DE3650194T2 - Vorrichtung zum Abschälen eines Films. - Google Patents

Vorrichtung zum Abschälen eines Films.

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abschälen dünner Filme, und insbesondere eine Vorrichtung zum Abschälen von Schutzfilmen, die auf einer Platte haften und verwendet werden, um die Stirnflächen der Platte zu schützen.
  • Bedruckte Leiterplatten zur Verwendung in elektronischen Geräten, wie etwa Computern, sind mit einem vorherbestimmten Kupferverdrahtungsmuster versehen, das auf einer oder auf beiden Seiten eines isolierenden Substrats ausgebildet ist.
  • Eine bedruckte Leiterplatte dieser Art wird mit Hilfe eines Verfahrens hergestellt, das die folgenden Schritte enthält: Laminieren einer lichtempfindlichen Harzschicht (Fotoresist) und eines durchscheinenden Harzfilms (Schutzfilm) zum Schutz der lichtempfindlichen Harzschicht auf einer leitenden Schicht, die auf einem isolierenden Substrat aufgetragen ist, mittels Thermokompressions- Verschweißens; Aufbringen eines Films mit einem Verdrahtungsmuster; Belichten der lichtempfindlichen Harzschicht während einer bestimmten Dauer, durch den Film mit dem Verdrahtungsmuster und den durchscheinenden Harzfilm; Entwickeln der so belichteten lichtempfindlichen Harzschicht nach Abschälen des durchscheinenden Harzfilms, um ein Ätzmaskenmuster zu bilden; Entfernen nichtbenötigter Bereiche der leitenden Schicht mittels Ätzens; und anschließendes Entfernen der verbleibenden lichtempfindlichen Harzschicht. Eine bedruckte Leiterplatte mit einem vorherbestimmten Verdrahtungsmuster ist auf diese Weise hergestellt.
  • Bei den obigen Schritten zur Herstellung einer bedruckten Leiterplatte muß der durchscheinende Harzfilm abgeschält werden, wenn die lichtempfindliche Harzschicht nach einer Belichtung entwickelt wird. Dieser Schritt des Abschälens der durchscheinenden Harzschicht wird immer noch mittels Handarbeit durchgeführt, wozu ein fingerfertiger Arbeiter wie auch eine äußerst geschickte Hand notwendig sind, um Schäden und Zerstörung aufgrund unebenmäßig verteilten Abschäldrucks zu vermeiden, weil der Film dünn ist.
  • Das Problem liegt darin, daß eine langwierige Arbeit bei der Herstellung von bedruckten Leiterplatten notwendig ist, weil es zeitaufwendig ist, den durchscheinenden Harzfilm abzuschälen.
  • In der europäischen Patentanmeldung EP-A-0217150 (Stand der Technik gemäß Art. 54(3) und (4) EPC) ist eine Vorrichtung zum Abschälen von auf einer Platten haftenden Filmen offenbart, die versehen ist mit Druckteilen zum Bedrucken der Endflächen des auf der Platte haftenden Films, einer Flüssigkeitsspritzeinrichtung zum Abgeben eines Flüssigkeitsstrahls in die Bereiche des derart zusammengedrückten Films, und Filmabschälführungsteilen zum Annehmen der mit Hilfe der Flüssigkeitsspritzeinrichtung von der Platte abgeschälten Filme und zum Einstellen eines stumpfen Winkels, einschließlich eines rechten Winkels, bei dem die Filme abgeschält werden.
  • Bei den Herstellungsschritten, die mit dieser Vorrichtung durchgeführt werden, hängt die Wirksamkeit des Herstellungsverfahrens unter anderem auch davon ab, ob die Platte, auf der die Filme haften, in einer vorherbestimmten Position bezüglich relevanter Bauteile der Vorrichtung gehalten werden kann.
  • Es ist demnach ein Ziel der vorliegenden Erfindung, die Wirksamkeit des Verfahrens zum Abschälen eines auf einer Platte haftenden Filmes zu verbessern.
  • Dieses Ziel wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
  • Von den durch die vorliegende Erfindung offenbarten Ausführungsformen kann eine typische Ausführungsform wie folgt zusammengefaßt werden.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Abschälen von auf einer Platte haftenden Filmen enthält: Druckteile zum Drücken der Endflächen der auf der Platte haftenden Filme, eine Flüssigkeitsspritzeinrichtung zum Abgeben von Flüssigkeitsstrahlen in die Bereiche, auf die eine Kraft ausgeübt wurde, und Filmabschälführungsteile zum Einstellen von Abschälrichtungen, durch Änderung des Abschälwinkels bezüglich der Platte, des unter Verwendung der Flüssigkeitsspritzeinrichtung von der Platte abgeschälten Films, innerhalb des Bereiches eines stumpfen Winkels, und zum Bewirken, daß die derart abgeschälten Filme an den Führungsteilen haften, oder eine Filmabgabeeinrichtung zum Abgeben der geführten Filme mit Hilfe der Filmabschälführungseinrichtung.
  • Durch Aufwendung von Kraft an das Ende jeden Films, unter Verwendung des Druckteils, wird unter dem Ende eines jeden Films ein Spalt gebildet, und ein Flüssigkeitsstrahl wird auf diesen Endabschnitt gerichtet, um zu bewirken, daß der Film sofort abgeschält wird. Darüberhinaus wird der Film bei gleichmäßiger Abschälgeschwindigkeit und stabiler Abschälstellung geliefert, indem bewirkt wird, daß jeder derart abgeschälte Film an dem Filmabschälführungsteil haftet, so daß der Film frei von Schaden oder Zerstörung von der Platte unter dem Abschälwinkel abgeschält wird. Da der Winkel eines jeden Filmabschälführungsteils variabel ist, kann der Film unter einem optimalen Abschälwinkel abgeschält werden. Die Filmabführeinrichtung zum Abführen des an dem Filmabschälführungsteil haftenden Films unterstützt das automatische Filmabschälen und trägt so zu einer wesentlichen Verkürzung der Filmabschälzeit bei.
  • Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht und zeigt den Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Abschälen eines Schutzfilms;
  • Fig. 2 und 3 sind vergrößerte Querschnittsansichten und stellen jeweils eine bedruckte Leiterplatte und ein Druckteil der Fig. 1 dar;
  • Fig. 4 ist eine vergrößerte Draufsicht des in Fig. 1 dargestellten Druckmechanismus;
  • Fig. 5 ist eine vergrößerte perspektivische Ansicht des Druckteils von Fig. 1;
  • Fig. 6 ist eine schematische Aufbauzeichnung entlang der Linie 6-6 der Fig. 4 in der Richtung des Pfeils;
  • Fig. 7 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des Hauptbereichs des Flüssigkeitsspritzmechanismus und des Filmabführmechanismus der Fig. 1;
  • Fig. 7A ist eine Ansicht einer Abwandlung des Filmabführmechanismus;
  • Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht des Hauptbereiches des feststehenden Förderbandes zusammen mit dem in den Fig. 1 und 7 dargestellten Filmabschälführungsteil; und
  • Fig. 9 bis 11 zeigen eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Im folgenden wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einer Abschälvorrichtung zum Abschälen eines an einer bedruckten Leiterplatte haftenden Schutzfilmes beschrieben. In den Zeichnungen, die die Ausführungsform zeigen, bezeichnen gleiche Bezugszahlen gleiche Bauteile mit den gleichen Funktionen, und eine Wiederholung der Beschreibung derselben wird deshalb fortgelassen.
  • Fig. 2 ist eine Querschnittsansicht des Aufbaus einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Abschälvorrichtung zum Abschälen von Schutzfilmen.
  • Wie in Fig. 1 gezeigt, enthält ein Mechanismus zum Fördern einer bedruckten Leiterplatte 1 in der erfindungsgemäßen Abschälvorrichtung zum Abschälen von Schutzfilmen, Förderrollen 2 zum Tragen der bedruckten Leiterplatte 1, sowie Fördersteuerungsrollen 3.
  • Der Druckmechanismus 4, der Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 und der Filmabführmechanismus 6 sind in dem Förderweg des obigen Fördermechanismus angeordnet.
  • Wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist die bedruckte Leiterplatte aus leitenden Kupferschichten 1B gebildet, die auf beiden Seiten (oder einer Seite) eines isolierenden Substrats 1A angehaftet sind. Laminierte Körper, die jeweils aus einer lichtempfindlichen Harzschicht 1C und einem durchscheinenden (Schutz-)Harzfilm 1D bestehen, sind auf den leitenden Schichten 1B der bedruckten Leiterplatte 1 mittels Thermokompressions-Verschweißens angehaftet. Die lichtempfindlichen Harzschichten 1C sind in einem Zustand, in dem sie belichtet wurden, um ein vorherbestimmtes Muster auszubilden.
  • Die Förderrollen 2 und die Fördersteuerungsrollen 3 sind so angeordnet, daß sie die bedruckte Leiterplatte 1 in der Richtung des Pfeiles in den Förderweg tragen, dessen Ansicht entlang der Linie A-A der Fig. 1 dargestellt ist.
  • Jeder in Fig. 1 dargestellte Druckmechanismus 4 bis 6 ist so angeordnet, daß er eine Kraft auf die Endfläche des durchscheinenden Harzfilms 1D der bedrucken Leiterplatte 1 über ein Druckteil 4A ausübt, das entlang dem Umfang seines Drehkörpers mit Riefelungen versehen ist. Das Druckteil 4A ist beispielsweise aus Hochgeschwindigkeitsstahl hergestellt.
  • Wenn das vordere Ende der bedruckten Leiterplatte 1 von den in Fig. 1 dargestellten Positionsdetektoren S detektiert wird, wird die geförderte bedruckte Leiterplatte 1 zwischen einem Paar von oberen und unteren Druckteilen 4A angehalten. Die Stellung der bedruckten Leiterplatte 1 wird durch die Positionsdetektoren S und die Fördersteuerungsrollen 3 gesteuert. Jeder Positionsdetektor S ist aus einem Fotosensor gebildet. Die Position der bedruckten Leiterplatte 1 kann durch Stopperteile gesteuert werden, die jeweils von dem Positionsdetektor S gesteuert werden.
  • Wie in Fig. 2 gezeigt, werden das Paar von oberen und unteren Druckteilen 4A verwendet, um eine Kraft auf die Endfläche des durchscheinenden Harzfilms 1D auszuüben. Wie in Fig. 4 gezeigt, enthält jedes Druckteil 4A ein Paar von Stützteilen 4B, die lateral in einer Richtung ungefähr rechtwinklig zur Förderrichtung des durchscheinenden Harzfilms 1D angeordnet sind, ein Paar von Armteilen 4C, die drehbar gelagert sind und in der Richtung des Pfeils B bewegbar sind, und ein Paar von Stützteilen 4E für die Druckteile, die mit Hilfe von Druckluftzylindern 4D in Richtung des Pfeils C bewegbar sind. Das Stützteil 4E für das Druckteil und das Armteil 4C sind so kombiniert, daß sie sich linear in Richtung des Pfeils C bewegen und in Richtung des Pfeils B drehen. Um die Bewegung beider Teile weich zu gestalten, ist ein angemessenes Spiel für die Drehwelle des Armteils 4C vorgesehen.
  • Wie in den Fig. 4 und 6 gezeigt, werden die Druckteile 4A in der Richtung des Pfeils D bewegt oder hin- und herbewegt, welche Richtung ungefähr senkrecht auf der Förderrichtung der Druckteile 4A steht, während die Vorderfläche des durchscheinenden Harzfilms 1D zusammengedrückt wird. Anders gesagt ist jedes Druckteil 4A so angeordnet, daß es eine Kraft auf im wesentlichen den gesamten Bereich der vorderen Stirnfläche (Endfläche der einen Seite des vorderen Abschnitts in Förderrichtung) des rechtwinkligen durchscheinenden Harzfilms 1D ausübt. Die Bewegung des Druckteils 4A in Richtung des Pfeils D bewirkt, daß ein Paar von Führungsschienen 4F gleiten, welche Gleitbewegung von einem Druckluftzylinder 4H, der an einer Seite des Gleitteiles 4G angeordnet ist, und einer Zahnstange 4J, die an jedem Gleitteil 4G angeordnet ist, und mit einer Kammwalze 4I gekoppelt ist, durchgeführt wird. Die Kammwalze 4I und die Zahnstange 4J sind so angeordnet, daß sie das andere Gleitteil 4D (in Fig. 6 links) in entgegengesetzte Richtung wie das eine Gleitteil 4G (in Fig. 6 rechts) gleitend bewegen, wobei das Gleitteil 4D von dem Luftzylinder 4H bewegt wird. Das Zusammenwirken der Kammwalze 4I und der Zahnstange 4J wird durch eine Führungsrolle 4K stabilisiert.
  • Wie in Fig. 3 dargestellt, gibt der Zylinder 4D das Druckteil 4A mittels eines nichtdargestellten elastischen Teiles frei.
  • Die Druckluftzylinder 4D, 4H können durch hydraulische oder andere Flüssigkeitszylinder ersetzt werden, wohingegen das Getrieberad 4I und das Gestell 4J durch andere Förderbandmechanismen ersetzt werden können.
  • Der Spalt kann, wie in Fig. 3 dargestellt, zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und der durchscheinenden Harzschicht 1D durch Anlegen einer Kraft an die Stirnfläche des durchscheinenden Harzfilms 1D der bedruckten Leiterplatte 1 mittels des Druckteils 4A auf diese Weise gebildet werden. Der Grund für die Ausbildung des Spaltes ist der, daß das Material der lichtempfindlichen Harzschicht 1C ein anderes ist als dasjenige des durchscheinenden Harzfilms 1D, und wenn das erste Material bezüglich dem zweiten einer plastischen Deformation unterworfen wird, so wird der Zusammenhalt zwischen den Materialien durch die aufgebrachten Scherkräfte aufgehoben.
  • Des weiteren ermöglicht das in dem Förderweg der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnete Druckteil 4A das automatische Ausbilden eines Spaltes zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D.
  • Obwohl der zwischen der lichtempfindlichen Harzschicht 1C und dem durchscheinenden Harzfilm 1D gebildete Spalt durch die Förderrollen 2 oder die Fördersteuerungsrollen 3 zusammengedrückt wird, während die bedruckte Schalterplatte von dem Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 herausgetragen wird, so kleben die lichtempfindliche Harzschicht 1C und der durchscheinende Harzfilm 1D nicht zusammen, weil sie keinem Thermo-Kompressions-Verschweißen unterzogen wurden.
  • Obwohl das Druckteil 4A so ausgestaltet ist, daß es auf fast dem gesamten Seitenbereich gleitet, wenn die Stirnfläche des durchscheinenden Harzfilms 1D zusammengedrückt wird, so kann es auch so ausgebildet sein, daß es nur auf dem schmalen Teil der Stirnfläche gleitet. Jedoch muß das Druckteil 4A so ausgestaltet sein, daß es an die Stelle gleitet, in der Flüssigkeit von dem Flüssigkeitsspritzmechanismus verspritzt wird.
  • Wie in den Fig. 1, 7 und 8 gezeigt, ist der Flüssigkeitsspritzmechanismus so angeordnet, daß er unter Druck stehende Flüssigkeiten, oder Luft, inerte Gase oder Flüssigkeiten, wie etwa Wasser, auf einer Düse 5A in Form eines Strahls direkt in den Spalt zwischen dem durchscheinenden Harzfilm 1D der bedruckten Leiterplatte 1 und der lichtempfindlichen Harzschicht 1C (der Platte) einbringt. Zu diesem Zeitpunkt wird die Positionierung des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 und der bedruckten Leiterplatte 1 durch den Positionsdetektor (nicht gezeigt) und der Fördersteuerungsrolle 3 vorgenommen. Die Düse 5A kann entsprechend der durch Bezugszeichen 5A' in Fig 7 dargestellten Düse so ausgelegt sein, daß ihr Einstellwinkel variabel ist.
  • Der durchscheinende Harzfilm 1D wird auf diese Weise einfach, sicher und akkurat durch Aussenden eines Flüssigkeitsstrahls in den mittels des Druckteils 4A erzeugten Spaltes zwischen dem durchscheinenden Harzfilm 1D und der lichtempfindlichen Schicht 1C unter Verwendung des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 abgeschält.
  • Jeder Filmabführmechanismus 6 besteht aus einem festen Förderband 6A, einem Filmabschälführungsteil 6B, einem beweglichen Förderband 6C und einem Bandmechanismus 6D zum Heraustragen des Films.
  • Wie in den Fig. 1, 7 und 8 gezeigt, besteht jedes Förderband 6A aus einer Mehrzahl von Paaren von Rollen 6Aa, 6Aa' und einem Band 6Ab, das um jedes Paar von Rollen 6Aa, 6Aa' gewunden ist.
  • Bei der Filmabschälvorrichtung ist jede Filmabschälführung 6B an der Seite des feststehenden Förderbandes 6A angeordnet, und das Band 6Ab kann über einen Teil der Führungsfläche gleiten.
  • Das Filmabschälführungsteil 6B ist so angeordnet, daß der Winkel der bedruckten Leiterplatte 1, bei der der durchscheinende Harzfilm 1G entfernt wurde, innerhalb eines Bereiches eines stumpfes Winkel variieret werden kann, um dem derart abgeschälten durchscheinenden Harzfilm 1D in einem ausreichenden Ausmaß Halt zu geben. Konkret ausgedrückt beträgt der Winkel, unter dem der Film abgeschält wird, 100 bis 170 Grad und kann innerhalb von diesem Bereich variabel eingestellt werden. Die Variation des Abschälwinkels mittels des Filmabschälführungsteils 6B kann durch mechanische Einrichtungen, wie Getriebe, Kurbelmechanismen, und dergleichen oder elektrische Einrichtungen, wie Schrittmotore, durchgeführt werden. Auf ähnliche Weise kann das Filmabschälführungsteil 6B linear bewegt werden, wie dies durch die Pfeile Q in den Fig. 7 und 8 verdeutlicht ist.
  • Bei dem bei einem stumpfen Winkel eingestellten Filmabschälführungsteil 6B ist die Kraft, die auf die lichtempfindliche Harzschicht 1C, die von dem durchscheinenden Harzfilm 1D befreit ist, ausgeübt wird, minimal, so daß mit Hilfe dieses Teils eine Beschädigung oder Zerstörung einer jeglichen lichtempfindlichen Harzschicht 1C vermieden wird.
  • Indem der Abschälwinkel des Filmabschälführungsteils 6B innerhalb des Bereiches eines stumpfen Winkels variabel ist, kann ein optimaler Abschälwinkel in Übereinstimmung mit der Abschälrate und der Abschälgeschwindigkeit eingestellt werden, so daß ein optimaler Abschälwinkel unabhängig von der bedruckten Leiterplatte 1 oder der Filmabschälbedingung eingestellt werden kann.
  • Das Filmabschälführungsteil 6B ist desweiteren so ausgelegt, daß es bewirkt, daß der mit Hilfe des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 abgeschälte durchscheinende Harzfilm 1D mittels indirekten Flüssigkeitsdruckes, der aus dem Flüssigkeitsspritzmechanismus abgeleitet ist, oder mittels statischer Elektrizität, die erzeugt wird, wenn der Film abgeschält wird, an ihm haften bleibt.
  • Wie in den Fig. 1 und 7 gezeigt, besteht jedes bewegliche Förderband 6C aus einem Paar von Rollen 6Ca, 6Ca' und einem Band 6Cb auf einem Paar von Rollen 6Ca, 6Ca'. Das bewegliche Förderband 6C wird von dem Druckluftzylinder 6Cc bewegt, wobei die Rolle 6Ca' als Zentrum dient, wobei das bewegliche Förderband 6C so angeordnet ist, daß es sich auf das Band 6Ab des feststehenden Förderbandes 6A oder das Filmabschälführungsteil 6B zu bewegt, oder damit in Kontakt tritt. Das bewegliche Förderband 6C dient dem Zweck, sicherzustellen, daß der so mittels des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 abgeschälte durchscheinende Harzfilm 1D von dem Filmabschälführungsteil 6B gehalten und abtransportiert wird.
  • Jeder Filmabführmechanismus 6 besteht aus einem feststehenden Förderband 6A, dem Filmabschälführungsteil 6B und dem beweglichen Förderband 6C, so daß es möglich wird, den mittels des Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 abgeschälten durchscheinenden Harzfilm 1D mit dem Filmabschälführungsteil 6B zu verbinden, und den durchscheinenden Harzfilm 1D fest zwischen dem feststehenden und dem beweglichen Förderband 6A bzw. 6C zu halten und in Richtung des in Fig. 7 dargestellten Pfeiles "HINAUS" zu tragen.
  • Der Filmabführmechanismus 6D besteht, wie in Fig. 1 gezeigt, aus einer Mehrzahl von Rollen 6Da und einem Paar von Bändern 6Db und ist so angeordnet, daß er den auf der oberen Seite der bedruckten Leiterplatte 1 angeordneten durchscheinenden Harzfilm ab führt.
  • Das bewegliche Förderband 6C kann mit Hilfe eines Solenoids oder eines hydraulischen Zylinders anstelle eines Druckluftzylinders 6Cc bewegt werden.
  • Da somit das Druckteil, der Flüssigkeitsspritzmechanismus und der Filmabführmechanismus 4, 5 und 6 in dem Förderweg der bedruckten Leiterplatte 1 angeordnet sind, wird der Spalt unter dem durchscheinenden Harzfilm 1D der bedruckten Leiterplatte 1 gebildet, und der Flüssigkeitsspritzmechanismus 5 wird anschließend verwendet, um den durchscheinenden Harzfilm 1D sofort abzuschälen, um sicherzustellen, daß der so abgeschälte durchscheinende Harzfilm automatisch hinausgetragen wird, so daß die zum Abschälen notwendige Zeit wesentlich verkürzt werden kann.
  • Nachdem der durchscheinende Harzfilm 1D mittels des Filmabführmechanismus 6 abgeschält ist, wird die bedruckte Leiterplatte 1 mit Hilfe der Fördersteuerungsrollen 3 und/oder der Förderrollen 2 in eine Entwicklungsvorrichtung gebracht.
  • Obwohl das Druckteil 4A verwendet wird, um die Stirnfläche des durchscheinenden Harzfilms 1E der bedruckten Leiterplatte 1 in die Förderrichtung entsprechend obiger Ausführungsform der Erfindung zu drücken, kann es auch dazu verwendet werden, die Endfläche desselben in die Richtung rechtwinklig zur Förderrichtung zu drücken.
  • Fig. 7A zeigt den Führungsmechanismus 6 in einem Zustand, in dem das Filmabschälteil 6B rechtwinklig zum Förderweg der Platte angeordnet ist. Das Filmabschälführungsteil 6B ist so ausgelegt, daß es den durchscheinenden Harzfilm 1D auf eine solche Weise führt, daß der Abschälwinkel des Films 1D bezüglich der Förderrichtung der bedruckten Leiterplatte 1 stumpf ist, um eine Änderung der Abschälposition des durchscheinenden Harzfilms 1D und eine Änderung des Abschäldruckes desselben zu vermeiden, und um zu vermeiden, daß die lichtempfindliche Harzschicht 1C beschädigt oder zerstört wird. Es ist somit vorgesehen, daß die Abschälgeschwindigkeit und die Fördergeschwindigkeit des durchscheinenden Harzfilms 1D gleich der Fördergeschwindigkeit der bedruckten Leiterplatte 1 ist, oder daß bei Beginn des Abschälens die Fördergeschwindigkeit der bedruckten Leiterplatte höher eingestellt ist als die Abschälgeschwindigkeit und Fördergeschwindigkeit des durchscheinenden Harzfilms 1D, so daß der Abschälwinkel des durchscheinenden Harzfilms 1D stumpf wird bezüglich der Förderrichtung der bedruckten Leiterplatte 1.
  • Die Fig. 9 und 10 zeigen die erfindungsgemäße Zentrierung der Platte. Fig. 9 ist eine schematische Ansicht und zeigt die relative Stellung des Plattenzentrierungsmechanismus 7, angeordnet an einer vorherbestimmten Stelle der Plattenfördervorrichtung II. Wie in den Fig. 9 und 10 gezeigt, wird eine Mittellinie der Platte 1 mit Hilfe des Zentrierungsmechanismus 7 entsprechend einer Mittellinie des Plattenförderweges in Förderrichtung ausgerichtet. Der Zentrierungsmechanismus 7 enthält Plattenausrichtungsteile 7B, 7B', die auf Stützteilen 7A und 7A' getragen sind. Die Plattenausrichtungsteile 7B und 7B' sind derart angeordnet, daß sie an die Seitenkanten der sich entlang dem Förderweg A-A bewegenden Platte 1 angrenzen, so daß die Mittellinie der Platte 1 mit der Mittellinie der Plattenfördervorrichtung II ausgerichtet wird. Die Plattenausrichtungsteile 7B und 7B' besitzen die Form von Zylindern, können jedoch auch andere Formen, wie etwa planparallele Platten, annehmen.
  • Die Stützteile 7A und 7A' sind gleitbar auf entsprechenden Stützstangen 7C angebracht. Die Stützteile 7A und 7A' wirken über eine Kammwalze 7D und Zahnstangen 7E und 7E' zusammen, die jeweils an die Stützteile 7A und 7A' gekoppelt sind. Mit dem Stützteil 7A verbunden ist ein Druckluftzylinder 7F, der an seinem distalen Ende ein L- förmiges Teil aufweist. Bei diesem Aufbau werden die Plattenausrichtungsteile 7B und 7B' aufeinander zubewegt, wenn eine Welle des Druckluftzylinders 7F in die Richtung bewegt wird, die von dem Pfeil B angezeigt ist. Der Plattenzentrierungsmechanismus 7 wird insgesamt von einem Rahmen 7G getragen.
  • Eine Gewindestange 7J, die von einem Steuerungshandrad 7I gedreht werden kann, wirkt zusammen mit einer Mutter 7H, die an der Unterseite des Rahmens 7G angeordnet ist. Eine Drehung des Steuerungshandrades 7I bewirkt, daß sich der Rahmen 7G in Richtung der Breite, die durch den Pfeil C angedeutet ist, bewegt. Dieser Bewegungs- oder Feinjustierungsmechanismus steht in dem Fall zur Verfügung, in dem die Mittellinien des Plattenförderweges und der Zentrierungsmechanik 7 gegeneinander versetzt sind. Eine Fixierung des Bewegungsmechanismus kann mit Hilfe der Feststellschraube 7i zum Stoppen der Drehung der Gewindestange 7J durchgeführt werden.
  • Die in Fig. 9 dargestellten Sensoren S1 dienen dazu, ein vorderes oder hinteres Ende der Platte 1 zu detektieren und ihre Signale zu verwenden, um die Plattenausrichtungsteile 7B und 7B' des Zentrierungsmechanismus 7 anzutreiben. Die Plattenpositionierungssensoren S1 werden von einem Rahmen der Plattenfördervorrichtung II getragen. Die Sensoren S1 können beispielsweise Fotosensoren vom Reflextypus sein.
  • Die in den Fig. 9 und 10 dargestellten Plattenpositionierungssensoren S&sub2; sind so ausgelegt, daß sie die Seitenkanten der Platte 1 detektieren, und dabei Antriebs-/Stoppsignale für die Plattenausrichtungsteile 7B, 7B' des Zentrierungsmechanismus 7 erzeugen. Die Sensoren S&sub2; sind bei den Stützteilen 7A, 7A' näher zu der Mittellinie als die Ausrichtungsteile 7B, 7B' angeordnet. Wenn die Mittellinien des Förderpfades der Plattenfördervorrichtung II und der Platte 1 aufeinander ausgerichtet sind, werden die Ausrichtungsteile 7B, 7B' durch Signale von den Sensoren S&sub2; gestoppt. Es ist vorteilhaft, Verzögerungseinrichtungen zum Erzeugen von Signalen zu verwenden, wobei diese Signale zu einem Zeitpunkt erzeugt werden, der bezüglich des Detektierens der Seitenkanten der Platte 1 durch die Sensoren S&sub2; um eine kurze Zeitdauer verschoben ist. Die Sensoren S&sub2; können Fotosensoren von der transparenten Art sein, sind jedoch nicht darauf beschränkt. Ebenso kann der oben beschriebene Bewegungsmechanismus mit einer Zahnstange und einer Kammwalze auf diverse andere Mechanismen modifiziert werden. Beispielsweise kann eine bekannte Vorrichtung mit Bändern und Rollen verwendet werden. Anstelle des Druckluftzylinders 7F kann ein Servomotor verwendet werden, um das Getrieberad 7D direkt anzutreiben.
  • Wie in den Fig. 9, 10 und 11 dargestellt, ist ein Plattenanhebungsmechanismus 8 so ausgelegt, daß Reibung zwischen der Platte 1 und den Förderrollen 2 oder den Fördersteuerungsrollen 3 während des Betriebs des Zentrierungsmechanismus 7 zu gemindern wird. Der Anhebungsmechanismus 8 enthält bewegliche Teile 8B, 8B' und Rollen 8A, 8A', die drehbar an ersten Enden der beweglichen Teile 8B, 8B' angebracht sind. Beispielsweise können die Rollen 8A, 8A' aus dem gleichen Material hergestellt sein, wie die Fördersteuerungsrollen 3 und die Förderrollen 2. Die beweglichen Teile 8B, 8B' sind drehbar um die Drehwellen 8C angeordnet, und sind über T-förmige Teile 8D an dem Rahmen 8E befestigt. Die T-förmigen Teile 8D tragen gepaarte bewegliche Teile 8B und 8B'. Der Rahmen 8E ist an dem Rahmen 7G des Zentrierungsmechanismus 7 befestigt. Zweite Enden der beweglichen Teile 8B, 8B' sind an Gleitteilen 8G&sub1; bis 8G&sub4; befestigt, von denen jedes entlang den Führungsteilen 8F gleitet, die an dem Rahmen 8E ausgebildet sind. Die beweglichen Teile 8B, 8B' werden durch die Gleitbewegung der Gleitteile 8G&sub1; bis 8G&sub4; um die Drehwellen 8C gedreht. Die beweglichen Teile 8B, 8B' sind mittels relativ großer Löcher an den Gleitteilen 8G&sub1; bis 8G&sub4; befestigt, um so weich um die Drehachse 8C zu rotieren. Geeignete Spiele sind zwischen den Führungsteilen 8F und den Gleitteilen 8G&sub1; bis 8G&sub4; vorgesehen, so daß die Gleitteile 8G&sub1; bis 8G&sub4; weich gleiten können.
  • Die Gleitteile 8G&sub1; bis 8G&sub2; (8G&sub3; und 8G&sub4;) sind über ein Verbindungsteil 8g miteinander gekoppelt, um sich in die gleiche Richtung zu bewegen. Die Gleitteile 8G&sub1; und 8G&sub3; sind länger als die Gleitteile 8G&sub2; und 8G&sub4; und sind über ein Drehteil 8I, das um eine Drehwelle 8H drehbar ist, miteinander verbunden. Die Verbindung zwischen dem Drehteil 8I und dem Gleitteil 8G&sub1; oder 8G&sub3; ist so ausgelegt, daß sie von einem Druckluftzylinder 8J hergestellt werden kann. Die Verbindungen des Drehteils 8I weisen längliche Löcher auf, um ein Gleiten der Gleitteile 8G&sub1; und 8G&sub3; zu ermöglichen. Eine Feder 8K ist zwischen den Bauteilen der Gleitteile 8G&sub1; und 8G&sub4; angeordnet, um sie zusammenzuhalten.
  • Wenn die Stange des Luftzylinders 8 in die Richtung des Pfeils D bewegt wird, so wird das Drehteil 8I in die Richtung gedreht, die durch den Pfeil E gekennzeichnet ist, um so die Gleitteile 8G&sub1; bis 8G&sub4; in die Richtungen zu bewegen, die durch die Pfeile F und F' dargestellt sind. Die Bewegung der Gleitteile 8G&sub1; bis 8G&sub4; bewirkt, daß sich die Rollen 8A, 8A' um die Drehachsen 8C in die Richtungen G und G' drehen. Die Drehung der Rollen 8A und 8A' bewirkt, daß die Platte 1 von den Förderrollen 2 oder den Fördersteuerungsrollen 3 abgehoben wird.
  • Der Plattenanhebungsmechanismus 8 wird in Übereinstimmung mit den Signalen S1 und S&sub2; auf die gleiche Weise wie der Zentrierungsmechanismus 7 betrieben. Natürlich können auch unabhängige Sensoren für den Plattenanhebungsmechanismus 8 vorgesehen werden.
  • Obwohl die oben beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf eine Vorrichtung zum Abschälen von auf einer Leiterplatte haftenden Filmen dargestellt wurden, sind sie auch anwendbar, um Schutzfilme abzuschälen, die auf einer dekorativen laminierten Schicht aufgebracht sind.
  • Wie oben ausgeführt, können die folgenden Wirkungen erzielt werden:

Claims (5)

1. Da die Vorrichtung zum Abschälen von auf einer Platte haftenden Filmen Druckteile zum Drücken der Endflächen von auf Platten haftenden Filmen, eine Flüssigkeitsspritzeinrichtung zum Aussenden eines Flüssigkeitsstrahls in den Bereich des so zusammengedrückten Filmes, und Filmabschälführungsteile zum Vorgeben von Filmabschälrichtungen durch Änderung der Abschälwinkel, unter denen die Filme von der Platte unter Verwendung der Flüssigkeitsspritzeinrichtung abgeschält werden, innerhalb des Bereiches eines stumpfen Winkels enthält, welche Führungsteile bewirken, daß die so abgeschälten Film an ihnen haften, sind die Druckteile verwendbar, um Druck auf eine Endfläche der Filme auszuüben, um dadurch Spalte auszubilden, um sicherzustellen, daß die Filme durch Einbringen eines Flüssigkeitsstrahls in den Spalt sofort und genau abgeschält werden können, wobei die durchscheinenden Harzfilme und lichtempfindlichen Harzschichten gleichförmig voneinander getrennt werden, wodurch die Abschälpositionen stabilisiert werden. Dementsprechend kann vermieden werden, daß die Abschälposition und der Abschäldruck verzerrt werden, wenn der durchscheinende Harzfilm abgeschält wird, und des weiteren wird verhindert, daß die lichtempfindliche Harzschicht beschädigt oder zerstört wird.
2. Wegen des unter Punkt 1 angeführten kann der an der Platte haftende Film einfach, sofort und sicher abgeschält werden, so daß die Abschälzeit verkürzt wird.
3. Da die Filmabführeinrichtung zum Abführen des von dem Filmabschälführungsteil geführten Filmes eingebaut ist, wird die Arbeit des Filmabschälens automatisch durchgeführt, so daß die Abschälzeit weiter verkürzt wird.
4. Die Einrichtung zum Ändern des Winkels des Filmabschälführungsteils ist entsprechend Punkt 1 vorgesehen, wodurch der Film unter einem geeigneten Winkel abgeschält werden kann, ohne zu irgendeinem Zeitpunkt beschädigt zu werden oder zu brechen.
5. Da die Filmabführeinrichtung zum Abführen des mit Hilfe des Filmabschälführungsteils geführten Filmes zusätzlich zu dem unter Punkt 4 beschriebenen Aufbau vorgesehen ist, kann die Arbeit des Filmabschälens automatisiert werden, und der Zeitaufwand zum Filmabschälen ist somit verkürzt.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1246493B (it) * 1990-12-04 1994-11-19 Cedal Srl Macchina per l'asportazione automatica delle pellicole di protezione, dalle lastre per circuiti stampati.
FR2677327B1 (fr) * 1991-06-10 1994-10-21 Bendix Materiaux Friction Procede de decollement automatique d'un papier protecteur recouvrant une feuille adhesive et installation pour la mise en óoeuvre de ce procede.
JP3611249B2 (ja) * 1991-08-02 2005-01-19 ブラザー工業株式会社 印刷装置
GB9208533D0 (en) * 1992-04-21 1992-06-03 Esselte Dymo Nv Tape cutting apparatus
US5458423A (en) * 1992-06-11 1995-10-17 Esselte Dymo N.V. Tape cutting apparatus
JP2629527B2 (ja) * 1992-07-22 1997-07-09 ブラザー工業株式会社 テープ印字装置
GB9314386D0 (en) * 1993-07-12 1993-08-25 Esselte Dymo Nv A cassette for a thermal printer
JP3177403B2 (ja) * 1995-04-12 2001-06-18 富士重工業株式会社 塗装樹脂製品の塗膜剥離除去装置
DE102014011721B4 (de) * 2014-08-06 2016-06-23 Josef Moser Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von Schutzfolien
CN112829276B (zh) * 2020-12-30 2023-03-28 深圳市伟鸿科科技有限公司 传送装置及包边设备

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3951727A (en) * 1972-07-06 1976-04-20 Greenberg William B Delaminating method and apparatus
GB1595436A (en) * 1976-11-22 1981-08-12 Fuji Photo Film Co Ltd Process of stripping developing a photosensitive material and apparatus therefor
FR2360499A1 (fr) * 1977-07-28 1978-03-03 Hoechst Ag Procede et dispositif pour separer des materiaux composites utilises en reprographie
JPS5891782A (ja) * 1981-11-27 1983-05-31 Kansai Seikou Kk 被着片の接着剤層保護紙を剥離する方法
US4421608A (en) * 1982-03-01 1983-12-20 International Business Machines Corporation Method for stripping peel apart conductive structures
JPS59154447A (ja) * 1983-02-22 1984-09-03 Hitachi Chem Co Ltd 印刷配線板用基板に貼合されたカバ−フイルム付感光性樹脂フイルムのカバ−フイルム剥離方法
JPS6061458A (ja) * 1983-09-14 1985-04-09 Matsushita Electric Works Ltd 板材の剥離方法
DE3339723C2 (de) * 1983-11-03 1987-01-15 Löhr & Herrmann GmbH, 7531 Neuhausen Verfahren und Vorrichtung zum Ablösen der Schutzfolie von mit Photoresist laminierten Leiterplatten
ATE116511T1 (de) * 1985-08-31 1995-01-15 Somar Corp Vorrichtung zum abschälen eines films.

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