ATE116789T1 - Vorrichtung zum abschälen eines films. - Google Patents

Vorrichtung zum abschälen eines films.

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ATE116789T1
ATE116789T1 AT86112301T AT86112301T ATE116789T1 AT E116789 T1 ATE116789 T1 AT E116789T1 AT 86112301 T AT86112301 T AT 86112301T AT 86112301 T AT86112301 T AT 86112301T AT E116789 T1 ATE116789 T1 AT E116789T1
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films
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peeling
peeled
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AT86112301T
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English (en)
Inventor
Fumio Hamamura
Shigeo Sumi
Original Assignee
Somar Corp
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013—Removing old coatings

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AT86112301T 1985-09-05 1986-09-05 Vorrichtung zum abschälen eines films. ATE116789T1 (de)

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JP19669485A JPS6256247A (ja) 1985-09-05 1985-09-05 薄膜の剥離装置
JP60280796A JPS62139554A (ja) 1985-12-13 1985-12-13 薄膜剥離方法及びその実施装置
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EP0215397A2 (de) 1987-03-25
DE3650194D1 (de) 1995-02-16
EP0215397B1 (de) 1995-01-04
DE3650194T2 (de) 1995-05-11
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