DE3650182T2

DE3650182T2 - Vorrichtung zum Abschälen eines Films.

Info

Publication number: DE3650182T2
Application number: DE3650182T
Authority: DE
Inventors: Fumio Hamamura; Shigeo Sumi
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-08-31
Filing date: 1986-08-29
Publication date: 1995-05-04
Anticipated expiration: 2006-08-30
Also published as: ATE116511T1; EP0217150A3; DE3650182D1; EP0217150B1; EP0217150A2

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abschälen eines auf einer Platte haftenden Films.
Bedruckte Leiterplatten zur Verwendung in elektronischen Geräten, wie etwa Computern, sind mit einem vorherbestimmten Verdrahtungsmuster aus Kupfer versehen, das auf einer oder beiden Seiten einer isolierenden Platte ausgebildet ist.
Eine bedruckte Leiterplatte dieser Art wird mit den folgenden Schritten hergestellt: Laminieren einer lichtempfindlichen Harzschicht (Fotoresist) und eines durchscheinenden Harzfilms (Schutzfilm) zum Schutz der lichtempfindlichen Harzschicht auf einer leitenden Schicht, die auf einem isolierenden Substrat aufgetragen ist, mittels Thermokompressions-Verschweißung; Auftragens eines Films mit einem Verdrahtungsmuster; Belichten der lichtempfindlichen Harzschicht während einer vorgeschriebenen Zeitdauer, durch den Film mit dem Verdrahtungsmuster und den durchscheinenden Harzfilm; Entwickeln der so belichteten lichtempfindlichen Harzschicht nachdem der durchscheinende Harzfilm abgeschält wurde, um ein Muster für eine Ätzmaske zu bilden; Entfernen nichtbenötigter Bereiche der leitenden Schicht mittels Ätzens; und anschließend Entfernen der verbleibenden lichtempfindlichen Harzschicht. Eine bedruckte Leiterplatte mit einem vorherbestimmten Verdrahtungsmuster wird so hergestellt.
Während der oben geschilderten Schritte zur Herstellung einer bedruckten Leiterplatte muß der durchscheinende Harzfilm abgeschält werden, wenn die lichtempfindliche Harzschicht nach ihrer Belichtung entwickelt wird. Der Schritt des Abschälens der durchscheinenden Harzschicht bedarf immer noch handwerklicher Tätigkeit, wozu einerseits ein fingerfertiger Arbeiter und andererseits eine äußerst geschickte Hand notwendig sind, um eine Beschädigung oder Zerstörung aufgrund ungleichmäßig ausgeübten Abschäldrucks zu vermeiden, da der Film dünn ist.
Das Problem besteht darin, daß langwierige Handarbeit bei der Herstellung von bedruckten Leiterplatten notwendig ist, weil das Abschälen des durchscheinenden Harzfilms zeitaufwendig ist.
Aus JP-A-58091782 ist eine Vorrichtung zum Abschälen eines auf einer Platte haftenden Schutzpapiers bekannt, die versehen ist mit Nadeln zum Auftragen einer Kraft auf das vordere Ende des Papiers und der Platte, um einen Spalt zwischen dem Papier und der Platte mittels plastischer Deformation zu erzeugen, und mit Düsen zum Blasen von Druckluft an das Ende, um dadurch den Spalt zwischen dem Papier und der Platte zu vergrößern, und mit einer Klemmplatte zum Abklemmen des anhaftenden Papiers.
Es ist ein Hauptziel der vorliegenden Erfindung, die Abschälwirksamkeit der in der Einleitung der Beschreibung erwähnten Filmabschälvorrichtung zu verbessern.
Diese Aufgabe wird durch die in Anspruch 1 vorgegebene Vorrichtung gelöst.
Ausführungsformen der Erfindung und Vorzüge derselben werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert.
Die folgende der Ausführungsformen der Erfindung ist beispielhaft:
Die Abschälvorrichtung zum Abschälen eines auf einer Platte haftenden Films enthält Druckteile zum Ausüben einer Kraft auf die Enden des auf der Platte haftenden Films, und eine Flüssigkeitsspritzeinrichtung zum Einbringen von Flüssigkeitsstrahlen in die Bereiche, auf die die Kraft ausgeübt wird.
Dementsprechend wird unter dem Ende des Films durch Aufbringen einer Kraft ein Spalt gebildet, wobei der Abschnitt verwendet wird, um sicherzustellen, daß der Film sofort abgeschält wird.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht und zeigt den Aufbau einer Abschälvorrichtung zum Abschälen eines Schutzfilms einer bedruckten Leiterplatte, als eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des vorstehenden Druckmechanismus aus Fig. 1;
Fig. 3 ist eine vergrößerte perspektivische Ansicht des Hauptabschnitts des Positionseinstellteiles aus Fig. 1;
Fig. 4 und 5 sind vergrößerte Querschnittsansichten des Hauptabschnitts aus Fig. 2;
Fig. 6 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des Flüssigkeitsspritzmechanismus und des Filmabführmechanismus aus Fig. 1;
Fig. 7 ist eine perspektivische Ansicht des
Hauptabschnitts des Filmabführmechanismus aus Fig. 6;
Fig. 8 bis 10 sind perspektivische Ansichten von anderen vorstehenden Druckteilen;
Fig. 11 ist eine perspektivische Ansicht eines weiteren vorstehenden Druckteils;
Fig. 12 ist eine perspektivische Ansicht und zeigt den Aufbau einer weiteren Filmabschälführung;
Fig. 16 ist eine vergrößerte Seitenansicht des Hauptabschnitts einer Filmabhebungseinrichtung;
Fig. 17 zeigt den Aufbau des vorstehenden Druckmechanismus aus Fig. 16;
Fig. 18 ist eine vergrößerte Explosionsansicht von Fig. 17;
Fig. 19 ist eine teilweise Querschnittsansicht des vorstehenden Druckteils aus Fig. 18;
Fig. 20 und 21 sind Querschnittsansichten der Hauptbereiche der bedruckten Leiterplatte aus Fig. 16; und
Fig. 22 ist eine perspektivische Ansicht und zeigt eine den Abschälwinkel einstellende Platte.

BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG

Im folgenden wird eine Abschälvorrichtung zum Abschälen eines auf einer bedruckten Leiterplatte haftenden Schutzfilmes beschrieben, die eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
In den Zeichnungen, die die Ausführungsform darstellen, bezeichnen gleiche Bezugszahlen gleiche Bauteile mit den gleichen Funktionen, und auf eine Wiederholung der Beschreibung dieser Bauteile wird verzichtet.
Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht und zeigt den Aufbau einer Abschälvorrichtung zum Abschälen von Schutzfilmen, die eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
Wie in Fig. 1 gezeigt, enthält ein Mechanismus zum Fördern einer bedruckten Leiterplatte 1 in einer Abschälvorrichtung zum Abschälen von Schutzfilmen gemäß dieser Ausführungsform Förderrollen 2 zum Tragen einer bedruckten Leiterplatte 1 und Fördersteuerungsrollen 3.
Vorstehende Druckmechanismen 4, Flüssigkeitsspritzmechanismen 5 und Filmfördermechanismen 6 sind in den Förderweg des obigen Fördermechanismus eingebaut.
Wie in Fig. 2 dargestellt ist die bedruckte Leiterplatte aus leitenden Kupferschichten 1B gebildet, die auf beiden Seiten (oder einer Seite) eines isolierenden Substrats 1A angehaftet sind. Laminierte Körper, die jeder aus einer lichtempfindlichen Harzschicht 1C und einem durchscheinenden (Schutz-)Harzfilm 1D bestehen, sind auf den leitenden Schichten 1B der bedruckten Leiterplatte 1 mittels Thermokompressions-Verschweißens angehaftet. Die lichtempfindlichen Schichten 1C befinden sich in einem Zustand nach Belichtung, so daß sie ein vorherbestimmtes Muster bilden.
Die Förderrollen 2 und die Fördersteuerungsrollen 3 sind so angeordnet, daß sie die bedruckte Leiterplatte 1 in Richtung des Pfeiles in dem Förderweg fördern, dessen Ansicht entlang der Linie A-A aus Fig. 1 dargestellt ist.
Der in den Fig. 1 und 2 gezeigte vorstehende Druckmechanismus 4 ist so angeordnet, daß er eine Kraft auf ein Ende einer lichtempfindlichen Harzschicht 1C und/oder den durchscheinenden Harzfilm 1D mit einem vorstehenden, nadelförmigen Druckteil 4A ausübt. Im einzelnen grenzt die Stirnfläche der bedruckten Leiterplatte 1 gegen ein Positions-Einstell-Teil 4B, das in den Fig. 1, 2 und 3 dargestellt ist, wenn die Stirnfläche von einem Positionsdetektor S detektiert wird. Der Positionsdetektor S ist mit einem Fotosensor versehen. Mit Hilfe einer Antriebseinrichtung 4C, wie etwa einem Druckluftzylinder, Solenoid oder dergleichen, wird bewirkt, daß das Positions- Einstell-Teil 4B in Übereinstimmung mit dem Detektionssignal des Positionsdetektors S in der Richtung des Pfeils B gleitet. Anschließend wird bewirkt, daß die Stirnfläche des vorstehenden Druckteils 4A an das Ende der leitenden Schicht 1B und des durchscheinenden Harzfilms 1D in der Förderrichtung der lichtempfindlichen Harzschicht 1C angrenzt. Das vorstehende Druckteil 4A wird durch Zahnräder 4E, 4F auf der Welle 4D in Richtung des Pfeils C beweglich gemacht. Das vorstehende Druckteil 4A wird in die Richtung des Pfeils D' (auf der rechten Seite in der Zeichnung) derart bewegt, daß es auf der leitenden Schicht 1B gleitet, wenn ein Zahnstange 4H in Richtung des Pfeiles D bewegt wird, wenn sich eine Kammwalze 4G dreht. Wie in Fig. 4 dargestellt, wird die Kraft an die Enden der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und/oder des durchscheinenden Harzfilms 1D angelegt, wenn sich das vorstehende Druckteil 4A bewegt. Anschließend wird das vorstehende Druckteil 4A in der Zeichnung nach links bewegt, wenn die Möglichkeit vorliegt.
Ein Spalt zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D kann somit, wie in Fig. 5 dargestellt, durch Ausüben einer Kraft, mittels der nadelförmigen Druckteile 4A, auf die Enden der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und des durchscheinenden Harzfilms 1D der bedruckten Leiterplatte 1 ausgebildet werden. Der Grund für die Bildung eines derartigen Spaltes liegt darin, daß Scherkräfte zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D erzeugt werden, wenn eine Kraft auf die Schicht 1C und den Film 1D ausgeübt wird, wenn die Schicht bzw. der Film aus unterschiedlichen Materialien hergestellt sind und die Harzschicht 1C bezüglich des Harzfilms 1D plastisch deformiert wird.
Des weiteren ermöglicht das in dem Förderweg der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnete vorstehende Druckteil 4A eine automatische Ausbildung des Spaltes zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D. Obwohl die lichtempfindliche Harzschicht 1C und der durchscheinende Harzfilm 1D, zwischen denen die Bildung eines Spaltes ermöglicht ist, durch die Förderrollen 2 oder die Fördersteuerungsrolle 3 zusammengedrückt werden, während sie zu dem Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 gefördert werden, haften sie jedoch aneinander, weil sie nicht unter Druck hitzeverschweißt wurden.
Drei Einheiten von vorstehenden Druckteilen 4A sind bei dieser Ausführungsform in dem Förderweg der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet, aufgrund der Gefahr einer verzogenen Lamination der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und des durchscheinenden Harzfilms 1D durch die Thermokompressions-Verschweißung. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf eine derartige Anordnung beschränkt. Es können somit 1, 2 oder mehr als 3 vorstehende Druckteile 4A verwendet werden, um den vorstehenden Druckmechanismus 4 zu bilden, vorausgesetzt, daß es sichergestellt ist, daß eine Kraft auf die Enden der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und des durchscheinenden Harzfilms 1D ausgeübt wird.
Wie in den Fig. 1 und 6 dargestellt, sind die Flüssigkeitsspritzmechanismen so angeordnet, daß sie Strahlen von unter Druck stehender Flüssigkeit wie Wasser, oder auch Luft oder ein inertes Gas, durch die Düsen 5A aussenden. Der Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 wird verwendet, um einen Flüssigkeitsstrahl direkt in den Spalt zu senden, der zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D der bedruckten Leiterplatte 1 gebildet ist. Die bedruckte Leiterplatte 1 wird in die vorherbestimmte Stellung des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 mit Hilfe der Förderungssteuerrollen 3 gebracht. Der Einstellwinkel der Düse 5A kann variabel sein, wie durch Bezugszeichen 5' der Fig. 6 dargestellt ist.
Da der Flüssigkeitsspritzmechanismus einen Strahl von Flüssigkeit in den Spalt zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D aussendet, der aufgrund des vorstehenden Druckteils 4A gebildet ist, wird der durchscheinende Harzfilm 1D sicher, genau und instantan abgeschält.
Der Filmabführmechanismus 6 enthält ein feststehendes Förderband 6A, ein Filmabschälführungsteil 6B, ein bewegliches Förderband 6C und einen Förderbandmechanismus 6D zum Abführen eines Films.
Das feststehende Förderband 6A enthält eine Mehrzahl von Paaren von Rollen 6Aa, 6Aa' und einem Band 6Ab, das um jedes der Paare von Rollen 6Aa, 6Aa' gewunden ist, wie in den Fig. 1, 6 und 7 dargestellt.
Das bewegliche Förderband 6C besteht, wie in den Fig. 1 und 6 gezeigt, aus einer Mehrzahl von Rollen 6Ca, 6Ca' und einem Band 6Cb, das um jedes Paar von Rollen 6Ca, 6Ca' gewunden ist. Das bewegliche Förderband 6C wird mit Hilfe eines Druckluftzylinders 6Cc um die andere Rolle 6Ca' betrieben, und es wird gezwungen, sich in die Nähe des Bandes 6Ab des feststehenden Förderbandes 6A oder auf des Filmabschälführungsteil 6B zu bewegen, oder diese zu berühren.
Das feststehende Förderband 6A und das bewegliche Förderband 6C betten den durchscheinenden Harzfilm 1D sandwichartig ein, der mit Hilfe des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 (in der durch eine unterbrochene Linie dargestellten Stellung in Fig. 6) abgeschält wurde und von dem Paar von Rollen 6Aa, 6Aa' und dem Paar von Rollen 6Ca, 6Ca' angetrieben wird, so daß der durchscheinende Harzfilm 1D hintereinander abgeschält und abgeführt wird.
Das Filmabschälführungsteil 6B ist in der Filmabschälvorrichtung an der Seite des feststehenden Förderbandes 6A angebracht und zwischen den Bändern 6Ab angeordnet.
Mit Hilfe des Filmabschälführungsteils 6B kann eine Änderung der Abschälposition und eine Verzerrung des Abschäldruckes vermieden werden, während der durchscheinende Harzfilm 1D abgeschält wird, und das Führungsteil 6B wird dazu verwendet, den abgeschälten durchscheinenden Harzfilm 1D so zu führen, daß der Abschälwinkel des angehobenen durchscheinenden Harzfilms 1D stumpf bezüglich der bedruckten Leiterplatte 1 ist (von der Förderrichtung der Platte 1 aus betrachtet), um eine Beschädigung oder einen Riß der lichtempfindlichen Harzschicht 1C zu vermeiden. Die Stirnfläche des Filmabschälführungsteils 6B ist um eine solche Strecke entfernt von der bedruckten Lichtempfindlich 1 angeordnet, daß die letztere durch das Führungsteil 6B nicht gerieben wird. Der Abschälwinkel e des Filmabschälführungsteil 6B kann in einer Richtung ungefähr senkrecht zur bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet sein, oder er kann variabel sein und/oder linear verschoben werden, wie in den Fig. 6 und 7 dargestellt.
Die Stirnfläche des Filmabschälführungsteils 6B hat die Form eines Bogens mit im Querschnitt kleinen Krümmungsradius, z. B. einem Krümmungsradius von 3 mm oder kleiner.
Die Abschälposition wird stabilisiert, indem das Filmabschälführungsteil 6B derart angeordnet wird, und ein gleichförmiger Abschäldruck kann auf den durchscheinenden Harzfilm 1D und die lichtempfindliche Harzschicht 1C ausgeübt werden.
Da, wie oben ausgeführt, die Filmfördereinrichtung 6 aus einem feststehenden Förderband 6A, dem Filmabschälführungsteil 6B und dem beweglichen Förderband 6C zusammengesetzt ist, werden die mittels des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 abgeschälten durchscheinenden Harzfilme von den Filmabschälführungsteilen 6B geführt, zwischen dem feststehenden Förderband 6A und dem beweglichen Förderband 6C sandwichartig gelagert, und während des Abschälens in die durch den Pfeil "HINAUS" dargestellte Abführrichtung nach außen getragen.
Wie in Fig. 1 gezeigt, besteht der Filmabführförderbandmechanismus 6D aus einer Mehrzahl von Rollen 6Da und einem Paar von Bändern 6Db, und ist so angeordnet, um den durchscheinenden Harzfilm 1D auf der oberen Seite der bedruckten Leiterplatte 1 abzuführen.
Das bewegliche Förderband 6C kann mit Hilfe eines Solenoids oder eines hydraulischen Zylinders anstelle des Druckluftzylinders 6Cc bewegt werden.
Da der Filmabführmechanismus 6 in dem Förderweg der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet ist, wird der mittels des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 abgeschälte durchscheinende Harzfilm 1D sicher automatisch abgeführt, so daß die Arbeitszeit erheblich verringert werden kann. Nachdem die durchscheinenden Harzfilme 1D mittels des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 und des Filmabführmechanismus 6 abgeschält sind, wird die bedruckte Leiterplatte 1 mit Hilfe der Fördersteuerungsrollen 3 und der Förderrollen 2 in eine Entwicklungsvorrichtung zum Entwickeln der lichtempfindlichen Harzschichten 1C gefördert.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obige Anwendung beschränkt, sondern sie kann auf vielfältige Weise abgeändert werden, ohne den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen.
Beispielsweise können die vorstehenden Druckteile 4A so, wie in den Fig. 8, 9 und 10 angeordnet sein. In anderen Worten ist das in Fig. 8 gezeigte vorstehende Druckteil 4A keilförmig ausgebildet, und das in Fig. 9 dargestellte Druckteil 4A hat die Form planparallelen Platte, wohingegen das in Fig. 10 dargestellte die Form eines gebogenen Keils aufweist.
Das vorstehende Druckteil 4A kann desweiteren, wie in Fig. 11 gezeigt in der Stirnfläche der Düse 5A des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 eingearbeitet sein, oder aus einem anderen Material erstellt sein. In diesem Fall kann der durchscheinende Harzfilm 1D abgeschält werden, weil der Spalt, der durch Ausüben einer Kraft auf die lichtempfindliche Harzschicht 1C und den durchscheinenden Harzfilm 1D ausgebildet wird, mit den Abschnitt übereinstimmt, zu dem ein Flüssigkeitsstrahl ausgesendet wird.
Das Filmabschälführungsteil 6B kann, wie in Fig. 12 dargestellt, streifengitterförmig mit einer Mehrzahl von Gitterstäben ausgebildet sein. Das Stirnflächenteil des Filmabschälteils 6B ist jedoch bogenförmig ausgebildet und weist im Querschnitt einen geringen Krümmungsradius auf.
Darüber hinaus kann der Abführmechanismus 6 mit einer Kombination von Drehrollen, einem weiteren feststehenden Bandfördermechanismus, einer Drehrolle, die verwendet wird, um den Film aufzuwickeln, oder mit einer Saugscheibe gebildet sein, deren Saugkraft verwendet wird, um den Film abzuschälen und zu fördern.
Das vorstehende Druckteil 4A kann nicht in der Förderrichtung sondern rechtwinklig dazu angeordnet sein.
Die Fig. 16 bis 21 zeigen eine weitere Ausführungsform der Erfindung, in der anstelle der Filmanhebeteile 4 ein vorstehender Druckmechanismus 30 verwendet wird, der eine Mehrzahl von vorstehenden Druckteilen 30A enthält, die auf beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet sind, wobei die vorstehenden Druckteile 30A in der Richtung quer zur Förderrichtung (die kreuzweise Richtung der bedruckten Leiterplatte 1) angeordnet sind. Jedes vorstehende Druckteil 30A ist, wie in Fig. 19 gezeigt, nadelförmig und so ausgebildet, daß das Ende des laminierten Körpers, der aus der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D gebildet ist, von der Stirnfläche des vorstehenden Druckteils 30A zusammengedrückt wird. Das vorstehende Druckteil 30A ist ebenfalls so angeordnet, daß es nicht in die Grenzschicht der leitenden Schicht 1B und der lichtempfindlichen Harzschicht 1C eindringt, wenn das vorstehende Druckteil 3A das Ende des laminierten Körpers zusammendrückt, und es ist desweiteren so angeordnet, daß es einen Scheitelwinkel von z. B. ungefähr 60 Grad aufweist, um den durchscheinenden Harzfilm 1D von der lichtempfindlichen Harzschicht 1C abzuschälen. Jedes der vorstehenden Druckteile 30A, die sich gegenüberstehend angeordnet sind, wird über ein Halteteil 30B von einer diskreten Drehwelle 30C zum Stützen vorstehender Druckteile gestützt. Das Halteteil 30B, das mit einem Code versehen ist, ist derart angeordnet, daß es in einem Querloch des Drehschaftes 30C gleitbar gelagert ist.
Das gleiche oder andere elastische Teile 30C und 30E sind jeweils zwischen dem vorstehenden Druckteil 3A und dem Halteteil 3B, und zwischen dem Halteteil 30B und dem Drehschaft 30C zum Stützen der vorstehenden Druckteile angeordnet. Die elastischen Teile 30D und 30E sind in der Richtung des Pfeils B angeordnet, d. h. derart, daß sie in die Richtung nach der bedruckten Leiterplatte 1 hin einwirken. Dementsprechend kann die Position der Stirnfläche des vorstehenden Druckteils 30A mit Hilfe eines bestimmten Druckes in die Richtung des Pfeils B bezüglich der Drehwelle 30C zum Stützen des vorstehenden Druckteils geändert werden.
Eines der beiden Enden des Drehschaftes 30C zum Stützen eines vorstehenden Druckteils ist, wie in den Fig. 17 und 18 dargestellt, drehbar mit einem Ende eines beweglichen Armteils 30B über einen Gleitschlitz 30f gekoppelt, der in einem Führungsteil 30F ausgebildet ist. Das Führungsteil 30F ist mit Hilfe nicht dargestellter Maschinenschrauben oder dergleichen an dem Vorrichtungskörper befestigt. Der Führungsschlitz 30f ist in der Richtung des Pfeils C ausgebildet, um so die Drehwelle 30C zum Stützen des vorstehenden Druckteiles und somit die vorstehenden Druckteile 30A zu führen.
Das andere Ende von jedem beweglichen Armteil 30G ist drehbar an einem der sich gegenüberstehenden Enden des Dreharmteils 30H befestigt, das in der Richtung des Pfeils D drehbar an der Drehwelle 30h befestigt ist. Das Dreharmteil 30H ist in der Lage, jedes Dreharmteil 30G in Richtung des Pfeils C in Längsrichtung zu bewegen.
Das Führungsteil 30F, das bewegliche Armteil 30G und das Dreharmteil 30H zum Führen der Stütz-Drehwelle 30C für das vorstehende Druckteil bilden den Bindemechanismus des vorstehenden Druckmechanismus 30, um das an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 angebrachte vorstehende Druckteil 30A über die Bewegung der Welle 30J der Antriebsquelle für die Verwendung bei beiden Oberflächen in Richtung des Pfeils E näher zu führen und weiter wegzubringen. Die Welle 30J ist mit einem Ende des Dreharmteils 30H über ein Armkupplungsglied 301 gekoppelt. Die Bauteile, die den Binde-Mechanismus ausbilden, sind jeweils aus einem Material erstellt, das bei Aufbringen einer äußeren Kraft schwer verformbar ist, wie etwa Eisen, Aluminiumlegierungen und feste Kunststoffmaterialien. Die Antriebskraft kann aus einem pneumatischen oder hydraulischen Zylinder oder aus einem Solenoid stammen. Die Welle 30J kann mit einem Ende des beweglichen Armteils 30G über das Arm-Kupplungsglied 301 gekoppelt sein, aber die Kopplung ist nicht auf ein Ende des Dreharmteils 30H beschränkt.
Indem auf diese Weise das vorstehende Druckteil 30A mit der Antriebsquelle mit Hilfe des Binde-Mechanismus für die Verwendung beider Seiten gekoppelt ist, können die an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 angebrachten vorstehenden Druckteile 30A mit der Oberfläche der bedruckten Leiterplatte 1 in Kontakt treten oder sich von ihr entfernen (Bewegung in Richtung des Pfeils C). Mit anderen Worten ist der Binde-Mechanismus in der Lage die beiderseitigen vorstehenden Druckteile 30A für die Verwendung an beiden Seiten mittels der Antriebsquelle anzutreiben, ohne daß eine Antriebsquelle zum individuellen Antreiben der vorstehenden Druckteile 30A an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 notwendig ist.
Das Führungsteil 30F, das bewegliche Armteil 30G und das Dreharmteil 30H, die den Binde-Mechanismus bilden, sind feste Körper, und der Betriebsbereich jedes einzelnen ist durch den Führungsschlitz 30f und die Drehwelle 30h vorgegeben. Als Konsequenz können die vorstehenden Druckteile 30A an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 genau und gleichartig bezüglich ihres Betriebsumfangs und ihrer Betriebszeit gesteuert werden.
Der Binde-Mechanismus zum Koppeln des vorstehenden Druckteils 30a und der Antriebsquelle für die beidseitige Verwendung kann in seinem Aufbau einfacher gestaltet werden als die Ausbildung mit einer Zahnstange und einer Kammwalze oder einem Zahnradmechanismus, weil die Anzahl von Bauteilen kleiner ist und jedes Bauteil in seiner Ausgestaltung einfacher ist.
An einem Ende (oder an beiden Enden) der Drehwelle 30C zum Stützen der vorstehenden Druckteile, die mit dem beweglichen Armteil 30G verbunden ist, ist ein Dreharmteil 30K für ein vorstehendes Druckteil angeordnet, dessen eines Ende feststehend ist. An dem anderen Ende jedes Dreharmteils 30K für ein vorstehendes Druckteil ist ein Schlitz 30k vorgesehen, und die Welle 30m des Armkopplungsteils 30M, das mit der Welle 30L der Antriebsquelle für beidseitige Verwendung gekoppelt ist, ist durch den Schlitz 30k geführt. Anders ausgedrückt ist das Dreharmteil 30K für ein vorstehendes Druckteil mit der Welle 30L der Antriebsquelle für die Verwendung beider Seiten über das Kopplungsarmteil 30M gekoppelt. Als Antriebsquelle für beidseitige Verwendung kann ein Binde- Mechanismus ähnlich demjenigen verwendet werden, der weiter oben beschrieben ist.
Das Dreharmteil 30K für ein vorstehendes Druckteil und das Armkopplungsteil 30M bilden den Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile des vorstehenden Druckmechanismus 30 zum Drehen des Dreharmteils 30K des vorstehenden Druckteils in Richtung des Pfeils G, wenn sich eine Welle L in Richtung des Pfeils F bewegt, wodurch die Stützdrehwelle 30C der vorstehenden Druckteile in Richtung eines Pfeils H gedreht wird, und das Ende des laminierten Körpers zusammengedrückt wird.
Der so aufgebaute Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile ist in der Lage, die vorstehenden Druckteil 30A an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 mit einer Antriebsquelle zu betreiben, wie dies im Fall des Bindemechanismus für die vorstehenden Druckteile 30A der Fall ist, und den Betriebsumfang und die Betriebszeit der Druckteile 30A genau zu steuern.
Des weiteren kann der Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile den Kopplungsmechanismus zum Koppeln der vorstehenden Druckteil 30A und der Antriebsquelle vereinfachen.
Obwohl der Binde-Mechanismus oder Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile und die Antriebsquelle für die beidseitige Verwendung an einer Seite der Stütz-Drehwelle 30C der vorstehenden Teile angeordnet sind, können sie erfindungsgemäß auch an beiden Seiten angeordnet sein.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 16 bis 21 wird der Betrieb des vorstehenden Druckmechanismus 30 kurz beschrieben.
Ein nicht gezeigter Detektor für ein dünnes Filmende wird zuerst verwendet. Als Detektor für ein dünnes Filmende kann ein Berührungssensor zum elektrischen Detektieren des Endes eines auf einer bedruckten Leiterplatte 1 angeordneten dünnen Filmes verwendet werden, oder ein Fotosensor kann verwendet werden, um dieses Ende optisch zu erfassen.
Wenn das Ende eines laminierten Körpers (dünner Film), der auf einer bedruckten Leiterplatte haftet, von dem Detektor für ein dünnes Filmende detektiert wird, wird ein Klemmrolle 30A, die in Fig. 16 dargestellt ist, gegen die bedruckte Leiterplatte 1 gedrückt, wobei eine nichtdargestellte Druckeinrichtung verwendet wird, und die Förderung der bedruckten Leiterplatte 1 wird mit Hilfe der
Druckeinrichtung und einer Förderantriebsrolle 30 zeitweilig gestoppt. Zu diesem Zeitpunkt wird Material, wie etwa Gummi, das einen hohen Reibungskoeffizienten aufweist, an die äußere Umfangsfläche der Förderantriebsrolle 3 gegenüber der Klemmrolle 3A aufgetragen, um zu verhindern, daß die Position der bedruckten Leiterplatte verschoben wird, und die bedruckte Leiterplatte 1 wird durch sicheres Stoppen der Förderung der bedruckten Leiterplatte 1 festgelegt.
Die Welle 30J der Antriebsquelle für beidseitige Verwendung, die mit dem Binde-Mechanismus gekoppelt ist, wird in Richtung des Pfeils E (nach oben in Fig. 17) bewegt. Dieser Vorgang erlaubt den Betrieb des Binde- Mechanismus, der aus dem Dreharmteil 30H, dem beweglichen Armteil 30G und dem Führungsteil 30F gebildet ist, und es wird bewirkt, daß sich die Stütz-Drehwelle 30C des vorstehenden Druckteils in die Richtung des Pfeils C bewegt. Wenn sich die Stütz-Drehwelle 30C der vorstehenden Druckteile bewegt, gelangt jedes der Stirnflächen der vorstehenden Druckteile 30A an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 in Kontakt mit der Oberfläche der leitenden Schicht 1B am Ende des laminierten Körpers, wie in Fig. 20 gezeigt. Der Kontakt wird durch Aufbringen einer geeigneten Kraft hergestellt, so daß das elastische Teil 30D (30E) Energie aufweisen kann.
Während das vorstehende Druckteil 30A mit der leitenden Schicht 1B in Verbindung steht, wird die Welle 30L der Antriebsquelle für beidseitigen Gebrauch, die an den Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile gekoppelt ist, betrieben (in der Zeichnung nach links). Dieser Vorgang bewirkt, daß der Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile, der aus dem Dreh-Armteil 30K der vorstehenden Druckteile und dem Armkupplungsteil 30M zusammengesetzt ist, betrieben wird, und die Stütz-Drehwelle 30C wird in die Richtung des Pfeils H gedreht. Wenn sich die Stützdrehwelle 30C der vorstehenden Druckteile dreht, drücken die Stirnenden der vorstehenden Druckteile 30A an beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 die Enden des laminierten Körpers zusammen.
Beim Zusammendrücken der Enden des laminierten Körpers, der aus der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D zusammengesetzt ist und der an der bedruckten Leiterplatte 1 haftet, mit Hilfe der vorstehenden Druckteile 30A des vorstehenden Druckmechanismus 30 wird ein Teil des durchscheinenden Harzfilms 1D von der lichtempfindlichen Kunststoffschicht 1C abgeschält, so daß ein Spalt in der Grenzschicht erzeugt werden kann. Der Spalt entsteht deshalb, weil die lichtempfindliche Harzschicht 1C aufgrund des Mittels des vorstehenden Druckteils 30A ausgeübten Druckes plastisch deformiert wird, weil sie aus einem Material erstellt ist, das weicher als der durchscheinende Harzfilm 1D ist, während der Zusammenhalt des Harzfilms 1D mit dem lichtempfindlichen Harzschicht 1C abnimmt, bevor der Harzfilm 1D einer plastischen Deformation unterzogen wird. Darüber hinaus kann das Ende des durchscheinenden Harzfilms 1D mit Hilfe des nadelförmigen vorstehenden Druckteils 30A abgeschält werden, das einfach im Aufbau ist.
Da das vorstehende Druckteil 30A in dem Förderweg der bedruckten Leiterplatte angeordnet ist, kann das Ende des durchscheinenden Harzfilms 1D automatisch abgeschält werden.
Der auf diese Weise abgeschälte durchscheinende Harzfilm 1D haftet nicht mehr von neuem an der lichtempfindlichen Harzschicht 1D, wenn er nicht aufgeheizt und unter Druck mit letzter verschweißt wird.
Eine Mehrzahl vorstehender Druckteile 30A ist gemäß dieser Ausführungsform in einer Richtung quer (in einer kreuzenden Richtung) zur Förderrichtung der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet, unter Berücksichtigung des Falls, in dem der laminierte Körper auf verzogene Weise mit der bedruckten Leiterplatte 1 hitzeverschweißt ist. Der vorstehende Druckmechanismus 30 kann jedoch ebenfalls so angeordnet sein, um die vorstehenden Druckteile 30A jeweils auf beiden Seiten der bedruckten Leiterplatte 1 bereitzustellen, solange ein Ende der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und des durchscheinenden Harzfilms zusammengedrückt werden, um sicherzustellen, daß letzterer abgeschält wird.
Obwohl die vorstehenden Druckteile 30A entsprechend dieser Ausführungsform in der Richtung quer (in kreuzender Richtung) zur Förderrichtung der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet sind, können die vorstehenden Druckteile 30A am Ende oder irgendwo in der Nähe der Ecke des laminierten Körpers auch in der Förderrichtung der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet sein. In diesem Fall ist die Düse 5A des Flüssigkeitsspritzmechanismus 40 in der Nähe des vorstehenden Druckteils 30A angeordnet.
Der Binde-Mechanismus gemäß dieser Ausführungsform ist in der Form des Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile des vorstehenden Druckmechanismus 30 angeordnet. Jedoch kann der Aufbau des Druckmechanismus der vorstehenden Druckteile erfindungsgemäß so angeordnet sein, daß die bedruckte Leiterplatte 1 durch Drehen der Förderantriebsrolle 3 (oder der Klemme 3A) geringfügig so weit gefördert wird, daß das vorstehende Druckteil 30A in Kontakt mit der Oberfläche der bedruckten Leiterplatte 1 an dem Ende des laminierten Körpers tritt und das Ende des laminierten Körpers zusammendrückt.
Desweiteren kann der Querschnitt der Stütz-Drehwelle 30C der vorstehenden Druckteile in der Richtung quer zur Achse der Welle erfindungsgemäß viereckig sein, zum Erhöhen der Genauigkeit bei der Herstellung und zum Erleichtern der Herstellung des Querlochs, in das das Halteteil 30B eingeführt ist.
Wie in Fig. 16 dargestellt, kann der Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 so angeordnet sein, daß er einen Strahl unter Druck stehender Flüssigkeit wie etwa Wasser, oder ein inertes Gas oder Luft, aus der Düse 5A direkt in den Spalt zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem abgeschälten durchscheinenden Harzfilm 1D aussendet. Der Flüssigkeitsspritzmechanismus ist ebenfalls in der Nähe des vorstehenden Druckmechanismus 3 angeordnet, so daß die Flüssigkeit sofort in den Spalt gebracht werden kann. Der Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 ist mit der Düse 5A versehen, deren Einstellwinkel in der Richtung des Pfeils J variabel ist. Mit anderen Worten stellt der Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 die Düse 5A zum Zeitpunkt des Spritzens der Flüssigkeit so nahe wie möglich an den obigen Spalt und bewegt die Düse 5A zurück in die Position, in der verhindert ist, daß sie die bedruckte Leiterplatte 1 berührt.
Da die Flüssigkeit in den Spalt zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D mit Hilfe des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 zum Aussenden von Flüssigkeit gespritzt wird, wobei der Spalt durch den Druck des vorstehenden Druckteils 30A zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D erzeugt wird, ist sichergestellt, daß der durchscheinende Harzfilm 1D sofort von der lichtempfindlichen Harzschicht 1C abgeschält wird. Wie in den Fig. 16 und 22 gezeigt (perspektivische Ansicht des Hauptabschnitts) haftet die Stirnfläche 1D des mit Hilfe des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 in seiner Förderrichtung abgeschälten durchscheinenden Harzfilms unter dem Flüssigkeitsdruck an der Abschälwinkeleinstellplatte (Hilfsabschälplatte) 50, wodurch das Einstellen der Abschälposition, der Abschälrichtung und des Abschälwinkels e ermöglicht wird. Der durchscheinende Harzfilm 1D ist in den Fig. 16 und 22 durch eine mit abwechselnd langen und kurzen Strichen gezeichnete Linie dargestellt. Der Abschälwinkel e ist der Winkel zwischen dem durchscheinenden Harzfilm, der auf der bedruckten Leiterplatte 1 haftet (oder der bedruckten Leiterplatte 1, von der der durchscheinende Harzfilm 1D abgeschält worden ist) und dem durchscheinenden Harzfilm 1d, der nach oben gezogen ist, wobei sowohl die Schicht als auch der Film ungefähr rechtwinklig stehen.
Die Abschälwinkeleinstellplatte 50 an der Stirnfläche (Abschälposition) an der Abschälseite ist soweit entfernt von dem durchscheinenden Harzfilm 1D, der an der bedruckten Leiterplatte 1 haftet, angeordnet, daß die Einstellplatte den Harzfilm 1D nicht berühren kann, um eine Beschädigung oder eine Zerstörung der lichtempfindlichen Harzschicht 1C zu vermeiden. Die Stirnfläche der Abschälwinkeleinstellplatte 50 ist bewegbar angeordnet, um so während des Spritzens von Flüssigkeit eng an dem durchscheinenden Harzfilm 1D liegen zu kommen und um eine Minderung der Abschälwirkung deshalb zu verhindern, weil Flüssigkeit durchgeblasen wird. Desweiteren ist die Stirnfläche der Abschälwinkeleinstellplatte 50 gebogen, wobei sie einen kleinen Krümmungsradius, z. B. einen Krümmungsradius von kleiner als 3 mm aufweist.
Desweiteren ist die Stirnfläche der Abschälwinkeleinstellplatte 50 näher an der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet als der Liefermechanismus 6 des dünnen Films, und eine vorherbestimmte Länge entsprechend der Länge, die den gesamten Breitenbereich des Förderweges der bedruckten Leiterplatte 1 oder der Flüssigkeitsspritzbreite in der Abschälrichtung abdeckt. In anderen Worten ist die Abschälwinkeleinstellplatte 50 in der Lage, bei einer Richtung des Flüssigkeitsstrahls, wie er durch den Pfeil K in Fig. 22 dargestellt ist, die Abschälwirkung dadurch zu erhöhen, daß verhindert wird, daß Flüssigkeit ans äußerste der Rückseite gelangt, und sie ist in der Lage, ein Anhaften des abgeschälten durchscheinenden Harzfilms 1g an die Abschälwinkeleinstellplatte 50 zu bewirken.
Die Abschälwinkeleinstellplatte 50 ist entfernt von der Düse 5A in Richtung des Flüssigkeitsflusses an der vorherbestimmten Position des Vorrichtungskörpers befestigt.
Die Abschälwinkeleinstellplatte 50 ist in der Lage die Abschälposition zu stabilisieren und eine gleichförmige Abschälkraft auf den durchscheinenden Harzfilm 1D auszuüben. Dementsprechend trägt die Abschälwinkeleinstellplatte 50 dazu bei, zu verhindern, daß die Abschälposition verschoben wird, während der durchscheinende Harzfilm 1D abgeschält wird, und daß der Abschäldruck verzerrt wird, und daß die lichtempfindliche Harzschicht 1C beschädigt wird oder bricht.
Der Abschälwinkel R der Abschälwinkeleinstellplatte 5 kann variabel innerhalb des Bereiches von einem stumpfen Winkel bis zum rechten Winkel bezüglich des durchscheinenden Harzfilms 1D eingestellt werden, je nach Änderung der Bedingungen, wie z. B. des Materials des durchscheinenden Harzfilms 1D, des Flüssigkeitsdruckes in dem Flüssigkeitsspritzmechanismus 5, usw. Desweiteren kann die Abschälwinkeleinstellplatte 50 bewegbar ausgestaltet sein, um unterschiedliche Dicken der bedruckten Leiterplatten 1, der lichtempfindlichen Harzschichten 1C und der durchscheinenden Harzfilme 1D auszugleichen. Die Bewegung kann dabei durch Druckluft oder hydraulische Zylinder ausgeführt werden.
Wie in Fig. 16 dargestellt, wird der mittels des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 an der Abschälwinkeleinstellplatte 50 haftende durchscheinende Harzfilm 1d von dem Herausförderungsmechanismus des dünnen Films (Fördermechanismus des dünnen Films) 6 nach außen gebracht, während der dünne Film abgeschält wird.
Obwohl eine Beschreibung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Abschälen der Filme auf einer bedruckten Leiterplatte gegeben wurde, ist sie geeignet für das Abschälen von Schutzfilmen, die eine dekorative laminierte Schicht bedecken, die als Baumaterial verwendet wird.
Wie oben ausgeführt, sind die folgenden Wirkungen erzielbar:
(1) Ein Spalt wird zwischen dem Film und seiner Unterseite gebildet, indem eine Kraft mittels des vorstehenden Druckteils auf das Ende des Films ausgeübt wird, und ein Flüssigkeitsstrahl wird mit Hilfe der Flüssigkeitsspritzeinrichtung in den Spalt geschickt, wobei der Film sofort mit Hilfe einer einfachen Anordnung von Bauteilen abgeschält werden kann.
(2) Wegen (1) kann der Zeitaufwand zum Abschälen des Films verkürzt werden.
(3) Da die Filmabführeinrichtung so ausgelegt ist, daß sie den mit Hilfe der Flüssigkeitsspritzeinrichtung von (1) abgeschälten Film herausfördert, kann die Filmabschälarbeit automatisch durchgeführt werden, und der Zeitaufwand zum Abschälen des Films kann verkürzt werden.
(4) Das Filmabschälführungsteil ist so angeordnet, daß die Richtung des mit Hilfe der Flüssigkeitsspritzeinrichtung aus (3) abgeschälten Films so eingestellt wird, daß die Abschälposition durch das Ausüben eines gleichförmigen Abschäldruckes auf den Film, wie etwa die lichtempfindliche Harzschicht und den durchscheinenden Harzfilm, stabilisiert wird. Dadurch wird eine Schwankung der Abschälposition und eine Verzerrung des Abschäldruckes während des Abschälens des Films, wie etwa des durchscheinenden Harzfilms, verhindert, und die lichtempfindliche Harzschicht wird automatisch abgeschält, ohne beschädigt zu werden oder zu brechen.
(5) Das vorstehende Druckteil ist nahe an dem Abschnitt angeordnet, zu dem ein Flüssigkeitsstrahl mit Hilfe der Flüssigkeitsspritzeinrichtung aus (1) ausgesendet wird, um sicherzustellen, daß der Film abgeschält wird, weil die Position, an der der Spalt unter dem Film durch Ausüben einer Kraft auf ihn gebildet wird, mit der Position übereinstimmt, an die die Flüssigkeit gesendet wird.

Claims

1. Vorrichtung zum Abschälen von auf einer Platte (1) haftenden Filmen (1D), mit einem Druckteil (4, 30), angeordnet in dem Förderweg der Platte (1) zum Ausüben von Kraft auf das vordere Ende des auf der Platte (1) haftenden Films (1D), um einen Spalt (E) zwischen dem Film (1D) und der Platte (1) zu bilden, einer Flüssigkeitsspritzeinrichtung (5, 5A) zum Abgeben von Flüssigkeitsstrahlen in den Spalt, um dadurch das vordere Ende des Films (1D) von der Platte (1) abzuschälen und es an wenigstens ein Filmabschäl-Führungsteil (6B) eines Filmabgabemechanismus zu haften, der in dem Förderweg der Platte (1) angeordnet ist, wobei das Filmabschäl-Führungsteil (6B) die Abschälrichtung des Films (1D) von der Platte (1) einstellt und den von der Platte (1) abgeschälten Film führt, wobei der Mechanismus desweiteren versehen ist mit Förderbändern, die den abgeschälten Film (1D) sandwichartig umgeben und fortführen, wobei das Filmabschäl-Führungsteil (6B) derart bezüglich dem Förderweg der Platte (1) angeordnet ist, daß das vordere Ende des Filmabschäl- Führungsteils (6B) von der Platte (1) so weit entfernt ist, daß die Platte (1) nicht von dem Filmabschäl-Führungsteil (6B) gerieben wird, und das Filmabschäl-Führungsteil (6B) derart bezüglich der Flüssigkeitsspritzeinrichtung (5, 5A) angeordnet ist, daß verhindert wird, daß die von der Flüssigkeitsspritzeinrichtung (5, 5A) abgegebenen Strahlen nach hinten über den Film (1D) gelangen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsteil (6B) in einer Richtung zur Oberfläche der Platte hin und von ihr fort linear bewegbar ist.

3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das vordere Ende des Führungsteils (6B) die Form eines Bogens aufweist, dessen Querschnitt einen kleinen Krümmungsradius aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Krümmungsradius 3 mm oder kleiner ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsteil (6B) zu einem Gitter mit einer Mehrzahl von Stäben ausgebildet ist.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Spritzeinrichtung (5, 5A) wenigstens eine Düse (5A) zum Aussenden von Druckluftstrahlen, Strahlen eines inerten Gases oder Wasserstrahlen aufweist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (5A) im Winkel verstellbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckteil (4A) in dem vorderen Ende der Düse (5A) untergebracht ist.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckteil (4A) keilförmig, flachplattig oder in Form eines gebogenen Keils ausgebildet ist.