JP6349196B2

JP6349196B2 - シート剥離装置および剥離方法

Info

Publication number: JP6349196B2
Application number: JP2014161838A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2014-08-07
Filing date: 2014-08-07
Publication date: 2018-06-27
Anticipated expiration: 2034-08-07
Also published as: JP2016039262A

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。

従来、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。

特開２００５−１７５２５３号公報特開２０１０−１６５９０１号公報

しかしながら、特許文献１に記載のシート剥離装置は、被着体から接着シートを剥離するための剥離用接着シートが必要になるため、ランニングコストが増加するという不都合がある。
また、特許文献２に記載のシート剥離装置は、接着シートの端部に吸着パッドを当接させて吸引する構成であるため、接着シートが吸着パッドの形状に倣って円錐状に変形しようとすることで、被着体と接着シートとの間に空気が入らず、被着体と当該被着体を支持する支持面との間に空気が入ってしまう場合があり、被着体が接着シートとともに持ち上げられて破損してしまうおそれがある。

本発明の目的は、ランニングコストを低減することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、接着シートを剥離する際に、被着体が接着シートとともに持ち上げられて破損してしまうことを防止できるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。

本発明のシート剥離装置は、被着体に貼付された接着シートの端部を捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する剥離開始部形成手段と、前記剥離開始部を把持する把持手段とを備え、前記剥離開始部形成手段は、前記接着シートの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートの端部を捲り上げる雰囲気吸込手段を備え、前記被着体と把持手段とが相対移動することで、前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とする。

本発明のシート剥離装置において、前記剥離開始部形成手段は、前記雰囲気吸込手段による前記接着シートの捲り上げを補助する捲り上げ補助手段を備えていることが好ましい。
本発明のシート剥離装置において、前記把持手段は、前記剥離開始部を把持する一対の把持部材を備え、当該一対の把持部材のうちの一方の把持部材は、前記剥離開始部が形成される領域を前記接着シートの所定の領域に抑制する剥離開始部抑制手段を備えていることが好ましい。

本発明のシート剥離方法は、被着体に貼付された接着シートの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートの端部を捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する工程と、前記剥離開始部を把持手段で把持する工程と、前記被着体と前記把持手段との相対移動によって、当該被着体から前記接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とする。

以上のような本発明によれば、接着シートの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートの端部を捲り上げるため、剥離用接着シートを用いる必要がなく、ランニングコストを低減することができる。
また、接着シートの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートの端部を捲り上げるため、被着体が接着シートとともに持ち上げられて破損してしまうことを防止することができる。

また、剥離開始部形成手段が捲り上げ補助手段を備えていれば、より確実に接着シートの端部を捲り上げることができる。
さらに、一対の把持部材のうちの一方の把持部材が剥離開始部抑制手段を備えていれば、剥離開始部が無作為に広がってしまうことを抑制しつつ、当該剥離開始部を他方の把持部材とで簡単に把持することができる。

本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。図１のシート剥離装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

図１において、シート剥離装置１０は、被着体としてのウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳの端部を捲り上げることで、当該接着シートＡＳにウエハＷＦから部分的に剥離した剥離開始部ＡＳ１（図２参照）を形成する剥離開始部形成手段２０と、剥離開始部ＡＳ１を把持する把持手段３０とを備え、ウエハＷＦと把持手段３０とが相対移動することで、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離可能に設けられている。なお、本実施形態の場合、ウエハＷＦが移動手段４０によって搬送されることで、ウエハＷＦと把持手段３０とが相対移動するようになっている。また、剥離開始部形成手段２０が、本発明の剥離開始部形成装置となっている。

剥離開始部形成手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持されるとともに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に接続され、接着シートＡＳの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートＡＳの端部を捲り上げる雰囲気吸込手段としての吸込ノズル２２と、流体としての気体を供給可能な加圧ポンプやタービン等の図示しない気体供給手段に接続され、吸込ノズル２２による接着シートＡＳの捲り上げを補助する捲り上げ補助手段としての吹付ノズル２３とを備えている。

把持手段３０は、剥離開始部ＡＳ１を把持する一対の把持部材としての第１、第２把持部材３２、３４を備え、当該一対の把持部材のうちの一方の把持部材としての第１把持部材３２は、剥離開始部ＡＳ１が形成される領域を接着シートＡＳの所定の領域に抑制する剥離開始部抑制手段としてのローラ３５を備えている。このような把持手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持されるとともに、右側の面でリニアモータ２１を支持する第１把持部材３２と、第１把持部材３２の後ろ側の面に支持された駆動機器としての直動モータ３３と、直動モータ３３の出力軸３３Ａに支持された第２把持部材３４と、第１把持部材３２の底面にブラケット３５Ａを介して回転可能に支持されたローラ３５と、剥離開始部ＡＳ１を検知する光学センサやカメラ等の検知手段３６とを備えている。第１、第２把持部材３２、３４は、相互に対向する対向面３２Ａ、３４Ａに、接着シートＡＳとの摩擦力を向上させる凸部３２Ｂ、３４Ｂが設けられている。

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面４２Ａを有するテーブル４２を備えている。

以上のシート剥離装置１０において、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート剥離装置１０に対し、作業者または図示しない搬送手段がテーブル４２上にウエハＷＦを載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２ＡでウエハＷＦを吸着保持する。次いで、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの右端部が吸込ノズル２２の下方所定位置に配置されるようにテーブル４２を移動させる。次に、把持手段３０が直動モータ３１を駆動し、第１把持部材３２を下降させ、同図中二点鎖線で示すように、ローラ３５を接着シートＡＳに接近させる。このとき、ローラ３５は、接着シートＡＳに当接してもよいし、当接しなくてもよい。

次に、剥離開始部形成手段２０が図示しない減圧手段およびリニアモータ２１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、吸込ノズル２２で雰囲気を吸い込みつつ、当該吸込ノズル２２の吸引口２２Ａを接着シートＡＳの端部に接近させる。このとき、吸引口２２Ａは、ウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳに当接されることはない。そして、吸込ノズル２２における接着シートＡＳの端部を吸い込む吸込力が当該接着シートＡＳの接着力を上回った時点で、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳの端部がウエハＷＦから捲れ上がり、吸引口２２Ａに当接して剥離開始部ＡＳ１が形成される。このように、接着シートＡＳの端部がウエハＷＦから捲れ上がる前段において、吸引口２２Ａが接着シートＡＳに当接しないことで、当該接着シートＡＳが吸引口２２Ａの形状に倣って円錐状に変形することはない。これにより、ウエハＷＦと接着シートＡＳとの間に空気が入らず、ウエハＷＦと支持面４２Ａとの間に空気が入ってしまうことを防止することができる。なお、吸込ノズル２２で雰囲気を吸い込むときに、剥離開始部形成手段２０が図示しない気体供給手段を駆動し、吹付ノズル２３から接着シートＡＳの端部に気体を吹き付けることにより、吸込ノズル２２による接着シートＡＳの捲り上げを補助することができる。この際、ローラ３５は、剥離開始部ＡＳ１が無作為に広がってしまうことを抑制することができる。

次いで、剥離開始部形成手段２０および移動手段４０がリニアモータ２１、４１を駆動し、テーブル４２を右方に移動させつつ、吸込ノズル２２を上方に移動させることにより、図２（Ｃ）中実線で示すように、剥離開始部ＡＳ１を引き上げる。そして、剥離開始部ＡＳ１が検知手段３６に検知されると、把持手段３０が直動モータ３３を駆動し、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、第２把持部材３４を左方に移動させた後、剥離開始部形成手段２０が図示しない気体供給手段および図示しない減圧手段の駆動を停止する。これにより、剥離開始部ＡＳ１が第１、第２把持部材３２、３４で把持される。この際、凸部３２Ｂ、３４Ｂが剥離開始部ＡＳ１に食い込むため、第１、第２把持部材３２、３４と接着シートＡＳとの摩擦力が向上し、剥離開始部ＡＳ１を確実に把持することができる。そして、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を右方に移動させてウエハＷＦから接着シートＡＳ全体を剥離し、テーブル４２が所定の位置に到達すると、移動手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止する。その後、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、作業者または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送する。

なお、ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、把持手段３０が直動モータ３３を駆動し、第２把持部材３４を当該直動モータ３３に対する初期位置に復帰させて当該把持手段３０の下方に位置する箱や袋等の図示しないシート回収手段内に接着シートＡＳを落下させて収容する。そして、剥離開始部形成手段２０および把持手段３０がリニアモータ２１および直動モータ３１を駆動し、吸込ノズル２２および第１把持部材３２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートＡＳの端部を捲り上げるため、剥離用接着シートを用いる必要がなく、ランニングコストを低減することができる。
また、接着シートＡＳの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートＡＳの端部を捲り上げるため、ウエハＷＦが接着シートＡＳとともに持ち上げられて破損してしまうことを防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、剥離開始部形成手段２０は、第１把持部材３２に直接吸込ノズル２２を設けてもよく、この場合、リニアモータ２１を省略することができる。
剥離開始部形成手段２０は、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに駆動機器としてのリニアモータを支持させ、当該リニアモータのスライダで吸込ノズル２２を支持し、当該吸込ノズル２２を前後方向に移動可能としてもよい。これにより、前後方向に亘って接着シートＡＳが剥離しやすい状態としつつ、剥離開始部ＡＳ１を形成することができる。
剥離開始部形成手段２０は、接着シートＡＳを吸込ノズル２２から切り離すときに、吸引口２２Ａから気体を噴き出す構成としてもよい。
剥離開始部形成手段２０は、接着シートＡＳの端部が吸引口２２Ａに当接するまで、つまり、剥離開始部ＡＳ１が形成されるまで、吹付ノズル２３を前後方向に移動させてもよいし、上下方向に移動させてもよい。
吸引口２２Ａは、剥離開始部ＡＳ１の前後方向の両端幅と同じ幅でもよいし、両端幅よりも幅狭でもよいし幅広でもよい。
吹付ノズル２３の吹き出し口は、剥離開始部ＡＳ１の前後方向の両端幅と同じ幅でもよいし、両端幅よりも幅狭でもよいし幅広でもよい。
吹付ノズル２３が吹き付ける流体は、大気、単体ガス、および混合ガス等の気体、水やオイル等の液体、ジェル状体等であってもよい。
捲り上げ補助手段は、接着シートＡＳの端部を引っ掛ける引っ掛け部が外周面に設けられた回転体や、ヘラ、スキージ、ブラシ等の部材を採用することができる。

把持手段３０は、一対の把持爪を有する駆動機器としてのチャックシリンダで剥離開始部ＡＳ１を把持してもよい。
把持手段３０は、吹付ノズル２３を移動させ、当該吹付ノズル２３と第１把持部材３２とで剥離開始部ＡＳ１を把持したり、当該吹付ノズル２３と剥離開始部ＡＳ１を引き上げた状態の吸込ノズル２２とで当該剥離開始部ＡＳ１を把持したりしてもよい。
剥離開始部抑制手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用することができ、エア噴き付けにより接着シートＡＳを押圧する構成も採用することができる。
剥離開始部抑制手段は、ローラ３５とは別の部材で構成することができ、当該剥離開始部抑制手段に押し付けられた剥離開始部ＡＳ１を第１、第２把持部材３２、３４で把持してもよい。
把持手段３０は、第１把持部材３２を剥離開始部抑制手段としてもよく、この場合、ローラ３５およびブラケット３５Ａを省略することができる。

移動手段４０は、ウエハＷＦを停止させておき把持手段３０を移動させてもよいし、ウエハＷＦと把持手段３０との両方を移動させてもよい。
移動手段４０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、静電チャック、接着剤、磁力等でウエハＷＦを保持する構成でもよい。
他の装置でウエハＷＦを搬送する場合、移動手段４０はなくてもよい。

剥離開始部ＡＳ１を形成しやすくするために、または、接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離しやすくするために、接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段を設け、接着シートＡＳの接着力を低下させてから当該接着シートＡＳを捲り上げてもよい。このような接着力低下手段を設けることで、一旦捲り上げた接着シートＡＳがウエハＷＦに再付着することも防止できる。このような接着力低下手段は、例えば、吹付ノズル２３に供給される流体を接着シートＡＳの特性に応じて接着力が低下するように冷却または加熱し、当該流体が吹付ノズル２３から接着シートＡＳに吹き付けられるように構成すればよい。また、接着力低下手段は、接着シートＡＳの接着剤が紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等の電磁波によって接着力が低下するものであれば、それら電磁波を照射可能な電磁波照射装置を採用すればよく、接着シートＡＳの接着剤の性質や構成等によって適宜なものを採用することができる。なお、接着力低下手段は、接着シートＡＳ全体の接着力を低下させる構成でもよいし、接着シートＡＳの外縁の一部または全体の接着力を低下させる構成でもよい。

本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、把持手段は、剥離開始部を把持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０シート剥離装置
２０剥離開始部形成手段（剥離開始部形成装置）
２２吸込ノズル（雰囲気吸込手段）
２３吹付ノズル（捲り上げ補助手段）
３０把持手段
３２第１把持部材（把持部材）
３４第２把持部材（把持部材）
３５ローラ（剥離開始部抑制手段）
ＡＳ接着シート
ＡＳ１剥離開始部
ＷＦウエハ（被着体）

Claims

被着体に貼付された接着シートの端部を捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する剥離開始部形成手段と、
前記剥離開始部を把持する把持手段とを備え、
前記剥離開始部形成手段は、前記接着シートの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートの端部を捲り上げる雰囲気吸込手段を備え、
前記被着体と把持手段とが相対移動することで、前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
被着体に貼付された接着シートの端部に非接触で雰囲気を吸い込んで当該接着シートの端部を捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する工程と、
前記剥離開始部を把持手段で把持する工程と、
前記被着体と前記把持手段との相対移動によって、当該被着体から前記接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。