JPH038660A

JPH038660A - 薄膜剥離方法

Info

Publication number: JPH038660A
Application number: JP1141969A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Sumi; 住　成夫; Kazuo Fukuda; 一夫福田
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1989-06-04
Filing date: 1989-06-04
Publication date: 1991-01-16
Anticipated expiration: 2010-03-01
Also published as: JPH0717309B2; EP0401702B1; DE69019065T2; EP0401702A2; US5110393A; DE69019065D1; CA2018223A1; EP0401702A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離し、この剥
離された薄膜を排出する薄膜剥離技術に適用して有効な
技術に関するものである。

〔従来の技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の両面（又
は片面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂製カバーフィルム（以下、カバーフィルムという）と
からなる積層体を熱圧着ラミネートする。この後、配線
パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及
び前記カバーフィルムを通して、感光性樹脂層を所定時
間露光する。そして、カバーフィルムを剥離した後、露
光された感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパタ
ーンを形成する。この後、前記導電層の不必要部分をエ
ツチングにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層を
除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線板を
形成する。

前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、カバーフィルムを
剥離する工程が必要とされている。

カバーフィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フ
ィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂
層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用
さ及び非常な熟練を要する。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

例えば、本願出願人によって先に出願された特願昭６３
−１０１９０９号に記載されるように。

基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この剥離さ
れた一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離された薄
膜を排出する薄膜剥離装置において、前記剥離された薄
膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共に、挟
持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送する第
１薄膜搬送手段と、該第１薄膜搬送手段で搬送された薄
膜に流体（空気）を吹き付けて剥離薄膜収容部まで搬送
する第２薄ｍ搬送手段とを備えた薄膜剥離装置が提案さ
れている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記の薄膜剥離装置では、前記第１薄膜
搬送手段で搬送された薄膜に空気を吹き付けて剥離薄膜
収容部まで搬送するためのエアーダクトの壁に薄膜が吸
着してつまるという問題があった。

本発明の目的は、基板に張り付けられた薄膜を剥離しな
がら搬送しかつ排出する薄膜剥離方法において、剥離さ
れた薄膜の搬送不良を低減することが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、薄膜剥離装置の構造を簡単にし、
メンテナンス作業を簡単に行うことが可能な技術を提供
することにある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

〔課題を解決するための手段〕

前記課題を解決するため、本発明は、基板に張り付けら
れた薄膜の一部を剥離し、この剥離された一部分から薄
膜を剥離すると共にこの剥離された薄膜を排出する薄膜
剥離方法において、前記剥離された薄膜の一部を挟持し
て基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜
を基板の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送段階と
、該第１薄膜搬送段階で搬送された薄膜に、除電雰囲気
中で剥離の都度流体を吹き付けて剥離薄膜収容部まで搬
送する第２薄膜搬送段階とを備えたことを最も主要な特
徴とする。

また、前記第１薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けることを特徴と
する。

また、前記第２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
薄膜にイオンを含む流体を吹き付け、その吹き付け中の
所定時間後さらに搬送路の中心部にイオンを含む水平流
体を当該薄膜に吹き付けると共に、前記流体中にイオン
流を混込したことを特徴とする。

また、前記第２薄膜搬送段階の水平流体の終端部におい
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部において、流体圧を減圧することを
特徴とする。

前記剥離薄膜収容部においては、流体圧を急速に低減し
てほぼ零にすることを特徴とする。

また、前記薄膜剥離方法における前記第２薄膜搬送段階
の水平流体を流すエアーダクトであって、該エアーダク
トを透明材で構成したことを特徴とする。

また、前記エアーダクトの上面部と一側面部を一体に形
成し、蝶番で本体部に開閉自在に取付けたことを特徴と
する。

〔作　用〕

前述の手段によれば、前記剥離した薄膜に流体を吹き付
ける流体吹付手段を主体にする第２薄膜搬送方法を備え
たので、基板に張り付けられた薄膜を剥離しながら搬送
しかつ排出する薄膜剥離方法において、剥離された薄膜
の搬送不良を低減することができる。

また、前記第１薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けるようにし、前
記第２薄１ＩＩｌＩ！送手段の水平流体の終端部におい
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部では流体圧を減圧し、前記剥離薄膜
収容部で流体圧を急速に低減してほぼ博するようにした
ので、剥離された薄膜の搬送不良を低減することができ
、かつ薄膜剥離装置の構造を簡単にすることができる。

また、前記第２薄膜搬送段階において、剥離薄膜に吹き
付ける流体中にイオン流を混込したことにより、剥離薄
膜やエアーダクトの内壁の帯電を防止することができる
ので、剥離された薄膜の搬送不良をさらに低減すること
ができる。

また、前記第２薄膜搬送手段の水平流体を流すエアーダ
クトを透明材で構成し、かつ、前記エアーダクトの上面
部と一側面部を一体に形成し、蝶番で本体部に開閉自在
に取付けたので、メンテナンス作業を簡単に行うことが
できる。

〔発明の実施例〕

以下１本発明をプリント配線用基板のカバーフィルム（
保護膜）剥離装置に適用した一実施例にっいて図面を用
いて説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

第１図は本発明の一実施例のプリント配線用基板の薄膜
剥離装置の外観概略構成を示す斜視図、第２図は第１図
のエアー搬送ボックスを開いた状態を示す図である。

本実施例の薄膜剥離装置におけるプリント配線用基板の
搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、装置本体
１００に基板搬送ローラ１０１．１０２が設けられてい
る。前記基板搬送ローラ１０２の上にエアーダクト載置
台１０３が設けられている。

エアーダクト載置台１０３の上には、透明な材料からな
るエアーダクト１０４が載置されており、該エアーダク
ト１０４には、多数の減圧孔を有する剥離フィルム排出
ダクト１０５が連結されている。

前記エアーダクト１０４の上面部と一側面部を一体に形
成して蓋部１０４Ａとし、蝶番１０４Ｂで本体部１０４
Ｃに開閉自在に取付けられている。

また、蓋部１０４Ａの所定位置には１通気孔１０４Ｄが
設けられている。本体部１０４Ｃの通気孔１０４Ｄに対
向した位置にイオン挿入用の送風用ファン１０９Ａ、１
０９Ｂが設けられている。

前記剥離フィルム排出ダクト１０５の排出口は、剥離フ
ィルムを収容する剥離フィルム収容器１０６に誘導され
ている。剥離フィルム収容器１０６は、多数の減圧孔を
有する孔収容台部材１０６Ａ、ネット部材１０６Ｂ及び
キャスタ１０６Ｃからなっている。

また、装置本体１００の側部には操作パネル１０７が設
けられ、装置本体１００の最上端には、警報灯１０８が
設けられている。

この搬送機構における基板搬送経路Ａ−Ａには、第３図
に示すように、薄膜浮上装置の浮上部材３、流体吹付装
置のノズル４、剥離方向設定板（剥離補助板）５及び薄
膜搬送装置（薄膜排出袋Ｗ１）６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、絶縁性基板の両面（又は
片面）に銅等の導電層が形成されたものである。このプ
リント配線用基板１の導電層上には、感光性樹脂層（フ
ォトレジスト層）とカバーフィルム（保護用薄膜）とか
らなる積層体が熱圧着ラミネートされている。感光性樹
脂層は所定の配線パターンフィルムが重ねられ露光され
た後の状態にある。プリント配線用基板１は、第３図に
示す矢印入方向に基板搬送ローラ１０１．１０２の搬送
用駆動ローラ２で搬送されるように構成されている。２
Ａは基板押えローラ（ピンチローラ）である。

前記薄膜浮上装置は、第３図に示すように構成されてい
る。

この薄膜浮上装置は、プリント配線用基板１の両面に、
夫々、少なくとも１個の浮上部材３が設けられている。

浮上部材３は、その先端部が針状で構成されている。浮
上部材３は、空気式振動装置によって、振動するように
構成されている。空気式振動装置は、例えば１分間に２
０００〜３０００ストロークの振動を浮上部材３に与え
るように構成されている。

前記浮上部材３の先端部は、感光性樹脂層とカバーフィ
ルムからなる積層体フィルムの端部を振動押圧すなわち
エネルギを与えるように構成されている。エネルギが与
えられた積層体の端部は、感光性樹脂層からカバーフィ
ルムが浮上（剥ｍ＞するようになっている、エネルギが
与えられた積層体の端部において、カバーフィルムのみ
が剥離されるのは、カバーフィルムは感光性樹脂層に比
べで腰があることと感光性樹脂層と導電層とは、前記感
光性樹脂層とカバーフィルムとの接着力に比べて強いた
めによるものと推定される。

前記流体吹付装置は、第３図に示すように、ノズル４か
ら圧力を加えた流体、例えば、空気、不活性ガス等の気
体、水等の液体が吹出すように構成されている。本実施
例は流体として空気を使用している。この流体吹付装置
は、プリント配線用基板１の端部において、前記薄膜浮
上部材３によって感光性樹脂層からカバーフィルムを浮
上させた両者間の隙間部分に流体を直接吹き付けるよう
に構成されている。流体吹付装置のノズル４は、前記隙
間部分に即座に流体を吹き付けられるように、前記浮上
部材３に近接した位置に位置するように構成されている
。ノズル４は、浮上部材３の先端部に１両側（２方向）
から流体を吹き付けるように一対の噴射孔４Ａを有して
いる。ノズル４には、１つの流体供給管から流体が供給
されるように構成されている。

ノズル４に一対の噴射孔を設けた理由は、薄膜剥離動作
を確実に行うためである。

プリント配線用基板１の積層体の端部を浮上させる動作
及び剥離させる動作についての説明は、特願昭６３−１
０１９０９号明細書に記載しているものと同じであるの
で、ここでは省略する。

前記流体吹付装置４で剥離された基板搬送方向先端側の
剥離フィルム（カバーフィルム）は、流体吹付装置のノ
ズル４からの流体圧で剥離方向設定板（剥離補助板）５
に付着するようになっている。

前記第３図に示す薄膜浮上装置の部分の各部品のレイア
ウトを第４図に示す、第４図において、薄い基板用ガイ
ド部材１０及び薄い基板用ガイドローラ１１は、薄い基
板のカバーフィルムを剥離する場合に、薄膜浮上装置の
部分に浮上部材３やノズル４が設置されるため搬送ロー
ラを組入れることができないから、薄い基板の先端が垂
れ下がらないようにガイドするためのものである。特に
薄い基板用ガイド部材１０は、幅が広いものに対して有
効に作用する。

薄膜搬送装置ｌ！６は、第３図に示すように、主に、プ
リント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの上側に設けられ
た上部薄膜搬送装置と下側に設けられた下部薄膜搬送装
置とで構成されている。上部薄膜搬送装置は、第１薄膜
搬送装置（６Ａ、６Ｂ）。

剥離フィルムガイド部材（６Ｃ）及び第２薄膜搬送装置
（６Ｄ）で構成されている。

剥離フィルムは、第１薄Ｉ！Ｉ撮送装置（６Ａ、６Ｂ）
、剥離フィルムガイド部材（６Ｃ）で矢印Ｍ方向に誘動
され、第２薄膜搬送装置６Ｄに搬送される。

剥離フィルムガイド部材（６Ｃ）は、剥離フィルムの搬
送方向を垂直方向から水平方向に変える（搬送経路Ａ−
Ａと平行で基板搬送方向Ａと反対方向に変える）ように
構成されている。剥離フィルムガイド部材（６Ｃ）は、
剥離フィルムとの接触面積をできる限り小さくできるよ
うに棒状部材によって構成され、プリント配線用基板１
の搬送経路Ａ−Ａと交差する方向において複数個設けら
れている。剥離フィルムガイド部材（６ｃ）は、例えば
ステンレス鋼等の導電性材料で構成する。

導電性材料で構成される剥離フィルムガイド部材（６Ｃ
）は、剥離時や搬送時に剥離フィルムに発生した静電気
を放電できるように構成されている。

また、剥離フィルムガイド部材（６Ｃ）は、第１薄膜搬
送装置（６Ａ及び６Ｂ）から第２薄膜搬送装置６Ｄに剥
離フィルムを搬送する際に、固定搬送ベルト６Ａのロー
ラや可動搬送ベルト６Ｂのローラ６Ａａ、６Ｂａに剥離
フィルムが巻き込まれることを防止するように構成され
ている。

剥離フィルムガイド部材（６Ｃ）の近傍には、流体噴出
装置１２及びイオン発生袋Ｗ（除電装置）１５が設けら
れている。流体噴出装置１２は矢印Ｎ方向に流体を噴出
するように構成されている。また、イオン発生装置（除
電装置）１５は、第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）か
ら第２薄ｓｍ送装置６Ｄに剥離フィルムを搬送する際に
、剥離フィルムが静電気を帯び、固定搬送ベルト６Ａの
ローラや可動搬送ベルト６Ｂのローラに剥離フィルムが
巻き込まれることを防止するために静電気の除去を行う
ためのものである。

第３図、第４図において、２Ｃは、Ｌ字形状のロールに
ブレーキをかける押え板、３Ｂは浮上部材支持回転軸で
あって、このものは、その両端においてクランク機構に
結合されている。７は固定支持部材、８は薄膜端部検出
部材、９は流体の作用により剥離されたフィルムが、確
実に剥離方向設定板に立ち上がっているかどうかを確認
するための検出部材である。６Ｂａ’、６Ａｂ、６Ｂｂ
、６Ｂｃは、それぞれローラである。

なお、上記第１薄膜微送装置を構成するベルト６Ａ、６
Ｂは歯付ゴムベルトで構成され、６Ｂｃ以外のローラは
、各々歯付プーリで構成されている。ベルトの走行を確
実なものとするためである。

前記第２薄膜搬送装［６０は、エアーダクト載置台１０
３の上に配置されている。

第２薄瞑搬送装置６Ｄは、第１図及び第２図に示すよう
に、エアーダクト１０４からなり、前述のように、エア
ーダクト１０４には、カバーフィルム排出ダクト１０５
が連結されている。

また、第５図（イオン発生装置の設置部分の斜視図）、
第６図（エアーダクト１０４の内側から見た正面図）及
び第７図（第６図のＡ−Ａｍで切った断面図）に示すよ
うに、送風用ファン１０９Ａ、１０９Ｂの前面には、イ
オン発生装置１１０が設けられている。

また、前記送風用ファン１０９Ａと１０９Ｂとの間に基
板搬送面に対して垂直方向にジェットエアー吹出ノズル
１１１Ａ、　ＩＩＩＢ　、　ｌｌＩＣが設けられている
。

このジェットエアー吹出ノズルＩＩＩＡ、　ＩＩＩＢ。

１１１Ｃは、エアーダクト１０４内に搬送された剥離フ
ィルムを剥離フィルム収容器１０６まで搬送するための
ものである。

次に、第１薄膜搬送装置（８Ａ、６Ｂ）、剥離フィルム
ガイド部材（６Ｃ）で搬送された剥離フィルムが、第２
薄膜搬送装置６Ｄで剥離フィルム収容器１０６まで搬送
される動作について説明する。

第８図に示すように、前記基板の表面に対して平行な面
において基板の搬送方向と略直交する方向すなわち矢印
０方向に、ジェットエアー吹出ノズル１１１Ａ及びｌｌ
ＩＣにより剥離フィルムに流体（イオンを含むエアー）
を吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路
の中心部に水平流体（イオンを含むエアー）をジェット
エアー吹出ノズル１１１Ｂにより当該剥離フィルムに吹
き付け、エアーダクト１０４の終端部を通って剥離フィ
ルム排出ダクト１０５の入口まで剥離フィルムを搬送す
る。この時、剥離フィルム排出ダクト１０５のエアーダ
クト１０４の前記水平流体よりも下部において、流体圧
は剥離フィルム排出ダクト１０５に多数の貫通孔が設け
られているため減圧される。そして、剥離フィルムが剥
離フィルム収容器１０Ｂに収納される時点では、剥離フ
ィルム排出ダクト１０５に多数の貫通孔が設けられ、か
つ剥離フィルム収容器１０６がネット状であるため流体
圧が急速に低減してほぼ零になり、剥離フィルムが自然
降下で剥離フィルム収容器１０６に収納される。

このように、プリント配線用基板１に張り付けられたカ
バーフィルムの一部を剥離し、この剥離された一部分か
らカバーフィルムを剥離すると共にこの剥離さ九たフィ
ルムを排出する薄膜剥離装置において、前記剥離された
カバーフィルムの一部を挟持してプリント配線用基板ｌ
からカバーフィルムを剥離すると共に、挟持した状態で
カバーフィルムをプリント配線用基板の表面側の上方向
に搬送する第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）を設け、
該第１薄膜搬送装置で搬送された剥離フィルムを載置し
、この状態でカバーフィルムをプリント配線用基板１の
搬送経路Ａ−Ａと交差する方向に流体の吹き付けで搬送
する第２薄膜搬送装置６Ｄを設けたことにより、剥離フ
ィルムを挟持した状庵で搬送する長さ（第１薄膜搬送装
置の搬送長さ）を第２薄膜搬送装置１６Ｄに相当する全
短縮することができるので、剥離フィルムの排出経路に
おける剥離フィルムの搬送不良（ジャム）を低減するこ
とができる。また、前記剥離フィルムに流体を吹き付け
るジェットエアー吹出ノーズルＩＩＩＡ乃至１１１　Ｇ
を主体に前記第２薄膜搬送装置６Ｄを構成し、ローラ、
ベルト等の多数の部品を排除して部品点数そのものを低
減することができるので、第２薄ｌＩｍ送装置！！６Ｄ
を簡単な構造で構成することができる。この結果、薄膜
剥離装置の製造コストを低減することができ、又薄膜剥
離装置のメンテナンス作業を簡単にすることができる。

また、前記構成に、前記第２薄膜搬送装置６Ｄを前記カ
バーフィルムを剥離する位置よりも前段側の前記プリン
ト配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの上部に設けた構成を
加えることにより、前記の効果を有すると共に、剥離さ
れたフィルムに付着する異物や第２薄膜搬送装置６Ｄか
らの異物がカバーフィルムを剥離したプリント配線用基
板１の感光性樹脂層の表面に付着することを低減するこ
とができるので、プリント配線用基板１の製造上の歩留
りを向上することができる。

また、前記構成に、前記第２薄膜撮送装置６Ｄで搬送さ
れた剥離フィルムを収納する剥離フィルム収容器１０６
を前記プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの側部に
設けた構成を加えることにより、前記効果を有すると共
に、前記剥離フィルム収容器１０６をプリント配線用基
板１の搬送経路Ａ−Ａの側部の低い位置に設けたので、
排出された剥離フィルムの廃棄処理作業等、剥離フィル
ム収容器１０６の取扱いの作業性を向上することができ
る。

また、前記剥離フィルム収容９３１０Ｂは、プリント配
線用基板１の上側のカバーフィルムを排出する剥離フィ
ルム収容器と下側のカバーフィルムを排出する剥離フィ
ルム収容器とを一体化して構成することにより、サイズ
を縮小することができるので、薄膜剥離装置の小型化を
図ることができる。

また、前記第２薄膜搬送手段を、前記基板の表面に対し
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
剥離フィルムに流体を吹き付け、その吹き付け中の所定
時間後さらに搬送路の中心部に水平流を当該剥離フィル
ムに吹き付けるようにし、前記第２薄膜搬送手段の水平
流体の終端部において、薄膜排出垂直路を形成し、該薄
膜排出垂直路の前記水平流体よりも下部では流体圧を減
圧し、前記剥離フィルム収容部で流体圧を急速に低減し
てほぼ零するようにしたので、剥離された剥離フィルム
の搬送不良を低減することができ。

かつ剥離フィルムの収納を良好にすることができる。

また、エアーダクト１０４及び剥離フィルム排出ダクト
１０５を透明にしたこと及びエアーダクト１０４の一部
開閉自在にするにより、剥離フィルムがつまった場合に
直に目視することができ、かつ取り除が容易にできるの
で、保守管理が容易にできる。

以上１本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている
保護膜の剥離装置に適用することができる。

（発明の効果〕以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

第２薄膜搬送手段を、前記基板の表面に対して平行な面
において基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体
を吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路
の中心部に水平流を当該薄膜に吹き付けるようにし、前
記第２薄膜搬送手段の水平流体の終端部において、薄膜
排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記水平流体
よりも下部では流体圧を減圧し、前記剥離薄膜収容部で
流体圧を急速に低減してほぼ零するようにしたので、剥
離された薄膜の搬送不良を低減することができ、かつ薄
膜剥離の収納を良好にすることができる。

また、薄膜剥離装置において、ＷＪ車な構造で薄膜の搬
送不良を低減することができる。

また、エアーダクト及び剥離フィルム排出ダクトを透明
にしたこと及びエアーダクトの一部開閉自在にするによ
り、剥離フィルムがつまった場合に直に目視することが
でき、かつ取り除が容易にできるので、保守管理が容易
にできる。

また、薄膜剥離装置において、薄膜を排出する薄膜排出
収納客層の取扱いの作業性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の薄
膜剥離装置の外観概略構成を示す斜視図、第２図は、第
１図のエアー搬送ボックスを開いた状態を示す図、第３図は、第１図に示す′ａ膜剥離装置の要部概略構成
を説明するための図、第４図は、第３図に示すａｖ！ｌ！浮上装置の部分の各
部品のレイアウトを示す図、第５図は、イオン発生装置の設置部分の斜視図、第６図
は、エアーダクトの内側から見た正面図。第７図は、第６図のＡ−Ａ線で切って断面図、第８図は
、第３図に示す第２薄膜搬送装置の動作を説明するため
の図である。図中、１・・・プリント配線用基板、２・・・搬送用駆
動ローラ、３・・・浮上部材、４・・・ノズル、５・・
・剥離方向設定板、６・・・薄膜搬送装置、６Ａ及び６
Ｂ・・・第１薄膜搬送装置、６Ｃ・・・ガイド部材、６
Ｄ・・・第２薄膜搬送装置、１０４・・・エアーダクト
、１０４Ａ・・・蓋部、１０４Ｃ・・・本体部、１０Ｂ
・・・剥離フィルム収容器、１１０・・・イオン発生装
置、ＩＩＩＡ、　ＩＩＩＢ、ｌｌＩＣ・・・ジェットエ
アー吹出しノズル。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離さ
れた薄膜を排出する薄膜剥離方法において、前記剥離さ
れた薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共
に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送
する第１薄膜搬送段階と、該第１薄膜搬送段階で搬送さ
れた薄膜に、除電雰囲気中で剥離の都度流体を吹き付け
て剥離薄膜収容部まで搬送する第２薄膜搬送段階とを備
えたことを特徴とする薄膜剥離方法。
（２）前記第１薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けることを特徴と
する請求項第１項に記載の薄膜剥離方法。
（３）前記第２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
薄膜にイオンを含む流体を吹き付け、その吹き付け中の
所定時間後さらに搬送路の中心部にイオンを含む水平流
体を当該薄膜に吹き付けることを特徴とする請求項第１
項又は第２項に記載の薄膜剥離方法。
（４）前記第２薄膜搬送段階の水平流体の終端部におい
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部において、流体圧を減圧することを
特徴とする請求項第１項乃至第３項に記載の薄膜剥離方
法。
（５）前記剥離薄膜収容部においては、流体圧を急速に
低減してほぼ零にすることを特徴とする請求項第１項乃
至第４項に記載の夫々の薄膜剥離方法。
（６）請求項第１項乃至第３項に記載の夫々の薄膜剥離
方法における前記第２薄膜搬送段階の水平流体を流すエ
アーダクトであって、該エアーダクトを透明材で構成し
たことを特徴とする薄膜剥離用エアーダクト。
（７）請求項第６項に記載のエアーダクトの上面部と一
側面部を一体に形成し、蝶番で本体部に開閉自在に取付
けたことを特徴とする薄膜剥離用エアーダクト。