KR101097115B1

KR101097115B1 - 노광 및 현상방법

Info

Publication number: KR101097115B1
Application number: KR1020050040862A
Authority: KR
Inventors: 도시히코 구리마사
Original assignee: 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
Priority date: 2004-06-17
Filing date: 2005-05-16
Publication date: 2011-12-22
Also published as: TW200607412A; KR20060046053A; JP2006003575A; TWI341698B; JP3839030B2

Abstract

본 발명은, 품질이 좋은 양면 회로기판을 저비용 장치로 효율적으로 제조할 수 있는 노광 및 현상방법을 제공하는 것이다.

표리 양면측에 회로 패턴을 구비하는 양면 회로기판을 매엽기판으로 제조할 때의 노광 및 현상방법으로서, 공급된 복수의 매엽기판20이 서로 이웃하는 매엽기판20 상호간에 연달아 접속할 수 있게 매엽기판20의 표리 각 면에 긴 띠모양의 드라이 필름 레지스트10을 부착함으로써, 복수의 매엽기판20의 연결 접속체인 긴 띠모양의 매엽기판 연결 접속체MR을 형성하고 그 매엽기판 연결 접속체MR에 대하여 노광 및 현상을 한다.

Description

노광 및 현상방법{A METHOD FOR EXPOSURE AND DEVELOPMENT}

도1은 본 발명에 관한 노광 및 현상방법을 포함하는 양면 회로기판의 제조공정을 나타내는 개요도이다.

도2는 드라이 필름 레지스트와 매엽기판을 나타내는 도면이다.

도3은 본 발명의 특징인 매엽기판 연결 접속체를 나타내는 도면이다.

도4는 라미네이트 공정에서 사용하는 라미네이트 장치를 나타내는 정면 개략도이다.

도5는 노광공정에서 사용하는 노광장치를 나타내는 정면 개략도이다.

도6은 현상공정에서 사용하는 현상장치를 나타내는 정면 개략도이다.

도7은 양면 회로기판의 종래에 있어서의 제조공정을 나타내는 개요도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 드라이 필름 레지스트 13 : 캐리어 필름

20 : 매엽기판 MR : 매엽기판 연결 접속체

본 발명은 표리(表裏) 양면측에 회로 패턴을 구비하는 양면 회로기판을 매엽기판(枚葉基板)으로 제조할 때의 노광(露光) 및 현상방법(現像方法)에 관한 것이다.

종래에 양면 회로기판을 매엽기판으로 제조할 때에 예를 들면 도7로 나타내는 공정에 의하여 이루어지고 있었다. 도7은 양면 회로기판의 종래에 있어서의 제조공정80을 나타내는 개요도이다. 도7에 나타나 있는 바와 같이 양면 회로기판의 제조공정80은 천공공정(穿孔工程)82, 라미네이트(laminate) 공정83, 노광공정84, 현상공정85, 에칭공정86, 솔더 레지스트(solder resist) 인쇄공정87 및 도금공정88을 구비하고, 공급되는 매엽기판20에 각 공정에 있어서의 가공처리를 실시하여 기판 양면에 원하는 구리 패턴을 형성한다. 매엽기판20은 절연층의 양면에 구리층을 구비한 구리 장력 적층판(銅張力積層板)이다. 각 공정간에는 매엽기판20의 반입을 위한 기판 스택커(基板 stacker)ST가 설치된다.

제조공정80에서 복수의 공정을 거쳐서 양면 회로기판을 제조함에 있어서, 종래에는 각 공정으로 매엽기판20을 반입하는 것은 기판 스택커ST를 통하여 이루어지고 있었다. 특히 노광공정84에서는 매엽기판20 한 장, 한 장에 대하여 오퍼레이터가 수작업으로 하고 있었기 때문에 제조 효율이 나빴었다. 또한 반입작업 중에 오퍼레이터가 매엽기판20을 손상해버리거나, 반입된 먼지에 의하여 연속 불량의 요인을 만들어버리거나 하는 경우가 있었다.

연속 불량은 예를 들면 노광공정84에 있어서, 먼지가 포토 마스크(photo mask)에 부착된 경우에 먼지가 제거될 때까지 연속하여 불량한 패턴이 형성되어 버리는 것 같은 불량이다. 이와 같이 사람의 손을 통하여 작업이 이루어지기 때문에 제조 효율의 저하나 제품품질에 미치는 영향을 무시할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 여기에서 매엽기판20의 반입을 사람의 손을 통하지 않고 로봇이 행하게 하도록 하는 것이 고려되지만, 그 경우에는 기판제조장치가 고가가 된다.

한편 일본 공개특허공보 특개2002-164639호 공보에는, 매엽기판20의 단부(端部) 끼리를 테이프 재(tape 材)에 의하여 접합하여 긴 시트모양의 연결기판을 형성하고, 이 연결기판에 대하여 연속적으로 가공처리를 실시하는 것으로 회로기판제조의 처리효율의 향상을 꾀하는 방법이 개시되어 있다.

[(일본) 특허문헌1] 일본 공개특허공보 특개2002-164639호 공보

그러나 상기 공보에 의한 방법에서는 매엽기판20의 단부 끼리를 테이프 재에 의하여 접합하고 있기 때문에, 예를 들면 에칭공정86, 솔더 레지스트 인쇄공정87, 도금공정88 등 매엽기판20이 서로 연달아 접속하고 있 지 않은 상태로 처리할 필요가 있는 공정에서는, 긴 시트모양의 연결기판을 분리해 내서 한 장, 한 장의 매엽기판20으로 되돌릴 필요가 있고 그 때문에 절단장치가 별도로 필요하게 된다.

또한 접합부가 테이프 재나 접착제에 의하여 두꺼워져서, 접합부 및 그 근방에서는 드라이 필름의 라미네이트나 노광시에 있어서의 각 매엽기판20과 포토 마스크와의 갭 컨트롤(gap control)이 곤란하고, 이 때문에 각 매엽기판20의 끝 쪽은 못 쓰게 된다.

양면 회로기판의 제조에 있어서 저비용화 및 효율화가 요망되고 있지만 실상은 상기한 바와 같다. 본 발명은 이상의 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 품질이 좋은 양면 회로기판을 저비용의 장치로 효율적으로 제조할 수 있는 노광 및 현상방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 청구항1의 발명은 표리 양면측에 회로 패턴을 구비하는 양면 회로기판을 매엽기판20으로 제조할 때의 노광 및 현상방법으로서, 공급된 복수의 매엽기판20이 서로 이웃하는 매엽기판20 상호간에 연달아 접속할 수 있게 상기 매엽기판20의 표리 각 면에 긴 띠모양의 드라이 필름 레지스트(dry film resist)10을 부착함으로써, 복수의 매엽기판20의 연결 접속체인 긴 띠모양의 매엽기판 연결 접속체MR을 형성하고 그 매엽기판 연결 접속체MR에 대하여 노광 및 현상을 한다.

청구항2의 발명은 노광된 상기 매엽기판 연결 접속체MR에 대하여 그 매엽기판 연결 접속체MR의 표리 양면에 부착된 드라이 필름 레지스트10에 있어서의 캐리어 필름13을 박리(剝離)하고, 그 캐리어 필름13이 박리된 매엽기판 연결 접속체MR을 현상한다.

청구항3의 발명은 상기 현상(現像) 후 단계의 처리는 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20인 것을 요하는 처리이다. 청구항4의 발명은 상기 복수의 매엽기판20의 연결 접속체인 매엽기판 연결 접속체MR을 형성하기 전 단계의 처리는 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20인 것을 요하는 처리이다.

본 발명에 의하면 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 복수의 매엽기판20은 각 매엽기판20의 표리 양면에 드라이 필름 레지스트10을 부착함으로써 이웃하는 매엽기판20 상호간을 연달아 접속하여, 긴 띠모양의 매엽기판 연결 접속체MR로 된다. 드라이 필름 레지스트10은 패턴을 형성하기 위하여 이용하는 재료이지만, 본 발명에서는 각 매엽기판20을 연달아 접속시키기 위한 재료로서도 이것을 이용한다. 즉 특별한 접합재료를 이용하지 않고 복수의 매엽기판20을 접합하여서 매엽기판 연결 접속체MR로 된다.

매엽기판 연결 접속체MR로 함으로써 종래와 다르게 매엽기판20의 노광공정4로의 반입을 한 장, 한 장 수작업으로 할 필요가 없다. 그리고 연속적으로 노광 및 현상을 할 수 있기 때문에 제조 효율이 향상된다. 또한 작업 중에 오퍼레이터가 매엽기판20을 손상해버리거나 반입된 먼지에 의하 여 연속 불량의 요인을 만들어버리거나 하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제조된 양면 회로기판의 품질의 향상을 기대할 수 있다.

또 매엽기판 연결 접속체MR에 있어서 열 압착된 드라이 필름 레지스트10은 일면에 걸쳐 평탄하기 때문에, 노광시에 있어서 포토 마스크와의 간격 확보에 지장을 가져오지 않아서 각 매엽기판20을 끝까지 유효하게 사용할 수 있다.

또한 본 발명에서는 노광된 매엽기판 연결 접속체MR에 대하여 표리 양면에 부착된 캐리어 필름13을 박리하고, 그 캐리어 필름13을 박리한 매엽기판 연결 접속체MR을 현상한다. 이에 따라 레지스트층12로만 덮여 있는 매엽기판20에 현상액이 살포(撒布)되어 매엽기판20의 이음매가 되어 있는 레지스트층12는 현상액에 의하여 녹기 시작하여, 서로 연달아 접속하고 있었던 매엽기판20은 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 원래의 매엽기판20으로 되돌아간다. 따라서 연달아 접속한 매엽기판20을 분리해 내는 절단장치를 별도로 설치할 필요가 없다.

이 때문에 현상 후 단계의 처리가, 예를 들면 에칭공정6, 솔더 레지스트 인쇄공정7, 도금공정8, 외관검사 공정 또는 오픈쇼트(open short)검사 공정과 같은 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20으로서의 처리를 필요로 하는 경우에 좋다. 또한 매엽기판 연결 접속체MR로 될 때까지는 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20이므로 매엽기판 연결 접속체MR을 형성하기 전 단계의 처리가, 천공공정2 등의 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20으로서의 처리를 필요로 하는 경우에 좋다. 특히 매엽기판20으로 처리되어 있었던 기설(旣設)의 라인에, 매엽기판 연결 접속체MR을 생성하기 위한 라미네이트 장치30과 이 매엽기판 연결 접속체MR에 노광을 실시하는 노광장치40을 사용하고, 또한 기설의 현상장치50에 노광 기판체 박리기(露光基板體剝離機)51을 사용함으로써 제조 효율 및 제품품질을 좋게 할 수 있다. 또 본 발명에 있어서의 「연결 접속」에는 서로 완전하게 접촉한 상태로 연결되고 있는 것에 한하지 않고 어느 정도의 간격을 가지고 연결되고 있는 경우의 의미도 포함시킨다.

(실시예)

도1은 본 발명에 관한 노광 및 현상방법을 포함하는 양면 회로기판의 제조공정1을 나타내는 개요도이다. 도1에 나타나 있는 바와 같이 양면 회로기판의 제조공정1은, 천공공정2, 라미네이트 공정3, 노광공정4, 현상공정5, 에칭공정6, 솔더 레지스트 인쇄공정7 및 도금공정8을, 또 필요에 따라 외관검사 공정이나 오픈쇼트검사 공정을 구비하고, 공급되는 매엽기판20에 각 공정에 있어서의 가공처리를 실시하여 기판 양면에 원하는 구리 패턴을 형성한다. 매엽기판20은 폴리이미드 수지층(polyimide 樹脂層)21의 양면에 구리층22를 구비한 구리 장력 적층판이다. 라미네이트 공정3과 노광공정4와의 사이, 노광공정4와 현상공정5와의 사이를 제외한 각 공정간에는 매엽기판20 의 반입을 위한 기판 스택커ST가 설치되어 있다.

각 공정의 처리 내용을 이하에 나타낸다. 천공공정2에서는 매엽기판20에 NC드릴가공에 의하여 스루 홀(through hole) 또는 비어 홀(beer hall)이 되는 관통구멍을 형성한다. 라미네이트 공정3에서는 관통구멍이 형성된 매엽기판20의 표리 양면에 드라이 필름 레지스트10을 가열 압착하여 드라이 필름 레지스트 막을 형성한다. 라미네이트 공정3에서 복수의 매엽기판20으로 매엽기판 연결 접속체MR이 형성된다. 이것이 본 발명의 특징이며 상세한 것은 후술한다.

노광공정4에서는 원하는 패턴을 구비하는 포토 마스크42를 통하여 상기 드라이 필름 레지스트 막에 자외선을 조사(照射)하여, 패턴에 대응하는 레지스트층12의 일부를 광경화(光硬化)시키고 잔부(殘部)의 드라이 필름 레지스트층을 미경화(未硬化) 상태 그대로 둔다.

현상공정5에서는 유기용제, 알카리 수용액 등의 현상액을 사용하여 미경화 부분의 드라이 필름 레지스트층을 용해시켜 제거함과 아울러 광경화된 드라이 필름 레지스트층의 부분을 남긴다. 에칭공정6에서는 구리층22의 에칭을 한 후에 드라이 필름 레지스트 막을 박리(剝離)한다. 솔더 레지스트 인쇄공정7에서는 도금 마스크 및 패턴 보호를 위한 레지스트를 도포한다. 도금공정8에서는 주석, 니켈, 금 등의 도금을 실시한다.

도2는 드라이 필름 레지스트10과 매엽기판20을 나타내는 도면, 도3은 본 발명의 특징인 매엽기판 연결 접속체MR을 나타내는 도면, 도4는 라미네 이트 공정3에서 사용하는 라미네이트 장치30을 나타내는 정면 개략도, 도5는 노광공정4에서 사용하는 노광장치40을 나타내는 정면 개략도, 도6은 현상공정5에서 사용하는 현상장치50을 나타내는 정면 개략도이다.

드라이 필름 레지스트10은 도2(A)에 나타나 있는 바와 같이 커버 필름11의 상면에 레지스트층12 및 캐리어 필름13이 이 순서로 적층되어서 구성되고, 캐리어 필름13과 커버 필름11과의 사이에 레지스트층12가 끼워지도록 형성된다. 캐리어 필름13 및 커버 필름11은 모두 투명하고, 각각 레지스트층12의 표리면에 박리 가능하게 열압착되어 있다. 캐리어 필름13의 두께는 16～25μm, 커버 필름11의 두께는 25～40μm, 레지스트층12의 두께는 6～50μm정도이다. 드라이 필름 레지스트10은 긴 띠모양이며 롤 모양의 권취체(卷取體)37로 되어 있다.

매엽기판20은 단척(短尺)의 필름 기판으로서, 도2(B)에 나타나 있는 바와 같이 폴리이미드 수지층21의 표리 양면에 구리층22가 형성되고, 필요에 따라 폴리이미드 수지층21 및 구리층을 관통하는 관통구멍이 형성되어 있다. 폴리이미드 수지층21의 두께는 25～40μm, 구리층22의 두께는 4～18μm정도이다.

도4에 나타나 있는 바와 같이 라미네이트 장치30은 기판 스택커ST, 컨베이어31, 드라이 필름 레지스트 박리기32, 커버 필름 권취기33, 반송 롤러34, 열압착기35 및 매엽기판 연결 접속체 권취기36을 구비한다. 드라이 필름 레지스트 박리기32, 커버 필름 권취기33, 반송 롤러34 및 열압착기35는 각각 매엽기판20의 표면용과 이면용으로 2개씩 설치된다.

도5에 나타나 있는 바와 같이 노광장치40은 표리 양면의 동시 노광이 가능하도록 구성되어, 매엽기판 연결 접속체 박리기41, 포토 마스크42, 노광용 광원43 및 노광 기판체 권취기44를 구비한다. 포토 마스크42 및 노광용 광원43은 각각 매엽기판20의 표면용과 이면용으로 2개씩 설치된다. 또 노광장치40은 표리 양면의 동시 노광형이 아니고 한 면씩 차례로 노광하는 형태의 것이어도 좋다.

도6에 나타나 있는 바와 같이 현상장치50은, 노광 기판체 박리기51, 캐리어 필름 권취기52, 반송 롤러53, 컨베이어54, 현상 스프레이55 및 기판 스택커ST를 구비한다. 캐리어 필름 권취기52, 반송 롤러53 및 현상 스프레이55는 각각 매엽기판20의 표면용과 이면용으로 설치된다.

다음에 본 발명에 관한 노광 및 현상방법에 대하여 설명한다. 도4의 라미네이트 장치30에 있어서, 기판 스택커ST로부터 공급된 매엽기판20은 복수의 롤러를 구비한 컨베이어31에 의하여 X방향으로 반송(搬送)된다. 드라이 필름 레지스트 박리기32는 장착한 드라이 필름 레지스트10의 권취체37을 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키면서 드라이 필름 레지스트10을 풀어 낸다. 커버 필름 권취기33은 반시계방향 또는 시계방향으로 회전하면서 권취체37로부터 풀어 내어진 드라이 필름 레지스트10에 있어서의 커버 필름11을 박리한다.

풀어 내어진 긴 띠모양의 드라이 필름 레지스트10은 각각 열압착기35 에 의하여 매엽기판20의 표리 양면에 열압착된다. 그 결과 공급된 복수의 매엽기판20은 도3에 나타나 있는 바와 같이 서로 이웃하는 매엽기판20 상호간에 연달아 접속할 수 있는 긴 띠모양의 매엽기판 연결 접속체MR로 되고, 컨베이어31에 의하여 X방향으로 반송된다. 매엽기판 연결 접속체 권취기36은 반송된 긴 띠모양의 매엽기판 연결 접속체MR을 말아서 당겨, 롤 모양의 권취체38로 감는다.

공급된 매엽기판20에의 드라이 필름 레지스트10의 열압착이 모두 완료된 후, 오퍼레이터는 매엽기판 연결 접속체MR의 권취체38을 매엽기판 연결 접속체 권취기36으로부터 떼어내어, 도5에 나타나 있는 바와 같이 노광장치40의 상류측에 설치된 매엽기판 연결 접속체 박리기41에 장착한다. 권취체38의 반시계방향으로의 회전에 의하여 풀어 내어진 매엽기판 연결 접속체MR은 포토 마스크42를 통하여 노광용 광원43으로부터 조사(照射)됨으로써 드라이 필름 레지스트10 위로 패턴 노광이 실시된다. 여기에서 캐리어 필름13은 매엽기판 연결 접속체MR을 X방향으로 반송할 때에 레지스트층12가 파괴되는 것을 방지하는 내장력 부재(耐張力部材)의 역할을 담당함과 아울러 레지스트층12의 표면을 보호하는 보호필름의 역할도 담당한다.

패턴 노광을 끝낸 매엽기판 연결 접속체MR은 노광 기판체 권취기44에 롤 모양의 권취체45로서 감겨진다. 오퍼레이터는 권취체45를 노광 기판체 권취기44로부터 떼어내어 도6에 나타나 있는 바와 같이 현상장치50의 상류측에 설치된 노광 기판체 박리기51에 장착한다. 권취체45가 시계방향으로 회전 함으로써 매엽기판 연결 접속체MR은 X방향으로 풀어 내어진다. 캐리어 필름 권취기52는 반시계방향 또는 시계방향으로 회전하면서, 풀어 내어진 매엽기판 연결 접속체MR의 표리 양면에 열압착된 캐리어 필름13을 반송 롤러53을 통하여 박리한다.

매엽기판20은 레지스트층12로만 덮인 상태로 현상공정5를 X방향으로 진행하여 현상 스프레이55에 의하여 현상액이 살포된다. 이 때 매엽기판20의 이음매가 되어 있는 레지스트층12는 현상액에 의하여 녹기 시작한다. 따라서 서로 연달아 접속하고 있었던 매엽기판20은 현상 중에 서로 연달아 접속하고 있지 않는 원래의 매엽기판20으로 되돌아간다. 현상처리를 끝낸 매엽기판20은 한 장, 한 장 분리되어 컨베이어54에 의하여 X방향으로 반송되어 스택커ST로 들어 간다.

이와 같이 제조공정1에 의하면 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 복수의 매엽기판20은 각 매엽기판20의 표리 양면에 드라이 필름 레지스트10을 열압착함으로써 이웃하는 매엽기판20 상호간을 연달아 접속하여 긴 띠모양의 매엽기판 연결 접속체MR로 된다. 드라이 필름 레지스트10은 패턴을 형성하기 위하여 이용하는 재료이지만, 제조공정1에서는 각 매엽기판20을 연달아 접속시키기 위한 재료로서도 이것을 이용한다. 즉 특별한 접합수단을 이용하지 않고 복수의 매엽기판20을 접합하여 매엽기판 연결 접속체MR로 된다.

매엽기판 연결 접속체MR로 함으로써 종래와 다르게 매엽기판20의 노광 공정4로의 반입을 한 장, 한 장 수작업으로 할 필요가 없다. 그리고 연속적으로 노광 및 현상을 할 수 있기 때문에 제조 효율이 향상된다. 또한 작업 중에 오퍼레이터가 매엽기판20을 손상해버리거나 반입된 먼지에 의하여 연속 불량의 요인을 만들어버리거나 하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제조된 양면 회로기판의 품질의 향상을 기대할 수 있다.

또 매엽기판 연결 접속체MR에 있어서 열압착된 드라이 필름 레지스트10은 일면에 걸쳐 평탄하기 때문에, 노광시에 있어서의 포토 마스크42와의 간격 확보에 지장을 가져오지 않고 각 매엽기판20을 끝까지 유효하게 사용하게 할 수 있다.

매엽기판 연결 접속체MR은 롤 모양의 권취체38에 권취되어 노광공정4로 반입된다. 노광공정4에서는 이 권취체38로부터 매엽기판 연결 접속체MR을 풀어 내어서 노광을 한다. 노광 후의 매엽기판 연결 접속체MR에 관해서도 마찬가지로 롤 모양의 권취체45로 권취하여 현상공정5로 반입된다. 즉 오퍼레이터는 라미네이트 공정3에서 노광공정4로의 매엽기판 연결 접속체MR의 반입 및 노광공정4에서 현상공정5로의 매엽기판 연결 접속체MR의 반입에 있어서 각 권취체38, 45의 착탈(着脫) 작업만으로 끝난다.

또한 제조공정1에 의하면 노광된 매엽기판 연결 접속체MR에 대하여 표리 양면에 열압착된 캐리어 필름13을 박리하고, 그 캐리어 필름13이 박리된 매엽기판 연결 접속체MR에 현상을 한다. 이에 따라 레지스트층12로만 덮여 있는 매엽기판20에 현상액이 살포되어 매엽기판20의 이음매가 되어 있는 레지스트층12는 현상액에 의하여 녹기 시작하여, 서로 연달아 접속하고 있었던 매엽기판20은 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 원래의 매엽기판20으로 되돌아간다. 따라서 연달아 접속한 매엽기판20을 분리해 내는 절단장치를 별도 설치할 필요가 없다.

이 때문에 현상 후 단계의 처리가, 예를 들면 에칭공정6, 솔더 레지스트 인쇄공정7, 도금공정8, 외관검사 공정 또는 오픈쇼트검사 공정과 같은 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20으로서의 처리를 필요로 하는 처리의 경우에 좋다. 또한 매엽기판 연결 접속체MR로 될 때까지는 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20이므로 매엽기판 연결 접속체MR을 형성하기 전 단계의 처리가, 천공공정2 등에서와 같이 한 장, 한 장이 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판20으로서의 처리를 필요로 하는 처리의 경우에 좋다.

양면 회로기판을 매엽기판20으로 제조하는 라인에서는, 띠 모양기판 대응형의 노광장치40을 사용하고, 기설(旣設)의 매엽기판 대응형의 라미네이터가 하류부에 절단장치 및 스택커ST를 구비하고 있는 경우에는 그 절단장치 및 스택커ST를 대신하여 도4와 같이 매엽기판 연결 접속체 권취기36을 사용하고, 또한 기설의 매엽기판 대응형의 현상장치에 있어서의 스택커ST를 대신하여 도6과 같이 노광 기판체 박리기51을 사용할 뿐, 그 이외의 장치는 그대로 대응할 수 있다. 따라서 양면 회로기판을 매엽기판20으로 제조하는 데 있어서, 비싼 로봇을 사용하거나 시스템을 대규모로 개조하거나 하지 않고 저비용으로 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

상기 실시예에 있어서 제조공정1에 있어서의 각 공정의 순서, 처리 내용, 드라이 필름 레지스트10 및 매엽기판20의 재질, 두께, 수량, 각 장치의 구성 등은 본 발명의 취지에 따라 적당하게 변경할 수 있다.

본 발명에 의하면 품질이 좋은 양면 회로기판을 저비용의 장치로 효율적으로 제조할 수 있다.

Claims

표리(表裏) 양면측에 회로 패턴을 구비하는 양면 회로기판을 매엽기판(枚葉基板)으로 제조할 때의 노광(露光) 및 현상방법(現像方法)으로서, 공급된 복수의 매엽기판이 서로 이웃하는 매엽기판끼리 연달아 접속할 수 있게 상기 매엽기판의 표리 각 면에 긴 띠 모양의 드라이 필름 레지스트(dry film resist)를 부착함으로써 복수의 매엽기판의 연결 접속체인 긴 띠 모양의 매엽기판 연결 접속체를 형성한 후에,

상기 매엽기판 연결 접속체를 권취기에 의하여 말아 감아서 권취체를 형성하고,

상기 권취체를 상기 권취기로부터 떼어 내어 매엽기판 연결 접속체 박리기에 장착시키고,

상기 매엽기판 연결 접속체 박리기로부터 상기 권취체를 풀어 내어 상기 매엽기판 연결 접속체에 대하여 노광 및 현상을 하는 것을 특징으로 하는 노광 및 현상방법.
제1항에 있어서,

노광된 상기 매엽기판 연결 접속체에 대하여 그 매엽기판 연결 접속체의 표리 양면에 부착된 드라이 필름 레지스트에 있어서의 캐리어 필름(carrier film)을 박리(剝離)하고, 그 캐리어 필름이 박리된 매엽기판 연결 접속체를 현상하는 것을 특징으로 하는 노광 및 현상방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 현상 후 단계의 처리가, 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판 인 것을 필요로 하는 처리인 것을 특징으로 하는 노광 및 현상방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 복수의 매엽기판의 연결 접속체인 매엽기판 연결 접속체를 형성하기 전 단계의 처리가, 서로 연달아 접속하고 있지 않는 매엽기판인 것을 필요로 하는 처리인 것을 특징으로 하는 노광 및 현상방법.