JPS62180371A - 薄膜浮上用突起押圧装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技ｖＲ］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程によりｆＸＪ
造することができる。まず、絶縁性基板上に設けられた
導電層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを
保護する透光性樹脂フィルｌｂ（保護膜）とからなる積
層体を熱圧着ラミネートする。

この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パター
ンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂フィ
ルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像して
エツチングマスクパターンを形成する。この後、前記Ｒ
，導電層不必要部分をエツチングにより除去し、さらに
残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターンを
有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィル
１１を剥離する工程が必要とされている。この透光性樹
脂フィルムの剥離は１人手作業に頼っており、該フィル
ムが薄いので、剥離応力の偏り等による１員傷、破壊が
生じないようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練
を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている薄
膜の端部をローラー、ブラック、針等でン７かせ、その
浮いた部分を引き起して剥離し、その剥離した薄膜を外
部に自動的に排出するようにしたものである。

しかしながら、従来の自動薄膜剥離装置では、前記薄膜
の端部が基板の端部から不均一な距離に貼り付けられて
いる場合が多いため、薄膜の端部にローラー、ブラッシ
、針等で力を加えて薄膜の端部の所定均一幅だけを浮か
せることが困難であるという問題があった。

また、薄い基板は反りや曲りがあるため、前記基板上の
薄膜を浮かせる手段の位置合せに不都合を生ずるという
問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は１本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち１代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、基板に張り付けられている薄膜を剥離して排
出する薄膜剥離装置に使用するであって。

突起抑圧部材を常時基板側に抑圧するスプリングを介し
て薄膜浮上用突起押圧装置支持部材に摺動可能で着脱自
在に取り付けたことを特徴としたものである。

また、前記突起抑圧部材を常時基板側に抑圧するスプリ
ングを介して突起抑圧部材支持ホルダに摺動可能で着脱
自在に取り付け、この突起抑圧部材支持ホルダを常時基
板側に押圧するスプリングを介して薄膜浮上用突起押圧
装置支持部材に摺動可能で着脱自在に取り付けたことを
特徴としたものである。

［作用］ 本発明は、基板の両面側に設けられているは、基板上に
張り付けられている薄膜を剥離する動作時には、薄膜浮
上用突起押圧装置支持部材が上下動して基板の表面に押
圧される。そして、その状態で前記薄膜浮上用突起押圧
装置支持部材を回転させて、基板上に張り付けられてい
る薄膜を浮上させる。この時、前記薄膜浮上用突起押圧
装置の突起押圧部材の先端又は及び突起抑圧部材支持ホ
ルダは、常時基板側にスプリングで抑圧されているので
、薄膜浮上用突起押圧装置支持部材を回転させても、突
起抑圧部材の先端を基板表面に抑圧した状態で水平方向
に移動させることができる。

また、前記突起抑圧部材支持ホルダは、基板にに設けら
れている位置合せ等に用いられている穴（１ｍ＋ａ〜３
　ｍｍ）よりもその径が大きく構成されているので、突
起抑圧部材の先端が前記明に突き刺さってしまわないす
ることができる。

以下１本発明の薄膜浮上用突起押圧装置一実施例につい
て図面を用いて説明する。

なお、実施例の全回において、同一機能を在するものし
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

〔実施例Ｉ〕

第１図は、本発明の一実施例の薄膜浮上用突起押圧装置
の構成を示す断面図である。

本実施例１の薄膜浮上用突起押圧装置は、第１図に示す
ように、一端にネジ２ＯＡが設けられ。

他端に環状突起部材２０Ｂが設けられた円筒からなる突
起抑圧部材支持ホルダ２０ｔ！−備えている。

この突起抑圧部材支持ホルダ２０の外周面に沿って第１
スプリング２１を挿入し、この状態のまま薄膜浮上用突
起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｃに設けられている貫
通孔Ｂｌに、前記突起抑圧部材支持ホルダ２０のネジ２
ＯＡ側から挿入して突起抑圧部材支持ホルダ位置調整ナ
ツト２２を前記ネジ２ＯＡに螺合して突起抑圧部材支持
ホルダ２０を薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸
）３Ｃに摺動自在に取り付け、固定用ナツト２３で固定
している。

前記第１スプリング２１は、突起抑圧部材支持ホルダ２
０をプリント配線基板側に押圧するためのものである。

前記突起抑圧部材支持ホルダ２０の先端は、アール（Ｒ
）を付けである。このアールを付けることにより、突起
抑圧部材支持ホルダ２０の先端が基板に接触した場合に
その摺動性をよくすることができるので、感光性樹脂層
を損傷することを防止することができる。また、その先
端の近傍に他の装置１例えば、流体吹付装置等のセット
が容易にできる。

前記突起抑圧部材支持ホルダ位置調整ナツト２２は、こ
れと前記第１スプリング２１で薄膜浮上用突起押圧装置
支持部材（回転軸）３Ｃに突起抑圧部材支持ホルダ２０
を摺動自在に支持すると共に、突起抑圧部材支持ホルダ
２０の下端部と突起押圧部材支持ホルダ２０の環状突起
部材２０Ｂとの距１ｉ１１Ｌを調整する役目をしている
。

前記固定用ナツト２３は、突起抑圧部材支持ホルダ位置
調整ナツト２２がゆるまないようするためのものであり
、薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｇと突
起抑圧部材支持ホルダ２０の先端との間の距離りを常に
一定に保持するためのものである。

そして、前記突起抑圧部材支持ホルダ２０の中に突起抑
圧部材２４を摺動自在に挿入し、突起抑圧部材２４の細
くした頭部２４Ａに第２スプリング２５を嵌め込み、突
起抑圧部材支持ホルダ２０に移動可能にネジ込まれてい
るハト目状メジ部材２６の孔に前記細くした頭部２４Ａ
を挿入し、その頭部２４Ａの上部にナツト部材２７で着
脱自在に固定している。

前記第２スプリング２５は、突起抑圧部材２４を基板側
に常時押圧するためのものである。

前記突起抑圧部材２４は、その先端が突起抑圧部材支持
ホルダ２０の環状突起部材２０Ｂより少し突出するよう
に前記ナツト部材２７によって調整可能に装着されてい
る。また、その先端は所定の角度になっている。例えば
、約６０度に構成する。

前記ハト目状ネジ部材２６は、前記突起抑圧部材２４の
突出量を調整するためのものである。

前記ナツト部材２７は、前記突起抑圧部材２４の突出量
を調整すると共に、突起抑圧部材２４を抑圧する第２ス
プリングの強度を調整するためのものである。

次に、本実施例■のプリント配線用基板の薄膜浮上用突
起押圧装置の動作を第１図を用いて説明する。

両面側に設けられている薄膜浮上用突起押圧装置の突起
抑圧部材２４は、プリント配線用基板上に張り付けられ
ている薄膜を剥離する動作時には、薄膜浮上用突起押圧
装置支持部材（回転軸）３Ｃが上下動してプリント配線
用基板の表面の薄膜及び感光膜の前に抑圧される。そし
て、その状態で前記薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（
回転軸）３Ｃを回転させて、プリント配線用基板上に張
り付けられている薄膜を確実に浮上させる。この時。

前記薄膜浮上用突起押圧装置の突起抑圧部材２４の先端
及び又は突起抑圧部材支持ホルダ２０は、常時プリント
配線用基板側に第１スプリング２１で押圧されているの
で、薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転！ｌ１ｌ）
３Ｇを回転させても、その回転及びプリント配線用基板
の厚さに関係なく突起抑圧部材２４の先端をプリント配
線用基板表面に抑圧した状態で水平方向に移動させるこ
とができる。

また、前記突起抑圧部材支持ホルダ２０は、プリント配
線用基板に設けられている位置合せ等に用いられている
穴（１ｍｍ〜３ｍｍ）よりもその径が大きく構成されて
いるので、突起抑圧部材の先端が前記穴に突き刺さって
しまわないようにすることができる。すなわち、突起抑
圧部材２４の前記六等の落ち込みのストッパーの役目を
している。

〔実施例■〕

第２図は、本発明の実施例■の薄膜浮上用突起押圧装置
の構成を示す断面図。

第３図は、前記薄膜浮上用突起押圧装置を薄膜ン％ｌ用
突起押圧装置支持支材に取り付けた状態を示す外観図で
ある。

本実施例■の薄膜浮上用突起押圧装置は、第１図に示す
前記実施例Ｉの薄膜浮上用突起押圧装置を取り付けた部
分、すなわち、薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転
軸）３Ｃと突起抑圧部材支持ホルダ２０との間に、第２
図及び第３図に示すように、ハト目状摺動滑部材２８及
び２９を介在させて突起抑圧部材支持ホルダ２０の摺動
性をよくしたものである。

また、前記突起抑圧部材支持ホルダ２０の側部の所定位
置に適当な穴３０を設け、この穴３０に係合する突起抑
圧部材支持ホルダ回転防止部材３１を薄膜浮上用突起押
圧装置支持部材（回転軸３Ｃ）に設けている。この突起
抑圧部材支持ホルダ回転防止部材３１は、前記突起抑圧
部材支持ホルダ位置調整ナツト部材２２を取り外したと
きに、薄膜浮上用突起押圧装置が落ちないようにする役
目もしている。

また、前記穴３０の大きさは、前記突起抑圧部材支持ホ
ルダ回転防止部材３１が嵌り込んでも突起抑圧部材支持
ホルダ２０が上下に摺動可能な程度の大きさで、突起抑
圧部材支持ホルダ２０が回転しない程度のものである。

また、突起抑圧部材支持ホルダ回転防止部材３１は、こ
れがゆるまないようにロックナツト３２で固定されてい
る。

第４図は、本発明の薄膜浮上用突起押圧装置をプリント
配線用基板の探護膜剥離装置に適用した一例の概略構成
を示す模写側面図、 第５図は、第４図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜の剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第４図及び第５図に示すように、主と
して、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロー
ラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起抑圧機
構３、流体吹付機構４、剥離角度設定板５及び薄膜搬出
機構６が設けられている。

前記プリント配線用基板ｌは、第５図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電層ＩＢが
形成されたものである。このプリント配線用基板１の導
Ｗｉ層ＩＢ上には、感光性樹脂に！ＪＩＣと透光性樹脂
フィルム（保護膜）ＬＤとからなる積層体が熱圧着ラミ
ネートされている。感光性樹脂層ｌＣは所定の配線パタ
ーンフィルムが重ねられ露光された後の状態にある。プ
リント配線用基板ｌは、第４図に示す矢印六方向に搬送
用駆動ローラ２で搬送されるように構成されている。

前記突起抑圧機構３は、第６図（構成図）、第７図（拡
散分解図）に示すように、プリント配線用基板１の両面
側に、夫々複数個の薄膜浮上用突起押圧袋！！３Ａが搬
送方向と交差する方向（プリント配線用基板１の幅方向
）に設けられている。

薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｃの一端
（又は両端）部は、第６図及び第７図に示すように、ガ
イド部材３Ｆのガイド用長穴３ｆを通して移動アーム部
材３Ｇの一端部と回転自在に連結されている。ガイド部
材３Ｆは、図示していないが、薄膜剥離装置本体にビス
等の取付手段で固着されている。ガイド用長穴３ｆは、
プリント配線用基板ｌに近接又はそれから離隔させる方
向（矢印Ｃ方向）に、薄膜浮上用突起押圧装置支持部材
（回転軸３Ｃすなわち突起抑圧部材３Ａをガイドするよ
うに構成されている。

夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は１回転軸３ｈを中
心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転アーム
部材３Ｈの回転軸３ｈを中心として対向する端部に回転
自在に取り付けられている。

回転アーム部材３日は、夫々の移動アーム部材３Ｇを異
なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成されている。

前記薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｃを
ガイドするガイド部材３Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回
転アーム部材３Ｈは、両面兼用駆動源のシャフト３Ｊの
矢印Ｅ方向の動作でプリント配線用基板１の両面側に設
けられた夫々の薄膜浮上用突起抑圧袋ｆｆ！３Ａを互い
に近接させ又は離隔させる突起抑圧機構３のリンク機構
を構成している。シャフト３Ｊは、回転アーム部材３Ｈ
の一端部に連結アーム部材３Ｉを介して接続されている
。

リンク機構を構成する夫々の部材は、鉄、アルミニウム
合金、硬質便脂等の比較的外力に対して変形しずらい材
料で構成する。駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シ
リンダ、電磁ソレノイド等を使用する。また、シャフト
３Ｊは１回転アーム部材３Ｈの一端部に限定されず、一
方の移動アーム部材３Ｇの一端部に連結アーム部材３Ｉ
を介して連結させてもよい。

このようなリンクＪａ構を用いて薄膜厚上用突起押圧装
置！ｔ３Ａと両面兼用駆動源とを連結することにより、
プリント配線用基板ｌの両面側に設けられた夫々の薄膜
厚上用突起抑圧袋ｖｉ３Δのプリント配線用基Ｆｉ１の
表面に接触させ又は離隔させる動作（矢印Ｃ方向の動作
）を行うことができろ。

すなわち、リンクｉ構は、プリント配、線用具に両面側
に、薄膜浮上用突起押圧装置３Δを駆動する駆動源を別
々に設けるこくなく、両面兼用駆動源で両面側の薄膜厚
」二用突起押圧装置３Ａを駆動することができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３１−１が略剛体であり
、夫々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規
定されているので、プリン１〜配線用基板ｌの両面側の
夫々の薄膜浮上用突起押圧装置３Ａの動作量及び動作時
間を夫々同等にしかも正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少なく
１個々の部材が単純（簡単）な形状なので、薄膜浮上用
突起押圧装置３ＡとｒｇＡ動源とを連結する連結機構の
構成を簡単にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記薄膜浮
上用突起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｃの一端（又は
両端）部には、夫々の一端部が固着された突起抑圧部材
回転アーム部材３Ｋが設けられている。夫々の突起抑圧
部材回転アーム部材３にの他端部には、長穴３ｋが設け
られており５両者の長穴３ｋには１両面兼用駆動源のシ
ャフト３Ｌと接続する連結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが
通されている。すなわち、突起抑圧部材回転アーム部材
３には、連結アーム部材３Ｍを介して両面兼用駆動源の
シャフト３Ｌと連結されている。両面兼用駆動源として
は、前述のリンク機構と同様のものを使用すればよい。

前記突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部
材３Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、突
起抑圧部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転させ
るとともに薄膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸）
３Ｃを矢印１＋方向に回転させ、積層体の端部を押圧す
る突起抑圧機構３の突起押圧部材押圧機構を構成するよ
うになっている。

このように構成される突起抑圧部材抑圧機構は。

前述の薄膜浮上用突起抑圧袋ｅ３Ａを近接させ又は離隔
させるリンク機構と同様に、プリント配線用基板１の両
面側の夫々の薄膜浮上用突起押圧装置３Ａを両面兼用駆
動源で動作させることができるとともに、その動作量、
動作時間を正確に制御することができる。

また、突起抑圧部材抑圧機構は、薄膜浮上用突起抑圧袋
！！３Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成
を簡単にすることができる。

このように突起抑圧機構３は、主に、薄膜’ｔＹ上用突
起押圧装置３Ａと、この薄膜浮上用突起押圧装置３Ａを
プリント配、ＶＡ用基板ｌに近接させ又は離隔させるリ
ンク機構と、積層体の端部を薄膜浮上用突起抑圧袋ａ３
Ａで抑圧させる突起抑圧部材抑圧機構とで構成されてい
る。

次に、突起抑圧機構３の動作について、第４図乃至第９
図（プリント配線用基板の要部断面図）とを用いて簡単
に説明する。

まず、図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、例えば、電気的に基板ｌ上に設
けられている薄膜の端部を検出するタッチセンサあるい
は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でこのプリント配線用基板１に設
けられている薄膜の端部が検出されると、第４図及び第
５図に示すピンチローラ２Ａを抑圧手段（図示していな
い）で抑圧してプリン１へ配線用基板１に押し付け、そ
れと搬送用駆動ローラとでプリント配線用基板ｌの搬送
を一時停正させる。

この時、プリント配線基板１の位置がずれないように、
ピンチローラ２Δと対向する搬送用駆動ローラ２の外周
面にゴム等の摩擦係数の大きな材料を設け、プリント配
線用基板１の搬送を確実に停止させてプリント配線用基
板ｌを固定する。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャフ
ト３Ｊを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。こ
の動作で回転アーム部材３！］、移動アーム部材３Ｇ、
ガイド部材３Ｆで構成されるリンク機構が動作し、薄Ｉ
ｖＡ浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｃが矢印
Ｃ方向に移動する。この薄膜浮上用突起押圧装置支持部
材（回転軸）３Ｃの移動により、第８図に示すように、
プリン１〜配線用基板ｌの両面側の夫々の薄膜浮上用突
起押圧装置３Ａの先端部が積層体端部の導電層ＩＢの表
面に接触する。この接触は、弾性部材３Ｄ（又は３Ｅ）
がエネルギを有するように適度な押圧力で行われる。

次に、薄膜浮上用突起押圧装置３Δが導電層ＩＢに接触
した状態において、突起抑圧部材抑圧機構に連結された
両面兼用駆動源のシャフト３Ｌを矢印Ｆ方向（図中、左
方向）に動作させる。この動作で突起抑圧部材回転アー
ム部材３に、連結アーム部材３Ｍで構成される突起抑圧
部材抑圧機構が動作し、薄膜浮上用突起押圧装置支持部
材（回転軸）３Ｇを矢印【（方向に回転させる。この薄
膜浮上用突起押圧装置支持部材（回転軸）３Ｇの回転に
より、第９図に示すように、プリント配線用基板ｌの両
面側の夫々の薄膜浮上用突起押圧装置３Ａの先端部が積
層体端部を押圧する。

このように、プリント配線用基板ｌの感光性樹脂層ｌＣ
及び透光性樹脂フィルムＩＤからなる積層体の端部を、
突起抑圧機構３の薄膜）ｌ上用突起抑圧袋［１’！　３
　Ａで抑圧することにより、感光性樹脂層ＩＣから透光
性樹脂フィルムＩＤの一部を浮上させ、それらの界面に
隙間を生じさせることができる。この隙間は、感光性樹
脂層ＩＣが透光性樹脂フィルムｌＤよりも軟材質で構成
されており、薄膜シフ上用突起押圧装置３Ａの抑圧に対
して感光性樹脂ｒｆｃは塑性変形するが、透光性樹脂フ
ィル、／、、　Ｌ　Ｄは互！性変形する市に感光性樹脂
層ＩＣとの接着力が低下するために生じる。

また、前記透光性樹脂フィルＡｓ　Ｉ　Ｄの端部の１Ｙ
−１−は、針状の浦＋Ｂな構成の薄膜浮上用突起押圧装
置３Δで行うことができる。

また、薄膜浮上用突起叩圧装置３Ａをプリント配線用基
板ｌの搬送経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルム
ＩＤの端部の浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルムｌＤは、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂層１ｃと再度接着されるこ
とはない。

また、プリント配線用基板１に対し積層体が歪んで熱圧
着ラミネートされることを考慮して、プリント配線用基
板１の搬送方向と交差する方向（幅方向）に複数の薄膜
浮上用突起押圧装置３Δを設けであるが、これに限定さ
れない。すなわち。

感光性樹脂５１Ｃと透光性樹脂フィルムＩＤとの一端部
が抑圧され、後者が必らず浮上できるならば、プリント
配線用基板ｌの両面側に夫々１つの薄膜浮上用突起押圧
装置３Δを設けて突起押圧機構３を構成してもよい。

また、プリント配線用基板ｌの搬送方向と交差する方向
（幅方向）に複数の薄膜浮上用突起抑圧袋ｆｆ１３Ａを
設けであるが、これに限定されない。すなわち、感光性
樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの一端部が押圧
され、後者が必らず浮上できるならば、プリント配線用
基板ｌの両面側に夫々１つの薄膜浮上用突起押圧装置３
Ａを設けて突起抑圧機構３を構成してもよい。

また、プリント配線基板装置板ｌの搬送方向と交差する
方向（幅方向）に薄Ｉｌ！！ｉ浮上用突起押圧装置ｉ！
！３Ａを設けであるが、プリント配線用基板ｌの搬送力
向と同一方向であって、ＭＭ体の端部に近傍又は隅角部
近傍に薄膜浮上用突起押圧装置３Δを設けることもでき
る。この場合には、流体吹付機構４のノズル４Ａを薄膜
浮上用突起抑圧袋ｆｆ１３Ａの近傍に設ける。

また、突起抑圧機構３の突起抑圧部材抑圧機構をリンク
機構で構成したが、積層体の端部のプリント配線用基板
ｌの表面に薄膜浮上用突起押圧装置ａＡｔ＆接触した状
態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチローラ２Ａ）を
回転させてプリント配線用基板ｌを微小に搬送し、積層
体の端部を押圧する突起抑圧部材抑圧機構で構成しても
よい。

また、薄膜浮上用突起押圧装置ｉ！３Δを取り付ける貫
通穴の加工精度を高め、しかも簡単に加工できるように
、軸心と交差する方向の薄膜浮上用突起押圧装置支持部
材（回転軸）３Ｃの断面形状を方形状で構成してもよい
。

前記流体吹付機構４は、第４図及び第５図に示すように
、ノズル４Δから圧力を加えた流体１例えば、空気、不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付機構４は、プリント配線用基板１
の感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤが浮−
ヒした両者の隙間部分に流体を直接吹き付けろように構
成されている。そして、流体吹付機構４は、前記隙間部
分に即座に流体を吹き付けられるように、突起抑圧機構
３の近接した位置に構成されている。この流体吹付機構
４のノズル４Ａは、契印Ｊ方向にその設定角度が可変で
きるように構成されている。すなわち、流体吹付機構４
は、流体吹き付は時にできる限り前記隙間部分にノズル
４Ａを近接させ、流体吹き付は後にプリント配線用基板
ｌが接触とない位置にノズル４Ａを退避できるように構
成されている。

このように、薄膜浮上用突起押圧装置３Ａの押圧で生じ
た感光性樹脂層ｌＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの隙間
部分に、流体吹付機構４で流体を吹き付けることにより
、感光性樹脂層ｌＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの間に
流体が吹き込まれるので、感光性樹脂層１ｃから透光性
樹脂フィルムＬＤをｕ　ｌ−に瞬時かつ確実に剥離する
ことができる。

前記流体吹付機構４で剥離された搬送方向の先端側の透
光性樹脂フィルムｌｄは、第５図及び第１０図（要部斜
視図）で示すように、剥離補助板（剥離角度設定板）５
に流体圧で付着し、その剥離位置及び剥離方向の剥離角
度Ｏが設定されろ。

透光性樹脂フィルムｌｄは、第５図及び第１０図におい
て一点鎖線で示している。剥難角度Ｏは、プリント配線
用基板ｌに張り付けられている透光性樹脂フィルムＩＤ
とその状態から引き起された透光性樹脂フィルム１ｄと
がなす角度であり、＃！を直角になるように構成されて
いる。

剥離補助板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感光性樹
脂層ｌＣに損傷、破壊を生じないように、プリント配線
用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィルムＩＤにこ
すれない程度の間隔を置いて設けられている。そして、
しかも、剥離補助板５は、その先端が、流体吹付は時に
は、透光性樹脂フィルムｌＤに密着するように移動可能
に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果の低下を防止
する。また、剥離角度設定板５の先端は、曲率半径の小
さい円孤状になっている。例えば１曲率半径が３■以下
に構成されている。

また、剥離補助板５は、その先端部を薄膜搬出機！６よ
りもプリント配線用基板１側に近接させ、プリント配線
基板１の搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の長さで剥
離方向に所定の長さを有するように構成されている。す
なわち、第１Ｏ図に矢印にで流体の流出方向を示すよう
に、剥離補助板５は、その裏側への流体の吹抜けをでき
る限り防止して剥跪効果を高め、かつ剥離さ九た透光性
樹脂フィルム１ｄの剥離補助板５への付着性を高めるこ
とができる。

剥離補助板５は、図示していないが、ノズル４ＡＡから
の流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けられて
いる。

このように構成される剥離補助板５は、剥離位置を安定
させるとともに、透光性樹脂フィルムＩＤに一様な剥離
力を加えることができる。したがって、剥離補助板５は
、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離時における剥離位置の
変動防止、剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂ＷＪＩ
Ｃを損傷、破壊しないようにすることができる。

なお、剥離補助板５の剥離角度０は、透光性樹脂フィル
ムＩＤの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件変化に
より、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できるように
構成してもよい。また、剥離補助板５は、異なる厚さの
プリント配線用基板１、異なる厚さの感光性樹脂Ｆ！Ｊ
ＩＣや透光性樹脂フィルムｌＤに対応できるように、そ
の位置を移動できるように構成してもよい。この移動は
、例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等で行うことが
できる。

流体吹付機構４で剥離補助板５に付着した透光性樹脂フ
ィルム１ｄは、第４図、第５図及び第１１図（拡散分解
斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機構）
６で剥離しながら搬出されろ。

薄膜搬出Ｊａ構６は、主に；プリント配線用基板ｌの両
面側に夫々設けられた上部搬送ベルトＨｌ　４Ｍと下部
搬送ベルト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第１１図で詳細に示すように、
固定搬送ベルト６Δ、６Ｃ，６Ｄ、６Ｅ。

６Ｆと可！！ｌ］搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸Ｉに支持されたローラ６
　Ａ　ａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ａｂ及びロー
ラ６Ａａと６Δｂとに巻き回されたベルト６ａで構成さ
れている。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｂ　ａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ｂｂ及びローラ
６Ｂａと６Ｂｂとに巻き回されたベルト６ｂで構成され
ている。この可動搬送ベルト６Ｂは、駆動軸■を中心に
第５図に示すように。

矢印り方向に回転するように構成されている。すなわち
、可動搬送ベルト６Ｂは、剥離された透光性樹脂フィル
ム１ｄを剥離補助板５に付着させ易くするとともに、こ
の透光性樹脂フィルム１ｄを固定搬送ベルト６Δとで挟
持して搬送できるように構成されている。また、固定搬
送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂとの挟持は、第１
０図に示す剥離補助板５に設けられた切込部５Ａを通し
て行われる。この切込部５Ａは、剥離補助板５で剥離位
置及び剥離角度が設定された透光性樹脂フィルムｌｄに
固定搬送ベル１−６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとが達し１
両者でそれを挟持できるように構成されている。すなわ
ち、切込部５Δは、固定搬送ベルト６Δと可動搬送ベル
ト６Ｂとで透光性樹脂フィルム１ｄを確実に挟持できる
ように構成されている。

固定搬送ベル１−６Ｃは、駆動軸■に支持されたローラ
６　Ｃｒｒ　、従動軸■に支持されたローラ６Ｃｂ及び
ローラ６　Ｃ，ａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６ｃ
で構成されている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従！！ＩＪ　！Ｉｌｌ　Ｖｌに支持されたローラ
６Ｄｂ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■
に支持されたローラ６Ｄｄ、従動軸■に支持されたロー
ラ６Ｄｅ及びローラ６Ｄａ〜６Ｄｅに巻き回されたベル
ト６ｄで構成されている。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Δ
及び可動搬送ベルト６Ｂで搬送された透光性樹脂フィル
ムｌｄをさらに排出方向に搬送するように構成されてい
る。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６Ｄｅは、第１２図（
要部断面図）で示すように、固定搬送ベルト６Ｃ及び６
Ｄから固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透光性樹脂フィル
ムｌｄを搬送するときに、その搬送力向が大きな角度で
変化するために設けられている。すなわち、ローラ６Ｄ
ｅは、搬送方向が変化するときに、ベルト６Ｃ及び６ｄ
の透光性樹脂フィルムｌｄに接触する側の曲率半径を略
同等にすることができる。

したがって、ｖＱ送送時透光性樹脂フィルムｌｄにシワ
が生じることを防止し、ジャム等の１−ラブルを防止す
ることができる。

また、第１３図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム１ｄの一力の面に接触し、その搬送方向と交
差する透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に所定の間隔で
設けられた複数の固定搬送ベルト６Ｃ（又は６Ｄ）の間
には、透光性樹脂フィルムｌｄの他方の面に接触する固
定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｇ）が設けられている。換二
゛すれば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト
６ｃ及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルムｌｄとの接触
面）が一致しているか、或はそれよりも相手側に食込む
ように、透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に千鳥状に配
置されている。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性樹脂フィルム１ｄ
にその幅方向の張力を与えることができるので、固定搬
送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一にしかも確実に透光性樹脂
フィルムｌｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルムｌｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄの表面
及び側面側を包み込むような形状で搬送されるので、ロ
ーラ６Ｃａ、６Ｃｂとベルｈ６ｃ、又はローラ６　Ｄ　
ａ〜６Ｄａとベルト６ｄとのローラの軸方向のズレを防
止することができる。したがって、搬送時に透光性ｍｓ
フィルム１ｄに加わる挟持力を均一にし、それにシワが
発生することを防止できるので、ジャム等のトラブルを
防止することができる。特に、本実施例の装置は、後述
する上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａを設けて
おり、上部搬送ベルトａｌＲの搬送経路が下部搬送ベル
ト機構のそれよりも長いので。

固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄのように構成することは有
効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ６
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｅで構成さ才し
ている。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第４図及び第５図に示す
ように、前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで搬送された
透光性樹脂フィルム１ｄを装置本体から矢印Ｍ方向に排
出するように構成さオしている。装置本体から排出され
た透光性樹脂フィルムｌｄは、第４図に示す上部透光性
樹脂フィルム排出収納容器７Ａに収納される。この上部
透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａは、装置本体の上
部に着脱自在に取り付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第５図に示すように、固定
搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６Ｈとで構成されてい
る。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６ｇで構成されてい
る。

可ｌ！１ｌｔａ送ベルト６Ｈは、夫々別々の従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６１−！ａ、６ＨＣ
１従動軸（図示していない）に支持されたローラ６　Ｈ
ｂ及びローラ６Ｈａ〜６　Ｈｃに巻き回されたベルト６
ｈで構成されている。

固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６Ｈは、前記上部
搬送ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で剥離位置
及び剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹脂フィル
ム１ｄを剥離しながら搬送する。とともに、矢印０方向
に装置本体から透光性樹脂フィルムｌｄを排出するよう
に構成されている。装置本体から排出された透光性樹脂
フィルムｌｄは、第４図に示す下部透光性樹脂フィルム
排出収納容器７Ｂに収納される。この下部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容１１７Ｂは、装置本体に着脱自在に取
り付けられている。また、前記上部透光性樹脂フィルム
排出収納容１１７Δは下部透光性樹脂フィルム排出収納
容ａ７Ｂの上部に設けられており、装置本体は、占有面
積を縮小しコンパクト化できるように構成されている。

また、前記固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第
５図及び第１１図に示すように、排出される透光性樹脂
フィルムｌｄにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹
き付ける流体噴出機構８が設けられている。このとき、
排出される透光性樹脂フィルル１ｄと流体吹付方向とが
なす角度は、流体の噴出で透光性樹脂フィルム１ｄを確
実に排出方向に誘導できるように、鋭角０１　（０≦０
１≦９０°）に設定されている。

流体噴出機構８は、固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６
Ｇ間及び可動搬送ベルト６Ｈ間に流体が噴出する噴出口
が設けられたパイプで構成されている。流体としては、
圧力を加えた空気、不活性ガス等の気体、水等の液体を
使用する。なお、図示していなイが、流体噴出機構８に
近接した位置には、除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの夫々の排出側に流体噴出機構８を設ける
ことにより、排出される透光性樹脂フィルム１ｄが再度
固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可動搬送ベルト６
Ｈに巻き込まれることを防止するとともに、流体で矢印
Ｍ又はＯ方向に透光性樹脂フィルム１ｄを誘導すること
ができるので、透光性樹脂フィルムｌｄを効率良く上部
又は下部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Δ又は７Ｂ
に排出することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可！
！ｂ搬送ベルト６Ｈ１１ｆｌの夫々の排出側の搬送経路
の近傍には、巻込防止用部材９が設けられており、透光
性樹脂フィルム１ｄが固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ
又は可動搬送ベルト６　Ｈに巻き込まれることを防止し
ている。

また、第５図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置及び可動搬送ベルト６Ｈに近接した位置には、
夫々除電装置１０とイオン拡散袋ｅ１１とが設けられて
いる。除電袋に１０は、イオンを放出し、剥離や搬送時
に透光性樹脂フィルムｌｄが帯電することを低減できる
ように構成されている。イオン拡散装置１１は、除電装
置ｌＯから放出されたイオンを拡散し、透光性樹脂フィ
ルムｌｄの帯電を効率良く低減できるように構成されて
いる。イオン拡散袋！！！１１は１例えば、圧力が加え
られた空気等の流体でイオンを拡散するように構成され
ている。

以上１本発明を実施例にもとずき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変形し得ることはい
うまでもない。

例えば、前記実施例では、薄膜浮上用突起押圧装置支持
部材（回転軸）を回転するようにしたが、本発明は、こ
れを固定形にしてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明によれば、次の効果を奏す
る。

（Ａ）突起抑圧部材を常時プリント配線用基板側に押圧
するスプリングを介して薄膜浮上用突起押圧装置支持部
材に摺動可能で着脱自在に取り付けたことにより、突起
抑圧部材の先端は、常時プリント配線用基板側に第２ス
プリングで抑圧されているので、薄膜浮上用突起押圧装
置支持部材を回転させても、プリント配線用基板の厚さ
及び形状の変化に関係なく突起抑圧部材の先端をプリン
ト配線用基板表面に押圧した状態で水平方向に移動させ
ることができる。

（Ｂ）突起抑圧部材を常時プリント配線用基板側に押圧
するスプリングを介して突起抑圧部材支持ホルダに摺動
可能で着脱自在に取り付け、この突起抑圧部材支持ホル
ダを常時プリント配線用基板側に抑圧するスプリングを
介して薄膜浮上用突起押圧装置支持部材に摺動可能で着
脱自在に取り付けたことにより、前記突起抑圧部材支持
ホルダは、プリント配線用基板に設けられている位置合
せ等に用いられている穴（１ｍｍ〜３ｓ＋■）よりもそ
の径が大きく構成酸されているので、突起抑圧部材の先
端が前記穴に突き刺さってしまわないようにすることが
できる。

（Ｃ）前記＜Ａ）及び（Ｂ）により、前記プリント配線
用基板上に張り付けられている薄膜を、その厚さ、形状
の変化及び端部の位置ずれに関係なく確実に浮上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例■の薄膜浮上用突起押圧装置
の構成を示す断面図、 第２図は、本発明の実施例■の薄膜浮上用突起押圧装置
の構成を示す断面図。 第３図は、第２図の薄膜浮上用突起押圧装置を薄膜浮上
用突起押圧装置支持部材に取り付けた状態を示す外観図
、 第４図は、本発明の薄膜浮上用突起押圧装置をプリント
配線用基板の保、？！！膜剥離装置に適用した一例の概
略構成を示す模写側面図、 第５図は、第４図の要部拡大模写側面図。 第６図は、第４図及び第５図に示す突起抑圧機構の構成
を示す側面図。 第７図は、第６図の拡散分解図、 第８図及び第９図は、第５図に示すプリント配線用基板
の要部断面図、 第１０図は、第４図及び第５図に示す剥離角度設定板の
要部斜視図。 第１１図は、第５図及び第６図に示す薄膜搬出機構の拡
散分解斜視図、 第１２図及び第１３図は、第１１図に示す薄膜搬出機構
の要部断面図である。 図中、ｌ・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性
７！板、ＩＢ・・・導ｆ！！層、ＩＣ・・・感光性樹脂
層、ＩＤ・・・透光性樹脂フィルム、２・・・搬送用駆
動ローラ、３・・・突起押圧機構、３Ａ・・・薄膜浮上
用突起押圧装置、４・・・流体吹付機構、５・・・剥離
補助板（剥離角度設定板）、６・・・薄膜搬出機構であ
る。２０・・・突起抑圧部材支持ホルダ、２４・・・突
起抑圧部材である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられている薄膜を剥離して排出す
   る薄膜剥離装置に使用する薄膜浮上用突起押圧装置であ
   って、突起押圧部材を常時基板側に押圧するスプリング
   を介して薄膜浮上用突起押圧装置支持部材に摺動可能で
   着脱自在に取り付けたことを特徴とする薄膜浮上用突起
   押圧装置。
2. （２）基板に張り付けられている薄膜を剥離して排出す
   る薄膜剥離装置に使用する薄膜浮上用突起押圧装置であ
   って、突起押圧部材を常時基板側に押圧するスプリング
   を介して支持ホルダに摺動自在に取り付け、該支持ホル
   ダを常時基板側に抑圧するスプリングを介して薄膜浮上
   用突起押圧装置支持部材に摺動可能で着脱自在に取り付
   けたことを特徴とする薄膜浮上用突起押圧装置。