JP2002234667A - フィルムの剥離方法及び剥離装置 - Google Patents
フィルムの剥離方法及び剥離装置Info
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- JP2002234667A JP2002234667A JP2001030439A JP2001030439A JP2002234667A JP 2002234667 A JP2002234667 A JP 2002234667A JP 2001030439 A JP2001030439 A JP 2001030439A JP 2001030439 A JP2001030439 A JP 2001030439A JP 2002234667 A JP2002234667 A JP 2002234667A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基板に引張力を掛けつつ貼り付けたフィルムを
基板表面に痕跡を残すことなく剥離することができるフ
ィルムの剥離方法を提供することである。 【解決手段】引張力を掛けつつ基板に貼り付けたフィル
ムを剥離するに当たり、基板の貼り付けた面と平行で引
張力を掛けた方向と交差する方向にフィルムを剥離す
る。
基板表面に痕跡を残すことなく剥離することができるフ
ィルムの剥離方法を提供することである。 【解決手段】引張力を掛けつつ基板に貼り付けたフィル
ムを剥離するに当たり、基板の貼り付けた面と平行で引
張力を掛けた方向と交差する方向にフィルムを剥離す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板に貼り付けたフ
ィルムの剥離方法と剥離装置に係わり、特に引張力を掛
けつつ基板に貼り付けたフィルムの剥離方法と剥離装置
に関するものである。
ィルムの剥離方法と剥離装置に係わり、特に引張力を掛
けつつ基板に貼り付けたフィルムの剥離方法と剥離装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルのカラーフィルタ基板
は、ガラス基板に光の３要素である赤，緑，青のカラー
フィルタを格子状のブラックマトリックスの枡目に充填
した構造となっている。
は、ガラス基板に光の３要素である赤，緑，青のカラー
フィルタを格子状のブラックマトリックスの枡目に充填
した構造となっている。
【０００３】その基板製造では、保管や運搬の都合など
からベースフィルム上にカラーフィルタとなるレジスト
フィルムを設け、更にその上にカバーフィルムを設けて
三層構造としてロール化しておいて、使用時にフィルム
ロールから巻き出してカバーフィルムを部分的又は全て
剥離して、レジストフィルムが基板側になるようにし
て、ベースフィルムと共に圧着ロールによりガラス基板
表面にレジストフィルムを貼り付け、必要部分だけに露
光し、その後にベースフィルムを剥離し、現像によって
不要部分のレジストを除去する工程を繰り返すことで、
赤、緑、青の各カラーフィルタを形成している。
からベースフィルム上にカラーフィルタとなるレジスト
フィルムを設け、更にその上にカバーフィルムを設けて
三層構造としてロール化しておいて、使用時にフィルム
ロールから巻き出してカバーフィルムを部分的又は全て
剥離して、レジストフィルムが基板側になるようにし
て、ベースフィルムと共に圧着ロールによりガラス基板
表面にレジストフィルムを貼り付け、必要部分だけに露
光し、その後にベースフィルムを剥離し、現像によって
不要部分のレジストを除去する工程を繰り返すことで、
赤、緑、青の各カラーフィルタを形成している。
【０００４】液晶表示パネルの画像性能を支配する要因
の１つがレジスト表面の平坦性であり、フィルムを貼り
付け方向に強く引っ張って圧着ロールの圧力も高くして
貼り付けている。
の１つがレジスト表面の平坦性であり、フィルムを貼り
付け方向に強く引っ張って圧着ロールの圧力も高くして
貼り付けている。
【０００５】なお、基板に貼り付けたフィルムを剥離す
る方法及び装置を示すものとして特許第２６４２３１７
号公報記載のものがある。
る方法及び装置を示すものとして特許第２６４２３１７
号公報記載のものがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来技術におけるフィ
ルムの剥離は、フィルム貼り付け時に掛ける引張力の方
向にフィルムを剥離するものであった。このような従来
技術で液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する
べくフィルムのベースフィルムを剥離すると、剥離後の
レジスト表面にはベースフィルム剥離方向に直交する凹
凸状の痕跡が発生し、液晶表示パネルの画像性能を一定
値以上に高めることができない。
ルムの剥離は、フィルム貼り付け時に掛ける引張力の方
向にフィルムを剥離するものであった。このような従来
技術で液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する
べくフィルムのベースフィルムを剥離すると、剥離後の
レジスト表面にはベースフィルム剥離方向に直交する凹
凸状の痕跡が発生し、液晶表示パネルの画像性能を一定
値以上に高めることができない。
【０００７】また、カバーフィルムの全てを剥離するこ
となく基板からはみ出したフィルムの両端部とその部分
に隣接した一定幅の部分のカバーフィルムを残したり、
それらの領域のカバーフィルムは除去しているものの別
のカバーフィルムを貼り付けて、それらカバーフィルム
で基板にレジストフィルムが貼り付かないようにしてい
るものにおいては、ベースフィルムを剥離すると、剥離
終了端側のカバーフィルムは基板から剥離できないとい
う問題が、時折起こった。
となく基板からはみ出したフィルムの両端部とその部分
に隣接した一定幅の部分のカバーフィルムを残したり、
それらの領域のカバーフィルムは除去しているものの別
のカバーフィルムを貼り付けて、それらカバーフィルム
で基板にレジストフィルムが貼り付かないようにしてい
るものにおいては、ベースフィルムを剥離すると、剥離
終了端側のカバーフィルムは基板から剥離できないとい
う問題が、時折起こった。
【０００８】それゆえ、本発明の目的は基板に引張力を
掛けつつ貼り付けたフィルムを基板表面に痕跡を残すこ
となく剥離することができるフィルムの剥離方法と剥離
装置を提供することにある。
掛けつつ貼り付けたフィルムを基板表面に痕跡を残すこ
となく剥離することができるフィルムの剥離方法と剥離
装置を提供することにある。
【０００９】本発明の他の目的は、基板に引張力を掛け
つつ貼り付けたフィルムを確実に基板から剥離すること
ができるフィルムの剥離方法と剥離装置を提供すること
にある。
つつ貼り付けたフィルムを確実に基板から剥離すること
ができるフィルムの剥離方法と剥離装置を提供すること
にある。
【００１０】
【発明を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明剥離方法の特徴とするところは、基板の貼り付けた面
と平行で引張力を掛けた方向と交差する方向にフィルム
を剥離することにある。
明剥離方法の特徴とするところは、基板の貼り付けた面
と平行で引張力を掛けた方向と交差する方向にフィルム
を剥離することにある。
【００１１】また、上記目的を達成する本発明剥離装置
の特徴とするところは、貼り付けたフィルムの辺縁部を
保持し、基板の貼り付けた面と平行で引張力を掛けた方
向と交差する方向にフィルムを剥離する剥離手段を備え
ていることにある。
の特徴とするところは、貼り付けたフィルムの辺縁部を
保持し、基板の貼り付けた面と平行で引張力を掛けた方
向と交差する方向にフィルムを剥離する剥離手段を備え
ていることにある。
【００１２】引張力を掛けて貼り付けておいて、フィル
ムを引張力を掛けた方向で剥離すると、フィルムは伸び
た状態で貼り付けられているために剥離開始とともにフ
ィルムに収縮しようとする力が部分的に働き、収縮速度
が剥離部材の移動速度よりも大きくなると、フィルムを
引っ張る力が作用しなくなるので剥離が停止するという
事態が起こり、部分的な収縮が終わり移動速度が収縮速
度に勝ると剥離させるということを繰り返すためにフィ
ルム剥離後に痕跡が残ると考えられる。
ムを引張力を掛けた方向で剥離すると、フィルムは伸び
た状態で貼り付けられているために剥離開始とともにフ
ィルムに収縮しようとする力が部分的に働き、収縮速度
が剥離部材の移動速度よりも大きくなると、フィルムを
引っ張る力が作用しなくなるので剥離が停止するという
事態が起こり、部分的な収縮が終わり移動速度が収縮速
度に勝ると剥離させるということを繰り返すためにフィ
ルム剥離後に痕跡が残ると考えられる。
【００１３】そこで、フィルム貼り付け時に掛けた引張
力で残留応力が働いていない引張力を掛けた方向と交差
する方向に剥離することにより、フィルムの収縮方向が
剥離の方向と一致しないので、収縮が剥離に与える影響
を消すことができて痕跡が残らないことを確認し、本発
明に至った。
力で残留応力が働いていない引張力を掛けた方向と交差
する方向に剥離することにより、フィルムの収縮方向が
剥離の方向と一致しないので、収縮が剥離に与える影響
を消すことができて痕跡が残らないことを確認し、本発
明に至った。
【００１４】引張力を掛けた方向と交差する方向に剥離
するとしても、フィルムの剥離速度を急激に変化させる
と痕跡が残る。痕跡を残さないためには、フィルムの剥
離速度を一定に維持するか、加速度あるいは減速度を一
定にすると良い。
するとしても、フィルムの剥離速度を急激に変化させる
と痕跡が残る。痕跡を残さないためには、フィルムの剥
離速度を一定に維持するか、加速度あるいは減速度を一
定にすると良い。
【００１５】また、基板やフィルムは絶縁性であること
が多く、製造過程における部材間の摩擦で、フィルムを
貼り付けた基板には静電気（電荷）が残っていることが
多い。
が多く、製造過程における部材間の摩擦で、フィルムを
貼り付けた基板には静電気（電荷）が残っていることが
多い。
【００１６】フィルムを剥離すると残留電荷が未剥離領
域に移動し、基板およびフィルムの電位を高め、フィル
ムの接着力よりも静電吸着力（クーロン力）が大きくな
ると、フィルムを基板から剥離できなくなる。カバーフ
ィルムを残しておいて、カバーフィルムがある貼り付け
た方向に剥離する場合には、ベースフィルムは剥離でき
てもカバーフィルムは静電吸着力で基板と剥離できず基
板に残ってしまうと考えられる。
域に移動し、基板およびフィルムの電位を高め、フィル
ムの接着力よりも静電吸着力（クーロン力）が大きくな
ると、フィルムを基板から剥離できなくなる。カバーフ
ィルムを残しておいて、カバーフィルムがある貼り付け
た方向に剥離する場合には、ベースフィルムは剥離でき
てもカバーフィルムは静電吸着力で基板と剥離できず基
板に残ってしまうと考えられる。
【００１７】フィルムの貼り付け方向と直交する方向に
ベースフィルムの剥離をすると、剥離開始時点からカバ
ーフィルムをベースフィルムとともに剥離できるから、
剥離最終段階でカバーフィルムに電荷が集中して残ると
いうことがなくなり、カバーフィルムを残すことなく剥
離処理を全うすることができる。
ベースフィルムの剥離をすると、剥離開始時点からカバ
ーフィルムをベースフィルムとともに剥離できるから、
剥離最終段階でカバーフィルムに電荷が集中して残ると
いうことがなくなり、カバーフィルムを残すことなく剥
離処理を全うすることができる。
【００１８】基板の生産ラインでは、作業の効率化と機
器設置面積の狭小化が要求される。そこで、フィルム剥
離はフィルムの移動と基板の移動を連動させることによ
り、フィルムの移動距離を短くし剥離の効率化と装置の
小型化ができる。
器設置面積の狭小化が要求される。そこで、フィルム剥
離はフィルムの移動と基板の移動を連動させることによ
り、フィルムの移動距離を短くし剥離の効率化と装置の
小型化ができる。
【００１９】また、基板を起立して重力方向にフィルム
剥離を行うようにすることにより、フィルム剥離によっ
て発生するダストやフィルム剥離手段から発生するダス
トが基板上に落下することを防止できる。
剥離を行うようにすることにより、フィルム剥離によっ
て発生するダストやフィルム剥離手段から発生するダス
トが基板上に落下することを防止できる。
【００２０】更に、重力方向に剥離したフィルムは、そ
のまま下方に設けた容器に落下させ収納する。収納容
器、即ち回収箱に整理して収納するために、フィルム剥
離中にフィルム剥離手段から回収手段に持ちかえ、水平
に広げて重ね合わせて収納する。
のまま下方に設けた容器に落下させ収納する。収納容
器、即ち回収箱に整理して収納するために、フィルム剥
離中にフィルム剥離手段から回収手段に持ちかえ、水平
に広げて重ね合わせて収納する。
【００２１】基板搬送系の下方に剥離したフィルムの収
納容器を設け、重力を利用して回収をするので装置の設
置面積狭小化のみならず簡略化も達成できる。
納容器を設け、重力を利用して回収をするので装置の設
置面積狭小化のみならず簡略化も達成できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図５で説明する。図１は、ガラス基板１１を起立さ
せた状態を示している。このガラス基板１１には、フィ
ルム１２を貼り付けてある。フィルム１２は、ベースフ
ィルム１３にレジストフィルム１５，１６とカバーフィ
ルム１４が積層してある３層構造になっている。
乃至図５で説明する。図１は、ガラス基板１１を起立さ
せた状態を示している。このガラス基板１１には、フィ
ルム１２を貼り付けてある。フィルム１２は、ベースフ
ィルム１３にレジストフィルム１５，１６とカバーフィ
ルム１４が積層してある３層構造になっている。
【００２３】レジストフィルム１５，１６は本来一体
で、ベースフィルム上に順次レジストフィルム，カバー
フィルムをそれらの粘着性を利用して重ねたものから、
カット線１７のところでカバーフィルム側からレジスト
フィルムまでをカットし、ガラス基板１１に貼り付けた
い部分のカバーフィルムを剥離し、カバーフィルム１４
が残っている両端部はガラス基板１１の左右の端部から
横方向にはみ出している。
で、ベースフィルム上に順次レジストフィルム，カバー
フィルムをそれらの粘着性を利用して重ねたものから、
カット線１７のところでカバーフィルム側からレジスト
フィルムまでをカットし、ガラス基板１１に貼り付けた
い部分のカバーフィルムを剥離し、カバーフィルム１４
が残っている両端部はガラス基板１１の左右の端部から
横方向にはみ出している。
【００２４】レジストフィルム１５が貼り付いているガ
ラス基板１１の領域は、図１に示すコーナ部２１，２
２，２３，２４に囲まれた内側で、カバーフィルム１４
がある領域は粘着性がなく、ここではガラス基板１１と
貼り付いていない。
ラス基板１１の領域は、図１に示すコーナ部２１，２
２，２３，２４に囲まれた内側で、カバーフィルム１４
がある領域は粘着性がなく、ここではガラス基板１１と
貼り付いていない。
【００２５】液晶表示パネルではレジストフィルム１５
の平坦度を特に要求されるので、フィルム貼り付け時に
は、図示していない圧着ロールによるフィルム貼り付け
方向１８に強い張力をフィルム１２に付与している。
の平坦度を特に要求されるので、フィルム貼り付け時に
は、図示していない圧着ロールによるフィルム貼り付け
方向１８に強い張力をフィルム１２に付与している。
【００２６】ベースフィルム１３の上側に必要部分のみ
に光を通すフォトマスクを置き、上方からＵＶ光を照射
する露光処理を施こしてある。
に光を通すフォトマスクを置き、上方からＵＶ光を照射
する露光処理を施こしてある。
【００２７】そのようなフィルム１２は、ガラス基板１
１に貼り付けたレジストフィルム１５はそのままとし
て、ベースフィルム１３，カバーフィルム１４及びベー
スフィルム１３とカバーフィルム１４に挟まれているレ
ジストフィルム１６を剥離する。
１に貼り付けたレジストフィルム１５はそのままとし
て、ベースフィルム１３，カバーフィルム１４及びベー
スフィルム１３とカバーフィルム１４に挟まれているレ
ジストフィルム１６を剥離する。
【００２８】このフィルムの剥離では、図１に矢印２０
で示すようにフィルム剥離手段の一部である第一クラン
パ３０で引張力が掛っている矢印１８とは交差（直交）
する方向に剥離を行う。
で示すようにフィルム剥離手段の一部である第一クラン
パ３０で引張力が掛っている矢印１８とは交差（直交）
する方向に剥離を行う。
【００２９】この剥離処理を、図３に示す剥離装置で説
明する。剥離装置は、ガラス基板１１を吸着、移動する
基板吸着ハンド３５，ガラス基板１１に貼り付けてある
フィルムを挟持し剥離する第一クランパ３０，クランパ
３０を支えるアーム３１，アーム３１を図３の左右に移
動させるシリンダ３２，シリンダ３２を図３の前後方向
（図１では矢印１８の水平方向）に移動させる水平ガイ
ド３３と上下方向（図１では矢印２０の垂直方向）に移
動させる垂直ガイド３４，剥離したフィルムを挟持する
第二クランパ３６，第二クランパ３６を支えるアーム３
７、剥離したフィルムを水平方向に押し広げるフィルム
プッシャ３８，フィルムを重ね合わせて収納する回収箱
（収納容器）３９から成る。
明する。剥離装置は、ガラス基板１１を吸着、移動する
基板吸着ハンド３５，ガラス基板１１に貼り付けてある
フィルムを挟持し剥離する第一クランパ３０，クランパ
３０を支えるアーム３１，アーム３１を図３の左右に移
動させるシリンダ３２，シリンダ３２を図３の前後方向
（図１では矢印１８の水平方向）に移動させる水平ガイ
ド３３と上下方向（図１では矢印２０の垂直方向）に移
動させる垂直ガイド３４，剥離したフィルムを挟持する
第二クランパ３６，第二クランパ３６を支えるアーム３
７、剥離したフィルムを水平方向に押し広げるフィルム
プッシャ３８，フィルムを重ね合わせて収納する回収箱
（収納容器）３９から成る。
【００３０】図３では、第一クランパ３０は垂れ下がっ
た形で示しているが、フィルム１２を挟持した状態でシ
リンダ３２によりアーム３１が図３において僅かに右方
向に移動すると、先端部が回転し水平な状態に変化す
る。また、第二クランパ３６は立ち上がっているが、第
一クランパ３０からフィルム１２を受け取るときは、先
端部が回転し水平になる。そして、アーム３７は、第二
クランパ３６の位置を上下に移動させるように回転す
る。フィルムプッシャ３８の先端部には水平に延びたバ
ーを設けてある。
た形で示しているが、フィルム１２を挟持した状態でシ
リンダ３２によりアーム３１が図３において僅かに右方
向に移動すると、先端部が回転し水平な状態に変化す
る。また、第二クランパ３６は立ち上がっているが、第
一クランパ３０からフィルム１２を受け取るときは、先
端部が回転し水平になる。そして、アーム３７は、第二
クランパ３６の位置を上下に移動させるように回転す
る。フィルムプッシャ３８の先端部には水平に延びたバ
ーを設けてある。
【００３１】ガラス基板１１は起立させてもフィルム貼
り付け方向が水平方向であるように水平にした基板吸着
ハンド３５に乗せる。そして吸着後に基板吸着ハンド３
５を起立させる。そして、第一クランパ３０で図１に示
すようにガラス基板１１からはみ出ているフィルム１２
の位置を挟持する。この位置ではレジストフィルム１６
がベースフィルム１３とカバーフィルム１４で覆われて
いるから、第一クランパ３０は汚れないし、挟持を解い
ても直ちに離れる。第二クランパ３６は第一クランパ３
０からフィルムを受け取る位置で待機する。
り付け方向が水平方向であるように水平にした基板吸着
ハンド３５に乗せる。そして吸着後に基板吸着ハンド３
５を起立させる。そして、第一クランパ３０で図１に示
すようにガラス基板１１からはみ出ているフィルム１２
の位置を挟持する。この位置ではレジストフィルム１６
がベースフィルム１３とカバーフィルム１４で覆われて
いるから、第一クランパ３０は汚れないし、挟持を解い
ても直ちに離れる。第二クランパ３６は第一クランパ３
０からフィルムを受け取る位置で待機する。
【００３２】フィルム剥離の当初は、第一クランパ３０
をシリンダ３２でアーム３１を図３の右方向に移動さ
せ、図１に示す矢印２０のように最初は対角方向に動か
して２１で示すコーナ部から剥離させ、その後はガラス
基板１１の辺に沿うように下方に移動させていく。剥離
速度はほぼ一定に保ちながら順次重力方向に剥離する。
をシリンダ３２でアーム３１を図３の右方向に移動さ
せ、図１に示す矢印２０のように最初は対角方向に動か
して２１で示すコーナ部から剥離させ、その後はガラス
基板１１の辺に沿うように下方に移動させていく。剥離
速度はほぼ一定に保ちながら順次重力方向に剥離する。
【００３３】図４は、剥離中の基板上部１９（図１参
照）と両クランパ３０，３６の高さ方向位置を示してい
る。剥離開始から時刻Ｔ1までは、基板吸着ハンド３５
が図示していない駆動装置でガラス基板１１を上昇させ
るので、基板上部１９は一点鎖線５０で示すように一定
速度で上昇し、第一クランパ３０は垂直ガイド３４で実
線５１で示すように一定速度で下降する。
照）と両クランパ３０，３６の高さ方向位置を示してい
る。剥離開始から時刻Ｔ1までは、基板吸着ハンド３５
が図示していない駆動装置でガラス基板１１を上昇させ
るので、基板上部１９は一点鎖線５０で示すように一定
速度で上昇し、第一クランパ３０は垂直ガイド３４で実
線５１で示すように一定速度で下降する。
【００３４】そして第一クランパ３０が時刻Ｔ1で下降
を停止すると同時に基板上部１９は増速して上昇する。
時刻Ｔ1から時刻Ｔ2の間、剥離したフィルムのコーナ部
２１付近の両端を第二クランパ３６が挟持して同じ位置
で保持し、第一クランパ３０は実線５１で示すようにフ
ィルム挟持を解除して時刻Ｔ2以降にフィルム剥離開始
位置へ移動する。
を停止すると同時に基板上部１９は増速して上昇する。
時刻Ｔ1から時刻Ｔ2の間、剥離したフィルムのコーナ部
２１付近の両端を第二クランパ３６が挟持して同じ位置
で保持し、第一クランパ３０は実線５１で示すようにフ
ィルム挟持を解除して時刻Ｔ2以降にフィルム剥離開始
位置へ移動する。
【００３５】図５は、フィルム剥離中のガラス基板１１
と第一クランパ３０先端部との相対速度を示す。
と第一クランパ３０先端部との相対速度を示す。
【００３６】時刻Ｔ1までは基板１１が速度Ｖ1で上昇
し、第一クランパ３０は速度（Ｖ2−Ｖ1）で下降する。
従って、フィルム１２の実質剥離速度はＶ2である。時
刻Ｔ1からＴ3までは第二クランパ３６は移動を停止して
おり、ガラス基板１１が速度Ｖ2で上昇していく。これ
により、剥離中の相対速度をＶ2一定に保っている。
し、第一クランパ３０は速度（Ｖ2−Ｖ1）で下降する。
従って、フィルム１２の実質剥離速度はＶ2である。時
刻Ｔ1からＴ3までは第二クランパ３６は移動を停止して
おり、ガラス基板１１が速度Ｖ2で上昇していく。これ
により、剥離中の相対速度をＶ2一定に保っている。
【００３７】図４において、時刻Ｔ3でフィルム剥離が
終了するとフィルム下端がガラス基板１１から離れて落
下するので、フィルム先端を挟持する第二クランパ３６
をアーム３７により点線５２で示し図３に二点鎖線で示
すように下げ、落下するフィルムをフィルムプッシャ３
８で水平方向に押す。この結果、剥離フィルム１３は真
下のフィルム回収箱３９の上で広がり、第二クランパ３
６による挟持を解除するとフィルム回収箱３９内に重ね
合わせた状態で収納回収される。
終了するとフィルム下端がガラス基板１１から離れて落
下するので、フィルム先端を挟持する第二クランパ３６
をアーム３７により点線５２で示し図３に二点鎖線で示
すように下げ、落下するフィルムをフィルムプッシャ３
８で水平方向に押す。この結果、剥離フィルム１３は真
下のフィルム回収箱３９の上で広がり、第二クランパ３
６による挟持を解除するとフィルム回収箱３９内に重ね
合わせた状態で収納回収される。
【００３８】本発明の剥離方法によれば、剥離でフィル
ムを引張る方向とフィルムを基板に貼り付ける時に印加
しその後フィルムに残っている応力の方向が異なるた
め、残留応力は剥離に悪影響を齎さず、ベースフィルム
を剥離してもレジストフィルムに剥離の痕跡が残らな
い。また、図１に矢印２０で示した第一クランパ３０の
動きはカット線１７でのレジストフィルム１５，１６の
切り離しが不充分であっても、カット線１７でこれらを
引き裂く方向に力を加えているものであるので、特に剥
離開始の当りでフィルムを確実に剥離できる。
ムを引張る方向とフィルムを基板に貼り付ける時に印加
しその後フィルムに残っている応力の方向が異なるた
め、残留応力は剥離に悪影響を齎さず、ベースフィルム
を剥離してもレジストフィルムに剥離の痕跡が残らな
い。また、図１に矢印２０で示した第一クランパ３０の
動きはカット線１７でのレジストフィルム１５，１６の
切り離しが不充分であっても、カット線１７でこれらを
引き裂く方向に力を加えているものであるので、特に剥
離開始の当りでフィルムを確実に剥離できる。
【００３９】また、剥離終了の頃にはカバーフィルム１
４はベースフィルム１３と一緒に剥離されてきているか
ら、たとえ摩擦による電荷があっても、電荷はカバーフ
ィルム１４だけに移動するようなことがなく、ベースフ
ィルムともどもカバーフィルム１４も剥離できる。
４はベースフィルム１３と一緒に剥離されてきているか
ら、たとえ摩擦による電荷があっても、電荷はカバーフ
ィルム１４だけに移動するようなことがなく、ベースフ
ィルムともどもカバーフィルム１４も剥離できる。
【００４０】本発明の剥離装置によれば基板も反重力方
向に移動させるので、第一クランパ移動距離を短くで
き、装置を小型にできる。また、基板を起立してフィル
ムを剥離することにより剥離装置床面積を小さくできる
だけでなく、発生するダストがレジストフィルムへ落下
することを防止できる。また、フィルム剥離中に第二ク
ランパ３６に持ちかえているので全体工程時間を短縮で
きる。
向に移動させるので、第一クランパ移動距離を短くで
き、装置を小型にできる。また、基板を起立してフィル
ムを剥離することにより剥離装置床面積を小さくできる
だけでなく、発生するダストがレジストフィルムへ落下
することを防止できる。また、フィルム剥離中に第二ク
ランパ３６に持ちかえているので全体工程時間を短縮で
きる。
【００４１】剥離装置の真下で剥離フィルムを重ね合わ
せて回収箱に収納できるので、装置全体の床面積（設置
面積）を小型にできる。
せて回収箱に収納できるので、装置全体の床面積（設置
面積）を小型にできる。
【００４２】以上の実施形態ではフィルムをベースフィ
ルムとレジストフィルムからなる２層フィルムでベース
フィルムを剥離する例で説明したが、貼り付けられてい
るフィルムは何層でも良い。また、基板の辺縁からはみ
だしていなくても良く、フィルムを貼り付けた形態は問
題ではない。
ルムとレジストフィルムからなる２層フィルムでベース
フィルムを剥離する例で説明したが、貼り付けられてい
るフィルムは何層でも良い。また、基板の辺縁からはみ
だしていなくても良く、フィルムを貼り付けた形態は問
題ではない。
【００４３】また、図１ではコーナ部２１からの剥離で
説明したが、コーナ部２２側にも第一クランパ３０を設
けて、矢印２０と線対称の軌跡でフィルムの剥離をさせ
ても良い。ダストを嫌う基板では基板を起立させること
が望ましいが、ダストを厭わないものであれば、基板は
水平に維持してその上でクランパを水平に移動させ、剥
離を行っても良い。フィルムが下側であれば、ダストは
問題にならず回収箱３９も基板搬走路の下に設置でき
る。
説明したが、コーナ部２２側にも第一クランパ３０を設
けて、矢印２０と線対称の軌跡でフィルムの剥離をさせ
ても良い。ダストを嫌う基板では基板を起立させること
が望ましいが、ダストを厭わないものであれば、基板は
水平に維持してその上でクランパを水平に移動させ、剥
離を行っても良い。フィルムが下側であれば、ダストは
問題にならず回収箱３９も基板搬走路の下に設置でき
る。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板に引張力を掛けつつ貼り付けたフィルムを基板表面
に痕跡を残すことなく剥離することができる。
基板に引張力を掛けつつ貼り付けたフィルムを基板表面
に痕跡を残すことなく剥離することができる。
【図１】本発明フィルムの剥離方法を説明する基板と貼
り付けたフィルムを示す正面図である。
り付けたフィルムを示す正面図である。
【図２】基板と貼り付けたフィルムを図１のＡ方向から
見た側面図である。
見た側面図である。
【図３】本発明フィルムの剥離装置の概略側面図であ
る。
る。
【図４】図３に示したフィルムの剥離装置におけるフィ
ルム剥離中での構成部品の位置変化を示す図である。
ルム剥離中での構成部品の位置変化を示す図である。
【図５】図３に示したフィルムの剥離装置におけるフィ
ルム剥離中での構成部品の速度変化を示す図である。
ルム剥離中での構成部品の速度変化を示す図である。
１１…基板 １２…フィルム １３…ベースフィルム １４…カバーフィルム １５、１６…レジストフィルム １７…カット線 ３０…第一クランパ ３６…第二クランパ ３８…フィルムプッシャ ３９…フィルム回収箱
フロントページの続き (72)発明者 木戸 光夫 山口県下松市東豊井794番地 日立テクノ エンジニアリング株式会社笠戸事業所内 Ｆターム(参考） 2H025 AB11 AB13 AB15 FA24 2H048 BA02 BA11 BA45 BA66 BB02 BB28 BB42 2H090 JB02 LA15 3F108 JA02 JA05 5G435 AA00 AA17 EE33 KK05 KK09 KK10
Claims (4)
- 【請求項１】引張力を掛けつつ基板に貼り付けたフィル
ムを剥離するものにおいて、基板の貼り付けた面と平行
で引張力を掛けた方向と交差する方向にフィルムを剥離
することを特徴とするフィルムの剥離方法。 - 【請求項２】上記請求項１において、フィルムの剥離速
度又はその加速度或は減速度を一定に保って剥離するこ
とを特徴とするフィルムの剥離方法。 - 【請求項３】引張力を掛けつつ基板に貼り付けたフィル
ムを剥離するものにおいて、貼り付けたフィルムの辺縁
部を保持し、基板の貼り付けた面と平行で引張力を掛け
た方向と交差する方向にフィルムを剥離する剥離手段を
備えていることを特徴とするフィルムの剥離装置。 - 【請求項４】上記請求項３において、更に、引張力を掛
けた方向が水平方向でフイルムを貼り付けた面がほぼ垂
直になるように基板を支持する手段と、該基板を支持す
る手段の下方に剥離したフィルムを回収する収納容器
と、基板から剥離しているフィルムを該剥離手段が保持
しているフィルムの辺縁部を保持することで該剥離手段
から受け取って水平に伸延せしめて保持を開放し該収納
容器内に剥離したフィルムを落下積層せしめる回収手
段、とを備えていることを特徴とするフィルムの剥離装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001030439A JP3773796B2 (ja) | 2001-02-07 | 2001-02-07 | フィルムの剥離方法及び剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001030439A JP3773796B2 (ja) | 2001-02-07 | 2001-02-07 | フィルムの剥離方法及び剥離装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002234667A true JP2002234667A (ja) | 2002-08-23 |
| JP3773796B2 JP3773796B2 (ja) | 2006-05-10 |
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ID=18894656
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001030439A Expired - Fee Related JP3773796B2 (ja) | 2001-02-07 | 2001-02-07 | フィルムの剥離方法及び剥離装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3773796B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007139090A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Fujifilm Corporation | 外層体の剥離方法及び剥離装置 |
| CN101219741B (zh) * | 2007-01-09 | 2012-02-22 | 日本梅克特隆株式会社 | 薄膜剥离器 |
| KR20150000303A (ko) * | 2013-06-24 | 2015-01-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 다이오드 패널의 제조방법 |
| CN105190734A (zh) * | 2013-05-17 | 2015-12-23 | 住友化学株式会社 | 剥离装置以及光学显示器件的生产系统 |
| JP2023001911A (ja) * | 2021-06-21 | 2023-01-06 | 志聖工業股▲ふん▼有限公司 | フィルム剥取機およびフィルム剥取方法 |
| TWI840676B (zh) | 2021-06-21 | 2024-05-01 | 志聖工業股份有限公司 | 剝膜機及剝膜方法 |
-
2001
- 2001-02-07 JP JP2001030439A patent/JP3773796B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| JP2007320678A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Fujifilm Corp | 外層体の剥離方法及び剥離装置 |
| CN101460382B (zh) * | 2006-05-30 | 2012-05-23 | 富士胶片株式会社 | 外层体的剥离方法及剥离装置 |
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| KR20150000303A (ko) * | 2013-06-24 | 2015-01-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 다이오드 패널의 제조방법 |
| KR102063986B1 (ko) * | 2013-06-24 | 2020-01-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 다이오드 패널의 제조방법 |
| JP2023001911A (ja) * | 2021-06-21 | 2023-01-06 | 志聖工業股▲ふん▼有限公司 | フィルム剥取機およびフィルム剥取方法 |
| JP7369825B2 (ja) | 2021-06-21 | 2023-10-26 | 志聖工業股▲ふん▼有限公司 | フィルム剥取機およびフィルム剥取方法 |
| TWI840676B (zh) | 2021-06-21 | 2024-05-01 | 志聖工業股份有限公司 | 剝膜機及剝膜方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3773796B2 (ja) | 2006-05-10 |
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