閑ｊ、スするよ）に構
成さ引ｔでいる。

前ル１！突起押圧機構４は、第１図及び第１２図に示す
よう１：、釦状の突起押圧部＋４４　、Ａ　ｖ感光性樹
脂層ＩＣ及び■け透光性樹脂フィルム 力を加えるように構成されｒいろ１、［１５体的に説明
すれば、まＡ゛、プリン１、配線用１に板１の先端が位
置検出ｌ：′ｊＳで検知されイ・と、ての−１″リント
配線用基板１の先端ど、第１図、第２１ｍ及び第；）図
で示ずイ装置設定部材４１３とが当接する＝　（＋’ｒ
置装出器５１１）７１−１−　ｆごン４」゛で構成する
、１位「ｊ設・定部材４１３は、前記位置検出器Ｓの検
知信号１２、より、丁、）′シリンダ　ｆｉｉ　ｆｇ　
ソ１．．□　／　イＦ等ｔ））ＴｆＪ動Ｗｌｌｉ　４　
ＣＴ矢１−１目３−Ｊｊ向に摺動４ろよ−）に構成され
でいる１、次耐、感光性樹脂層１（゛及び透光慴樹脂゛
ノイルｌｈ　ｉ　１．）の搬送方向の端部の導電層１１
ＬＩに突起押圧部材４Ａの先端を当接させる２、突起押
圧１１１）材４Ａは、軸４１）を中心に歯＋１ｆ４　Ｅ
　、　４　Ｆで矢印Ｃ方向に１■動するように構成され
ている。そして、歯車４Ｇとラック４Ｈによる矢印Ｉ）
方向の動作で、導電層Ｉ　Ｂ−、Ｉｒ。

を摺動するように、突起押圧部材４Ａを図中、右方向に
移動させる。この突起押圧部材４Ａの移動により、第４
図で示すように、感光性樹脂層１ｃ及び又は透光性樹脂
フィルムｌ　Ｉ）の端部に力が加えられる。

この後、必要に応じて突起押圧部材４Ａを、図中、左方
向に移動させる。

このように、プリント配線用基板ｌの感光性樹脂層ｌＣ
及び又は透光性樹脂フィルム１１）の端部に、針状の突
起押圧部材４Ａで力を加えることにより、感光性樹脂層
ＩＣと透光性樹脂フィルムｌＤに歪みが生じて復元する
ときに、第５図に符号Ｉ（で示すように、それらを剥離
して両者間に隙間を形成することができる。この剥離が
生じるのは、感光性樹脂層ｌＣと透光性樹脂）−イルム
ＩＤとの１１質が異なり、後考に比べて前者の方が塑性
変形し易いためと、力が加オ）ったとき両者間に剪断応
力が生しるためである。

また、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムｌＤとの
剥離は、剣状の簡ｉｌｌな構成の突起押圧部材４Ａで行
うことかできる。

また、プリン１へ配線用基板１の搬送経路に突起押圧部
材４Ａを設けたことにより、感光性樹脂層ｌＣと透光性
樹脂フィルムｌ　ｌ）との端部を自動的に剥離ずことが
できる。

なお、剥離された感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィル
ムＩＤとは、薄膜剥離搬送機構５に搬送される間に、搬
送ローラ２又は搬送制御ローラ３で押圧されるが、熱を
加えて圧着していないので、それらが再度接着されるこ
とはない。

また、本実施例では、プリン］・配線用基板１に対し、
感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムｌＤとが歪んで
熱圧着ラミネートされることを考慮して、プリント配線
用基板１の搬送方向に対して３つの突起押圧部材４Ａを
設けであるが、これに限定されない。すなわち、感光性
樹脂層１　（、Ｈと透光性樹脂フィルム１．　ｒ’）と
の端部に必ず力が加えられるならば、１つ、２つ又は４
つ以−１−の突起押圧部材４Ａを設けてもよい。

前記透光性樹脂フィルム１１〕の力を加えられた部分に
粘着性回転体５を押し付けて接着し、その状態で矢印方
向に移動させることによって透光性樹脂フィルムＩＤを
薄膜剥離搬出機構６まで持ってくる。そして、透光性樹
脂フィルム１１）を薄膜剥離搬出機構６によって剥離し
ながら排出するようになっている。

前記粘着性回転体５は、第〔；図及び第７図に示すよう
に、円柱形状の回転体の円周面に粘着性物体５Ａを設け
、回転軸５Ｂを中心に可動するアーム５Ｃで構成されて
いる。このアーム５Ｃは、エアシリンダ５１〕により前
記粘着性回転体５を」−不動させるためのものである。

そして、第８図に示すように、アーム５Ｃは、可動搬送
ベルト機構のベルトの間に挿入されている。

剥離搬送機構６は、固定ベル１−コンベア６Ａ。

薄膜剥離ガイド部材６　Ｂ、可動ベルトコンベア６Ｃ及
び薄膜排出用搬送ベル１−機構６　Ｉ）で構成され一８
＝ でいる。

固定ベル１〜コンベア６Ａは、第１図、第７図及び第９
図で示すように、一対のローラ６Ａａ＋ｆｉＡａ’を複
数設け、各一対のローラ６Ａａ、６Ａａ′に巻回された
ベルＩ−６Ａ　））で構成されている、。

可動ベルｌ−コンベア６Ｃは、第１図、第７図及び第８
図で示すように、一対のローラ５（’：ａ、６Ｃａ″を
複数設け、各一対のローラ５　Ｃａ　１６　Ｃａ′に巻
回されたベルｌ−５ＣＩ３で構成されている。

この可動ベルトコンベア６Ｃは、一方のローラ６Ｃａ’
を中心にエアシリンダ６　ＣｃでＩｉ丁動し、固定ベル
トコンベア６Ａのベルｌ−６Ａ　ｂ又は薄膜剥離ガイド
部材６Ｂに近接又は接触するように構成されている。可
動ベルトコンベア６Ｃは、粘着性回転体５で剥離された
透光性樹脂フィルムＩＤを薄膜剥離ガイド部材６Ｂに確
実に保持するようになっている。

前記固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコンベア６Ｃ
で、粘着性回転体５で剥離された透光性樹脂フィルム１
１〕を決持しく第７図の点線で示す位置）、そわ、ぞれ
の・対のローラ６Ａ　ａ　、　６Ａ　ａ’及び一対のロ
ーラ６Ｃａ、６Ｃａ’を駆動させることにより、順次剥
離してｕｌ：出するように構成されている。

前記薄膜剥離ガイド部材６　Ｂ　ｌｊ：　、、固定ベル
１−＝１ンベア６Δ側の薄膜剥離装置の筐体に設けられ
でおり、前記ベルト６Ａｂ間に配置されている。

この薄膜剥離ガイド部材６［（は、透光性樹脂フィル！
、　ｉ　ｎの剥離時における剥離位置の変動防止。

剥離応力の偏りの防止ができ、か−）、感光性樹脂層Ｉ
Ｃが損傷、破壊しないようにするために、引き起された
透光性樹脂フィルムｌ［）の剥離角度Ｏ（基板１の搬送
方向から見た角度）がプリント配線用基板ｌに対して鈍
角となるように、透光性樹脂フィルム１１１を剥離ガイ
ドするような構造になっている。この剥離角度０は、鈍
角から直角まで設定できるように構成して、剥離速度、
薄膜の厚さ、材質に応じて最適な剥離角度を選択して設
定できるようにしてもよい。そして、薄膜剥離ガイド部
材（５１３の先端は、プリント配線用ｊＪ２板１にこず
れない程度の間隔装置いで設けら４１でいる。

また、薄膜Ｉ１１離ガイド部材６１３の先端は、子の断
面が曲率１１４径の小さい円孤状になっている。例えば
、曲率半径が：（圃以トに構成さｉｌ、ている、。

このように薄膜ネ１１離〕ｊイト部材Ｃ５［３を設ける
ことにより、剥離位置存安定さ１１ろど共に、透Ｗ、　
ｔ’１樹脂フィルム１１）及び感）ｎ性樹脂層ＩＣに−
・様なメ１１離応力を加えることかできる。

前述の、Ｌうに、剥１１を搬送機構（５は、固定ベル１
−了１ンベア（３Ａ、薄１漠ネ１１離ガイＩへ部材６１
３．１１１帖ヘル１−コンベア６Ｃで構成することによ
り、粘着ｎ回転体５″ｒ″引き起された透光性樹脂フィ
ルノ、ＩＩ）は、薄膜ｉ１１離ガイド部材６Ｂに−ｔ３
イドさｔｔ、固定ベルＩ−コンベア（５Δと可動ベル１
−コンベア６０で挟持されｒ剥離し、なが＋工、搬送さ
れ、第４図に矢印ＯＵ　Ｔで示ず掛出方向に■］出する
ことができる。

前記薄膜排出用１般送ベル１−機構ｆｉｌ）は、第１図
に示すように、複数のローラ６１）ａと−・対のベルｈ
　６１）ｂで構成さＪｌでいる。この薄膜掛出用搬送ベ
ルＩ−機構（ｊｌ）は、ゾ１１ンＩ−配線用、ｊｌＬ扱
１の１．面側の透ソロ　（’ｌ樹脂フイルノ、ＩＩ）を
川、出するように（，４成されている。

このように、プリン１−配線用基板１の搬送経路に、７
Ｗ股Ｊ（１離装置を設（またことにより、プリント配線
用括板１の透光（’ｌ樹脂フイルノ、１１）の−・部を
粘打Ｍ回転体５て引き起し、この後にＪＩＩ離搬送搬送
機構６り透光性樹脂フィルｌ、Ｉ　Ｉ’ｌを筒中に剥離
しながら搬送し、ぞし、て、φり離されｈ透ソロ（７１
樹脂フイル／、ｌ　Ｉ）を確実に掛出１−ることか自動
的に４１つことができるので、作業時間を大幅に短縮す
ることかできる。

ｒ＋ｉｉ記薄膜剥離装Ｗｔで透ｙｌ　＋’Ｌ　ＭＡ脂フ
イルノ、１１）がＪｌ＋離されると、プリ＞１−配線用
基板１は、搬送制御「１−ラ３及び搬送ローラ２Ｃ感）
ｎ性樹脂層ＩＣを現像する呪（張装置へ搬送さＪ＋る。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、ｆＩ１１々変形
し得ることは勿論である。

例えば、前記突起押圧部材４Ａは、第１０図に示す′）
叶ビ形状、第１１図に示す１Ｖ板形状、第１２図に示４
゛曲ｊ＋　９仕ビ形状のいずおのものであって−もよい
、、　ｍ／記薄膜４り踵ガｆ’　Ｆ部材６　ＩＩは、第
１３図１小才ように、複数の棒状部材で格子桟に形成し
たものでもよい。ただし、この薄Ｉ！Ａｌ１１離ガイド
部材６１３の先端部材は、ぞの断面が曲率ｉ１ｚ径の小
さい円孤状の構造にな−〕でいろ。

また、薄膜剥＃搬送丁段は５回転Ｌ１−ラと回転し１−
うを組みｈ什たもの、固定ベル！−と固定ベル１−を組
みなせたもの１回転１“１−ラにフイルノ、夕巻き込む
Ｊｒ式のもの、吸盤の吸引力を用いて薄膜剥離搬送する
方式のもの等を用いても、Ｌい。

また、前記実施例は、プリンｔ・配線用基板の簿膜の剥
離装置に本発明を適用り、た−例に−）いで説明したが
、本発明は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う
保護膜の漬り離装置に適用１５．Ｃもよい。

（３）効果 以Ｉ−説明［、たよろに、４：発明によれば、以ドに述
／くる効果を得ることができる。。

〈１〉突起押圧部＋−ｔで薄膜の端部に力を加えて、：
の薄膜の力が加わった部分を引き起して剥離しながら搬
Ｉｐするように構成したので、Ｕ甲か構成でｎｉｆ記薄
膜を瞬時に剥離することができる。

く２〉前記〈１〉により、薄膜の剥離時間を短縮する。

二とができる。

〈３〉前記〈１〉の引き起さｉｔだ薄膜を、基板の搬送
方向からｑｌて鈍角（基板の搬送Ｊｊ向と逆方向から見
ると鋭角）から略直角の剥離角度を選択設定し、その設
定された剥離角度で剥離しながら搬送するような構造に
したことにより、透光性樹脂フィルム等の薄膜及び感光
性樹脂層に一様な剥離応力を加え、剥離位置を安定させ
るので、透光性樹脂フィルム等の薄膜の剥離時における
剥離位置の変動防止、剥離応力の偏りの防止ができ、か
つ、感光性樹脂層が損傷、破壊しないよろに自動的に剥
離することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離搬送機構の概略構成を示す断面図、 第２図は、第１図の突起押圧機構の拡大断面図。 第３図は、第１図の位置設定部材の要部拡大斜視図、 第４図及び第５図は、第２図の要部拡大断面図、第６図
は、薄膜引き起し状態を示す図、第７図は、第１図の薄
膜剥離搬出機構の概略構成を示す断面図、 第８図は、第７図の薄膜搬出機構の要部斜視図、第９図
は、薄膜副送ガイド部材及び薄膜搬出機構の要部の概略
構成を示す斜視図、 第１０図乃至第１２図は、本発明の突起押圧部１１の実
施例の構成を示す斜視図 第１３図は、薄膜剥離ガイド部材の他の実施例の概略構
成を示す斜視図である。 図中、１・・プリント配線用基板、ＬＡ・・・絶縁性基
板、ＩＢ・・・導電層、ｌＣ・・・感光性樹脂層、ＩＤ
・・透光性樹脂フィルム（保護膜）、２・・・搬送［１
−ラ、３・・・搬送制御ローラ、４・・突起押圧部材、
５・・粘着性回転体、５Ａ・・粘着性物体、５Ｂ・・・
回転軸。 ５Ｃ・・アーム、５　Ｄ　・エアシリンダ、６・・剥離
搬送機構、６Δ・・・固定ベルトコンベア、６Ｂ１．薄
膜剥離ガイド部材、６Ｃ・・・可動ベル１−コンベア、
６Ｄ・・・薄膜排出用搬送ベル１−機構である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
   置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
   に力を加える突起押圧部材と、該力を加えられた部分の
   薄膜を浮かして引き起し剥離しながら搬送する薄膜剥離
   搬出手段とを設けてなることを特徴とする薄膜剥離装置
   。
2. （２）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
   置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
   に力を加える突起押圧部材と、該力を加えられた部分の
   薄膜を浮かして引き起して剥離しながら搬送する薄膜剥
   離搬出手段と、該薄膜剥離搬出手段で基板から剥離され
   る薄膜の剥離方向を設定する薄膜剥離ガイド部材とを設
   けてなることを特徴とする薄膜剥離装置。