JPH059019B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (1) 発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離装置に関するものであ
り、特に、基板の表面を保護するために張り付け
られた保護膜の剥離装置に適用して有効な技術に
関するものである。

［従来の技術］ コンピユータ等の電子機器で使用されるプリン
ト配線板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性
基板の片面又は両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程によ
り製造することができる。まず、絶縁性基板上に
設けられた導電層上に、感光性樹脂（フオトレジ
スト）層とそれを保護する透光性樹脂フイルム
（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
する。この後、配線パターンフイルムを重ね、こ
の配線パターンフイルム及び前記透光性樹脂フイ
ルムを通して、感光性樹脂層に所定時間露光す
る。そして、透光性樹脂フイルムを剥離した後、
露光された感光性樹脂層を現像してエツチングマ
スクパターンを形成する。この後、前記導電層の
不必要部分をエツチングにより除去し、さらに残
存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パター
ンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、
感光性樹脂層を露光後現像するに際して、透光性
樹脂フイルムを剥離する工程が必要とされてい
る。この透光性樹脂フイルムの剥離は、人手作業
に頼つており、該フイルムが薄いので、剥離応力
の偏り等による損傷、破壊が生じないようにする
ため、指先の器用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フイルムの剥離時間が増
大するので、プリント配線板の製造工程における
作業時間が長くなるという問題点があつた。

なお、本発明の解決しようとする前記ならびに
その他の問題点と新規な特徴は、本明細書の記述
及び添付図面によつて明らかになるであろう。

(2) 発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的な
ものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられた薄
膜を自動的に剥離する剥離装置であつて、前記薄
膜の一部を引き起して前記基板と薄膜の密着を緩
める薄膜引起位置まで、前記基板を搬送する基板
搬送手段と、該基板搬送手段により薄膜引起位置
に基板が搬送されると、前記薄膜の一部を引き起
して前記基板との密着を緩める薄膜引起手段と、
該薄膜引起手段で引き起された薄膜と基板との間
に、流体を吹き込んで、薄膜の先端部を立ち上げ
る流体吹付手段と、該流体吹付手段により流体を
吹き込んで立ち上がつた薄膜が、基板後方に倒れ
てしまわないように、少なくとも薄膜排出手段に
より薄膜先端部が挾持されるまでは、先端が前記
基板の表面に近接して配置され、前記流体吹付手
段で基板から剥離する薄膜の剥離角度を設定する
と共に、剥離された薄膜の一部を付着させてガイ
ドする剥離薄膜ガイド部材と、剥離薄膜ガイド部
材によつてガイドされた薄膜をベルトで狭持して
排出する薄膜排出手段とを設けたことを特徴とす
る。

［作用］ 本発明は、前記薄膜引起手段で薄膜を引起き起
し、その引き起された薄膜と基板との間に流体を
吹き付けて薄膜を剥離薄膜ガイド部材でガイドさ
れる方向に剥離し、その剥離された薄膜を薄膜排
出手段で排出するので、剥離力が薄膜に一様に安
定して加えられる。

［実施例］ 以下、プリント配線用基板の保護膜の剥離装置
に適用した本発明の一実施例について説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有す
るものは同一符号を付け、そのくり返しの説明は
省略する。

本発明の一実施例である保護膜の剥離装置を第
１図の概略断面図で示す。

保護膜の剥離装置は、第１図に示すように、薄
膜引起装置と薄膜剥離装置で構成されてい
る。

薄膜引起装置は、第１図及び第２図に示すよ
うに、主として、プリント配線用基板１を搬送す
る搬送ローラ２、搬送制御ローラ３及び薄膜引起
部材４で構成されている。

前記プリント配線用基板１は、絶縁性基板１Ａ
の両面（又は片面）に銅等の導電層１Ｂが形成さ
れたものである。このプリント配線用基板１の導
電層１Ｂ上には、感光性樹脂層１Ｃと透光性（保
護）樹脂フイルム１Ｄとからなる積層体が熱圧着
ラミネートされており、感光性樹脂層１Ｃは所定
の配線パターンに露光させた後の状態にある。

前記搬送ローラ２及び搬送制御ローラ３は、第
１図にＡ−Ａ線で示される搬送経路において、プ
リント配線用基板１を矢印方向に搬送するように
構成されている。そして、前記プリント配線基板
１は、必要に応じて、薄膜引き起し位置に来る
と、一時停止するようにしてもよい。このプリン
ト配線基板１の停止は、一般に知られているエア
シリンダーにより基板停止押圧部材をプリント配
線基板１の先端部の表面の所定位置に押圧するこ
とによつて行う。

前記薄膜引起部材４は、プリント配線用基板１
の先端が当接すると、第３図に示すように、透光
性樹脂フイルム１Ｄの一部を引き起すように構成
されている。この薄膜引起部材４は、回転体の外
周部に樹脂、鋼等の複数の硬質針で構成されるブ
ラシが設けられたものである。そして、このブラ
シのそれぞれの硬質針の長さは不揃いに構成され
ている。これは、薄膜引起部材４とプリント配線
用基板１との当接に多少のバラツキが生じても、
透光性樹脂フイルム１Ｄの一部が確実に引き起せ
るようにするためである。また、薄膜引起部材４
は、透光性樹脂フイルム１Ｄの一部を引き起した
後に、第２図に矢印Ｂで示すように、搬送経路か
ら離隔するように構成してもよい。これは、薄膜
引起部材４のブラシが、感光性樹脂層１Ｃに損
傷、破壊を生じさせることを防止するためであ
る。

このように、回転体にブラシを設けた簡単な構
成の薄膜引起部材４を設けることにより、感光性
樹脂層１Ｃに比べて接着力の弱い透光性樹脂フイ
ルム１Ｄの一部を簡単に引き起すことができる。

また、プリント配線用基板１の搬送経路に薄膜
引起部材４を設けたことにより、透光性樹脂フイ
ルム１Ｄの一部を自動的に引き起すことができ
る。

また、一部が引き起された透光性樹脂フイルム
１Ｄは、薄膜剥離装置に搬送される間に搬送ロ
ーラ２又は搬送制御ローラ３で押圧されるが、熱
を加えて圧着していないので、感光性樹脂層１Ｃ
に再度接着することはない。

前記薄膜剥離装置は、主として、第１図及び
第４図で示すように、搬送ローラ２、搬送制御ロ
ーラ３、流体吹付装置５、薄膜排出装置６で構成
されている。

前記流体吹付装置５は、ノズル５Ａから圧力を
加えた流体、例えば、空気、不活性ガス等の気
体、水等の液体が吹出すように構成されている。
この流体吹付装置５は、搬送制御ローラ３で所定
の位置に搬送されたプリント配線用基板１の引き
起された透光性樹脂フイルム１Ｄと感光性樹脂層
１Ｃ（基板）との間部に流体を直接吹き付けるよ
うに構成されている。

このように、一部が引き起された透光性樹脂フ
イルム１Ｄと感光性樹脂層１Ｃとの間部に流体吹
付装置５で流体を吹き付けることにより、感光性
樹脂層１Ｃと透光性樹脂フイルム１Ｄとの間に流
体が吹き込まれるので、透光性樹脂フイルム１Ｄ
を簡単にしかも瞬時に剥離することができる。そ
して、剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄを排出
するように構成されている。

薄膜排出装置６は、固定ベルトコンベア６Ａ、
剥離薄膜ガイド部材６Ｂ、可動ベルトコンベア６
Ｃ及び排出ベルト機構６Ｄで構成されている。

固定ベルトコンベア６Ａは、第１図、第５図で
示すように、一対のローラ６Aa，６Aa′を複数
設け、各一対のローラ６Aa，６Aa′に巻回され
たベルト６Abで構成されている。

剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、固定ベルトコンベ
ア６Ａ側の薄膜剥離装置の筐体に設けられてお
り、そのガイド面にベルト６Abがスライドする
ように構成されている。この剥離薄膜ガイド部材
６Ｂは、流体吹付装置５で剥離された透光性樹脂
フイルム１Ｄを、液体吹付装置５からの関接的な
流体圧又は剥離したときに生じる静電気で付着さ
せるように構成されている。

また、剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、透光性樹脂
フイルム１Ｄの剥離角度θ₁を設定するように構成
されている。

剥離薄膜ガイド部材６Ｂは、剥離された透光性
樹脂フイルム１Ｄを充分に付着保持すると共に、
剥離位置の変動、剥離応力の偏り等を生じないよ
うに、プリント配線基板１の搬送方向に対して略
垂直な角度θ₁又はそれ以上の角度（鈍角）で構成
する。このように構成することにより、透光性樹
脂フイルム１Ｄの剥離の際に、感光性樹脂層１Ｃ
に生じる応力を小さくできるので、感光性樹脂層
１Ｃの損傷、破壊を防止することができる。

可動ベルトコンベア６Ｃは、第１図及び第４図
で示すように、一対のローラ６Ca，６Ca′を複数
設け、各一対のローラ６Ca，６Ca′に巻回された
ベルト６Cbで構成されている。この可動ベルト
コンベア６Ｃは、一方のローラ６Ca′を中心にエ
アーシリンダ６Ccで可動する。第４図の矢印Ｃ
は、可動ベクトルコンベア６Ｃの可動方向を示し
ている。可動ベクトルコンベア６Ｃは、実線の矢
印Ｃの示している方向に可動し、固定ベルトコン
ベア６Ａのベルト６Ab又は剥離薄膜ガイド部材
６Ｂに近接又は接触するように構成されている。
また、可動ベクトルコンベア６Ｃは、点線の矢印
Ｃの示している方向に可動し、固定ベルトコンベ
ア６Ab又は剥離薄膜ガイド部材６Ｂから遠ざか
るように構成されている。

可動ベクトルコンベア６Ｃは、流体吹付装置５
で剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄを挟持し、
この透光性樹脂フイルム１Ｄを剥離しながら排出
するように構成されている。

このように、剥離薄膜装置６を固定ベクトルコ
ンベア６Ａ、剥離薄膜ガイド部材６Ｂ及び可動ベ
クトルコンベア６Ｃで構成することにより、流体
吹付装置５で剥離された透光性樹脂フイルム１Ｄ
の剥離角度を設定し、透光性樹脂フイルム１Ｄの
剥離位置の変動、剥離応力の偏り等を防止すると
共に、透光性樹脂フイルム１Ｄを固定ベルトコン
ベア６Ａと可動ベルトコンベア６Ｃとで確実に保
持しながら、第４図に矢印outで示す排出方向に
排出することができる。

排出ベルト機構６Ｄは、第１図に示すように、
複数のローラ６Daと一対のベルト６Dbで構成さ
れている。この排出ベルト機構６Ｄは、プリント
配線基板１の上面側の透光性樹脂フイルム１Ｄを
排出するように構成されている。

なお、前記可動ベルトコンベア６Ｃは、エアー
シリンダ６Ccに代えて、電磁ソレノイドや油圧
シリンダで移動するように構成してもよい。

このように、プリント配線基板１の搬送経路
に、薄膜引起装置及び薄膜剥離装置を設けた
ことにより、プリント配線基板１の透光性樹脂フ
イルム１Ｄの一部を引き起し、この後に流体吹付
装置５で透光性樹脂フイルム１Ｄを簡単にしかも
瞬時に剥離し、そして、剥離された透光性樹脂フ
イルム１Ｄを確実に排出することが自動的に行え
るので、作業時間を大幅に短縮することができ
る。

前記薄膜剥離装置で透光性樹脂フイルム１Ｄ
が剥離されると、プリント配線基板１は、搬送制
御ローラ３及び搬送ローラ２で感光性樹脂層１Ｃ
を現像する現像装置に搬送される。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、
種々変形し得ることは勿論である。

例えば、本発明は、前記ブラシの構成材とし
て、鋼、樹脂以外に透光性樹脂フイルム１Ｄを引
き起す程度の硬度を有するものであればどのよう
なものであつてもよい。また、ブラシの形状は、
針状のものに代えて、板状のものであつてもよ
い。

また、前記実施例は、ブラシで構成される薄膜
引起部材４で透光性樹脂フイルム１Ｄの一部を引
き起したが、本発明は、粘着テープで構成される
薄膜引起部材で透光性樹脂フイルム１Ｄの一部を
引き起してもよい。

また、前記実施例は、固定ベルトコンベア６Ａ
及びそれと連動する剥離薄膜ガイド部材６Ｂを非
可動状態で構成したが、本発明は、固定ベルトコ
ンベア６Ａ及びそれと連動する剥離薄膜ガイド部
材６Ｂを可動するように構成してもよい。具体的
には、例えば、まず、前記第４図に示す状態にお
いて、流体吹付装置５で剥離された透光性樹脂フ
イルム１Ｄを剥離薄膜ガイド部材６Ｂに付着させ
る。次に、固定ベルトコンベア６Ａが基板１から
垂直に離れる方向（第４図の上下方向）に、固定
ローラ６Aa，６Aa′及び剥離薄膜ガイド部材６
Ｂを可動し、固定ローラ６Aaとプリント配線基
板１に接着されている透光性樹脂フイルム１Ｄと
の間に空間を形成する。そして、可動ベルトコン
ベア６Ｃで透光性樹脂フイルム１Ｄを保持した
後、前記空間部分に流体を吹き付けるようにノズ
ル５Ａを５A′の位置に移動し、このノイズ５
A′から空間部に流体を吹き付ける。このように、
固定ベルトコンベア６Ａ及び剥離薄膜ガイド部材
６Ｂを移動させてプリント配線基板１との間に空
気を形成し、この空間部分に流体を吹き付けるこ
とになり、剥離薄膜ガイド部材６Ｂも後部のプリ
ント配線基板１に接着されている透光性樹脂フイ
ルム１Ｄと感光性樹脂層１Ｃとの間に流体が吹き
込まれ、透光性樹脂フイルム１Ｄを広い面積で瞬
時にかつ確実に剥離することができる。

また、前記実施例は、プリント配線基板の薄膜
の剥離装置に本発明を適用した例について説明し
たが、本発明は、例えば、建築材に使用される化
粧板を覆う保護膜の剥離装置に適用してもよい。

(3) 効果 以上説明したように、本発明によれば、以下に
述べる効果を得ることができる。

〈１〉 基板に張り付けられている薄膜を剥離す
る剥離装置であつて、前記基板に張り付けられ
ている薄膜の一部を引き起す薄膜引起手段と、
前記引き起された薄膜と基板との間部に、流体
を吹き付ける流体吹付手段とを備えたことによ
り、前記基板に張り付けられた薄膜の一部を引
き起し、この部分に流体を吹き付けて、簡単に
しかも瞬時に基板から薄膜を剥離することがで
きるので、薄膜を剥離する作業時間を著しく短
縮することができる。

〈２〉 前記〈１〉の構成に、前記流体吹付手段
で基板から剥離された薄膜の剥離角度を設定す
る剥離薄膜ガイド部材を備えることにより、剥
離時の薄膜剥離角度を直角から鈍角に設定でき
るので、薄膜の剥離位置の変動、剥離応力の偏
り等を防止することができ、かつ、薄膜剥離の
際に、感光性樹脂層に生じる応力を小さくでき
るので、感光性樹脂層の損傷、破壊を防止する
ことができる。

〈３〉 前記〈２〉の構成に、剥離薄膜ガイド部
材の先端と基板表面間の距離が薄膜排出手段に
より薄膜の先端部が挟持された後は、大となる
ように構成したことにより、剥離薄膜ガイド部
材と透光性樹脂フイルムとの間に空間を形成す
ることができ、剥離薄膜ガイド部材より後部の
薄膜を広い面積で瞬時かつ確実に、感光性樹脂
層の損傷、破壊等を起すことなく、剥離するこ
とができる。

〈４〉 前記〈２〉の構成に、剥離薄膜ガイド部
材でガイドされる薄膜を排出する薄膜排出手段
を備えたことにより、剥離された薄膜を自動的
に排出することができるので、作業時間をさら
に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である保護膜の剥
離装置の概略断面図、第２図は、第１図の薄膜引
起装置の拡大断面図、第３図は、第２図のプリン
ト配線基板の拡大断面図、第４図は、第１図の薄
膜剥離装置の拡大断面図、第５図は、第４図の固
定ベルトコンベア及び剥離薄膜ガイド部材の要部
斜視図である。 図中、……薄膜引起装置、……薄膜剥離装
置、１……プリント配線基板、１Ａ……絶縁性基
板、１Ｂ……導電層、１Ｃ……感光性樹脂層、１
Ｄ……透光性樹脂フイルム（保護膜）、２……搬
送ローラ、３……搬送制御ローラ、４……薄膜引
起部材、５……流体吹付装置、６……薄膜排出装
置、６Ａ……固定ベルトコンベア、６Ｂ……剥離
薄膜ガイド部材、６Ｃ……可動ベルトコンベア、
６Ｄ……排出ベルト機構である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 基板に張り付けられた薄膜を自動的に剥離す
   る剥離装置であつて、前記薄膜の一部を引き起し
   て前記基板と薄膜の密着を緩める薄膜引起位置ま
   で、前記基板を搬送する基板搬送手段と、該基板
   搬送手段により薄膜引起位置に基板が搬送される
   と、前記薄膜の一部を引き起して前記基板との密
   着を緩める薄膜引起手段と、該薄膜引起手段で引
   き起された薄膜と基板との間に、流体を吹き込ん
   で、薄膜の先端部を立ち上げる流体吹付手段と、
   該流体吹付手段により流体を吹き込んで立ち上が
   つた薄膜が、基板後方に倒れてしまわないよう
   に、少なくとも薄膜排出手段により薄膜先端部が
   挾持されるまでは、先端が前記基板の表面に近接
   して配置され、前記流体吹付手段で基板から剥離
   する薄膜の剥離角度を設定すると共に、剥離され
   た薄膜の一部を付着させてガイドする剥離薄膜ガ
   イド部材と、剥離薄膜ガイド部材によつてガイド
   された薄膜をベルトで挟持して排出する薄膜排出
   手段とを設けたことを特徴とする薄膜の剥離装
   置。 ２ 前記剥離薄膜ガイド部材は、その先端と前記
   基板表面間の距離が、前記薄膜排出手段により薄
   膜の先端部が挟持された後に、大となる構成にな
   つていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   に記載の薄膜の剥離装置。 ３ 前記薄膜排出手段は、前記剥離薄膜ガイド部
   材を設けた固定ベルトコンベアと、剥離薄膜を挟
   持する可動ベルトコンベアとからなり、該可動ベ
   ルトコンベアは、前記流体吹付手段による流体吹
   き込み前では前記固定ベルトコンベアから離さ
   れ、流体吹き込み後には固定ベルトコンベアに当
   接するように閉じられ、前記剥離薄膜ガイド部材
   に付着された薄膜を挟持して排出する構成になつ
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
   は第２項に記載の薄膜の剥離装置。 ４ 前記固定ベルトコンベアは、前記薄膜の幅方
   向に分割され、前記剥離薄膜ガイド部材がその間
   に設けられていることを特徴とする特許請求の範
   囲第３項に記載の薄膜の剥離装置。