JPS62180858A - 薄膜の剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野コ 本発明は、薄膜の剥に技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保ｊ膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
ｌま両面）に形成されたものである。

この種のプリン１−配線板は、次の製造工程により製造
することができる。まず、絶縁性基板の導４電層上に、
感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光
性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラ
ミネートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、
この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルム
を通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、
透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹
脂層を現像してエッヂングマスクパターンを形成する。

この後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除
去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配
線パターンを有するプリン１〜配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィル
ムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹脂
フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィルム
が薄いので、刺着応力の偏り等による感光性樹脂層の損
傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用さ及び
非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

なお１本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細３の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち１代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜剥
離装置であって、前記基板に張り付けられた薄膜の端部
を浮上させる薄膜浮上機構を設け。

該薄膜浮上機構で浮上した薄膜の端部に流体を吹付けて
薄膜の一部を剥離する流体吹付機構を設け、前記基板の
搬送経路の幅又は流体吹付幅の略全域め長さで剥離方向
に所定の長さを有し、かつ、基板搬送面に対して所定の
角度を有する剥離補助板番、流体吹付機構の流体吹付方
向の所定位置に設：け、該剥離補助板で剥離方向が設定
された薄膜を剥離しながら搬出する薄膜搬出機構を設け
たことを特徴としたものである。　　□ □また、前記薄膜剥離装置の剥離補助板に、流体吹付機
構で剥離された薄膜に達する切込部を設けたことを特徴
どしたものである。

［作用コ 本発明は、薄膜浮上機構で薄膜の端部を浮上させ５この
浮」ニさせた部分に前記流体吹付手段で流体を吹き付け
て薄膜の一部を剥離し、剥離された薄膜を剥離補助板で
最適な剥離方向に設定し、この薄膜を薄膜搬出機構で剥
離しながら搬出することができるので、感光性樹脂層に
損傷、破壊等を生じることなく、簿膜を基板から剥離す
ることができる。

また、剥離補助板の裏側に流体が吹抜けることを防止で
きるので、薄膜の剥離効果を高めることができる。　　
　　　　　　・１・ さらに、剥離補助板の切込部を通して、薄膜搬出機構で
＃膜を確実に挾持し搬出することができろ。

［実施例］ 以下１本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例にらいて図面を用いて説明する。　　
　　　　　′　　□ なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付はンそのくり返し′分説明は省略する。

第１図は１本発明の一実施例のプリン１−配線用基板の
保護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図は
、第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜の利殖装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主と
して、プリン１〜配線用基板ｌを搬送する搬送用駆動ロ
ーラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起押圧機
構３、流体吹付機構４、利殖角度設定板５及び薄膜搬出
機構６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電層ＩＢが
形成されたものである。このプリンＩ・配線用基板ｌの
導電層ＩＢ上には、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィ
ルム（保護膜）ＩＤとからなる積層体が熱圧着ラミネー
トされている。感光性樹脂層ＩＣは所定の配線パターン
フィルムが重ねられ露光された後の状態にある。プリン
ト配線用基板ｌは、第１図に示す矢印へ方向に搬送用駆
動ローラ２で搬送されるように構成されている。

前記突起抑圧機構３は、第３図（構成図）、第・１図（
拡散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように構
成されている。

この突起抑圧機構３は、プリント配線用基板１の両面側
に、夫々複数個の突起抑圧部材３Ａが搬送方向と交差す
る方向（プリント配線用基板１の幅方向）に設けられて
いる。突起抑圧部材３Ａは第５図で示すように針状で構
成されており、その先端部で感光性樹脂層ＩＣと透光性
樹脂フィルムＩＤとの積層体の端部を抑圧するように構
成されている。突起抑圧部材３Ａは、前記積層体の端部
を押圧したときに、導電層ＩＢと感光性樹脂層ＩＣとの
界面に食込まないようにし、かつ透光性樹脂フィルムＩ
Ｄが感光性樹脂層ＩＣから浮」二するように１例えば６
０［度コ程度の先端角度で構成する。対向する位置に設
けられた夫々の突起抑圧部材３Ａは、ホルダ３Ｂを介し
て夫々別々の突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに支持されて
いる。ホルダ３Ｂは、符号を付けていないが、突起抑圧
部材支持回転軸３Ｃの貫通穴をそれに沿って摺動できる
ように取り付けられている。

突起抑圧部材３Ａとホルダ３Ｂとの間及びホルダ３Ｂと
突起抑圧部材支持回転軸３ｃとの間には。

夫々、同−又は異なる弾力性の弾性部材３Ｄ及び３Ｅが
設けられている。弾性部材３Ｄ及び３Ｅは、矢印Ｂ方向
、すなわち、プリント配線用基板１に近接する方向に作
用するように取り付けられている。したがって、突起抑
圧部材３Ａの先端部の位置は、矢印Ｂ方向の所定の圧力
により、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに対して変化でき
るように構成されている。

突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部は、
第３図及び第４図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイ
ド用長穴３ｆを通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回
転自在に連結されている。ガイド部材３Ｆは、図示して
いないが、！ｆｉ１本体にビス等の取付手段で固着され
ている。ガイド用長穴３ｆは、プリント配線用基板１に
近接又はそれから雛隔させる方向（矢印Ｃ方向）に、突
起抑圧部材支持回転軸３Ｃすなわち突起抑圧部材３Ａを
ガイドするように構成されている。

夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３ｈを中
心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転アーム
部材３Ｈの回転軸３ｈを中心として対向する端部に回転
自在に取り付けられている。　。

回転アーム部材３　Ｈは、夫々の移動アーム部材３Ｇを
異なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成されている。

前記突起抑圧部材支持回転軸３Ｃをガイドするガイド部
材３Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３日は
１両面兼用駆動源のシャツｈ　３　Ｊの矢印Ｅ方向の動
作でプリント配線用基板ｌの両面側に設けられた夫々の
突起抑圧部材３Ａを互いに近接させ又は離隔させる突起
抑圧機構３のリンク機構を構成している。シャフト３Ｊ
は１回・１すｌアーム部材３１］の一端部に連結アーム
部）Ｊ３［を介して接続されている。リンク機構を構成
する夫々の部材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等
の比較的外力に対して変形しずらい材料で構成する。

駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ。

電磁ソレノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは１
回転アーム部材３　Ｈの一端部に限定されず。

一方の移動アーム部材３Ｇの一端部に連結アーム部材３
■を介して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起抑圧部材３Ａと両面
兼用駆動源とを連結することにより、プリン１〜配線用
基板１の両面側に設けられた夫々の突起抑圧部材３Ａの
プリント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる
動作（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなお
ち、リンク機構は、プリント配線用基板１の両面側に、
突起抑圧部材３Ａを駆動する駆動源を別々に設けること
なく、両面兼用駆動源で両面側の突起抑圧部材３Ａを駆
動することができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈが略剛体であり、夫
々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規定さ
れているので、プリント配線用基板ｌの両面側の夫々の
突起抑圧部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間等にし
かも正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機もがや歯
車機構で構成されろ連結機もかに比べて、部品点数が少
なく、個々の部材が単純（簡＋１１　＞な形状なので、
突起抑圧部材３Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機
構の構成をｉ　ｌｔ’−にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ
が設けられている。夫々の突起抑圧部材回転アーム部材
３にの他端部には、長穴３ｋが設けられており、両者の
長穴３ｋには、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続す
る連結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すな
わち、突起抑圧部材回転アーム部材３には、連結アーム
部材３Ｍを介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結
されている。両面兼用駆動源としては。

前述のリンク機構と同様のものを使用すればよい。

前記突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ及び洟結アーム部
材３Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、突
起抑圧部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転させ
るとともに突起抑圧部材支持回転軸３Ｃを矢印Ｈ方向に
回転させ、積層体の端部を押圧する突起抑圧機構３の突
起抑圧部材抑圧機構を構成するようになっている。

このように構成される突起抑圧部材抑圧機構は。

前述の突起抑圧部材３Δを近接させ又は離隔させるリン
ク機構と同様に、プリント配線用基板ｌの両面側の夫々
の突起抑圧部材３Ａを一つの駆動源で動作させることが
できるとともに、その動作量。

動作時間を正確に制御することができる。

また、突起抑圧部材抑圧機構は、突起抑圧部材３Ａと駆
動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることがで
きる。

、このように突起抑圧機構３は、主に、突起抑圧部材３
Ａと、突起抑圧部材３Ａをプリント配線用基板１に近接
させ又は離隔させるリンクｔ！！構と、積層体の端部を
突起押圧部材３Ａで抑圧させる突起抑圧部材抑圧機構と
で構成されている。

なお、本実施例では、リンク機構又は突起抑圧部材抑圧
機構と両面兼用部、動源を突起抑圧部材支持回転軸３Ｃ
の一端側に設けているが、本発明は。

その両端側に夫々設けてもよい。

次に、突起抑圧機構３の動作について、第１図乃至第５
図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断面
図）とを用いて簡単に説明する。

まず、図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、電気的にプリント配線用基板ｌ
上に設けら、れている簿膜の端部を検出するタッチセン
サ又は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でこのプリント配線用基板１に設
けられている積層体（薄膜）の端部が検出されると、第
１図及び第２図に示すピンチローラ２Ａを抑圧手段（図
示していない）で押圧してプリント配線用基板ｌに押し
付：け、それと搬送用駆動ローラ２とでプリン１−配線
、用基板ｌの搬送を一時停止させる。このとき、プリン
ト配線用基板１の位置がずれないように、ピンチローラ
２Ａと対向する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等の
摩擦係数の大きな材料を設け、プリント配線用基板ｌの
搬送を確実に停止させてプリント配線用基板１を固定す
る。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャフ
ト３Ｊを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。こ
の動作で回転アーム部材３１１．移動アーム部材３Ｇ、
ガイド部材３Ｆで構成されるリンク機構が動作し、突起
抑圧部材支持回転軸３Ｃが矢印Ｃ方向に移動する。この
突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの移動により、第６図に示
すように、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起
抑圧部材３Ａの先端部が積層体端部の導電Ｗ１１［３の
表面に接触する。この接触は１弾性部材３Ｄ（又は３Ｅ
）がエネルギを有するように適度な抑圧力で行われろ。

次に、突起抑圧部材３Ａが導電層ＩＢに接触した状態に
おいて、突起抑圧部材抑圧機構に連結された両面兼用駆
動源のシャフト３Ｌを矢印Ｆ方向（図中、左方向）に動
作させる。この動作で突起押圧部材口・耘アーム部材３
Ｋ、連結アーム部材３Ｍで構成される突起押圧部材押圧
機構が動作し、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃを矢印１■
方向に回転させる。この突起抑圧部材支持回転軸３０の
回転により、第７図に示すように、プリント配線用基板
１の両面側の夫々の突起抑圧部材３Ａの先端部が積層体
端部を押圧する。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣ
及び透光性樹脂フィルムＩＤからなる積層体の端部を、
突起抑圧機構３の突起抑圧部材３Ａで抑圧することによ
り、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤの一
部を浮上させ、それらの界面に隙間を生じさせることが
できる。この隙間は、感光性樹脂Ｆ！ＪＩＣが透光性樹
脂フィルムＩＤよりも軟材質で構成されており、突起抑
圧部材３Ａの抑圧に対して感光性樹脂ＷＩＩＣは塑性変
形するが、透光性樹脂フィルムＩＤは塑性変形する前に
感光性樹脂層１・Ｃとの接着力が低下するために生じる
。

また、前記透光性樹脂フィルムｌＤの端部の浮上は、針
状の簡単な構成の突起抑圧部材３Ａで行うことができる
。

また、突起抑圧部材３Ａをプリント配線用基板１の搬送
経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部
の浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルムＩＤは、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂層ＩＣと再度接着されるこ
とはない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に対し積層
体が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プ
リント配線用基板１の搬送方向と交差する方向（幅方向
）に複数の突起抑圧部材３Ａを設けであるが、本発明は
これに限定されない。

すなわち、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤ
との一端部が押圧され、後者が必らず浮上できるならば
、プリント配線用基板ｌの両面側に夫々１つの突起抑圧
部材３Δを設けて突起抑圧機構３を構成してもよい。

また２本実施例では、プリン１〜配線用基板１の搬送方
向と交差する方向（幅方向）に突起抑圧部材３Ａを設け
であるが、本発明は、プリント配線用基板１の搬送方向
と同一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突
起抑圧部材３Ａを設けることもできる。この場合には、
流体吹付機構４のノズル４Ａを突起押圧部材３Ａの近傍
に設ける。

また１本実施例では、突起押圧機構３の突起押圧部材押
圧機構をリンク機構で構成したが、本発明は、積層体の
端部のプリント配線用基板ｌの表面に突起抑圧部材３Ａ
を接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチロ
ーラ２Ａ）を回転させてプリント配線用基板ｌを微小に
搬送し、積層体の端部を押圧する突起抑圧部材抑圧機構
で構成してもよい。すなわち１本発明は、搬送機槽で突
起押圧部材押圧機構を構成してもよい。

また１本発明は、°ホルダ３Ｂを取り付ける貫通穴の加
工精度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と
交差する方向の突起抑圧部材支持回転１ｌＩＩｌ１３Ｃ
の断面形状を方形状で構成してもよい。

前記流体吹イ・」機構４は、第１図及び第２図に示すよ
うに、ノズル４Ａから圧力を加えた流体１例えば、空気
、不活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成
されている。この流体吹（Ｊ’　＠　’ｎｔｔ４は、プ
リント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂
フィルムＩＤが浮上した両者の隙間部分に流体を直接吹
き付けるように構成されている。そして、流体吹付機構
４は、前記隙間部分に即座に流体を吹き付けられるよう
に、突起抑圧機構３の近接した位置に構成されている。

この流体吹付機構４のノズル４Ａは、矢印Ｊ方向にその
設定角度が可変できるように構成されている。すなわち
、流体吹付機構４は、流体吹き付は時にできる限り前記
隙間部分にノズル４Ａを近接させ、流体吹き付は後にプ
リント配線用基板ｌが接触しない位置にノズル４Ａを退
避できるように構成されている。

このように、突起抑圧部材３Ａの抑圧で生じた感光性樹
脂ＦＰＪＩＣと透光性樹脂フィルムｌＤとの隙間部分に
、流体吹付機構４で流体を吹き付けることにより、感光
性樹脂層ＩＣ，ｑ透光性樹脂フィルムＩＤとの間に流体
が吹き込まれるので、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂
フィルムＩＤを簡単に瞬時かつ確実に剥離することがで
きる。

前記流体吹付機構４で剥離された搬送方向の先端側の透
光性樹脂フィルム１ｄは、第２図及び第８図（要部斜視
図）で示すように、剥離角度、設定板（剥離補助板）５
に流体圧で付着し、その剥に位置及び剥離方向の剥離角
度０が設定される。透光性樹脂フィルム１ｄは、第２図
及び第８図において一点鎖線で示している。剥離角度０
は、プリント配線用基板１に張り付けられている透光性
樹脂フィルムＩＤ（又は透光性樹脂フィルムＩＤが剥離
されたプリント配線用基板１）とその状態から引き起さ
れた透光性樹脂フィルムｌｄとがなす角度であり、略直
角になるように構成されている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感光
性樹脂層ｌＣに損傷、破壊を生じないように、プリント
配線用基板ｌに張り付けられた透光性樹脂フィルムＩＤ
にこすれない程度の間隔を置いて設けられている。そし
て、剥離角度設定板５は。

その先端が、流体吹付は時には、透光性樹脂フィ／ｌ／
４ＬＤに密着するように、移動可能に構成され。

流体の吹抜けによる制能効果の低下を防止する。

１４剥離角度設定板５の先端ゆ１曲率半径の小さい艇鳥
状になっている。例えば、曲率半径が３画以下に構成さ
れている。　　、、。

、また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機
構６よりもプリント配線…基板１側に近接さ、せ、プリ
ント配線用基板ｌψ−送経路幅又は流体吹イ・１幅の略
全域の長さで剥８１２向に所定の長さを有するように構
成されている。すなわち、第８図□に矢印にで流体の流
出方向を示すように、剥離角・度・設定板５は、その裏
側への流体の吹抜けをでき・る限：り防止して′ＪｄＪ
離効果全効果、かつ剥にされた透光性樹脂フィルムｌｄ
の剥−角度設定板５１＼の付着性を高めることができる
１、： 剥離角度設定板５は、図示していないが、ノズル、４Δ
からの流体吹（＝Ｊ力方向所牢位置の装置本体に取、り
付けられている。　　　・ このように構成される剥離ｆ午度設定板５は、剥離位置
を安定させるとともに、透光性樹脂フィルムＩＤに一様
な剥離力を加えることができる。したがって、剥離角度
設定板５は、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離時における
剥離位置の変動防止。

刺部応力の偏りを防止し、感光性樹脂層１ｃを損傷、破
壊しないようにすることができる。

なお、剥離角度設定板５の剥離角度０は、透光性樹脂フ
ィルムＩＤの材質１．流体吹付機構４の流体圧等の条件
変化により、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できる
ように構成し工もよい。また、剥離角度設定板５は、異
なる厚さのプリント配線用基板ｌ、異なる厚さの感光性
樹脂層ＩＣや透光性樹脂フィルムＩＤに対応で々、るよ
うに、その位置を移動できるように構成してもよい。こ
の［多功は、例えば、空圧シリング、油圧シリンダ等で
行うことができる。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付若した透光性樹
脂フィルムｌｄは１．第１図、第２図及び第９図（拡散
分解斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機
構）６で剥離し・ながら搬出さ、１シる。

薄膜搬出機構６は、主に、プリント配線用基板１の両面
側に夫々設けら、１ｔた上部搬送ベル１−機ｔ＋’１と
下部搬送ベル１−機構とで構成されている。

上部搬送ベルトＭ＆構は、第９図で詳綱に示すように、
固定搬送ベルｌ−６Ａ、６Ｃ，６Ｄ、ＧＥ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸ｌに支持されたローラ６
Ａａ、駆ｅｌｐＨｌ■に支持されたローラ６Ａｂ及びロ
ーラ６　Ａ　ａと６Ａｂとに巻き回されたベルト６ａで
構成されている。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸層に支持されたローラ６
Ｂａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ｂｂ及びローラ６
Ｂａと６Ｂｂとに巻き回されたベルト６ｂで構成されて
いる。この可動搬送ベルト６Ｂは、ｒｇ、動軸■を中心
に第２図に示すように、矢印り方向に回転するように構
成されている。すなわち、可動搬送ベルト６Ｂは、剥離
された透光性樹脂フィルム１ｄを剥瀬角度設定板５に付
着させ易くするとともに、この透光性樹脂フィルろ１ｄ
を固定搬送ベル１−６Ａとで挾持して搬送できるように
構成されている。また、固定搬送ベルト６Ａ及び可動搬
送ベル！・６Ｂとの挾持は、第８図に示す剥離角度設定
仮５に設けられた切込部５Ａを通して行りれる。この切
込部５Ａは、剥謡角度設定板５で剥煎位置及び剥難角度
が設定さ九た透光性樹脂フィルムｌｄに固定搬送ベルト
６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとが達し、両者でそれを挾持
できるように構成されている。すなわち、切込部５１〜
は、固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとで透光
性樹脂フィルム１ｄを確実に挾持できるように構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｃは、駆動軸■に支持されたローラ６
Ｃａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｃｂ及びローラ６
　Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６ｃで構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸■に
支持されたローラ６　Ｄ　ｃ　、従動軸■に支持された
ローラ６Ｄｄ、従動軸Ｖに支持されたローラ６Ｄｅ及び
ローラ６Ｄａ〜６Ｄｅに巻き回されたベルト６ｄで構成
されている。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベル１−６
Ａ及び可動搬送ベル１−６Ｂで搬送された透光性樹脂フ
ィルムｌｄをさらに排出方向に搬送するように構成され
ている。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６Ｄｅは、第１０
図（要部断面図）で示すように、固定搬送ベルト６Ｃ及
び６Ｄから固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透光性樹脂フ
ィルムｌｄを搬送するときに、その搬送方向が大きな角
度で変化するために設けられている。すなわち、ローラ
６Ｄｅは、搬送方向が変化するときに、ベルト６Ｃ及び
６ｄの透光性樹脂フィルムｌｄに接触する側の曲率半径
を略同等にすることができる。したがって、搬送時に透
光性樹脂フィルムｌｄにシワが生じることを防止し、ジ
ャム等のトラブルを防止することができる。

また、第１１図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム１ｄの一方の面に接触し、その搬送方向と交
差する透光性ＩＭ脂フィルムｌｄの幅方向に所定の間隔
で設けられた環数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６Ｄ）の
間には、透光性樹脂フィルムｌｄの他方の面に接触する
固定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｃ）が設けられている。換
言す九ば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト
６ｃ及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルムｌｄとの接触
面）が一致しているか、或はそれよりも相手側に食込む
ように、透光性樹脂フィルム１ｄの幅方向に千鳥状に配
置されている。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千、１状に
配置することにより、搬送される透光性樹脂フィルム１
ｄにその幅方向の張力を与えることができるので、固定
搬送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一にしかも確実に透光性樹
脂フィルム１ｄを挾持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挾持さ九る透光性
樹脂フィルム１．１は、夫々のベルｈ　６　ｃ及び６ｄ
の表面及び側面側を包み込むような形状で搬送されるの
で、口′−ラ６Ｃａ　、　ＧＣｂとベルト６ｃ、又はロ
ーラ６　Ｄ　ａ　〜（５Ｄ　ｅとベル１−６ｄとのロー
ラの軸方向のズレを防止することができる。したがって
、搬送時に透光性樹脂フィル１％　１ｄに加わる挾持力
を均一にし、それにシワが発生することを防止できるの
で、ジャム等のトラブルを防止することができる。特に
、本実施例の装置は、後述する上部透光性樹脂フィルム
排出収納容器７Ａを設けており、上部搬送ベルＩ−機構
の搬送経路が下部搬送ベル１へ機構のそれよりも長いの
で。

固定搬送ベル１−６Ｃ及び６Ｄのように構成するどとは
有効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ５
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｅで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ６
Ｆａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びローラ６
Ｆａと６Ｆｂとに巻き回されたベル１−〇ｆで構成さＪ
ｔている。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第１図及び第２図に示す
ように、前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで搬送された
透光性樹脂フィルム１ｄを装置本体から矢印Ｍ方向に排
出するように構成されている。装置本体から排出された
透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図に示す−に１部透光
性樹脂フィルム排出収納容器７Δに収納される。この上
部透光性樹脂フィルム排出収納客側７Ａは、装置本体の
上部に石肌自在に取り付けられている。

前記下部搬送ベル１〜４１構は、第２図に示すように、
固定搬送ベルト６Ｇと可動突進ベルｌ−６１１とで構成
されている。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベル１−６ｇで構成されて
いる。

可動搬送ベルト６日は、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｈａ、６ＨＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６　Ｈｂ及びローラ
６Ｈａ〜６Ｈｃに巻き回されたベルト６ｈで構成されて
いる。

固定搬送ベルト６Ｇと可！Ｉり＋ｔａ送ベル上ベルト６
１１記上部搬送ベル１−機構と同様に、剥離角度設定板
５で剥離位匝及び剥に角度が設□定されたもう一方の透
光性樹脂フィルム１ｄを剥層しながら［するとともに、
矢印Ｏ方向に装置本体から透光性樹脂フィルム１ｄを排
出するように構成されている。装置本体から排出された
透光性樹脂フィルムｌｄは、第１図に示す下部透光性樹
脂フィルム排出収納容器７Ｂに収納される。この下部透
光性樹脂フィルム１１１Ｉ：出収納容Ｃ７Ｂは、装に本
体に着脱ｉ在に取り付けられている。また、前記上部透
光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａは下部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容器７Ｂの上部に設けられており、装置
本体は、占有面積を縮小しコンバク１−化できるように
構成されている。

薫だ；前記固定搬送ベルトＧ栓、ＧＦ、６Ｇ及び可動搬
送ベル１−〇１！の排出側の夫々の搬送経路の近勿には
、第２図及び第９図に示すように、排出される透光性樹
脂フィルＡｘ　１　ｄにそのｔｌｌ：出方向（矢印Ｎ方
向）に流体を吹き付ける流体噴出機構８が設けられてい
る。このとき、ｖ１゛出される透光性樹脂フィルム１ｄ
と流体吹付方向とがなす角度は、流体の噴出で透光性樹
脂フィルム１ｄを確実に排出方向に誘導できるように、
鋭角ｄ、（ｏ≦ＯＬ≦９０）に設定されている９流体噴
出機構８は、固定搬送ベル１−６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｃ曲
及び可動搬送ベルト６１４間に流体が噴出する噴出口が
設けられたパイプで構成されている。流体尼しては、圧
力を加えた空気、不活性ガス等の気体、水等の液体を使
用する。なお１図示されていないが、流体噴出装置８に
近接した位置には、□透光性樹脂フィルムｌｄの帯電を
低減する除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６　）Ｉの太々め排出側に流体噴出機構８を設
けろことにより、Ｊｌ−出される透光性樹脂フィルム１
ｄが再度固定搬送ベルｌ−６Ｅ、６　Ｆ、６Ｇ又は可動
搬送ベルｈ６Ｈに巻き込まれることを防止するとともに
、流体で矢印Ｍ又はＯ方向に透光性樹脂フィルム１ｄを
誘導することができるので、透光性樹脂フィルム１ｄを
効率良く上部又は下部透光性樹脂フィルムｕ１°出収納
容器７Ａ又は７Ｂに排出することができる。

また、固定搬送ベル１−６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可
動搬送ベルｌ−６１（間の夫々の排出側の搬送経路の近
傍には、巻込防止用部材９が設けられており、透光性樹
脂フィルム１ｄが固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は
可動搬送ベルト６１−１に巻き込まれることを防止して
いる。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置及び可！Ｉ！Ｉｌ搬送ベルＩ−６Ｈに近接した
位置には、夫々除電装ｒｎ１０とイサン拡散装置１ｆｆ
ｌｌとが設けられている。除電装ｒ！１１０は、イオン
を放出し、剥にや搬送時に透光性樹脂フィルム１ｄが帯
電することを低減できるように構成されている。イオン
拡散装ｒ１１１１は、除電装置１０から放出されたイオ
ンを拡散し、透光性樹脂フィルム１ｄの帯電を効率良く
低減できるように構成されている。イオン拡散装置１１
１１は、例えば、圧力が加えられた空気等の流体でイオ
ンを拡散するように構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、本発明は、突起抑圧機構３の突起抑圧部材３Δ
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成しても
よい。

また、本発明は１回転体の円周上に複数の針が設けられ
たブラシで透光性樹脂フィルムＩＤの端部を引き起す薄
膜浮上機構を有するｌｔｖ膜剥離装置に適用することが
できる。

また、本発明は、ローレッ１〜で透光性樹脂フィルムＩ
Ｄの端部を抑圧し、その部分を浮上させる薄膜）プ、上
機横を有する薄膜剥煎装随に適用することができる。

また１本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の側扉装置に適用することができる。

（３）効果 以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

＜１＞基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜の剥雅
装はであって、前記基板に張り付けられた薄膜の端部を
浮上させる薄膜浮上機構を設け、該薄膜浮上機構で浮上
した薄膜の端部に流体を吹付けて薄膜の一部を剥離する
流体吹付機構を設け、前記基板搬送面に対して所定の角
度を有する剥離補助板（剥離角度設定板）を、流体吹付
機構の流体吹付方向の所定位置に設け、該剥離補助板で
剥離方向が設定された薄膜を剥離しながら搬出する薄膜
搬出機構を設けたことにより、薄膜浮上機構で薄膜の端
部を浮上させ、この浮上させた部分に前記流体吹付手段
で流体を吹き付けて薄膜の一部を剥離し、剥離された薄
膜を剥離補助板で最適な剥離方向に設定し、この薄膜を
薄膜搬出機構で剥離しながら搬出することができるので
、感光性樹脂層に損傷、破壊等を生じることなく、薄膜
を基板から剥離することができる。

く２〉前記＜１＞の剥な補助板を、基板の搬送Ｕ路の幅
又は流体吹付幅の略全域の長さで剥濯方向に所定の長さ
を有するように構成することにより。

剥＠補助板の裏側に流体が吹抜けることを防止できるの
で、薄膜の剥に効果を高めることができる。

＜３＞０７１記く１〉の剥離補助板に、流体吹付機構で
剥照された薄膜に達する切込部を設けたことにより、切
込部を通して薄膜搬出機構で薄膜を確実に挾持し搬出す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例のプリン１−配線用基板の
保護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図。 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図。 第３図は、第１図及び第２図に示す突起抑圧機構の構成
図。 第４同は、第３図の拡散分解図、 第５１”！Ｉは、第４図に示す突起抑圧部材の部分断面
図、 第６図及び第７図は、第２図に示すプリン１−配線用基
板の要部断面図。 第８図は、第１図及・び第２図に示す剥に角度設定板の
要部斜視図。 第９図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出機構の拡散
分解斜視図。 第１０図及び第１１図は、第９図に示す薄膜搬出機溝の
要部断面図である。 図中、１・・プリンＩ・配線用基板、ＩＡ・・絶縁性基
板、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・感光性樹脂層、ＩＤ・
・・透光性樹脂フィルム、２・・搬送用駆動ローラ。 ３・・・突起押圧機構、３Δ・・・突起押圧部材、４・
・・流体吹付ｎ構、５・・・ネ１１離角度設定板（剥煎
補助板）。 ６・・薄膜搬出機構である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜の剥離
   装置であって、前記基板に張り付けられた薄膜の端部を
   浮上させる薄膜浮上機構を設け、該薄膜浮上機構で浮上
   した薄膜の端部に流体を吹付けて薄膜の一部を剥離する
   流体吹付機構を設け、前記基板の搬送経路の幅又は流体
   吹付幅の略全域の長さで剥離方向に所定の長さを有し、
   かつ、基板搬送面に対して所定の角度を有する剥離補助
   板を、流体吹付機構の流体吹付方向の所定位置に設け、
   該剥離補助板で剥離方向が設定された薄膜を剥離しなが
   ら搬出する薄膜搬出機構を設けたことを特徴とする薄膜
   の剥離装置。
2. （２）前記剥離補助板は、基板搬送面に対して略直角で
   構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   の薄膜の剥離装置。
3. （３）前記剥離補助板は、剥離される前の薄膜と剥離さ
   れた後の薄膜とがなす角度を鈍角で構成したことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜の剥離装置。
4. （４）基板に張り付けられた薄膜を剥離する薄膜の剥離
   装置であって、前記基板に張り付けられた薄膜の端部を
   浮上させる薄膜浮上機構を設け、該薄膜浮上機構で浮上
   した薄膜の端部に流体を吹付けて薄膜の一部を剥離する
   流体吹付機構を設け、前記基板の搬送経路の幅又は流体
   吹付幅の略全域の長さで剥離方向に所定の長さを有し、
   かつ、基板搬送面に対して所定の角度を有する剥離補助
   板を、流体吹付機構の流体吹付方向の所定位置に設け、
   該剥離補助板に、流体吹付機構で剥離された薄膜に達す
   る切込部を設け、前記剥離補助板で剥離方向が設定され
   た薄膜を前記切込部を通して挾持し、薄膜を剥離しなが
   ら搬出する薄膜搬出機構を設けたことを特徴とする薄膜
   の剥離装置。