JPH0652424B2

JPH0652424B2 - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPH0652424B2
Application number: JP60180843A
Authority: JP
Inventors: 文雄濱村
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1985-08-16
Filing date: 1985-08-16
Publication date: 1994-07-06
Anticipated expiration: 2009-07-06
Also published as: JPS6240462A

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜の剥
離技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は両
面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導電
層上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護
する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層フィ
ルムを熱圧着ラミネートする。この後、配線パターンフ
ィルムを重ね前記パターンフィルム、透光性樹脂フィル
ムを通して、感光性樹脂層に所定時間露光する。そし
て、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエッチングマスク・パターンを形成
する。この後、前記導電層の不必要部分をエッチングに
より除去し、さらに残存する感光性樹脂層を剥離し、所
定の配線パターンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層の現像に際して、透光性樹脂フィルムを剥離する工
程が必要とされている。この透光性樹脂フィルムの剥離
は、人手作業に頼っており、該フィルムが薄いので、剥
離応力の偏り等による損傷，破壊が生じないようにする
ため、指先の器用さ及び非常な熟錬を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題点があった。

又、基板から剥離した後のフィルムについては、基板上
面から剥離したフィルムは基板上方へ排出し、基板下面
から剥離したフィルムは基板下方へ排出していたため、
フィルムを別々に集める必要があり、特に、基板上方に
大きなフィルムだめを配置するのは困難であるという問
題点もあった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成［問題点を解決するための手段］本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本願発明は、搬送中の基板の両面に張り付け
られている薄膜を剥離する剥離装置であって、前記基板
の両面から薄膜をそれぞれ剥離する手段と、前記基板の
両面から剥離した薄膜を、それぞれ基板から遠ざける方
向に搬送する第１の搬送手段と、前記基板の一方の面か
ら剥離した薄膜の搬送方向を転換し、基板搬送経路を横
切って反対側に搬送する第２の搬送手段とを備え、前記
基板の両面から剥離した薄膜を、基板搬送経路に対して
同じ側に排出することを特徴とする。

ここで、本発明の特徴と実施例とを対応させると、（１）本発明の「基板の両面から薄膜をそれぞれ剥離す
る手段」と、実施例の「第３図及び第４図に示すよう
に、プリント配線用基板１の先端が所定位置に来ると、
透光性樹脂フィルム１Ｄの一部を引き起す保護膜引起機
構、すなわち、粘着性回転体４とその駆動手段」が対応
する。

（２）本発明の「前記基板の両面から剥離した薄膜を、
それぞれ基板から遠ざける方向に搬送する第１の搬送手
段」と、実施例の「第１図及び第４図に示すように、剥
離搬送機構６の固定ベルトコンベア６Ａ、薄膜剥離ガイ
ド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６Ｃからなる搬送手段
の部分」が対応する。

（３）本発明の「前記基板の一方の面から剥離した薄膜
の搬送方向を転換し、基板搬送経路を横切って反対側に
搬送する第２の搬送手段」と、実施例の「第１図に示す
ように、複数のローラ６Ｄａと一対のベルト６Ｄｂで構
成される薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄ」が対応する。
なお、第１図において、基板搬送路の下側に設けられて
いる複数のローラ６Ｄａは、剥離された薄膜を確実に落
下させるために設けられたものであり、第１図ではベル
ト６Ｄｂが回巻されていないが、ベルト６Ｄｂを巻回し
てもよい。

［作用］本発明は、搬送中の基板の一方の面から剥離した後の薄
膜の搬送方向を転換し、基板搬送経路を横切って反対側
に搬送するので、例えば基板上面から剥離した薄膜を、
少ない横断面積で基板搬送経路の下側にまとめることが
でき、上下両面の薄膜の集積や搬出が容易となる。

［実施例］以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜の剥離装置
に適用した一実施例について説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

本発明の一実施例のプリント配線用基板の保護膜の剥離
搬送機構の概略構成を第１図に示す。

本実施例のプリント配線用基板の搬送機構は、第１図及
び第２図（第１図の要部の拡大断面図）に示すように、
主として、プリント配線用基板１を搬送する搬送ローラ
２、搬送制御ローラ３で構成されている。

前記プリント配線用基板１は、絶縁性基板１Ａの両面
（又は片面）に銅の導電層１Ｂが形成されたものであ
る。このプリント配線用基板１の導電層１Ｂ上には、感
光性樹脂層１Ｃと透光性樹脂フィルム（保護膜）１Ｄと
からなる積層体が熱圧着ラミネートされており、感光性
樹脂層１Ｃが所定のパターンに露光された後の状態にあ
る。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第１図にＡ
−Ａ線で示される搬送経路において、プリント配線用基
板１を矢印方向に搬送するように構成されている。

そして、前記プリント配線用基板１は、保護薄膜引越し
位置にくると、一時停止するようになっている。このプ
リント配線用基板１の停止は、一般に知られているエア
ーシリンダーにより基板停止押圧部剤をプリント配線用
基板１の先端部の表面の所定位置に押圧することによっ
て行う。

前記保護薄膜引起機構は、プリント配線用基板１の先端
が所定位置に来ると、第３図に示すように、透光性樹脂
フィルム１Ｄの一部を引き起すためのものであり、粘着
性回転体４をプリント配線用基板１の透光性樹脂フィル
ム１Ｄに押し付けて接着し、その状態で持ち上げて透光
性樹脂フィルム１Ｄの一部が確実に引き起すことができ
るようになっている。この粘着性回転体４は、第３図及
び第４図に示すように、円柱形状の回転体の円周面に粘
着性物体４Ａを設け、回転軸４Ｂを中心に可動するアー
ム４Ｃで構成されている。このアーム４Ｃは、歯車機構
５の回転により前記粘着性回転体４を上下動させるため
のものである。そして、第５図に示すように、アーム４
Ｃは、可動搬送ベルト機構のベルトの間に挿入されてい
る。

前記粘着性回転体４は、プリント配線用基板１の先端部
が搬送制御ローラ３の制御で所定の位置に設定される
と、第４図に示すように、アーム４Ｃが矢印Ｂ方向に可
動し、粘着性物体４Ａが透光性樹脂フィルム１Ｄの先端
部に当接するようになっている。この後、第４図に示す
ように、搬送制御ローラ３でプリント配線用基板１を搬
送方向に搬送するとともに、アーム４Ｃを矢印Ｃ方向に
可動させると、粘着性物体４Ａで透光性樹脂フィルム１
Ｄの先端部が引き起される。この時、透光性樹脂フィル
ム１Ｄと感光性樹脂層１Ｃとの接着力に比べて、感光性
樹脂層１Ｃと導電層１Ｂ，絶縁性基板１Ａと導電層１Ｂ
との接着力の方が強いため、感光性樹脂層１Ｃは剥離す
ることはない。

このように、簡単な構成の粘着性回転体４を設けること
により、接着力の弱い透光性樹脂フィルム１Ｄの一部を
簡単に引き起すことができる。しかも、粘着性回転体４
を当接して引き上げるだけで透光性樹脂フィルム１Ｄの
一部を引き起すことができるので、機械的な衝撃を与え
ることがなく、感光性樹脂層１Ｃの損傷，破壊を生じる
ことがない。

また、プリント配線用基板１の搬送経路に粘着性回転体
４を設けたことにより、透光性樹脂フィルム１Ｄの一部
を自動的に引き起すことができる。

剥離搬送機構６は、固定ベルトコンベア６Ａ、薄膜剥離
ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６Ｃ及び薄膜排出
用搬送ベルト機構６Ｄで構成されている。

固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第４図及び第６図
の要部斜視図で示すように、一対のローラ６Ａ_ａ，６Ａ
_ａ′を複数設け、各一対のローラ６Ａ_ａ，６Ａ_ａ′に巻
回されたベルト６Ａ_ｂで構成されている。

可動ベルトコンベア６Ｃは、第１図，第４図及び第５図
で示すように、一対のローラ６Ｃ_ａ，６Ｃ_ａ′を複数設
け、各一対のローラ６Ｃ_ａ，６Ｃ_ａ′に巻回されたベル
ト６Ｃ_ｂで構成されている。

この可動ベルトコンベア６Ｃは、一方のローラ６Ｃ_ａを
中心にエアーシリンダ６Ｃ_ｃで可動し、固定ベルトコン
ベア６Ａのベルト６Ａ_ｂ又は薄膜剥離ガイド部材６Ｂに
近接又は接触するように構成されている。可動ベルトコ
ンベア６Ｃは、粘着性回転体４で剥離された透光性樹脂
フィルム１Ｄを薄膜剥離ガイド部材６Ｂに確実に保持す
るようになっている。

前記固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコンベア６Ｃ
で、粘着性回転体４で剥離された透光性樹脂フィルム１
Ｄを挟持し（第４図の点線で示す位置）、それぞれの一
対のローラ６Ａ_ａ，６Ａ_ａ′及び一対のローラ６Ｃ_ａ，
６Ｃ_ａ′を駆動させることにより、順次剥離して排出す
るように構成されている。

前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコンベア６
Ａ側の薄膜剥離装置の筺体に設けられており、前記ベル
ト６Ａ_ｂ間に配置されている。

この薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、透光性樹脂フィルム１
Ｄの剥離時における剥離位置の変動防止，剥離応力の偏
りの防止ができ、かつ、感光性樹脂層１Ｃが損傷，破壊
しないようにするために、引き起された透光性樹脂フィ
ルム１Ｄの剥離角度θ（基板１の搬送方向から見た角
度）がプリント配線用基板１に対して例えば鈍角となる
ように、透光性樹脂フィルム１Ｄを剥離ガイドするよう
な構造になっている。そして、薄膜剥離ガイド部材６Ｂ
の先端は、プリント配線用基板１にこすれない程度の間
隔を置いて設けられている。

また、薄膜剥離ガイド部材６Ｂの先端は、その断面が曲
率半径の小さい円弧状になっている。例えば、曲率半径
が３mm以下に構成されている。

このように薄膜剥離ガイド部材６Ｂを設けることによ
り、剥離位置を安定させると共に、透光性樹脂フィルム
１Ｄ及び感光性樹脂層１Ｃに一様な剥離力を加えること
ができる。

前述のように、剥離搬送機構６は、固定ベルトコンベア
６Ａ、薄膜剥離ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６
Ｃで構成することにより、粘着性回転体４で引き起され
た透光性樹脂フィルム１Ｄは、薄膜剥離ガイド部材６Ｂ
にガイドされ、固定ベルトコンベア６Ａと可動ベルトコ
ベア６Ｃで挟持されて剥離しながら搬送され、第４図に
矢印OUTで示す排出方向に排出することができる。

前記薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、第１図に示すよ
うに、複数のローラ６Ｄ_ａと一対のベルト６Ｄ_ｂで構成
されている。この薄膜排出用搬送ベルト機構６Ｄは、プ
リント配線用基板１の上面側の透光性樹脂フィルム１Ｄ
の搬送方向を転換し、基板搬送経路Ａ−Ａを横切って、
その下側に排出するように構成されている。なお、基板
上面側の剥離フィルムは、基板が搬送経路上に存在しな
いタイミングで、基板搬送経路を横切るように、フィル
ム搬送ベルト機構の長さや送り速度が調整されている。

なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアーシリンダ
６Ｃ_ｃに代えて、電磁ソレノイドや油圧シリンダで可動
するように構成してもよい。

このように、プリント配線用基板１の搬送経路に、薄膜
剥離装置を設けたことにより、プリント配線用基板１の
透光性樹脂フィルム１Ｄの一部を粘着性回転体４で引き
起し、この後に剥離搬送機構６により透光性樹脂フィル
ム１Ｄを簡単に剥離しながら搬送し、そして、剥離され
た透光性樹脂フィルム１Ｄを確実に排出することが自動
的に行うことができるので、作業時間を大幅に短縮する
ことができる。

前記薄膜剥離装置で透光性樹脂フィルム１Ｄが剥離され
ると、プリント配線用基板１は、搬送制御ローラ３及び
搬送ローラ２で感光性樹脂層１Ｃを現像する現像装置に
搬送される。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得
ることは勿論である。

例えば、前記薄膜剥離ガイド部材６Ｂは、第７図に示す
ように、複数の棒状部材で格子状に形成したものでもよ
い。ただし、この薄膜剥離ガイド部材６Ｂの先端部材
は、その断面が曲率半径の小さい円弧状の構造になって
いる。

また、薄膜剥離搬送手段は、回転ローラと回転ローラを
組み合せたもの、固定ベルトと固定ベルトを組み合せた
もの、回転ローラにフィルムを巻き込む方式のもの、吸
盤の吸引力を用いて薄膜剥離搬送する方式のもの等を用
いでもよい。

また、前記実施例は、プリント配線用基板の薄膜の剥離
装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明
は、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の
剥離装置に適用してもよい。

（３）効果以上説明したように、本発明によれば、搬送中の基板の
一方の面から剥離した後の薄膜の搬送方向を転換し、基
板搬送経路を横切って反対側に排出するようにしたの
で、例えば基板上面から剥離した薄膜を、少ない横断面
積で基板搬送経路の下側にまとめることができ、上下両
面の薄膜の集積や搬出が容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離搬送機構の概略構成を示す断面図、第２図は、第１図の搬送機構の要部の拡大斜視図、第３図は、本実施例の薄膜引起機構の原理を説明するた
めの図、第４図は、第１図の剥離搬送機構の要部の概略構成を示
す拡大断面図、第５図は、第１図の薄膜剥離機構の概略構成を示す斜視図、第６図は、第１図の固定ベルトコンベア及び薄膜剥離ガ
イド部材の要部の概略構成を示す斜視図、第７図は、薄膜剥離ガイド部材の他の実施例の概略構成
を示す斜視図である。図中、１……プリント配線用基板、１Ａ……絶縁性基
板、１Ｂ……導電層、１Ｃ……感光性樹脂層、１Ｄ……
透光性樹脂フィルム（保護膜）、２……搬送ローラ、３
……搬送制御ローラ、４……粘着性回転体、４Ａ……粘
着性物体、４Ｂ……回転軸、４Ｃ……アーム、５……歯
車機構、６……剥離搬送機構、６Ａ……固定ベルトコン
ベア、６Ｂ……薄膜剥離ガイド部材、６Ｃ……可動ベル
トコンベア、６Ｄ……薄膜排出用搬送ベルト機構であ
る。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送中の基板の両面に張り付けられている
薄膜を剥離する剥離装置であって、前記基板の両面から
薄膜をそれぞれ剥離する手段と、前記基板の両面から剥
離した薄膜を、それぞれ基板から遠ざける方向に搬送す
る第１の搬送手段と、前記基板の一方の面から剥離した
薄膜の搬送方向を転換し、基板搬送経路を横切って反対
側に搬送する第２の搬送手段とを備え、前記基板の両面
から剥離した薄膜を、基板搬送経路に対して同じ側に排
出することを特徴とする薄膜剥離装置。