JPS6256247A

JPS6256247A - 薄膜の剥離装置

Info

Publication number: JPS6256247A
Application number: JP19669485A
Authority: JP
Inventors: Fumio Hamamura; 濱村　文雄
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-09-05
Filing date: 1985-09-05
Publication date: 1987-03-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離装置に関するものであり、特に、
基板の表面に保護するために張すイ・１けられた保護膜
の剥離装置に適用して−ｆＩ効な技術に関するものであ
る。

［従来の技術］コンピュータ等の電子機器で使用されるプリン１〜配線
机は、銅等の所定パターンの配線が絶縁４１基板の片面
又は両面に形成されたものである。

この種のプリン１〜配線板は、次の製造工程により製造
することができる、５まず、絶縁性ｊ、！、仮１．に設
ｉ−ｔられた導電層−１□に、感光性樹脂（）第１−レ
シスＩ−）層とそれを保護する透光性樹脂フィルｌ、（
保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネー）へする。

この後、配線パターンフィルムを中ね、この配線パター
ンフィル１１及び前記透光性樹脂フィル！、を通して、
感光性樹脂層に所定時間露光する。そして、透光性樹脂
フィル１２を剥離した後、露光された感光性樹脂層を現
像してエツチングマスクパターンを形成する１、この後
、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し、
さＩ）に残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パ
ターンをＣｒするプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］前述のプリント配線板の製造工程にｊ′ンいては、感光
性樹脂層を讃光後現像するに際して、透ソロ性＝４樹脂フィルムを剥離する工程が必要ときイ四Ｃいる。

この透光性樹脂フィルムの剥削１１、人−［作業に頼っ
ており、該フィルムが薄いので、剥離１．Ｆ；力の偏り
等による損傷、破壊が牛じないようにするため、指先の
器用さ及び非常な熟練へ有する。

このため、透光性樹脂）、イル１１の！１１離］１．ｖ
間が増大するので、プリン１〜配線机の製造−［−程に
才；ける作業時間が長くなるという問題があった。

なお５本発明で解決しようどずろ、前記ならびにその他
の問題点と新規な特徴は、本明細寿の記述及び添ｆ；１
図面によって明らかになるであろう。

（２）発明の構成［問題点を解決するための手段］本願において開示さ胎、る発明のうち、代表的なものの
概要を簡単に説明すれば、１・記のとおりである。

すなわち、本発明は、基板に張すイ・目−ｔｔ、Ｉｔて
いる薄膜を＃（Ｉ離する剥離装置であ一〕で、前記基板
に張り付けられている薄膜の端部−１，而を押圧する押
圧部材と、該押圧された部分の薄膜に流体を吹き（（け
る流体吹イ・１手段と、該流体吹付手段で基板から薄膜
を剥離する剥離角度（薄膜が剥離された基板の面と剥離
された薄膜とがなす角度）を鈍角又はその範囲内におい
て変化させて剥離方向を設定するとともに、剥離薄膜を
付着させる剥離薄膜カイト部材とを備えてなること、又
はこれに、前記剥離薄膜ガイド部材によってガイドされ
てくる薄膜を搬出する薄膜搬出手段を僅えてなることを
特徴とするものである。

［作用］本発明は、前記押圧部材で薄膜の端部」二面に力を加え
てその下部に隙間を形成し、この部勿に流体を吹き付（
づて薄膜を瞬時かつ確実に剥離することができ、この剥
離された薄膜を前記剥離薄膜ガイド部材に付着させるこ
とにより、ｌＩ膜に一様な剥離力を加え、剥離位置を安
定させるので、薄膜に損傷、破壊等を起すことなく、剥
離角度で薄膜を基板から剥離することができる。しかも
、剥離薄膜ガイド部材の角度が変化できるので、常時。

最適な剥離角度で薄膜を剥離することができる。

また、前記剥離薄膜ガイ１へ部材に（Ｊ若された薄膜を
搬出する薄膜搬出手段を設けたことにより、薄膜の剥離
作業を自動化することができるので、Ｊす前時間を大幅
に短縮することができる。

［実施例］以下、プリント配線用基板の保護ＩＩ！Ａの剥離装置に
適用した本発明の一実施例について説明する。

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を伺は、そのくり返しの説明：Ｊ省略する。

第１図は、本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の
概略構成を示す断面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリン１〜配線用
基板ｌの搬送機構は、第１図に示すように、主として、
プリント配線用基板１を搬送する搬送ローラ２及び搬送
制御ローラ３で構成されている。

この搬送機構における搬送経路には、押圧４！！構４、
流体吹付機構５及び薄膜搬出機構６が設けられている。

前記プリンＩ・配線用基板ｌけ、第２図及び第３＝７− 図に示すように、絶縁性基板ＩＡの両面（又はノー面）
に銅等の導電ＭｉＢが形成されたものである。

このプリント配線用基板ｌの導電層１１１１−には、感
光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルｌ、（保護膜）１「
）とからなる積層体が熱圧着ラミネー１〜されており、
感光性樹脂層Ｉ　Ｃは所定のパターンに露光された後の
状態にある。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第１図にＡ
−Ａ線で示される搬送経路において、プリン１−配線用
基板１を矢印方向に搬送するように構成されている。

前記押圧機構４は、第１図乃至第６図に示すように、回
転体にローレノｌ−目が設けられた押圧部材４Ａでプリ
ン１〜配線用基板ｌの透光性樹脂フィルムＩＤの端部に
面に力を加えるように構成されている。押圧部材４Ａは
、例えば、高速度工員鋼で構成する。

具体的に説明すれば、まず、プリント配線用基板１の先
端が第１図に示す位置検出器Ｓで検知されると、搬送さ
れてくるプリント配線用基板ｌが−１−Ｔｍ対の押圧部
材４Ａ間で停止１−する。このプリント配線用基板１の
位置制御は、位置検出器Ｓど搬送制御ローラ３で行う。

位置検出器Ｓは、例えば、フォトセンサで構成する。ま
た、プリン１−配線用基板ｌの位置制御は、位置検出器
Ｓで制御されるストッパ部材を設け、このストッパ部材
で行ってもよい。

次に、第２図に示すように、−に下一対の押圧部材４Ａ
で透光性樹脂フィルムＩＤの搬送方向の先端部」二面に
力を加える。押圧部材４Ａは、第４図に示すように、搬
送方向と略直交する方向に左右一対に設けられた支持部
材４Ｂに、矢印Ｂ方向に回転移動するアーム部材４Ｃと
、エアーシリンダ４Ｄで矢印Ｃ方向に移動する押圧部（
（支持部材４Ｅとを介在して設けられている。押圧部＋
４支持部材４Ｅとアーム部材４Ｃは、矢印Ｃ方向の直線
移動と矢印Ｂ方向の回転移動とが行えるように、組合せ
て構成している。そして、両者の移動をスムーズに行う
ことができるように、アーム部材４ｃの回転軸には、適
度なりリアランスが設けられている。

次に、透光性樹脂フィルＡ　ｉ　＋−）の先端部−１而
を押ｉ’ｐ−シた状態で、第・１図及び第（３１司ｊコ
−示すよ）に、押圧部材４Δを搬送力向と略ｉＩ′ｉ交
する矢印！−’ｌ　ツノ向に移動又けｆ１復移ｍ＋さｔ
（る。すなイ）ち、押圧部材４Ａは、方形状のｍ）ｖ、
性樹脂フィルＡ　ｉ　＋”１の・辺の先端部ｌ・、而（
搬送ツノ向の先端部の・辺の端部上面）の略全域に力を
加えるように構成されている。

押圧部材４Ａの矢印１）ツノ向の移動は、　・対のカイ
トレール４１’を摺動【７７、支持部Ｈ４ｔ３の下部に
設けられた摺動部＋）Ｉ４Ｇと、−・方の摺動部材４Ｇ
に設けらＪしたエアーシリンダ４１１と５ビニオン４１
で連結されそれｒれの摺動部＋＋　４ｃｉに股ｌＪらｉ
ｉたラック４Ｊどでイー？イー）れる。前記［Ｊ′ニオ
ン４ｒとラック４Ｊは、コニアーシリンダ４１−（で摺
動される一方の摺動部材４（］（第６図では右側）と反
対の一７ｊ向に他方の摺動部材４　Ｇ（第６図では左側
）を１−１動するように構成されている。ビニオン４Ｉ
どラック４　、Ｊとの噛み合せは、ガイ［・ローラ４　
Ｋにより、常時安定に行オ）れる。

次に、第３図に示すよ）に、ｒ−’−ｒ’−シリンタ４
１−）　■ＩＪ図示１・でいない弾性部４１１Ｆ押圧部
Ｈ４Ａ　ｔ７）押圧を解除する。

なお、ＩＹｆ記丁アー・シリンダ４Ｉ）、４１１目、浦
ｎ等の液体シリンダに代え（−もよく、前記ビニオン４
Ｉ及びラック４．１機構を千１−ン機構Ｖけペル１〜機
構に代えても上い。

二のようＬ−、プリンｌ−配線用基板１０〕透ソ１．　
（ｉ樹脂−フィルムｌ　Ｄの端部（、而に、押圧部Ｌｔ
４Ａで力を加わえるごとに１：す、第３日・４し符号Ｉ
・：で示ずように、感光性樹脂層ＩＣと透光１〕１樹脂
フィルム１［）どの間に隙間を生しることができる。こ
の隙間が生じるのは、感光性樹脂層ｌ（−ど′？ｉ児竹
樹脂フィル、１４％　ｌ　ｒ＞とのｔ１質が異なり、後
行に比べτ前Ｈの方が塑性変形し易いと、ｈが加わった
とき、両者間に剪断力で接着力がなくなるためである。

また、プリンｌ−配線用鳩板１の搬送経路に押圧部材４
Ａを設けたことに、Ｊ−）、感光性樹脂層ｔ　Ｃと透光
性樹脂フィルム１Ｆ）との端部に自動的に隙間を生じる
二どができる。

なお、感光性樹脂層ｌ　Ｃと透光性樹脂フイルノ、１１
〕との間に生じた隙間は、流体吹付機構５に搬送される
間に搬送「Ｉ−ラ２又は搬送制御ローラ３で押圧される
が、熱な加えて圧着していないので、感光性樹脂層ＩＣ
と透光性樹脂フィルｌいｌ　Ｉ）とが再度接着されるこ
とはない。

また、前記押圧部材４Ａは、透光性樹脂フィルムＩＤの
端部−］二面を押圧した状態で、−辺の略全域に摺動さ
せたが、部分的に狭い範囲で摺動させてもよい。ただし
、流体吹付機構５によ１］流体が吹き付けられる範囲内
において、押材部材４Δを摺動させる必要がある。

前記流体吹付機構５は、主として、第１図、第７図及び
第８図で示すように、ノズル５Ａから圧力を加えた流体
、例えば、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が吹
出すように構成されている。

この流体吹付機構５は、プリント配線用基板１の透光性
樹脂フィルムＩＤと感光性樹脂層１（”（ＩＡ板）との
間に生じた隙間部分に流体を直接吹き付けるように構成
されている。このどき、流体吹付−［＋− 機構５とプリント配線用基板１どの位置合け−は５図示
しない位置検出器と、搬送制御［１−ラ３とで行オ〕れ
る。なお、ノズル５Ａは、第’７　ｌｘに符号５Ａ′で
示すように、その設定角度を変化できるように構成して
もよい。

このように、押圧部材４Ａで透光性樹脂フ、イルム１［
）と感光性樹脂層ＩＣとの間に生じた隙間部分に流体吹
付機構５で流体を吹き付けることにより、透光性樹脂フ
ィルム１１）を簡ｉ１にしかも瞬時かつ確実に剥離する
ことができる。

薄膜搬出機構６は、固定ベルトコンベア（５Δ、剥離薄
膜ガイド部材６１３、可動ベルトコンベア６Ｃ及び薄膜
排出用搬送ベルｌ−１１１構６１）で構成されている。

固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第７図及び第８図
に示すように、一対のローラ６Ａａ、６Ａａ’を複数設
け、各一対の「１−ラ６Ａａ、６Ａａ′に巻回されたベ
ルト６Ａ））で構成されている。

剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコンベア６Ａ側
の薄膜剥離装置の筐体に設けられており、そのガイド面
の一部にベルト６Ａｂがスライドするように構成されて
いる。

また、不＋１離薄膜ガイド部材６Ｂは、剥離された透光
性樹脂フィルムｌ　ｒ）を充分に付着保持できるように
、薄膜が剥離されたプリント配線用基板１の面と剥離さ
れた透光性樹脂フィルム１１）とのなす角度が、鈍角Ｏ
又はその範囲内で変化できるように構成されている。具
体的には、１００〜１７０［度］程度の剥離角度で又は
その範囲内で剥離角度を変化できるように構成されてい
る。剥離薄膜ガイド部材６Ｂの剥離角度の変化は、歯車
機構、クランク機構等の機械的可変手段又はステップモ
ータ等の電気的可変手段等を用いて行えばよい。

このように、剥離薄膜ガイド部材６Ｂを鈍角０で構成す
ることにより、透光性樹脂フィルム１Ｆ）の剥離で感光
性樹脂層１ｃにケ、える力を小さくできるので、感光性
樹脂層ＩＣの損傷、破壊を防止することができる。

また、剥離薄膜カイト部材６Ｂの剥離角度を鈍角θの範
囲内において変化できるように構成したことにより、薄
膜の剥離速度又は剥離力に応じて最適な剥離角度を設定
することができるので、どのようなプリンｌ−配線用基
扱１及びどのような薄膜の剥離条件においても、最適な
剥離角度を設定することができる。

また、剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、流体吹（＝ｊ機構５
で剥離された透光性樹脂フィルムＩＤを、流体吹イ・１
機構５からの間接的な流体圧又は剥離したときに生じる
静電気で付着させるように構成されている。

可動ベル１〜コンベア６Ｃは、第１図及び第７図で示す
ように、一対のローラ６Ｃａ　、　５Ｃａ’を複数設け
、各一対のローラ６Ｃａ、６Ｃａ’に巻回されたベルト
６　Ｃｂで構成されている。この可動ベルトコンベア６
Ｃは、一方のローラ６Ｃａ’を中心にエアーシリンダ６
Ｃｃで移動し、固定ベルトコンベア６Ａのベルトｆｉ　
Ａ　））又は剥離薄膜ガイド部材６Ｂに近接又は接触す
るように構成されている。可動ベルトコンベア６Ｃは、
流体吹付機構５で剥離された透光性樹脂フィルムＩＤを
剥離−１５＝薄膜ガイド部材６Ｂに確実に保持するとともに、それを
搬送するように構成されている。

このように、薄膜搬出機構６を固定ベル１−コンベア６
Ａ、剥離薄膜ガイド部材６Ｂ及び可動ベルトコンベア６
Ｃで構成することにより、流体吹付機構５で剥離された
透光性樹脂フィルムｌｒ）を剥離薄膜ガイド部材６Ｂに
付着させ、固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコンベ
ア６Ｃとで確実に保持しながら、第７図に矢印ｏｕｔ；
で示す搬出方向に搬出することができる。

薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、第１図に示すように
、複数のローラ６　Ｄ　ａと一対のベル１〜６Ｄｂで構
成されている。この薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、
プリンｉ・配線用基板ｌの１−面側の透光性樹脂フィル
ムｉｎを排出するように構成されている。

なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアーシリンダ
６Ｃｃに代えて、電磁ソレノイドや油圧シリンダで移動
するように構成してもよい。

このように、プリント配線用基板１の搬送経路に、押圧
機構４、流体吹付機構５及び簿膜搬出機構６を設けたこ
とにより、プリント配線用基板ｌの透光性樹脂フィルム
ｌ　Ｉ）の下部に隙間を形成し、この後に流体吹付機構
５で透光性樹脂フィルムｌＤを簡単にしかも瞬時かつ確
実に剥離し、そして、剥離された透光性樹脂フィルム１
１〕を確実に搬出することを自動的に行うことができる
ので１作業時間を大幅に短縮することができる。

前記薄膜搬出機構６で透光性樹脂フィルムＩＤが剥離さ
れると、プリント配線用基板１は、搬送制御ローラ３及
び搬送ローラ２で感光性樹脂層ＩＣを現像する現像装置
に搬送される。

なお１本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、前記実施例は、プリント配線基板１の透光性樹
脂フィルム１［）の搬送方向の先端部上面を押圧部材４
Ａで押圧したが、本発明は、搬送方向と交差する方向の
端部」−面を押圧部材４Ａで押圧するように構成しても
よい。

また、前記実施例は、プリント配線用μ板の薄膜の剥離
装置に本発明を適用し、た例について説明したが、本発
明は、建築材に使用される化υＩ抜を覆う保護膜の剥離
装置１−適用１１．Ｃもよい。

（３）効果以−Ｉ−説明したように、本発明によれは、以］一番丁
述べる効果を得ることができる。

＜　１．　＞基板に張すイ・１けられている薄膜を剥離
する剥離装置であって、前記基板に張り付けられている
薄膜の端部［−面を押圧する押圧部１−１と、前記押圧
された部分の薄膜に流体に吹きｆ−１ける流体吹付手段
と、該流体吹付手段で基板から薄膜をＰＨ１離する剥離
角度を略直角と鈍角との間の範囲内に才９いて変化させ
て剥離方向を設定するとともに１ｄｌ　Ｍ　Ｎ膜を付着
さ仕る剥離薄膜ガイド部１１とを段目たことにより、前
記押圧部材で薄膜の端部−１上面に力を加えて、その下
部に隙間を形成し、この部分に流体を吹き付けて薄膜を
瞬時か−〕確実に剥離することができ、この剥離された
透光性樹脂フィル！１等の薄膜、感光性樹脂層等の薄膜
に一様な開離力を加え２剥離位置を安定さ仕るので、透
″Ｎ１竹樹脂フィルム等の薄膜の判離時に１７けろ剥離
位置の変動１０ノ止、　ｉｌｌ離ＬＬ二力の偏りの防＋
１、かてさ、か−）、感）１／１廿樹脂層等の簿膜が損
ｉｚ、破壊しないようにすることができる。

〈２〉前記＜１＞により、Ｍｊｆ記括板裁板り付け１７
゜オ（た薄１りが簡Ｑｔにしかも瞬時かつ確実に基板か
ら剥離できるので、薄膜を剥離する作業時間を茗【７く
短縮する二とができろ。

〈３〉前記＜　１　＞　）構成に、ＩＩＩ！＃ｌＩｕカ
４　Ｆ部＋４によってガイドされてくる；Ｗ膜を搬出す
る薄膜搬出手段を設けたことにより、薄膜の剥離作業を
自動的にできるので、作業時間をさらに短縮することが
できる。

〈４〉前記＜　＋、　＞の構成に、承す離薄膜ガ・（ト
部Ｈの角度を変化できる１段を設けたので、常時、最適
な剥離角度で薄膜を損傷、破壊する：となく基板から剥
離することかでき乙。

〈５〉前記〈４〉の構成に、φ１１離薄膜ガイド部材に
よってガイドされてくる薄膜を搬出する薄膜搬出手段を
設けたことにより、薄膜の剥離作業を自動的にできるの
で、作業時間をさらに短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の
概略構成を示す断面図、第２図及び第３図は、プリント配線用基板及び第１図に
示す押圧部材の拡大断面図、第４図は、第１図の押圧機構の拡大正面図、第５図は、
第１図の押圧部材の拡大斜視図。第６図は、第４図のＶｌ−Ｖｌ線部分から矢印方向に向
って見た概略構成図。第７図は、第１図の流体吹付機構及び薄膜搬出機構の要
部の拡大断面図、第８図は、第１図、及び第７図に示す固定ベルトコンベ
ア及び剥離薄膜ガイド部材の要部斜視図である。図中、ｌ・・・プリン１〜配線用基板、ＩＡ・・・絶縁
性基板、ＩＢ・・・導電層、Ｉｃ・・・感光性樹脂層、
ＩＤ・・・透光性樹脂）、イルム（保護膜）、２・・・
搬送ローラ。３・搬送制御ローラ、４・・押圧機構、４Ａ・・・押圧
部材、５・・流体吹ｆ、１機描、（ｉ−薄膜１般出機構
、（シＡ・・・固定ベルトコンベア、ｔ５ト・・、４＋
１１１１薄膜力ｆド部材、６Ｃ・・ｉ１丁動ベル１−コ
ンベア、６［）・・薄膜排出用搬送ベルト機構である４
゜代理人　弁理１．　秋Ｉｌｌ収喜第４図止第５　区

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
上面を押圧する押圧部材と、該押圧された部分の薄膜に
流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付手段で基
板から薄膜を剥離する剥離角度（薄膜が剥離された基板
の面と剥離された薄膜とがなす角度）を鈍角に設定する
とともに、剥離薄膜を付着させる剥離薄膜ガイド部材と
を備えてなることを特徴とする薄膜の剥離装置。
（２）前記押圧部材は、回転体の円周面にローレット目
を設けてなることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の薄膜の剥離装置。
（３）前記押圧部材は、薄膜の端部上面を押圧した後、
その状態で所定方向に移動するように構成されてなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜の剥
離装置。
（４）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
上面を押圧する押圧部材と、該押圧された部分の薄膜に
流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付手段で基
板から薄膜を剥離する剥離角度（薄膜が剥離された基板
の面と剥離された薄膜とがなす角度）を鈍角に設定する
とともに、剥離薄膜を付着させる剥離薄膜ガイド部材と
、該剥離薄膜ガイド部材によってガイドされてくる薄膜
を搬出する薄膜搬出手段とを備えてなることを特徴とす
る薄膜の剥離装置。
（５）前記薄膜搬出手段は、前記剥離薄膜ガイド部材を
設けた固定ベルトコンベアと、前記剥離薄膜ガイド部材
に付着された薄膜を保持する可動ベルトコンベアとで薄
膜を搬出するように構成したことを特徴とする特許請求
の範囲第４項に記載の薄膜の剥離装置。
（６）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
上面を押圧する押圧部材と、該押圧された部分の薄膜に
流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付手段で基
板から薄膜を剥離する剥離角度（薄膜が剥離された基板
の面と剥離された薄膜とがなす角度）を鈍角の範囲内に
おいて変化させて剥離方向を設定するとともに、剥離薄
膜を付着させる剥離薄膜ガイド部材とを備えてなること
を特徴とする薄膜の剥離装置。
（７）前記押圧部材は、回転体の円周面にローレット目
を設けてなることを特徴とする特許請求の範囲第６項に
記載の薄膜の剥離装置。
（８）前記押圧部材は、薄膜の端部上面を押圧した後、
その状態で所定方向に移動するように構成されてなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載の薄膜の剥
離装置。
（９）基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の端部
上面を押圧する押圧部材と、該押圧された部分の薄膜に
流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流体吹付手段で基
板から薄膜を剥離する剥離角度（薄膜が剥離された基板
の面と剥離された薄膜とがなす角度）を鈍角の範囲内に
おいて変化させて剥離方向を設定するとともに、剥離薄
膜を付着させる剥離薄膜ガイド部材と、該剥離薄膜ガイ
ド部材によってガイドされてくる薄膜を搬出する薄膜搬
出手段とを備えてなることを特徴とする薄膜の剥離装置
。
（１０）前記薄膜搬出手段は、前記剥離薄膜ガイド部材
を設けた固定ベルトコンベアと、前記剥離薄膜ガイド部
材に付着された薄膜を挟持する可動ベルトコンベアとで
薄膜を搬出するように構成したことを特徴とする特許請
求の範囲第６項に記載の薄膜の剥離装置。