JPH05213520A - キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装置 - Google Patents

キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装置

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JPH05213520A
JPH05213520A JP4204910A JP20491092A JPH05213520A JP H05213520 A JPH05213520 A JP H05213520A JP 4204910 A JP4204910 A JP 4204910A JP 20491092 A JP20491092 A JP 20491092A JP H05213520 A JPH05213520 A JP H05213520A
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JP
Japan
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film
separating
carrier material
gap
laminate
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JP4204910A
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Hans Heist
ハンス、ハイスト
Stephen J W Platzer
スティーブン、ジェー、ダブリュ、プラッツァー
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Hoechst AG
Original Assignee
Hoechst AG
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26DCUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D3/00Cutting work characterised by the nature of the cut made; Apparatus therefor
    • B26D3/28Splitting layers from work; Mutually separating layers by cutting
    • B26D3/281Splitting layers from work; Mutually separating layers by cutting the work being simultaneously deformed by the application of pressure to obtain profiled workpieces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C63/00Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/0004Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013Removing old coatings
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/161Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination

Abstract

(57)【要約】 【目的】 キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィ
ルムを分離し、引き離すための装置を提供する。 【構成】 装置31は、ベースプレート15と、このベ
ースプレート上に所定距離のところにあるプレート16
と、楔状分離ナイフ13及びこのナイフ上にある隙間1
4を備えた水平方向及び垂直方向に移動自在の分離装置
10とを有する。外されるべきフィルム22が上側に層
をなして設けられたキャリヤ材料21がベースプレート
とプレートとの間で押される。前進方向に移動するナイ
フがフィルム隅部24を外し、これは隙間14に通され
て自己クランプ式にしっかりと保持され、そのため、更
に前進させるとフィルムがキャリヤ材料から完全に外さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、キャリヤ材料上に層を
なして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装
置に関し、ベースプレートと一部がこのベースプレート
上に所定距離のところにあるプレートとを有する装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】例えば回路基板上の露光済フォトレジス
ト層又はカラープルーフフィルム(color proof-film)の
ような感光層は、一般に、保護フィルムで覆われてい
る。カラープルーフフィルム及び印刷された回路基板の
製造では、先ず最初に基材を感光材料で被覆する。次い
で、この材料を透明フィルムで被覆する。次いで、フィ
ルム及び感光層でできたこのラミネートにマスクで像を
次々に露光する。この露光は、露光した部分が未露光の
部分よりも強固に基材に貼り付くように感光層が異なっ
て貼り付いて像の形成を行う。保護フィルム及び基材を
互いから分離すると、例えば、ポジティブな像が基材
に、ネガティブな像が保護フィルムに形成される。
【0003】電子回路用回路基板の製造では、基材には
感光性ドライレジストフィルム(light sensitive dry r
esist film) が層をなして設けられている。電子回路が
描いてある像マスクを使用してドライレジストフィルム
の露光を行い、その後、保護フィルムを取外してドライ
レジストフィルムを種々の処理工程で現像する。ドライ
レジストフィルム上の保護フィルムによりほとんど埃の
ない露光を行うことができ、被覆を施した回路基板を積
み重ねた状態で輸送することができる。回路基板は、特
定的には、一つ又はそれ以上の境界部を有し、これらの
境界部には保護フィルムが層をなして設けられておら
ず、保護フィルムのないこれらの境界部で基板を把持工
具又は手で掴むことができる。
【0004】ラミネート化作業によっては、例えば着色
樹脂層を基材から受入れ材料に移す場合のように、被覆
を一方の表面から他方の表面に完全に移すのが望まし
い。このような場合には、被覆を施した基材及び基材上
の受入れシートは、圧力が加わった状態で、加熱したラ
ミネートローラのラミネートニップを通される。次い
で、基材及び受入れシートを互いに分離し、これによっ
て、着色樹脂層が基材から受入れシートに移る。このよ
うな移行工程での問題点は、着色樹脂層の移行が不完全
であるということである。
【0005】米国特許第4,752,346 号には、互いに接着
材で貼り付けられたフィルムを外し、分離するための装
置及び方法が記載されている。この装置は、金属又は導
電層を表面に備えた材料でできたプラットホームを有す
る。表面の上にはバー縁部又は楔が設けられている。バ
ー縁部及びプラットホームの両方がアースされている。
バー縁部は、その各端にある支持体でプラットホーム上
に位置決めされている。これらの支持体は、ばねで取り
囲まれており、バー縁部を貫通し、バー縁部を越えて突
出している。従って、バー縁部の下側とプラットホーム
の表面との間に種々の隙間を形成でき、これによって、
基材及びフィルムから成る種々の厚さのラミネートをバ
ー縁部とプラットホームの表面との間に通すことができ
る。例えば、受入れシートで被覆された着色した感光層
を透明なポリエステルフィルムに接着材層で付けられ
る。このサンドウィッチ構成はラミネートローラのニッ
プを通って走行し、次いで引き離し装置のバー縁部とプ
ラットホームとの間に導入される。透明なポリエステル
フィルムは、縁部角度に亘って上方に曲げられ且つバー
縁部の面取り面に沿って取り出されたフィルムによって
バー縁部上に引き離される。その結果、ポリエステルフ
ィルムは受入れシート即ち受入れフィルムから分離さ
れ、受入れシートへの接着剤層及び着色した感光層の移
行が起こる。
【0006】ドイツ特許3,443,939 号には、シートの形
態の接着要素を使用して露光済のフォトレジストとラミ
ネートにされた回路基板から保護フィルムを外すための
工程が開示され、前記シートの形態の接着要素は、外さ
れるべき保護フィルムに接着剤で貼り付けられており、
その後、回路基板をほぼ対角線方向に引き離す。この場
合、回路基板は、基板の前縁と移送方向に対する垂線と
の間に0<α<90°の角度が設定されるように、回転
装置によって調節される。次いで、保護フィルムの境界
部の外側にある基板の被覆されていない部分を掴んで保
護フィルムをローラで引き離すことができるように、基
板の前隅部の上側及び下側の両側に両面接着要素を設け
る。上述の工程を実施するための装置は、移送−調節装
置を有し、この装置によって基板の形態の本体をその移
送方向から旋回させて加工位置へ外すことができ、更
に、両面接着要素を付けるための装置を有し、この装置
はトングの形態で設計され、支持ローラを受入れるため
のプレート状の本体を有し、更に、基板の形態の本体か
ら接着要素及び保護フィルムを外すための装置を有す
る。この装置は軸線方向に平行に配置されたローラから
なるシステムを有し、ローラ間の距離を一定に保つため
の装置が備えられている。
【0007】ドイツ特許第3,339,723 号には、ラミネー
トにされた回路基板から保護フィルムを外すための方法
及び装置が開示され、移送ローラを介して走行するラミ
ネートにされた回路基板の上側及び下側には片面接着テ
ープが設けられ、保護フィルムは、これに続く接着テー
プのバー縁部上への引き離しによって外され、回路基板
とともに引き離し隙間を形成する保護フィルムは、運び
去られて貯蔵される。バー縁部は移送装置に関して45
°の角度を形成し、隣接した面は、同様に基板平面に関
して45°の角度を形成する。
【0008】保護フィルムをラミネートにされた回路基
板から外すための周知の装置の場合には、連続した即ち
無端接着手又は個々の両面接着要素のいずれを使用する
にしても、付加的な材料を必要とし、こうした材料を大
量に必要とする。更に、接着テープ又は接着要素のいず
れかを回路基板の保護フィルム上に付けるため、別の工
程を予め行う必要がある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的はこれを
解消することであり、一つ又はそれ以上の感光層が付け
られたキャリヤ材料からフィルムを確実に完全に全自動
で外すことを接着テープや接着要素なしで行う装置及び
方法を提案する。
【0010】
【課題を解決するための手段】この目的は、請求項1の
従来技術部分に特定した装置に従って、ベースプレート
上に載ったフィルム及びキャリヤ材料から成るラミネー
ト上を主軸に沿ってモータの作用で前後に移動できる分
離装置によって、楔状分離ナイフと、この楔状分離ナイ
フ上にあり且つ水平に対して斜めに傾斜した、楔状分離
ナイフと平行な隙間とを有する分離装置によって、及び
ベースプレートを垂直方向に貫通し、外したフィルム隅
部を隙間に通す間、ラミネートの下側をしっかりと保持
する、ステーによって、達成される。
【0011】本発明の改良では、分離装置はアングルフ
レーム(angled frame)の下側に取付けられ、アングルフ
レームの垂直脚部にはローラが下端に回転自在に取付け
られている。
【0012】本発明の別の改良では、分離ナイフがこの
隙間の下側を形成し、これは水平に関して分離装置の前
進方向で5°乃至25°、特に10°乃至20°の角度
を構成する。
【0013】本発明の別の改良は、請求項4乃至11の
特徴によって提供される。
【0014】キャリヤ材料からフィルムを分離し、引き
離すための方法であって、フィルムとキャリヤ材料から
成るラミネートは対角線が分離装置の前進方向と整合
し、フィルム隅部は分離ナイフを使用してキャリヤ材料
から外され、前記フィルム隅部は水平に対して斜めに延
びる分離装置の隙間に通されてこの隙間に分離ナイフに
よって自己クランプ式にしっかりと保持され、前記フィ
ルムは、分離装置を前進させると同時にベースプレート
から持ち上げてベースプレート上のプレートの上側を走
行させることによって引き離される、方法。
【0015】別の工程は請求項13及び14の特徴によ
って提供される。
【0016】本発明を、図示の例示の実施例を参照して
以下に詳細に説明する。
【0017】
【実施例】図1には、キャリヤ材料21からフィルム2
2を分離する、即ち引き離すための装置31が側面図で
概略に示してある。装置31はベースプレート15を有
し、このベースプレートはその隅にある四つの直立脚部
29上に支持され、更に、装置31は、透明プレート1
6とモータ11で駆動される主軸12とを有し、この主
軸12上には、ベースプレート15上を双方向矢印Aが
示すように前後に移動できる分離装置10が設けられて
いる。更に、装置31は、ベースプレート15を貫通し
たステー17を有し、このステーは双方向矢印Bが示す
ように上下させることができる。透明プレート16はベ
ースプレート15上の所定距離のところに配置され、面
取り面25を有する。ベースプレート15とプレート1
6との間の隙間には、フィルム22が層をなして設けら
れたキャリヤ材料21が押し込まれる。図1及び図2か
ら明らかなように、プレート16はベースプレート15
を完全に覆うのでなく、分離装置10の前進方向でベー
スプレート15よりも短くなっている。
【0018】プレート16は、透明材料、例えばガラス
又はプラスチックでできており、ガラスが好ましい。キ
ャリヤ材料21はフィルムであるのがよく、このフィル
ム上には、例えば、着色した感光性合成樹脂層が付けて
ある。この合成樹脂層上に層をなして設けられたフィル
ム22は、この着色した合成樹脂層用の受取りフィルム
として役立ち、これは、一般に、対応する染料を含むポ
リマー層である。キャリヤ材料21からのフィルム22
の取り外し中、即ち分離中、着色した合成樹脂層がキャ
リヤ材料から受入れフィルム22に移される。これに続
いて、かくして得られたカラープルーフフィルムの露光
が行われる。
【0019】更に、キャリヤ材料21は、フォトレジス
トパターンが露光された回路基板であるのがよく、この
場合、フィルム22は露光済のフォトレジストパターン
の保護フィルムである。回路基板の露光後、保護フィル
ムを除去し、フォトレジストパターンを種々の浴で現像
する。保護フィルムは、フォトレジストパターンを損傷
することなく、及び/又は保護フィルムをフォトレジス
トフィルム上に残すことなく除去されなければならな
い。
【0020】図1からわかるように、一部が外した状態
で図示してあるハウジング30が主軸12を包囲してい
る。案内ロッド27及び28がこの主軸に沿って走行
し、これとともに分離装置10が移動する。
【0021】図2からわかるように、フィルム22は、
キャリヤ材料21上の全ての境界部32上にフィルム2
2が層をなして設けられていないようにキャリヤ材料2
1上に層をなして設けられている。キャリヤ材料21及
びフィルム22から成るラミネート23は、矩形又は正
方形のラミネートの対角線26が分離装置10の前進方
向と整合するようにベースプレート15とプレート16
との間に配置されている。フィルム22のフィルム隅部
24は対角線26上に載っている。
【0022】図3からわかるように、分離装置10は楔
状分離ナイフ13を有し、このナイフ上には、このナイ
フと平行で且つ楔状分離ナイフの上面と同じ傾斜で水平
に対して傾斜した隙間14がある。図3では、分離装置
10の前進方向での二つの位置が示してある。破線で示
す第1の左側の位置では、分離装置10従って分離ナイ
フ13がフィルム隅部24の直前に配置され、キャリヤ
材料21からのフィルム隅部24の取外しはこの時点で
はまだ行われていない。分離装置10は、水平脚部及び
垂直脚部を持つアングルフレーム18の下側に取付けら
れている。垂直脚部19の下端にはローラ20が回転自
在に取付けられ、このローラは、前進中、ラミネート2
3上を最初に転動する。図3の第2の右側の位置では、
楔状分離ナイフ13はキャリヤ材料21からフィルム2
2のフィルム隅部24を外し、このフィルム隅部24を
隙間14に通している。次いで、ローラ20を前側、即
ちプレート16の面取り面25の始点に直接的に配置す
る。分離装置10のこの位置では、ベースプレート15
を垂直方向に貫通するステー17がラミネート23をプ
レート16の下側に押付けてこれをしっかりと把持し、
そのため、外したフィルム隅部24を隙間14に難なく
通すことができる。隅部17は空気圧又は液圧で上下さ
せることができる。これに必要な空気圧装置又は液圧装
置は従来技術で周知であり、従って図示しない。
【0023】分離ナイフ13が隙間14の下側を或る程
度形成し、これは分離装置10の前進方向で水平に関し
て5°乃至25°、特に、10°乃至20°の角度を構
成する。特定の図示の実施例では、水平方向に関する隙
間の角度は15°である。隙間の長さは20mmと等しい
かこれよりも大きい。特に、試験によれば30mmの隙間
長さが好ましいということがわかっている。フィルム隅
部24は、全体に隙間内に最大20mm通される。分離装
置を更に前進させると、通したフィルム隅部24は分離
ナイフ13によって隙間内に自己クランプ式にしっかり
と保持される。
【0024】図4は、ローラ20がプレート16の面取
り面25上を上り、その結果、分離装置10をベースプ
レート15上のラミネート23から持ち上げる分離装置
10の位置を示す。この関係で、ということを指摘しな
ければならない分離装置10はベースプレート15に関
して垂直方向に移動自在であるということを指摘しなけ
ればならない。この位置では、フィルム22は、面取り
面25の前縁の周りに、即ち面取り面25の開始縁の周
りに曲げをなして導かれ、第1の曲げとは反対の別の曲
げは分離装置10の隙間14内に通されている。この位
置では、ラミネート23は、勿論、最早、下降されたス
テー17でしっかりと保持されてはいない。
【0025】図5では、分離装置10の位置をプレート
16の表面上に沿って移動している位置で示してある。
楔状分離ナイフ13の角度αは、隙間14について上文
中で特定した角度範囲、又は隙間14の上述の好ましい
実施例と同じ15°である。この位置では、ローラ20
はプレート16の上側から持ち上げられており、これ
は、例えば図5からわかるように、ローラ20の最も下
の箇所が楔状分離ナイフ13の水平面の平面よりも上に
あることによって生じる。この方策は、分離ナイフ13
がフィルム隅部24をキャリヤ材料21から難なく外す
ことができるようにするのに必要である。更に、ステー
17が下降させてあり、ラミネート又はキャリヤ材料の
下側とは全く接触していないということが図5からわか
る。分離装置10の前進方向を図3、図4及び図5に矢
印Cで示す。
【0026】キャリヤ材料からのフィルムの分離、即ち
引き離しは以下の通りに行われる。
【0027】フィルム22及びキャリヤ材料21から成
るラミネート23を、ベースプレート15と、このベー
スプレートの上方所定距離のところに配置され、走行側
に面取り面25を有するプレート16との間で対角線方
向に押す。装置の始動時にラミネート23を下側でステ
ー17でしっかりと保持する。引き離されるべき上フィ
ルム22は、対角線方向で計ってキャリヤ材料21から
後方に約2cmのところにある。換言すると、フィルム2
2がないキャリヤ材料の境界部32は2cmである。
【0028】主軸12を介してモータ11で駆動する
と、軽く押付けてある分離ナイフ13はキャリヤ材料2
1上でフィルム22の前縁即ちフィルム隅部24の方向
に前進し、フィルム隅部24をキャリヤ材料21から外
す。フィルム22のフィルム隅部24は分離ナイフ13
の上方に配置された隙間14に約20mm押し込まれる。
ラミネート23を下側から固定するステー17はその開
始位置に戻され、ラミネートを解放する。従って、ロー
ラ20で案内される分離ナイフ13はプレート16の前
側に配置された面取り面25上を上に向かって走行す
る。その結果、分離ナイフ13上で隙間14内に配置さ
れたフィルム22は5°乃至20°、特に15°の角度
で曲げられ、分離ナイフ13と隙間14内のフィルム2
2との間で自己クランプ式の保持が行われる。
【0029】分離ナイフ13を更に前進することによっ
て分離作業を続け、一方が他方の家に層をなして設けら
れた二つの部品が互いから外され、互いに反対方向に分
離される。
【図面の簡単な説明】
【図1】一部が外した状態で図示してある本発明による
装置の側面図である。
【図2】図1による装置の平面図である。
【図3】分離装置が、キャリヤ材料から外されるべきフ
ィルムのフィルム隅部の直前にある、本装置の一部の側
断面図である。
【図4】フィルム隅部を隙間に通した状態でプレートの
面取り面上を走行する分離装置の側断面図である。
【図5】フィルムをキャリヤ材料から部分的に外した状
態でプレートの上側上を走行する分離装置の側断面図で
ある。
【符号の説明】
10 分離装置 11 モータ 12 主軸 13 楔状分離ナイフ 14 隙間 15ベースプレート 16 透明プレート 17 ステー 18 アングルフレーム 19 垂直脚部 20 ローラ 21 キャリヤ材料 22 フィルム 23 ラミネート 24 フィルム隅部 25 面取り面 26 対角線 27、28 案内ロッド 29 直立脚部 30 ハウジング 32 境界部

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベースプレートと一部がこのベースプレー
    ト上の所定距離のところにあるプレートとを有する、キ
    ャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離
    し、引き離すための装置において、分離装置は、ベース
    プレート上に載ったフィルム及びキャリヤ材料から成る
    ラミネート上を主軸に沿ってモータの作用で前後に移動
    でき、前記分離装置は楔状分離ナイフ及びこれと平行な
    隙間を有し、この隙間は楔状分離ナイフ上にあり且つ水
    平に対して斜めに傾斜し、ステーがベースプレートを垂
    直方向に貫通し、このステーは、外したフィルム隅部を
    隙間に通す間、ラミネートの下側をしっかりと保持す
    る、装置。
  2. 【請求項2】前記分離装置はアングルフレームの下側に
    取付けられ、このいるアングルフレームの垂直脚部には
    ローラが下端に回転自在に取付けられている、請求項1
    に記載の装置。
  3. 【請求項3】前記分離ナイフは隙間の下側を構成し、水
    平に関して分離装置の前進方向で5°乃至25°、特に
    10°乃至20°の角度を構成する、請求項1に記載の
    装置。
  4. 【請求項4】前記隙間の長さは20mmに等しいか或いは
    これよりも長い、請求項1に記載の装置。
  5. 【請求項5】前記隙間の長さは30mmである、請求項4
    に記載の装置。
  6. 【請求項6】分離装置に面するプレートの前側には面取
    り面が設けられ、この面取り面上で前記分離装置はロー
    ラの助けでプレートの上側を上方に走行する、請求項1
    又は2に記載の装置。
  7. 【請求項7】前記プレートはガラス又はプラスチックの
    ような透明材料から成る、請求項1に記載の装置。
  8. 【請求項8】前記ステーは空気圧又は液圧で上下させる
    ことができる、請求項1に記載の装置。
  9. 【請求項9】キャリヤ材料上に層をなして設けられたフ
    ィルムはカラーフィルムであり、前記ラミネートは、矩
    形又は正方形のラミネートの対角線が分離装置の前進方
    向と整合するようにベースプレートとプレートとの間に
    配置されている、請求項1に記載の装置。
  10. 【請求項10】キャリヤ材料がフィルムである、請求項
    1に記載の装置。
  11. 【請求項11】前記キャリヤ材料は、上側にフォトレジ
    ストパターンが露光された回路基板であり、前記フィル
    ムは保護フィルムである、請求項1に記載の装置。
  12. 【請求項12】キャリヤ材料からフィルムを分離し、引
    き離すための方法であって、フィルムとキャリヤ材料か
    ら成るラミネートは対角線が分離装置の前進方向と整合
    し、フィルム隅部は分離ナイフを使用してキャリヤ材料
    から外され、前記フィルム隅部は水平に対して斜めに延
    びる分離装置の隙間に通されてこの隙間に分離ナイフに
    よって自己クランプ式にしっかりと保持され、前記フィ
    ルムは、分離装置を前進させると同時にベースプレート
    から持ち上げてベースプレート上のプレートの上側を走
    行させることによって引き離される、方法。
  13. 【請求項13】フィルム隅部の外し前にラミネートの下
    側をフィルム隅部から遠方の位置で持ち上げ、ラミネー
    トをプレートの下側に押付け、これによってラミネート
    をしっかりと保持する、請求項12に記載の方法。
  14. 【請求項14】外したフィルム隅部を分離装置の隙間に
    通してこれを自己クランプ式にしっかりと保持すると同
    時にフィルム及びキャリヤ材料から成るラミネートを解
    放する、請求項12又は13に記載の方法。
JP4204910A 1991-08-02 1992-07-31 キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装置 Pending JPH05213520A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4125722A DE4125722A1 (de) 1991-08-02 1991-08-02 Vorrichtung zum trennen und abziehen einer auf einem traegermaterial auflaminierten folie
DE4125722.7 1991-08-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05213520A true JPH05213520A (ja) 1993-08-24

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ID=6437614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4204910A Pending JPH05213520A (ja) 1991-08-02 1992-07-31 キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装置

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Country Link
EP (1) EP0525692B1 (ja)
JP (1) JPH05213520A (ja)
DE (2) DE4125722A1 (ja)

Cited By (1)

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