JP2539788B2 - 薄膜端部検出装置付薄膜剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特
に、基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜
（薄膜）の剥離技術に適用して有効な技術に関するもの
である。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線
板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又
は両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造
することができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導
電層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
を熱圧着ラミネートする。この後、配線パターンフィル
ムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹
脂フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光す
る。そして、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光さ
れた感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターン
を形成する。この後、前記導電層の不必要部分をエッチ
ングにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去
し、所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成
する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性
樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィ
ルムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹
脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィル
ムが薄いので、剥離応力の偏り等による損傷，破壊が生
じないようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練を
要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大する
ので、プリント配線板の製造工程における作業時間が長
くなるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動
薄膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている
薄膜の端部をローラー、ブラッシ、針等で浮かせ、その
浮いた部分を引き起して剥離し、その剥離した薄膜を外
部に自動的に排出するようにしたものである。

しかしながら、前記の自動薄膜剥離装置では、前記薄
膜の端部が基板の端部から不均一な距離に貼り付けられ
ている場合が多いため、薄膜の端部にローラー、ブラッ
シ、針等で力を加えて薄膜の端部の所定均一幅だけを浮
かせることが困難であるという問題があった。

また、薄い基板は反りや曲りがあるため、前記基板上
の薄膜を浮かせる手段の位置合せに不都合を生ずるとい
う問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他
の問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面
によって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本発明は、下記のとおりである。

すなわち、基板に張り付けられている薄膜を剥離して
排出する薄膜剥離装置であって、前記基板を移動させな
がら前記薄膜の端部を電気的もしくは光学的に検出する
薄膜端部検出手段と、該薄膜端部検出手段によって検出
された薄膜端部から内側の所定の距離までの部分にエネ
ルギを加えて薄膜端部の一部を浮かせる薄膜浮上手段を
設けたことを特徴とするものである。

［作用］ 本発明は、基板を搬送（移動）させながら薄膜端部検
出手段でその薄膜の端部を電気的もしくは光学的に検出
し、この検出された薄膜端部から内側の所定の距離まで
の部分にエネルギを加えて薄膜端部の一部を浮かせ、そ
の浮いた部分から剥離しながら薄膜剥離搬送手段で排出
するこにより、前記基板上の薄膜の端部を確実に検出
し、この検出された薄膜の端部とその端部を浮かせる手
段との位置合せを正確に容易に行うことができる。

［実施例］ 以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置
に適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するもの
は同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の
保護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用
基板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主
として、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロ
ーラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起押圧
機構３、流体吹付機構４、剥離角度設定板（剥離補助
板）５及び薄膜搬出機構６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、
絶縁性基板1Aの両面（又は片面）に銅等の導電層1Bが形
成されたものである。このプリント配線用基板１の導電
層1B上には、感光性樹脂層1Cと透光性樹脂フィルム（保
護膜）1Dからなる積層体が熱圧着ラミネートされてい
る。

感光性樹脂層1Cは所定の配線パターンフィルムが重ねら
れ露光された後の状態にある。

プリント配線用基板１は、第１図に示す矢印Ａ方向に搬
送用駆動ローラ２で搬送されるように構成されている。

前記突起押圧機構３は、第３図（構成図）、第４図
（拡散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように
構成されている。

この突起押圧機構３は、プリント配線用基板１の両面
側に、夫々複数個の突起押圧部材3Aが搬送方向と交差す
る方向（プリント配線用基板１の幅方向）に設けられて
いる。突起押圧部材3Aは第５図で示すように針状で構成
されており、その先端部で感光性樹脂層1Cと透光性樹脂
フィルム1Dとの積層体の端部を押圧するように構成され
ている。突起押圧部材3Aは、前記積層体の端部を押圧し
たときに、導電層1Bと感光性樹脂層1Cとの界面に食込ま
ないようにし、かつ透光性樹脂フィルム1Dが感光性樹脂
層1Cから浮上するように、例えば60［度］程度の先端角
度で構成する。対向する位置に設けられた夫々の突起押
圧部材3Aは、ホルダ3Bを介して夫々別々の突起押圧部材
支持回転軸3Cに支持されている。ホルダ3Bは、符号を付
けていないが、突起押圧部材支持回転軸3Cの貫通孔をそ
れに沿って摺動できるように取り付けられている。

突起押圧部材3Aとホルダ3Bとの間及びホルダ3Bと突起
押圧部材支持回転軸3Cとの間には、夫々、同一又は異な
る弾力性の弾性部材3D及び3Eが設けられている。弾性部
材3D及び3Eは、矢印Ｂ方向、すなわち、プリント配線用
基板１に近接する方向に作用するように取り付けられて
いる。したがって、突起押圧部材3Aの先端部の位置は、
矢印Ｂ方向の所定の圧力により、突起押圧部材支持回転
軸3Cに対して変化できるように構成されている。

突起押圧部材支持回転軸3Cの一端（又は両端）部は、
第３図及び第４図に示すように、ガイド部材3Fのガイド
用長穴3fを通して移動アーム部材3Gの一端部と回転自在
に連結されている。ガイド部材3Fは、図示していない
が、装置本体にビス等の取付手段で固着されている。ガ
イド用長穴3fは、プリント配線用基板１に近接又はそれ
から離隔させる方向（矢印Ｃ方向）に、突起押圧部材支
持回転軸3Cすなわち突起押圧部材3Aをガイドするように
構成されている。

前記夫々の移動アーム部材3Gの他端部は、回転軸3hを
中心に矢印Ｄ方向に回転自在に取り付けられた回転アー
ム部材3Hの回転軸3hを中心として対向する端部に回転自
在に取り付けられている。回転アーム部材3Hは、夫々の
移動アーム部材3Gを異なる矢印Ｃ方向に移動させるよう
に構成されている。

前記突起押圧部材支持回転軸3Cをガイドするガイド部
材3F、移動アーム部材3G及び回転アーム部材3Hは、両面
兼用駆動源のシャフト3Jの矢印Ｅ方向の動作でプリント
配線用基板１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材
3Aを互いに近接させ又は離隔させる突起押圧機構３のリ
ンク機構を構成している。シャフト3Jは、回転アーム部
材3Hの一端部に連結アーム部材3Iを介して接続されてい
る。リンク機構を構成する夫々の部材は、鉄、アルミニ
ウム合金、硬質樹脂等の比較的外力に対して変形しずら
い材料で構成する。両面兼用駆動源としては、空圧シリ
ンダ、油圧シリンダ、電磁ソレノイド等を使用する。ま
た、シャフト3Jは、回転アーム部材3Hの一端部に限定さ
れず、一方の移動アーム部材3Gの一端部に連結アーム部
材3Iを介して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起押圧部材3Aと両面
兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基
板１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材3Aのプリ
ント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動作
（矢印Ｃ方向の動作）を両面兼用駆動源で行うことがで
きる。

また、リンク機構を構成するガイド部材3F、移動アー
ム部材3G及び回転アーム部材3Hが略剛体であり、夫々の
動作範囲がガイド用長穴3fや回転軸3hで規定されている
ので、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起押圧
部材3Aの動作量及び動作時間を夫々同等にしかも正確に
制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯
車機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少な
く、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、突起押圧
部材3Aと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

前記移動アーム部材3Gを介在させた夫々の前記突起押
圧部材支持回転軸3Cの一端（又は両端）部には、夫々の
一端部が固着された突起押圧部材回転アーム部材3Kが設
けられている。夫々の突起押圧部材回転アーム部材3Kの
他端部には、長穴3kが設けられており、両者の長穴3kに
は、両面兼用駆動源のシャフト3Lと接続する連結アーム
部材3Mの軸部3mが通されている。すなわち、突起押圧部
材回転アーム部材3Kは、連結アーム部材3Mを介して両面
兼用駆動源のシャフト3Lと連結されている。両面兼用駆
動源としては、前述のリンク機構と同様のものを使用す
ればよい。

前記突起押圧部材回転アーム部材3K及び連結アーム部
材3Mは、シャフト3Lの矢印Ｆ方向の動作により、突起押
圧部材回転アーム部材3Kを矢印Ｇ方向に回転させるとと
もに突起押圧部材支持回転軸3Cを矢印Ｈ方向に回転さ
せ、積層体の端部を押圧する突起押圧機構３の突起押圧
部材押圧機構を構成するようになっている。

このように構成される突起押圧部材押圧機構は、前述
の突起押圧部材3Aを近接させ又は離隔させるリンク機構
と同様に、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起
押圧部材3Aを両面兼用駆動源で動作させることができる
とともに、その動作量、動作時間を正確に制御すること
ができる。

また、突起押圧部材押圧機構は、突起押圧部材3Aと両
面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単にする
ことができる。

このように突起押圧機構３は、主に、突起押圧部材3A
と、突起押圧部材3Aをプリント配線用基板１に近接させ
又は離隔させるリンク機構と、積層体の端部を突起押圧
部材3Aで押圧させる突起押圧部材押圧機構とで構成され
ている。

次に、突起押圧機構３の動作について、第１図乃至第
５図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断
面図）とを用いて簡単に説明する。

まず、後で詳しく述べるように、プリント配線用基板
１上に張り付けられている薄膜の先端を薄膜端部検出装
置で検出する。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層1C
及び透光性樹脂フィルム1Dからなる積層体の端部を、突
起押圧機構３の薄膜剥離用薄膜浮上装置3Aで押圧するこ
とにより、感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フィルム1Dの
一部を浮上させ、それらの界面に隙間を生じさせること
ができる。この隙間は、感光性樹脂層1Cが透光性樹脂フ
ィルム1Dよりも軟材質で構成されており、薄膜剥離用薄
膜浮上装置3Aの押圧に対して感光性樹脂層1Cは塑性変形
するが、透光性樹脂フィルム1Dは塑性変形する前に感光
性樹脂層1Cとの接着力が低下するために生じる。

また、前記透光性樹脂フィルム1Dの端部の浮上は、針
状の簡単な構成の薄膜剥離用薄膜浮上装置3Aで行うこと
ができる。

また、薄膜剥離用薄膜浮上装置3Aをプリント配線用基
板１の搬送経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルム
1Dの端部の浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルム1Dは、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂層1Cと再度接着されること
はない。

また、プリント配線用基板１に対し積層体が歪んで熱
圧着ラミネートされることを考慮して、プリント配線用
基板１の搬送方向と交差する方向（幅方向）に複数の薄
膜剥離用薄膜浮上装置3Aを設けてあるが、これに限定さ
れない。すなわち、感光性樹脂層1Cと透光性樹脂フィル
ム1Dとの一端部が押圧され、後者が必らず浮上できるな
らば、プリント配線用基板１の両面側に夫々１つの薄膜
剥離用薄膜浮上装置3Aを設けて突起押圧機構３を構成し
てもよい。 また、プリント配線用基板１の搬送方向と
交差する方向（幅方向）に突起押圧部材3Aを設けてある
が、本発明は、プリント配線用基板１の搬送方向と同一
方向であって、積層体の端部に近傍又は隅角部近傍に突
起押圧部材3Aを設けることもできる。この場合には、流
体吹付機構４のノズル4Aを突起押圧部材3Aの近傍に設け
る。

前記浮膜端部検出手段、例えば、前記基板１の静電容
量又は電気抵抗値を検出することにより、薄膜の端部を
検出する電気的薄膜端部検出装置を用いる。

第８図は、前記静電容量型薄膜端部検出装置の一実施
例の構成を示す斜視図である。

第８図において、20は静電容量型薄膜端部検出装置
（以下、単に薄膜端部検出センサという）のカバーであ
り、このカバー20は、薄膜端部検出センサ位置調整用支
持部材21に取り付けられている。薄膜端部検出センサ位
置調整用支持部材21は、薄膜端部検出センサ装置本体22
に取り付けられている支持部材23に、薄膜端部検出セン
サ位置調整ネジ棒24と支持部材23に取り付けられている
薄膜端部検出センサ位置調整用ナット25を介して取り付
けられている。前記薄膜端部検出センサ位置調整用ネジ
棒24には、薄膜端部検出センサ位置固定用ナット26が嵌
め込まれている。前記カバー20には、回転軸27を介して
タッチセンサ28を支持する絶縁性材料からなるＴ状支持
部材29が回転自在に設けられている。このＴ状支持部材
29には、前記タッチセンサ28とリード線30とが電気的に
接続するようにネジ機構31で取り付けられている。前記
リード線30は図示していない静電容量型薄膜端部検出器
に電気的に接続されている。また、前記Ｔ状支持部材29
は、その一端部が電磁式押圧装置32Aで押圧されて前記
回転軸27を軸にして回転するように構成されている。そ
して、Ｔ状支持部材29に取り付けられているタッチセン
サ28を元に復帰させるタッチセンサ復帰用スプリング29
Aがカバー20にネジ部材によって固定されている。ま
た、Ｔ状支持部材29には、その傾き制限用ストッパ29B
が設けられている。電磁式押圧装置32の可動部材32Aの
両端部には復帰用スプリング32Bが設けられている。3C
は突起押圧部材支持回転軸であり、4Bは流体吹付装置の
支持回転軸である。次に、本実施例の薄膜端部検出セン
サの動作を説明する。

まず、前記電磁式押圧装置32の非付勢（オフ）にして
可動部材32AのＴ状支部材29への押圧を解除し、タッチ
センサ28を基板の表面から離す。

次に、基板上の保護フィルムの先端がタッチセンサの
セット位置を通過する所まで、基板を搬送方向に移動さ
せ、その位置で一旦その移動を停止する。この状態で前
記電磁式押圧装置32を付勢（オン）して可動部材32Aで
Ｔ状支持部材29を押圧し、タッチセンサ28の先端を基板
１の保護フィルムの表面に接触させる。この状態で基板
１を後退方向（搬送方向と逆方向）に移動させて保護フ
ィルムの先端を検知し、その情報を静電容量型薄膜端部
検出器に送る。

また、この保護フィルムの先端の検知と同時にコンベ
アの後退動作を停止させると共にピンチローラを押圧し
て基板１を固定する。この状態で基板１の固定と同時に
タッチセンサ28の先端を前記電磁式押圧装置32を非付勢
にして可動部材32AのＴ状支持部材29への押圧を解除
し、基板１の保護フィルムの表面から引き離す。なお、
前記ピンチローラは、通常の搬送時には自重で基板１を
押圧している。

なお、前記電磁式押圧装置32の代りに空圧シリンダ
ー，油圧シリンダー等を用いてもよい。

また、前記基板１上に設けられた薄膜端部検出センサ
の代りに、光の反射光量，光りの反射位置，被反射物体
の色を光学的に検出する手段を用いてもよい。

この光学的に検出する手段を用いる場合、本発明で
は、基板１上の薄膜端部は光センサのセット位置を２回
通過することになるが、これは薄膜端部を安定させた状
態で正確に検知するためである。すなわち、第１回目で
薄膜端部は検知できるが、基板１が薄い場合、薄膜端部
が不安定となり、薄膜端部を検知できないときがある。
このため第２回目、すなわち、薄膜端部を安定させた状
態で再度薄膜端部を検知して、第１回目の検知が間違い
でないかを確認する。

このように、本発明では、搬送されてくる基板１上の
薄膜端部を、移動させながら薄膜端部検出手段で電気的
もしくは光学的に検出し、該検出された薄膜端部から内
側の所定の距離までの部分に薄膜浮上手段でエネルギー
を加えて薄膜端部の一部を浮かせるようにしたので、前
記基板１上の薄膜の端部を確実に検出し、この検出され
た薄膜の端部と前記薄膜浮上手段との位置合せを正確に
行うことができる。これにより、基板１の薄膜端部の所
定均一幅だけを正確に浮き上がらせることがてきる。ま
た、基板１上に設けられている感光性樹脂で形成された
パターンの損傷を防止することができる。

前記流体吹付機構４は、第１図及び第２図に示すよう
に、ノズル4Aから圧力を加えた流体、例えば、空気，不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付機構４は、プリント配線用基板１
の感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フィルム1Dが浮上した
両者の隙間部分に流体を直接吹き付けるように構成され
ている。そして、流体吹付機構４は、前記隙間部分に即
座に流体を吹き付けられるように、突起押圧機構３の近
接した位置に構成されている。この流体吹付機構４のノ
ズル4Aは、矢印Ｊ方向にその設定角度が可変できるよう
に構成されている。すなわち、流体吹付機構４は、流体
吹き付け時にできる限り前記隙間部分にノズル4Aを近接
させ、流体吹き付け後にプリント配線用基板１が接触し
ない位置にノズル4Aを退避できるように構成されてい
る。

このように、突起押圧部材3Aの押圧で生じた感光性樹
脂層1Cと透光性樹脂フィルム1Dとの隙間部分に、流体吹
付機構４で流体を吹き付けることにより、感光性樹脂層
1Cと透光性樹脂フィルム1Dとの間に流体が吹き込まれる
ので、感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フィルム1Dを簡単
に瞬時かつ確実に剥離することができる。

前記流体吹付機構４で剥離された搬送方向の先端側の
透光性樹脂フィルム1dは、第２図及び第９図（要部斜視
図）で示すように、剥離角度設定板５に流体圧で付着
し、その剥離位置及び剥離方向の剥離角度θが設定され
る。透光性樹脂フィルム1dは、第２図及び第９図におい
て一点鎖線で示している。剥離角度θは、プリント配線
用基板１に張り付けられている透光性樹脂フィルム1Dと
その状態から引き起された透光性樹脂フィルム1dとがな
す角度であり、略直角になるように構成されている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感
光性樹脂層1Cに損傷，破壊を生じないように、プリント
配線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィルム1Dに
こすれない程度の間隔を置いて設けられている。そし
て、剥離角度設定板５は、その先端が、流体吹付け時に
は、透光性樹脂フィルム1Dに密着するように、移動可能
に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果の低下を防止
する。また、剥離角度設定板５の先端は、曲率半径の小
さい円弧状になっている。例えば、曲率半径が3mm以下
に構成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機
構６よりもプリント配線用基板１側に近接させ、プリン
ト配線基板１の搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の長
さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されてい
る。すなわち、第９図に矢印Ｋで流体の流出方向を示す
ように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹抜
けをできる限り防止して剥離効果を高め、かつ剥離され
た透光性樹脂フィルム1dの剥離角度設定板５への付着性
を高めることができる。

剥離角度設定板５は、図示していないが、装置本体の
ノズル4Aからの流体吹付方向の所定位置に取り付けられ
ている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置
を安定させるとともに、透光性樹脂フィルム1Dに一様な
剥離力を加えることができる。

したがって、剥離角度設定板５は、透光性樹脂フィル
ム1Dの剥離時における剥離位置の変動防止，剥離力の偏
りを防止し、感光性樹脂層1Cを損傷，破壊しないように
することができる。

なお、剥離角度設定板５の剥離角度θは、透光性樹脂
フィルム1Dの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件変
化により、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できるよ
うに構成してもよい。また、剥離角度設定板５は、異な
る厚さのプリント配線用基板１、異なる厚さの感光性樹
脂層1Cや透光性樹脂フィルム1Dに対応できるように、そ
の位置を移動できるように構成してもよい。この移動
は、例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等で行うこと
ができる。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性
樹脂フィルム1dは、第１図、第２図及び第10図（拡散分
解斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機
構）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出機構６は、主に、プリント配線用基板１の両
面側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベ
ルト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第10図で詳細に示すように、
固定搬送ベルト6A,6C,6D,6E,6Fと可動搬送ベルト6Bとで
構成されている。

固定搬送ベルト6Aは、従動軸Ｉに支持されたローラ6A
a、駆動軸IIに支持されたローラ6Ab及びローラ6Aaと6Ab
とに巻き回されたベルト6aで構成されている。

可動搬送ベルト6Bは、従動軸IIIに支持されたローラ6
Ba、駆動軸IVに支持されたローラ6Bb及びローラ6Baと6B
bとに巻き回されたベルト6bで構成されている。この可
動搬送ベルト6Bは、駆動軸IVを中心に第２図に示すよう
に、矢印Ｌ方向に回転するように構成されている。すな
わち、可動搬送ベルト6Bは、剥離された透光性樹脂フィ
ルム1dを剥離角度設定板５に付着させ易くするととも
に、この透光性樹脂フィルム1dを固定搬送ベルト6Aとで
挟持して搬送できるように構成されている。また、固定
搬送ベルト6A及び可動搬送ベルト6Bとの挟持は、第10図
に示す剥離角度設定板５に設けられた切込部5Aを通して
行われる。この切込部5Aは、剥離角度設定板５で剥離位
置及び剥離角度が設定された透光性樹脂フィルム1dに固
定搬送ベルト6Aと可動搬送ベルト6Bとが達し、両者でそ
れを挟持できるように構成されている。

すなわち、切込部5Aは、固定搬送ベルト6Aと可動搬送
ベルト6Bとで透光性樹脂フィルム1dを確実に挟持できる
ように構成されている。

固定搬送ベルト6Cは、駆動軸IIに支持されたローラ6C
a、従動軸Ｖに支持されたローラ6Cb及びローラ6Caと6Cb
とに巻き回されたベルト6cで構成されている。

固定搬送ベルト6Dは、従動軸IVに支持されたローラ6D
a、従動軸VIに支持されたローラ6Db、従動軸VIIに支持
されたローラ6Dc、従動軸VIIIに支持されたローラ6Dd、
従動軸Ｖに支持されたローラ6De及びローラ6Da〜6Deに
巻き回されたベルト6dで構成されている。

固定搬送ベルト6Cと6Dは、前記固定搬送ベルト6A及び
可動搬送ベルト6Bで搬送された透光性樹脂フィルム1dを
さらに排出方向に搬送するように構成されている。固定
搬送ベルト6Dのローラ6Deは、第11図（要部断面図）で
示すように、固定搬送ベルト6C及び6Dから固定搬送ベル
ト6E及び6Fに透光性樹脂フィルム1dを搬送するときに、
その搬送方向が大きな角度で変化するために設けられて
いる。すなわち、ローラ6Deは、搬送方向が変化すると
きに、ベルト6c及び6dの透光性樹脂フィルム1dに接触す
る側の曲率半径を略同等にすることができる。したがっ
て、搬送時に透光性樹脂フィルム1dにシワが生じること
を防止し、ジャム等のトラブルを防止することができ
る。

また、第12図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム1dの一方の面に接触し、その搬送方向と交差
する透光性樹脂フィルム1dの幅方向に所定の間隔で設け
られた複数の固定搬送ベルト6C（又は6D）の間には、透
光性樹脂フィルム1dの他方の面に接触する固定搬送ベル
ト6D（又は6C）が設けられている。換言すれば、固定搬
送ベルト6Cと6Dは、夫々のベルト6c及び6dの表面（透光
性樹脂フィルム1dとの接触面）が一致しているか、或は
それよりも相手側に食込むように、透光性樹脂フィルム
1dの幅方向に千鳥状に配置されている。

このように、固定搬送ベルト6Cと6Dとを千鳥状に配置
することにより、搬送される透光性樹脂フィルム1dにそ
の幅方向の張力を与えることができるので、固定搬送ベ
ルト6Cと6Dとで均一にしかも確実に透光性樹脂フィルム
1dを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト6C及び6Dで挟持される透光性樹
脂フィルム1dは、夫々のベルト6c及び6dの表面及び側面
側を包み込むような形状で搬送されるので、ローラ6Ca,
6Cbとベルト6c、又はローラ6Da〜6Deとベルト6dとのロ
ーラの軸方向のズレを防止することができる。したがっ
て、搬送時に透光性樹脂フィルム1dに加わる挟持力を均
一にし、それにシワが発生することを防止できるので、
ジャム等のトラブルを防止することができる。特に、本
実施例の装置は、後述する上部透光性樹脂フィルム排出
収納容器7Aを設けており、上部搬送ベルト機構の搬送経
路が下部搬送ベルト機構のそれよりも長いので、固定搬
送ベルト6C及び6Dのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト6Eは、従動軸IXに支持されたローラ6E
a、従動軸Ｖに支持されたローラ6Eb及びローラ6Eaと6Eb
とに巻き回されたベルト6eで構成されている。

固定搬送ベルト6Fは、従動軸Ｘに支持されたローラ6F
a、従動軸VIIIに支持されたローラ6Fb及びローラ6Faと6
Fbとに巻き回されたベルト6fで構成されている。

固定搬送ベルト6Eと6Fは、第１図及び第２図に示すよ
うに、前記固定搬送ベルト6C及び6Dで搬送された透光性
樹脂フィルム1dを装置本体から矢印Ｍ方向に排出するよ
うに構成されている。装置本体から排出された透光性樹
脂フィルム1dは、第１図に示す上部透光性樹脂フィルム
排出収納容器7Aに収納される。この上部透光性樹脂フィ
ルム排出収納容器7Aは、装置本体の上部に着脱自在に取
り付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図に示すように、固
定搬送ベルト6Gと可動搬送ベルト6Hとで構成されてい
る。 固定搬送ベルト6Gは、夫々別々の従動軸（図示し
ていない）に支持されたローラ6Ga,6Gc、従動軸（図示
していない）に支持されたローラ6Gb及びローラ6Ga〜6G
cに巻き回されたベルト6gで構成されている。

可動搬送ベルト6Hは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ6Ha,6Hc、従動軸（図示して
いない）に支持されたローラ6Hb及びローラ6Ha〜6Hcに
巻き回されたベルト6hで構成されている。

固定搬送ベルト6Gと可動搬送ベルト6Hは、前記上部搬
送ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で剥離位置及
び剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹脂フィルム
1dを剥離しながら搬送するとともに、矢印Ｏ方向に装置
本体から透光性樹脂フィルム1dを排出するように構成さ
れている。装置本体から排出された透光性樹脂フィルム
1dは、第１図に示す下部透光性樹脂フィルム排出収納容
器7Bに収納される。この下部透光性樹脂フィルム排出収
納容器7Bは、装置本体に着脱自在に取り付けられてい
る。また、前記上部透光性樹脂フィルム排出収納容器7A
は下部透光性樹脂フィルム排出収納容器7Bの上部に設け
られており、装置本体は、占有面積を縮小しコンパクト
化できるように構成されている。

また、前記固定搬送ベルト6E、6F、6G及び可動搬送ベ
ルト6Hの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第２図及
び第10図に示すように、排出される透光性樹脂フィルム
1dにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き付ける流
体噴出機構８が設けられている。この時、排出される透
光性樹脂フィルム1dと流体吹付方向とがなす角度は、流
体の噴出で透光性樹脂フィルム1dを確実に排出方向に誘
導できるように鋭角θ_１（０≦θ_１≦90°）に設定され
ている。流体噴出機構８は、固定搬送ベルト6E間、6F
間、６間及び可動搬送ベルト6H間に流体が噴出する噴出
口が設けられたパイプで構成されている。流体として
は、圧力を加えた空気，不活性ガス等の気体、水等の液
体を使用する。

なお、図示されていないが、流体噴出機構８の近傍に
は除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト6E、6F、6G及び可動搬送ベ
ルト6Hの夫々の排出側に流体噴出機構８を設けることに
より、排出される透光性樹脂フィルム1dが再度固定搬送
ベルト6E、6F、6G又は可動搬送ベルト6Hに巻き込まれる
ことを防止するとともに、流体で矢印Ｍ又はＯ方向に透
光性樹脂フィルム1dを誘導することができるので、透光
性樹脂フィルム1dを効率良く上部又は下部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容器7A又は7Bに排出することができる。

また、固定搬送ベルト6E間、6F間、6G間及び可動搬送
ベルト6H間の夫々の排出側の搬送経路の近傍には、巻込
防止用部材９が設けられており、透光性樹脂フィルム1d
が固定搬送ベルト6E、6F、6G又は可動搬送ベルト6Hに巻
き込まれることを防止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト6Aに近接
した位置及び可動搬送ベルト6Hに近接した位置には、夫
々除電装置10とイオン拡散装置11とが設けられている。
除電装置10は、イオンを放出し、剥離や搬送時に透光性
樹脂フィルム1dが帯電することを低減できるように構成
されている。イオン拡散装置11は、除電装置10から放出
されたイオンを拡散し、透光性樹脂フィルム1dの帯電を
効率良く低減できるように構成されている。イオン拡散
装置11は、例えば、圧力が加えられた空気等の流体でイ
オンを拡散するように構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得
ることは勿論である。

例えば、本発明は、突起押圧機構３の突起押圧部材3A
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成しても
よい。

また前記突起押圧機構３に代えて、振動機構を用いて
もよい。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている
保護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）発明の効果 以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる
効果を得ることができる。

（Ａ）搬送されてくる基板上の薄膜端部を、移動させな
がら薄膜端部検出手段で電気的もしくは光学的に検出
し、該検出された薄膜端部から内側の所定の距離までの
部分に薄膜浮上手段でエネルギを加えて薄膜端部の一部
を浮かせるようにしたので、前記基板上の薄膜の端部を
確実に検出し、この検出された薄膜の端部と前記薄膜浮
上手段との位置合せを正確に容易に行うことができる。

（Ｂ）前記（Ａ）により、基板上の薄膜端部の所定均一
幅だけを正確に浮き上がらせることができる。

（Ｃ）前記（Ａ）及び（Ｂ）により、基板上に設けられ
ている感光膜上に形成されているパターンの損傷を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図、 第３図は、第１図及び第２図に示す突起押圧機構の構成
図、 第４図は、第３図の拡散分解図、 第５図は、第４図に示す突起押圧部材の部分断面図、 第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図、 第８図は、静電容量型薄膜端部検出装置の一実施例の構
成を示す斜視図、 第９図は、第１図及び第２図に示す剥離角度設定板の要
部斜視図、 第10図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出機構の拡散
分解斜視図、 第11図及び第12図は、第10図に示す薄膜搬出機構の要部
断面図である。 図中、１……プリント配線用基板、1A……絶縁性基板、
1B……導電層、1C……感光性樹脂層、1D……透光性樹脂
フィルム、２……搬送用駆動ローラ、３……突起押圧機
構、3A……突起押圧部材、４……流体吹付機構、５……
剥離角度設定板、６……薄膜搬出機構、28……タッチセ
ンサである。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板に張り付けられている薄膜を剥離して
   排出する薄膜剥離装置であって、前記基板を移動させな
   がら前記薄膜の端部を電気的もしくは光学的に検出する
   薄膜端部検出手段と、該薄膜端部検出手段によって検出
   された薄膜端部から内側の所定の距離までの部分にエネ
   ルギを加えて薄膜端部の一部を浮かせる薄膜浮上手段と
   を備えたことを特徴とする薄膜端部検出装置付薄膜剥離
   装置。