JP2999904B2

JP2999904B2 - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JP2999904B2
Application number: JP9964293A
Authority: JP
Inventors: 俊之 ▲吉▼田; 光昭森本; 英之犬飼
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1993-04-26
Filing date: 1993-04-26
Publication date: 2000-01-17
Anticipated expiration: 2015-01-17
Also published as: JPH06308739A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、プリント回路
基板等を形成する際の基板に貼付された感光性樹脂フィ
ルムを保護する保護膜等の薄膜を剥離する薄膜剥離装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、電子機器等の配線基板とし
て、例えばプリント回路基板があり、このプリント回路
基板は、一般に、絶縁性基板の片面（または、両面）に
感光性樹脂フィルム等からなる薄膜が積層された積層体
を貼付し、この積層体上に配線パターンフィルムを重ね
た後、露光、現像等の工程を経て製造されている。

【０００３】また、上記積層体は、感光性樹脂フィルム
（以下、レジストフィルムと称する）の表面に透光性樹
脂フィルム（以下、保護膜と称する）が、裏面にカバー
フィルムが貼付された積層構造となっている。この積層
体は、通常、裏面のカバーフィルムを剥がしながら絶縁
性基板上に貼付され、配線パターンが露光された後、現
像するまでに、上記レジストフィルム表面上に貼付され
た保護膜を剥離する必要がある。

【０００４】そこで、積層体から保護膜を剥離する方法
として、例えば、人手によって剥離する方法があるが、
保護膜自身が非常に薄いフィルムであるので、剥離しに
くく、無理に剥がそうとするとレジストフィルムを損傷
する恐れがあり、また、レジストフィルムを損傷させず
に剥がそうとすると時間がかかり、剥離作業の効率が低
下する等の問題が生じている。

【０００５】このことから、例えば特開昭６３−３７３
５２号公報には、保護膜の端部を検出する突起状部材を
設け、この突起状部材をレジストフィルムと保護膜の間
に挿入して振動させることによって保護膜の端部をレジ
ストフィルムから浮き上がらせ、その部分に圧縮空気を
吹きつけて保護膜を自動的に剥離する装置が開示されて
いる。この装置によれば、人手によって剥離する場合に
比べて、積層体上の保護膜を簡単に剥離することができ
るので、剥離作業における作業性の向上を図ることがで
きる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、電子
機器等の小型化に伴って、プリント回路基板も小型化さ
れ、プリント回路基板におけるパターンの微細化も進ん
でいる。このように微細化されたパターンを有するプリ
ント回路基板では、レジストフィルム表面に生じる微細
な傷や、レジストフィルム表面に付着する塵埃等が、パ
ターン形成に大きな影響を与えている。

【０００７】ところが、上述したように突起状部材が、
保護膜とレジストフィルムとの間に挿入する際、この突
起状部材が保護膜表面を損傷させ、これに伴って、レジ
ストフィルムも損傷させる恐れがある。また、保護膜と
レジストフィルムとの間に圧縮空気を吹きつける場合、
保護膜に付着した塵埃が空気中に舞い、この塵埃をレジ
ストフィルム上に付着させる恐れがある。これらのこと
から、パターン形成に悪影響を及ぼし所望するパターン
を正確に形成することができないという問題が生じてい
る。

【０００８】また、レジストフィルムと保護膜の間に突
起状部材を挿入するには、正確に保護膜の端部を検知す
る必要があり、装置の精密さが要求される。このことに
より、精密な検知装置を装備した装置が必要となり、装
置の製造費の増加を招く等の問題が生じている。

【０００９】さらに、レジストフィルムと保護膜の間に
圧縮空気を吹きつけて保護膜を剥離する方法では、剥離
された保護膜を空気の力によって回収箱等に回収してい
るので、所定の回収箱の中に収容できるようにコントロ
ールすることが困難であり、保護膜より十分大きい回収
箱を用意する必要がある。そのため、装置全体の大型化
を招くという問題が生じている。

【００１０】そこで、本発明は、上記各問題点に鑑みな
されたものであって、その目的は、レジストフィルムか
ら保護膜を効率良く剥離すると共に、レジストフィルム
表面を損傷させる恐れがなく、また、レジストフィルム
表面に塵埃を付着させる恐れがなく、さらに、剥離され
た保護膜を適切に回収することによって装置の小型化を
可能にするような保護膜剥離装置を提供することにあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の薄膜剥離
装置は、基板から薄膜を剥離する薄膜剥離装置であっ
て、上記薄膜を粘着性部材により剥離する薄膜剥離手段
と、この薄膜剥離手段に上記基板を搬送する基板搬送手
段と、上記薄膜剥離手段により剥離された薄膜を回収す
べく、該薄膜を保持して薄膜回収部まで搬送し、かつ薄
膜回収部において薄膜を整然と重ね合わせて載置するま
で該薄膜を保持している薄膜保持手段を備えた薄膜回収
手段とが設けられていることを特徴とするものである。

【００１２】請求項２記載の薄膜剥離装置は、請求項１
記載の薄膜剥離装置であって、基板搬送手段近傍に、塵
埃を除去する塵埃除去手段が設けられていることを特徴
とするものである。

【００１３】

【作用】請求項１記載の構成によれば、薄膜を粘着性部
材により剥離する薄膜剥離手段が設けられていること
で、薄膜の表面に粘着性部材を当着させるようにすれ
ば、表面から均一な力によって剥がすことができる。こ
れにより、薄膜と基板との間に針等の突起部材を挿入す
る必要がなくなるので、針等による基板への損傷を無く
すことができる。また、剥離された薄膜を一枚ずつ重ね
合わせて回収すべく、該薄膜を保持して薄膜回収部まで
搬送し、かつ薄膜回収部において薄膜を整然と重ね合わ
せて載置するまで該薄膜を保持している薄膜保持手段を
備えた薄膜回収手段が設けられていることで、剥離され
た薄膜を一定の場所に載置することが容易となる。これ
により、薄膜回収部のスペース効率を向上させると共
に、回収効率も向上させることができ、薄膜回収部の小
型化を図ることができるので、装置の小型化が可能とな
る。

【００１４】請求項２記載の構成によれば、基板搬送手
段近傍に、塵埃を除去する塵埃除去手段が設けられてい
ることで、基板搬送手段によって薄膜剥離手段に搬送さ
れる基板に貼付された薄膜上の塵埃を除去することがで
きるので、薄膜が剥離された後の基板への塵埃の付着を
低減させることができる。これにより、例えば、基板と
してプリント回路基板等を作成する場合の微細パターン
の形成に影響を与えることが無くなり、正確なパターン
を形成することができる。

【００１５】

【実施例】〔実施例１〕本発明の一実施例について図１ないし図５に基づいて説
明すれば、以下の通りである。

【００１６】本実施例に係る薄膜剥離装置は、例えば図
５に示す絶縁性基板（以下、単に基板と称する）１に積
層貼付された薄膜としての感光性樹脂フィルム（以下、
レジストフィルムと称する）２及び透光性樹脂フィルム
（以下、保護膜と称する）３のうち、最表面側に貼付さ
れた保護膜３のみを剥離するものである。上記レジスト
フィルム２は、通常、図４に示すように、その表面に保
護膜３が、裏面にカバーフィルム４が貼付された状態で
取り扱われているので、図５に示すように、裏面のカバ
ーフィルム４を剥がしながら熱圧着成形を施して基板１
に貼付される。

【００１７】また、上記薄膜剥離装置は、図１に示すよ
うに、基板１を搬送する基板搬送手段としての基板搬送
部５と、基板１表面に貼付された保護膜３を剥離する薄
膜剥離手段としての保護膜剥離部６と、剥離された保護
膜３を一枚ずつ搬送する薄膜回収手段としての保護膜搬
送部７と、保護膜３を一枚ずつ重ね合わせて回収する薄
膜回収部としての保護膜回収部８とから成っている。

【００１８】このうち、上記基板搬送部５には、複数の
搬送ローラ９…が所定の間隔で設けられており、図にお
ける保護膜剥離部６の左側（以下、供給側と称する）か
ら、保護膜剥離部６の右側（以下、搬送側と称する）に
向かって基板１が順次搬送されるようになっている。

【００１９】尚、基板１の供給側から搬送側への搬送開
始は、基板搬送部５に設けられた端部位置検知センサ
（図示せず）によって、基板１に貼付されたレジストフ
ィルム２と保護膜３との端部が検知されたとき行われ
る。

【００２０】また、上記基板搬送部５の供給側近傍に
は、保護膜３表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部
１０が設けられている。この塵埃除去部１０は、塵埃除
去手段として保護膜３表面に付着している塵埃に帯電し
ている静電気を除去する静電気除去バー１１と、この静
電気除去バー１１によって静電気が除去された塵埃を吸
引する吸引ノズル１２とで構成されており、搬送中の基
板１に付着した塵埃を除去するようになっている。

【００２１】また、上記保護膜剥離部６には、粘着性部
材としての粘着テープ１３が備えられ、この粘着テープ
１３を供給する供給リール１４、巻き取る巻取リール１
５、粘着テープ１３を適正に搬送でき得るようにガイド
するガイドリール１６ａ・１６ｂ・１６ｃ、粘着テープ
１３を保護膜３の表面に圧着させる圧着ロール１７、粘
着テープ１３の供給を停止させるストッパ１９、および
上記圧着ロール１７を駆動制御する例えばエアーシリン
ダ等からなる圧着ロール駆動装置１８、上記ストッパ１
９を駆動制御するストッパ駆動制御装置２０が設けられ
ている。

【００２２】この保護膜剥離部６において、上記粘着テ
ープ１３は、供給リール１４から供給され、圧着ロール
１７の外周面を通り、巻取リール１５まで、ガイドリー
ル１６ａ・１６ｂ・１６ｃを介して送られる。

【００２３】このとき、上記圧着ロール１７は、圧着ロ
ール駆動装置１８によって、その外周面に供給されてい
る粘着テープ１３を搬送ローラ９側に押圧させる。これ
により、基板１が搬送ローラ９によって搬送された場
合、その表面に粘着テープ１３を押圧することによって
当着させ、保護膜３のみを剥離する。そして、この保護
膜３の剥離動作の間、上記ストッパ１９は、ストッパ駆
動装置２０によって粘着テープ１３の供給を停止するよ
うに駆動される。

【００２４】尚、上記粘着テープ１３は、保護膜３の剥
離完了の後、巻取リール１５によってその使用面が圧着
ロール１７の外周面から巻取方向に巻き取られる一方、
供給リール１４によって未使用面が圧着ロール１７の外
周面に供給される。

【００２５】また、上記保護膜剥離部６は、基板１の両
端側に相当する位置にそれぞれ配設され、保護膜３を両
端側から剥離するようになっている。これにより、保護
膜３を基板１から均等な力によって剥離することがで
き、さらに、基板１から保護膜３が剥離された状態にお
いて、搬送ローラ９…間からの、上記保護膜搬送部７に
よる、保護膜３の搬送を容易にすることができる。

【００２６】また、上記保護膜搬送部７には、基板１か
ら剥離された保護膜３を挾持する薄膜保持手段としての
チャックハンド２１・２１およびこのチャックハンド２
１・２１を駆動制御する駆動装置（図示せず）が設けら
れている。ここで、上記チャックハンド２１・２１は、
剥離された保護膜３を挾持して保護膜回収部８に搬送す
るようになっており、これによって、保護膜３は、保護
膜回収部８に一枚ずつ搬送される。

【００２７】また、上記保護膜回収部８は、その開口部
の大きさを、剥離された保護膜３の大きさとほぼ同じと
し、保護膜３を一枚ずつ重ね合わせて載置するようにな
っている。

【００２８】ここで、上記構成の薄膜剥離装置における
保護膜剥離動作について図２を参照しながら、以下に説
明する。

【００２９】先ず、基板１に貼付されたレジストフィル
ム２と保護膜３との端部が端部検知センサによって検知
されれば、基板搬送部５の搬送ローラ９…によって位置
決めセンサによって検知されるまで保護膜剥離部６に搬
送される。このとき、基板１の搬送途中、即ち、基板搬
送部５の供給側では、静電気除去バー１１によって保護
膜３表面に付着している塵埃の静電気が除去された後、
吸引ノズル１２によって塵埃が除去される。その後、図
２（ａ）に示すように、圧着ロール駆動装置１８によっ
て粘着テープ１３を基板１の保護膜３表面に圧着させ
る。次に、巻取リール１５によって粘着テープ１３を巻
き取りながら圧着ロール１７に密着させた状態で圧着ロ
ール１７を上昇させることで、保護膜３は粘着テープ１
３に密着した状態で、端部から上記圧着ロール１７の上
昇分だけ剥離される。

【００３０】次に、図２（ｂ）に示すように、ストッパ
駆動装置２０によってストッパ１９が作動し、粘着テー
プ１３が動かないように停止させる。このとき、上記保
護膜剥離部６は、基板搬送部５から遠ざかるように上昇
する一方、基板１は、基板搬送部５の搬送ローラ９…に
よって搬送側に搬送される。この保護膜剥離部６の上昇
と基板１の搬送側への搬送に伴い、基板１から保護膜３
が剥離される。

【００３１】次いで、図２（ｃ）に示すように、さら
に、保護膜剥離部６の上昇と基板１の搬送側への搬送が
進めば、基板１から保護膜３が完全に剥離される。この
後、剥離した保護膜３を、上記保護膜搬送部７によって
一枚ずつ保護膜回収部８に搬送する。

【００３２】さらに、保護膜３の搬送動作について図２
および図３を参照しながら、以下に説明する。

【００３３】まず、図２（ｃ）に示すように、保護膜３
が基板１から完全に剥離された状態から、図３（ａ）に
示すように、保護膜３をチャックハンド２１・２１によ
って挾持し、保護膜３を粘着テープ１３から分離する。
このとき、保護膜３が粘着テープ１３から分離し易いよ
うに、保護膜剥離部６を上昇した位置で保持する。

【００３４】次に、図３（ｂ）に示すように、チャック
ハンド２１・２１によって保護膜剥離部６の粘着テープ
１３から完全に分離された保護膜３を、図３（ｃ）に示
すように、チャックハンド駆動装置によって保護膜回収
部８に一枚ずつ重ね合わせて載置する。この保護膜３の
保護膜回収部８への搬送の間、基板１は、さらに、搬送
ローラ９…によって現像工程へ搬送される。

【００３５】次いで、チャックハンド２１・２１は、保
護膜回収部８で保護膜３を載置した後、再び、保護膜３
の挾持位置に移動して待機する。

【００３６】以上、上記構成によれば、静電気除去バー
１１によって基板１の保護膜３表面に付着している塵埃
の静電気を除去し、その後、吸引ノズル１２によってこ
の静電気が除去された塵埃を吸引除去しているので、塵
埃除去手段が保護膜３表面に接触することなく塵埃を除
去することができる。このことにより、保護膜３の表面
を傷つけることなく、容易に塵埃を除去することがで
き、レジストフィルム２の表面への塵埃の付着を抑制す
ることができる。したがって、塵埃の付着によるレジス
トフィルム２へのパターン形成における影響を無くし、
微細なパターンを正確に形成することができる。

【００３７】また、保護膜３が粘着テープ１３によって
当着されて基板１から剥離されるようになっているの
で、レジストフィルム２表面を損傷させることなく保護
膜３を剥離することができる。また、基板１上の保護膜
３とレジストフィルム２との間を検知する検知手段を必
要とせず、保護膜３とレジストフィルム２との端部のみ
検知する検知手段を設けるだけで良いので、構成を簡素
なものとすることができ、保護膜剥離装置における製造
費を低減することができる。

【００３８】さらに、基板１から剥離される保護膜３
は、保護膜３を回収する手段としてのチャックハンド２
１・２１によって一枚ずつ搬送され、保護膜回収部８に
一枚ずつ重ね合わせて載置されるようになっているの
で、剥離された保護膜３を一定の場所に載置することが
容易となり、保護膜回収部８を、剥離される保護膜３の
大きさと同程度にすることができる。したがって、保護
膜回収部８の小型化を可能とすることができるうえ、該
保護膜回収部８の大きさを、従来の圧縮空気を用いて保
護膜を剥離する場合の回収箱と比較して小さくしても、
保護膜３が、該保護膜回収部８に整然と収納されること
から、保護膜回収部８がいっぱいになるまでの保護膜３
の回収量は減少することがないので、保護膜３の回収効
率を向上させることができ、ひいては、回収された保護
膜３の排出回数をも低減させることができる。

【００３９】したがって、装置全体の小型化を図ること
ができ、装置の製造費を低減することができる。また、
保護膜３は、該保護膜回収部８に一枚ずつ重ね合わせて
回収されているので、圧縮空気によって吹き飛ばして回
収する場合と異なり、もとの形状が維持されているた
め、再生を容易に行うことができる。

【００４０】尚、保護膜３を剥離する手段としての保護
膜剥離部６には、粘着性部材として粘着テープ１３が採
用されているが、これに限定されることなく、例えば、
粘着パッド等、他の粘着性部材を使用しても良い。

【００４１】〔実施例２〕本発明の他の実施例について図６および図７に基づいて
説明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前
記の実施例１の図面に示した手段と同一機能を有する手
段には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。

【００４２】本実施例に係る保護膜剥離装置は、図１に
おける保護膜搬送部５に備えられている薄膜保持手段と
してのチャックハンド２１・２１に代えて、図６に示す
ように、真空ポンプ等の吸引手段（図示せず）に接続さ
れた吸引部材２２ａを有する薄膜保持手段としての真空
吸着プレート２２が備えられている。

【００４３】上記真空吸着プレート２２は、図６に示す
ように、図示しない真空吸着プレート駆動装置によって
駆動され、真空ポンプ等の吸引手段によって上記吸引部
材２２ａが駆動し、真空吸着プレート２２の吸引部材２
２ａの配設側とは、反対側の表面に保護膜３を吸着させ
るようになっている。

【００４４】ここで、本実施例の保護膜剥離装置におけ
る、保護膜３の搬送動作について図７を参照しながら、
以下に説明する。

【００４５】まず、保護膜３が基板１から完全に剥離さ
れた状態から、図７（ａ）に示すように、真空吸着プレ
ート２２が保護膜３の剥離位置まで移動する。次いで、
保護膜３が真空吸着プレート２２に当接すると、真空ポ
ンプにより吸引することによって保護膜３を真空吸着プ
レート２２に当着させる。このとき、保護膜３が、粘着
性部材としての粘着テープ１３から分離し易いように、
保護膜剥離部６は上昇した位置で保持されている。

【００４６】次に、図７（ｂ）に示すように、保護膜３
は、真空吸着プレート２２の下方への移動によって保護
膜剥離部６の粘着テープ１３から完全に分離される。そ
して、真空吸着プレート２２に当着した保護膜３は、図
７（ｃ）に示すように、保護膜３を下側にし、保護膜回
収部８に重ね合わせて載置され、真空ポンプによる吸引
が解除される。このとき、基板１は、搬送ローラ９…に
よって現像工程へと搬送され、真空吸着プレート２２
は、保護膜回収部８で保護膜３を載置した後、再び、保
護膜３の当接位置に移動して待機する。

【００４７】〔実施例３〕本発明のさらに他の実施例について図８および図９に基
づいて説明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜
上、前記の実施例１の図面に示した手段と同一機能を有
する手段には、同一の符号を付記し、その説明を省略す
る。

【００４８】本実施例に係る保護膜剥離装置は、図１に
おける保護膜搬送部５に備えられている薄膜保持手段と
してのチャックハンド２１・２１に代えて、図８に示す
ような薄膜保持手段としての静電気帯電プレート２３が
備えられている。

【００４９】上記静電気帯電プレート２３は、図示しな
い静電気帯電プレート駆動装置によって駆動され、帯電
装置によって表面に静電気が帯電するようになってい
る。

【００５０】ここで、本実施例の保護膜剥離装置におけ
る保護膜３の搬送動作について図９を参照しながら、以
下に説明する。

【００５１】まず、保護膜３が基板１から完全に剥離さ
れた状態から、図９（ａ）に示すように、静電気帯電プ
レート２３が保護膜３の剥離位置まで移動する。次い
で、保護膜３が静電気帯電プレート２３に当接すると、
帯電装置によりプレート表面を帯電することによって保
護膜３を静電気帯電プレート２３に当着させる。このと
き、保護膜３が粘着性部材としての粘着テープ１３から
分離し易いように、保護膜剥離部６は上昇した位置で保
持されている。

【００５２】次に、図９（ｂ）に示すように、保護膜３
は、静電気帯電プレート２３の下方への移動によって粘
着テープ１３から完全に分離される。そして、静電気帯
電プレート２３に当着した保護膜３は、図９（ｃ）に示
すように、保護膜３を下側にし、保護膜回収部８に重ね
合わせて載置され、帯電装置による帯電が解除される。
このとき、基板１は、搬送ローラ９…によって現像工程
へと搬送され、静電気帯電プレート２３、保護膜回収部
８で保護膜３を載置した後、再び、保護膜３の当接位置
に移動して待機する。

【００５３】〔参考例〕本発明の参考例について図１０および図１１に基づいて
説明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前
記の実施例１の図面に示した手段と同一機能を有する手
段には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。

【００５４】参考例に係る保護膜剥離装置は、図１０に
示すように、図１における保護膜搬送部５に備えられて
いる薄膜保持手段としてのチャックハンド２１・２１に
代えて、薄膜保持手段としての保護膜搬送ベルト２４と
保護膜押さえ板２５とが備えられている。

【００５５】上記保護膜搬送ベルト２４は、第一駆動ベ
ルト２４ａ、第一従動ベルト２４ｂ、第二従動ベルト２
４ｃ、第二駆動ベルト２４ｄ、第三従動ベルト２４ｅと
からなっている。

【００５６】このうち、上記第一駆動ベルト２４ａは、
基板搬送部５の搬送ローラ９を駆動ローラとし、この搬
送ローラ９と第一従動ローラ２６ａに張設され、第一従
動ベルト２４ｂは、第一従動ローラ２６ａと第二従動ロ
ーラ２６ｂに張設され、第二従動ベルト２４ｃは、第二
従動ローラ２６ｂと第三従動ローラ２６ｃに張設されて
いる。

【００５７】また、上記第二駆動ベルト２４ｄは、駆動
ローラ２６ｄと第四従動ローラ２６ｅに張設され、第三
従動ベルト２４ｅは、第四従動ローラ２６ｅと第五従動
ローラ２６ｆに張設されている。

【００５８】尚、第一駆動ベルト２４ａと第二駆動ベル
ト２４ｄとは、平行に配設され、第一従動ベルト２４ｂ
と第二駆動ベルト２４ｄとは、第一従動ベルト２４ｂを
張設している第二従動ローラ２６ｂと、第二駆動ベルト
２４ｄを張設している第四従動ローラ２６ｅとが近接す
るように配設されている。そして、この第一駆動ベルト
２４ａと第二駆動ベルト２４ｄとの間に形成された空間
に剥離された保護膜３を挿入するようになっている。

【００５９】また、上記第二従動ベルト２４ｃと第三従
動ベルト２４ｅとは、平行に、且つ、近接して設けられ
ており、この第二従動ベルト２４ｃと第三従動ベルト２
４ｅとの間に保護膜３を挾持して搬送するようになって
いる。

【００６０】また、上記保護膜搬送ベルト２４は、保護
膜剥離部６の下方、基板１の搬送方向に対して直交方向
の両端側にそれぞれ設けられており、この保護膜搬送ベ
ルト２４の間には、保護膜搬送ベルト２４によって搬送
されてきた保護膜３を保護膜回収部８に回収する保護膜
押さえ板２５が設けられている。

【００６１】上記保護膜押さえ板２５は、図１０に示す
ように、駆動装置（図示せず）によって保護膜搬送ベル
ト２４の上方から保護膜回収部８方向に向かって移動す
るようになっており、保護膜搬送ベルト２４によって搬
送されてきた保護膜３を押さえながら保護膜回収部８に
一枚ずつ重ね合わせて載置するようになっている。

【００６２】ここで、参考例の保護膜剥離装置における
保護膜の搬送動作について図１１を参照しながら、以下
に説明する。

【００６３】まず、保護膜３が基板１から完全に分離し
た状態から、図１１（ａ）に示すように、保護膜３の、
保護膜剥離部６の粘着テープとの当着部分とは反対側端
部が、第一駆動ベルト２４ａと第二駆動ベルト２４ｄと
の間に形成された空間に移動し、第二従動ベルト２４ｃ
と第三従動ベルト２４ｅとの間に挾持される。このと
き、保護膜３が粘着テープ１３から分離し易いように、
保護膜剥離部６は上昇した位置で保持されている。

【００６４】次に、図１１（ｂ）に示すように、保護膜
３は、第二従動ベルト２４ｃと第三従動ベルト２４ｅと
の間に挾持され、保護膜剥離部６の粘着テープ１３から
完全に分離される。次いで、図１１（ｃ）に示すよう
に、保護膜搬送ベルト２４の上方から保護膜押さえ板２
５が下降し、第二従動ベルト２４ｃと第三従動ベルト２
４ｅとの間に挾持された保護膜３を押さえながら保護膜
回収部８に重ね合わせて載置する。このとき、基板１
は、搬送ローラ９…によって現像工程へと搬送される。

【００６５】以上、前記各実施例における薄膜回収手段
によれば、剥離された保護膜３を一枚ずつ保護膜回収部
８に重ね合わせて回収することが可能であるので、保護
膜回収部８の小型化を可能とし、装置全体の小型化を可
能とする。また、保護膜３を一枚ずつ重ね合わせて回収
することで、保護膜３の回収効率、即ち、回収部分のス
ペース効率を向上させることができるので、回収された
保護膜３…を排出する回数を低減することができ、装置
の操作性の向上を図ることができる。

【００６６】尚、前記各実施例に記載した薄膜回収手段
のみならず、他のものでも良く、特に限定するものでは
ない。

【００６７】

【発明の効果】請求項１記載の発明の薄膜剥離装置は、
以上のように、基板から薄膜を剥離する薄膜剥離装置で
あって、上記薄膜を粘着性部材により剥離する薄膜剥離
手段と、この薄膜剥離手段に上記基板を搬送する基板搬
送手段と、上記薄膜剥離手段により剥離された薄膜を回
収すべく、該薄膜を保持して薄膜回収部まで搬送し、か
つ薄膜回収部において薄膜を整然と重ね合わせて載置す
るまで該薄膜を保持している薄膜保持手段を備えた薄膜
回収手段とが設けられている構成である。

【００６８】それゆえ、基板を損傷させることなく薄膜
を剥離することができ、剥離された薄膜を所定位置に重
ねて載置することが容易となり、薄膜回収部の小型化を
可能とし、装置全体の小型化を可能とすることができる
という効果を奏する。

【００６９】また、請求項２記載の発明の薄膜剥離装置
は、以上のように、基板搬送手段近傍に、塵埃を除去す
る塵埃除去手段が設けられている構成である。

【００７０】それゆえ、薄膜が剥離された基板への塵埃
の付着を低減させることにより、塵埃の影響を受けず、
微細なパターンを正確に形成することができるという効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る保護膜剥離装置の概略
構成図である。

【図２】図１の保護膜剥離装置の保護膜剥離動作を示す
ものであって、同図（ａ）は、基板が供給されている状
態を示す説明図であり、同図（ｂ）は、基板上の保護膜
が剥離されている状態を示す説明図であり、同図（ｃ）
は、基板と保護膜とが分離した状態を示す説明図であ
る。

【図３】図１の保護膜剥離装置における剥離された保護
膜を回収する動作を示すものであって、同図（ａ）は、
剥離された保護膜がチャックハンドによって挾持され、
基板から分離されている状態を示す説明図であり、同図
（ｂ）は、分離した保護膜をチャックハンドによって回
収容器に搬送している状態を示す説明図であり、同図
（ｃ）は、分離された保護膜が回収容器に回収された状
態を示す説明図である。

【図４】本実施例に係る積層体の概略構成図である。

【図５】図４の積層体を基板上に貼付した状態を示す説
明図である。

【図６】本発明の他の実施例に係る保護膜剥離装置の概
略構成図である。

【図７】図６の保護膜剥離装置における剥離された保護
膜を回収する動作を示すものであって、同図（ａ）は、
剥離された保護膜が真空吸着プレートによって吸着さ
れ、基板から分離されている状態を示す説明図であり、
同図（ｂ）は、分離した保護膜を真空吸着プレートによ
って回収容器に搬送している状態を示す説明図であり、
同図（ｃ）は、分離された保護膜が回収容器に回収され
た状態を示す説明図である。

【図８】本発明のさらに他の実施例に係る保護膜剥離装
置の概略構成図である。

【図９】図８の保護膜剥離装置における剥離された保護
膜を回収する動作を示すものであって、同図（ａ）は、
剥離された保護膜が静電気帯電プレートによって吸着さ
れ、基板から分離されている状態を示す説明図であり、
同図（ｂ）は、分離した保護膜を静電気帯電プレートに
よって回収容器に搬送している状態を示す説明図であ
り、同図（ｃ）は、分離された保護膜が回収容器に回収
された状態を示す説明図である。

【図１０】本発明の参考例に係る保護膜剥離装置の概略
構成図である。

【図１１】図１０の保護膜剥離装置における剥離された
保護膜を回収する動作を示すものであって、同図（ａ）
は、剥離された保護膜が保護膜搬送ベルトによって基板
から分離されている状態を示す説明図であり、同図
（ｂ）は、分離した保護膜を保護膜搬送ベルトによって
回収容器に搬送している状態を示す説明図であり、同図
（ｃ）は、分離された保護膜が回収容器に回収された状
態を示す説明図である。

【符号の説明】

１基板３保護膜（薄膜）５基板搬送部（基板搬送手段）６保護膜剥離部（薄膜剥離手段）７保護膜搬送部（薄膜回収手段）８保護膜回収部（薄膜回収部、薄膜回収手段）１３粘着テープ（粘着性部材）２１チャックハンド（薄膜保持手段、薄膜回収手
段）２２真空吸着プレート（薄膜保持手段、薄膜回収手
段）２３静電気帯電プレート（薄膜保持手段、薄膜回収
手段）２４保護膜搬送ベルト（薄膜保持手段、薄膜回収手
段）２５保護膜押さえ板（薄膜保持手段、薄膜回収手
段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭62−180871（ＪＰ，Ａ) 実開平２−45551（ＪＰ，Ｕ) 特公平５−8419（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/00 - 7/42

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板から薄膜を剥離する薄膜剥離装置であ
って、上記薄膜を粘着性部材により剥離する薄膜剥離手段と、
この薄膜剥離手段に上記基板を搬送する基板搬送手段
と、上記薄膜剥離手段により剥離された薄膜を回収すべ
く、該薄膜を保持して薄膜回収部まで搬送し、かつ薄膜
回収部において薄膜を整然と重ね合わせて載置するまで
該薄膜を保持している薄膜保持手段を備えた薄膜回収手
段とが設けられていることを特徴とする薄膜剥離装置。
【請求項２】上記基板搬送手段近傍に、塵埃を除去する
塵埃除去手段が設けられていることを特徴とする請求項
１記載の薄膜剥離装置。