KR20070110372A

KR20070110372A - 적층 기판 어셈블리의 제조 방법 및 제조 장치

Info

Publication number: KR20070110372A
Application number: KR1020077021388A
Authority: KR
Inventors: 카즈요시 스에하라; 야스히사 와타나베; 하루히토 아리미츠; 히데노리 고토
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2005-03-23
Filing date: 2006-03-16
Publication date: 2007-11-16
Also published as: JP2006264020A; TW200640679A; US20090044900A1; TWI352662B; EP1863586A1; WO2006101147A1; CN101146683A

Abstract

제조 장치(20)는 쿠션층이 유리 기판(24)을 대향하도록 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)을 접착하여 접합 기판(24a)을 제조하는 접합 기구(42)를 구비한다. 제조 장치(20)는 냉풍으로 접합 기판(24a)을 강제적으로 냉각하는 냉각 기구(110), 쿠션층을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내의 온도로 가열하는 가열 기구(112), 및 감광성 웹(22)의 베이스 필름을 가열된 접합 기판(24a)으로부터 박리하는 박리 기구(116)도 구비하고 있다. 냉각 기구(11), 가열 기구(112), 및 박리 기구(116)는 접합 기판(24a)의 반송 방향으로 연속적으로 배치된다.

적층 기판 어셈블리

Description

적층 기판 어셈블리의 제조 방법 및 제조 장치{METHOD OF AND APPARATUS FOR LAMINATED SUBSTRATE ASSEMBLY}

본 발명은 지지층과 그 위에 하나 이상의 수지층이 적층된 적층체를 상기 수지층이 기판을 향하도록 하여 상기 기판에 접착한 후 상기 지지층을 상기 수지층으로부터 박리하여 적층 기판 어셈블리를 제조하는 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.

예컨대, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는 감광 재료(감광성 수지)층을 구비한 감광성 시트(감광성 웹)를 기판 표면에 부착하여 구성되어 있다. 감광성 시트는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.

이러한 감광성 시트를 부착하는 부착 장치는 통상적으로 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정 간격씩 이격시켜서 반송함과 아울러 상기 감광성 시트로부터 보호 필름을 박리한 후 상기 기판에 감광성 재료층을 부착하도록 작동한다.

예컨대, 일본 특허 공개 평8-183146호 공보에 드라이 레지스트 필름의 적층 방법이 개시되어 있다. 상기 적층 방법에 의하면, 도 17에 도시된 바와 같이, 기판 예열부, 적층부, 기판 냉각부, 기판상 필름 절단부, 및 필름 제거부가 기판(1)의 반송 방향을 따라 순차적으로 배치되어 있다. 이 기판(1)은 기판 예열부의 예열 히터(2)에 의해 소정 온도로 가열된 후, 적층부로 반송된다.

드라이 레지스트 필름(4)은 베이스 필름, 상기 베이스 필름에 배치된 레지스트층, 및 상기 레지스트층에 배치된 커버 필름(5)을 포함한다. 적층부에는 한쌍의 적층 롤러(3a, 3b)가 배치되어 있다. 상기 적층 롤러(3a, 3b) 사이에는 기판(1)과 드라이 레지스트 필름(4)이 반송되어 상기 드라이 레지스트 필름(4)이 상기 기판(1)에 열압착된다. 드라이 레지스트 필름(4)이 적층부로 반송되기 전에 드라이 레지스트 필름(4)으로부터 커버 필름(5)이 박리되어 베이스 필름 상의 레지스트층이 노출된다. 적층부에서 적층 롤러(3a, 3b)에 의해 드라이 레지스트 필름(4)의 노광된 레지스트층이 기판(1)에 열압착된다.

드라이 레지스트 필름(4)이 열압착된 기판(1)은 반송 롤러(6)에 의해 기판 냉각부로 반송되어 기판 냉각 수단(7)에 의해 냉각된다. 기판 냉각부에 의해 드라이 레지스트 필름(4)이 냉각될 때 드라이 레지스트 필름(4)의 레지스트층이 경화됨과 아울러 기판(1)과의 밀착력이 향상된다. 드라이 레지스트 필름(4)이 기판상 필름 절단부에 의해 순차적으로 절단되면 레지스트층은 절단시에 발생하는 응력에 의한 박리가 방지된다.

이어서, 연속적인 기판(1)을 연결하는 드라이 레지스트 필름(4)의 일부는 기판상 필름 절단부에 있어서의 기판상 필름 절단 수단(8)의 블레이드(blade)에 의해 절단되고, 연결된 기판(1)의 대향하는 단부 위와 그 사이에 드라이 레지스트 필름(4)의 절단 스트립이 남게 된다. 이어서, 기판(1)은 필름 제거부로 반송된다. 필름 제거부에서 기판(1)이 가열 롤러(9)에 의해 재가열되고, 연결된 기판(1)의 대향하는 단부 위와 그 사이에 배치된 드라이 레지스트 필름(4)의 절단 스트립은 필름 박리 수단(10)에 의해 기판(1)으로부터 제거된다.

종래 적층 방법에 의하면, 기판(1)의 단부로부터 돌출된 드라이 레지스트 필름(4)의 절단 스트립을 기판(1)으로부터 용이하게 제거하기 위해 기판(1)을 가열 롤러(9)에 의해 60℃∼90℃ 범위의 온도로 가열하고 있다. 그러나, 가열 롤러(9)에 의해 가열되는 기판(1)으로부터의 가열에 의해 드라이 레지스트 필름(4)의 절단 스트립 온도 제어가 정확하게 행해질 수 없다. 따라서, 상기 기판(1)으로부터 소망하는 레지스트층을 남기고 베이스 필름을 제거할 때 베이스 필름만을 확실하게 박리할 수 없다는 문제가 있다. 베이스 필름의 박리면이 평탄화되지 않고 박리 불량이 발생되는 경향이 있다. 기판(1)에 소망하지 않는 레지스트층이 부착되기 쉬워 기판(1)의 품질이 저하된다.

본 발명은 간단한 공정 및 구성으로 지지층을 수지층으로부터 박리하여 고품질의 적층 기판 어셈블리를 효율적으로 제조하는 방법 및 제조 장치를 제공하는 것을 주요 목적으로 한다.

본 발명은 지지층과 하나 이상의 수지층이 적층된 적층체를 상기 수지층이 기판을 대향하도록 하여 상기 기판에 접착한 후 상기 지지층을 상기 수지층으로부터 박리하여 적층 기판 어셈블리를 제조하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법 및 제조 장치이다.

수지층과 기판이 접착된 접합 기판이 냉각된다. 그 후에 수지층이 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내의 온도로 가열된다. 이어서, 지지층이 수지층으로부터 박리됨으로써 적층 기판 어셈블리가 제조된다.

수지층을 가열하면서 지지층을 수지층으로부터 박리하는 것이 바람직하다. 또한, 가열된 접합 기판을 냉각한 후 지지층을 수지층으로부터 박리하는 것이 바람직하다. 냉각에 의해 지지층과 수지층의 접착력이 저하되어 상기 지지층을 상기 수지층으로부터 용이하고 확실하게 박리할 수 있기 때문이다.

수지층은 지지층측으로부터 가열되는 것이 바람직하다. 지지층과 수지층의 박리 부위는 기판측으로부터 가열할 경우에 비해 보다 신속하고 정확하게 소망하는 온도로 가열되기 때문에 상기 지지층과 상기 수지층의 박리 처리가 고정밀도로 수행 가능하게 되기 때문이다.

복수의 기판에 긴 형상의 적층체가 일체적으로 접착된 후 각 기판으로부터 지지층을 연속적으로 박리하여 적층 기판 어셈블리를 제조하는 것이 바람직하다. 또한, 복수의 기판에 긴 형상의 적층체가 일체적으로 접착되고, 상기 적층체를 상기 기판 사이에서 절단한 후 각 기판으로부터 지지층을 박리하여 적층 기판 어셈블리를 제조하는 것이 바람직하다.

적층체는 지지층의 적층 어셈블리 형태의 긴 형상의 감광성 웹, 상기 지지층 상에 수지층으로서 배치된 열가소성 수지층, 및 열가소성 수지층 상에 배치되어 기판에 접착된 감광성 수지층을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 지지층을 상기 열가소성 수지층 또는 상기 감광성 수지층으로부터 박리하는 것이 바람직하다. 소정 온도 범위는 32℃∼38℃의 범위가 바람직하다.

본 발명에서는 수지층이 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위로 가열되기 때문에 상기 수지층에 잔류하는 응력이 확실하게 완화된다. 적층체가 소정의 텐션이 부여된 상태에서 기판에 접착(열압착)될 때 또는 적층체가 기판에 접착된 후에 강제적으로 냉각될 때에 수지층에 잔류 응력이 발생하기 쉽다. 냉각된 수지층을 소정 온도 범위내의 온도로 가열하면 수지층의 발생된 잔류 응력이 유효하게 완화되어 지지층을 수지층으로부터 용이하게 박리할 수 있다. 따라서, 지지층을 박리할 때 박리 불량이 발생되지 않는다. 따라서, 고품질의 적층 기판을 효율적으로 제조하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 목적, 특징 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시형태가 예시로서 도시된 첨부 도면을 참조하면 이하의 설명으로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 2는 도 1에 도시된 제조 장치에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹의 부분 확대 단면도이다.

도 3은 상기 긴 형상의 감광성 웹에 마스킹 테이프(masking tape)가 접착된 상태를 나타낸 부분 확대 단면도이다.

도 4는 온도와 tanδ값 사이의 관계를 나타낸 도면이다.

도 5는 상기 제조 장치의 박리 기구의 사시도이다.

도 6은 상기 박리 기구의 요부 사시도이다.

도 7은 고무 롤러 사이에 유리 기판이 진입하는 방법을 나타낸 상기 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 8은 첫번째 유리 기판상에 적층 종료시의 동작을 나타낸 상기 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 9는 감광성 수지층이 전사된 상기 유리 기판의 부분 단면도이다.

도 10은 기판 반송 롤러가 접합 기판의 단말로부터 이격되는 방법을 나타낸 상기 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 11은 상기 접합 기판 사이에서 상기 감광성 웹을 절단하는 방법을 나타낸 상기 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 12는 상기 박리 기구가 동작하는 방법을 나타내는 측면도이다.

도 13은 베이스 필름의 표면 온도와 필름 사이의 박리 불량을 나타내는 표이다.

도 14는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 15는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 제조 장치의 가열 기구에 대한 개략 측면도이다.

도 16은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 제조 장치의 가열 기구에 대한 개략 측면도이다.

도 17은 드라이 레지스트 필름의 종래의 적층 방법의 개략 측면도이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 감광성 적층체(적층 기판 어셈블리) 의 제조 장치(20)의 개략 측면도이다. 제조 장치(20)는 프린트 배선용 기판, 액정 패널, PDP, 또는 유기 EL 패널용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 긴 형상의 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(29)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사하도록 작동한다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(적층체)(22)의 단면도이다. 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지층)(26), 상기 베이스 필름(26)상에 배치된 쿠션층(열가소성 수지층)(27), 상기 쿠션층(27) 상에 배치된 중간층(산소 차단막)(28), 상기 중간층(28) 상에 배치된 감광성 수지층(29), 및 상기 감광성 수지층(29) 상에 배치된 보호 필름(30)으로 구성된다.

베이스 필름(26)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)로 형성된다. 쿠션층(27)은 에틸렌과 산화 비닐 공중합체로 형성된다. 중간층(28)은 폴리비닐 알콜로 형성된다. 감광성 수지층(29)은 알칼리 가용성 바인더, 모노머(monomer), 광중합 개시재, 및 착색제를 포함하는 착색 감광성 수지 조성물로 형성된다. 보호 필름(30)은 폴리프로필렌으로 형성된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 감아 놓은 감광성 웹 롤(22a)을 수용하고, 감광성 웹 롤(22a)로부터 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32); 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 연속적으로 박리하는 박리 기구(34); 감광성 웹(22)의 표면에 노출된 감광성 수지층(29)에 화살표(A)로 표시된 송출 방향으로 소정 간격으로 마스킹 테이프(36)를 접착하는 마스킹 테이프 접착 기구(38); 유리 기판(24)을 소정 온도로 가열한 상태에서 접합 위치로 반송하는 기판 반송 기구(40); 및 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감 광성 수지층(29)을 유리 기판(24)에 접합하는 접합 기구(42)를 구비하고 있다.

접합 기구(42)에 있어서의 접합 위치의 상류 근방에는 감광성 웹(22)의 경계 위치에 있는 마스킹 테이프(36)를 직접 검출하는 검출 기구(44)가 배치된다. 접합 기구(42)의 하류에는 인접한 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 웹 절단 기구(48)가 배치된다. 기판간 웹 절단 기구(48)의 상류에는 제조 장치(20)의 운전 개시시, 트러블 발생시, 또는 불량 필름 배출시에 사용되는 웹 선단 절단 기구(48a)가 배치된다.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 필수적으로 사용된 감광성 웹(22)의 후단과 새롭게 사용되는 감광성 웹(22)의 선단을 접합시키는 접합 베이스(47)가 배치된다. 이 접합 베이스(47)의 하류에는 감광성 웹 롤(22a)의 와인딩 불균일에 의한 감광성 웹(22)의 폭방향의 편차를 제어하기 위해 필름 단부 위치 검출기(49)가 배치된다. 감광성 웹(22)의 필름 단부 위치 조정은 웹 송출 기구(32)를 폭방향으로 이동시켜서 행한다. 그러나, 롤러를 조합시킨 위치 조정 기구에 의해 감광성 웹(22)의 필름 단부가 조정될 수 있다. 웹 송출 기구(32)는 감광성 웹 롤(22a)을 지지하고 감광성 웹(22)을 반출하는 2개 또는 3개의 언릴링 축(unreeling shaft)을 포함하는 다축 기구로 구성해도 좋다.

박리 기구(34)는 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 저감하고 순차적인 적층시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(suction drum)(46)을 구비한다. 박리 기구(34)는 석션 드럼(46)의 근방에 배치된 박리 롤러(46a)를 구비한다. 감광성 웹(22)으로부터 예각으로 박리된 보호 필름(30)은 보호 필름 테이크업 유 닛(protective film takeup unit)(50)에 의해 연속적으로 권회된다.

박리 기구(34)의 하류측에는 감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구(52)가 배치된다. 텐션 제어 기구(52)는 실린더(54)를 구비하고, 이 실린더(54)의 구동 작용하에 텐션 댄서(tension dancer)(56)가 요동 변위됨으로써 텐션 댄서(56)가 롤링 접촉(rolling contact)하는 감광성 웹(22)의 텐션이 조정된다. 텐션 제어 기구(52)는 필요에 따라 사용해도 좋고, 사용하지 않아도 좋다.

마스킹 테이프 접착 기구(38)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 보호 필름(30)이 박리된 감광성 수지층(29)에 기판 간격(T)에 걸쳐 마스킹 테이프(36)를 접착한다. 마스킹 테이프(36)는 예컨대, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)제 기재와, 이 기재의 일면[감광성 수지층(29)과의 접착면]측에 배치된 아크릴계 접착제, 실리콘계 접착제, 아크릴계와 실리콘계 접착제의 조합 또는 고무계 접착제 등의 접착층(58)을 포함한다. 마스킹 테이프(36)의 다른쪽에는 접착층이 형성되어 있지 않고, 바람직하게는 불소 수지 필름(fluorne resin film) 등으로 코팅된 비착성의 막으로 처리되어야 한다.

마스킹 테이프 접착 기구(38)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 마스킹 테이프(36)를 흡착하는 흡착 부재(60)와 감광성 수지층(29)을 백킹(backing)하는 어플라잉 백 베이스(applying back base)(62)를 구비한다.

검출 기구(44)는 레이저 빔 센서, 포토 센서 등의 광전 센서(82)를 구비하고 있다. 광전 센서(82)는 마스킹 테이프(36)가 투과광을 차폐할 때 감광성 웹(22)을 통과하는 광 강도의 변화를 직접 검출한다. 광전 센서(82)는 통과 광의 강도 변화 를 검출할 때 경계 위치 신호를 형성한다. 광전 센서(82)는 감광성 웹(22)이 백업 롤러(83)와 롤링 접촉하여 그 사이를 이동하도록 백업 롤러(83)와 대향하여 배치된다.

검출 기구(44)는 광전 센서(82)를 대신하여 감광성 웹(22) 상의 마스킹 테이프 두께를 검출하는 비접촉 변위계 또는 CCD 카메라 등의 화상 검사 수단 등을 포함할 수 있다.

기판 반송 기구(40)는 유리 기판(24)을 샌드위칭(sandwiching) 및 가열하도록 배치된 복수의 기판 가열부(예컨대, 히터)(84)와 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(86)를 구비하고 있다. 기판 가열부(84)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시한다. 유리 기판(24)의 감시된 온도가 이상하면 반송부(86)가 정지되고, 경보를 발생시키고, 이상 정보를 발신하여 이상한 유리 기판(24)을 거부하고 후공정으로 배출하며, 품질 관리 및 생산 관리에 활용되기도 한다. 반송부(86)에는 에어 부상 플레이트(air-floated plate)(도시되지 않음)가 배치되어 유리 기판(24)이 부상되어 화살표(C) 방향으로 반송된다. 대안으로서, 반송부(86)는 유리 기판(24)을 반송하는 롤러 콘베이어를 포함할 수 있다.

접촉 프로세스(예컨대, 열정쌍을 사용함) 또는 비접촉 프로세스에 의해 유리 기판(24)의 온도를 기판 가열부(84)내에서 또는 접합 위치 직전에 측정하는 것이 바람직하다.

기판 가열부(84)의 하류에는 유리 기판(24)의 선단에 접하고 유리 기판(24)을 유지하는 스톱퍼(87)와, 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출하는 위치 센서(88) 가 배치된다. 위치 센서(88)는 접합 위치를 향하는 도중에 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한다. 위치 센서(88)가 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한 후 유리 기판(24)이 소정 거리로 반송되어 접합 기구(42)의 고무 롤러(90a, 90b) 사이의 소정 위치에 배치된다. 위치 센서(88)의 각 위치에 유리 기판(24)이 도착하는 시간을 감시하기 위해 복수의 위치 센서(88)가 반송 경로를 따라 이격되어 배치됨으로써 유리 기판(24)이 반송되기 시작할 때 유리 기판(24)의 미끄러짐 등에 의한 지연을 체킹(checking)하는 것이 바람직하다. 도 1에 있어서, 유리 기판(24)을 반송하면서 기판 가열부(84)에 의해 유리 기판(24)을 가열한다. 대안으로서, 유리 기판(24)을 배치-히팅 오븐(batch-heating oven)에서 가열하여 로봇에 의해 반송해도 좋다.

접합 기구(42)는 소정 온도로 가열될 수 있는 한쌍의 상하로 배치된 적층 고무 롤러(90a, 90b)를 구비하고 있다. 접합 기구(42)는 고무 롤러(90a, 90b)와 각기 롤링 접촉하여 유지되는 한쌍의 백업 롤러(92a, 92b)도 구비하고 있다. 롤러 클램프부(93)의 실린더(94a, 94b)를 압착함으로써 백업 롤러(92b)가 고무 롤러(90b)에 대하여 가압된다.

고무 롤러(90a) 근방에는 감광성 웹(22)이 고무 롤러(90a)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(96)가 이동 가능하게 배치된다. 접합 기구(42)의 상류 근방에는 감광성 웹(22)을 미리 소정 온도로 예비 가열하기 위한 예비 가열부(97)가 배치된다. 예비 가열부(97)는 적외선 바 히터(infrared bar heater) 등의 가열 수단을 구비하고 있다.

유리 기판(24)은 접합 기구(42)로부터 기판간 웹 절단 기구(48)을 통과하여 화살표(C) 방향으로 연장된 반송로(98)를 따라 반송된다. 반송로(98)는 그 사이에 웹 선단 절단 기구(48a)가 개재된 기판 반송 롤러(102)와 필름 반송 롤러(100)를 포함하는 롤러의 어레이(array)를 포함한다. 고무 롤러(90a, 90b)와 기판 반송 롤러(102) 사이의 간격은 유리 기판(24) 하나의 길이보다 작거나 같다.

제조 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 박리 기구(34), 텐션 제어 기구(52), 마스킹 테이프 접착 기구(38), 및 검출 기구(44)가 접합 기구(42)의 상방에 배치되어 있다. 이에 반하여, 웹 송출 기구(32), 박리 기구(34), 텐션 제어 기구(52), 마스킹 테이프 접착 기구(38), 및 검출 기구(44)를 접합 기구(42)의 하방에 배치하여 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되고, 감광성 수지층(29)이 유리 기판(24)의 하방에 접합되어도 좋다. 대안으로서, 제조 장치(20)의 전체 기구를 직선상으로 배열해도 좋다.

제조 장치(20)는 보호 필름(30)이 박리되고 유리 기판(24)이 접합된 감광성 웹(22)으로 이루어진 접합 기판(24a)를 냉각하기 위해 기판간 웹 절단 기구(48)의 하류에 배치된 냉각 기구(110); 냉각된 접합 기판(24a)의 수지층 예컨대 쿠션층(27)을 유리 전이 온도(Tg) 이하의 소정 온도 범위(후술함) 내의 온도로 가열하기 위한 가열 기구(112); 및 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하여 감광성 적층체(114)를 생성하는 박리 기구(116)를 구비하고 있다.

냉각 기구(110)는 접합 기판(24a)에 찬 바람을 공급하여 접합 기판(24a)을 냉각한다. 구체적으로는, 냉각 기구(110)가 10℃의 온도를 갖는 찬 바람을 0.5m/분∼2.0m/분의 속도로 공급한다. 가열 기구(112)는 접합 기판(24a)의 베이스 필 름(26)에 배치된 가열 롤러(118) 및 가열 롤러(118)와 수직으로 배열되어 유리 기판(24)측에 배치된 백업 롤러(120)를 포함한다.

가열 롤러(118)는 예컨대, 전자 유도 히터에 의해 내부적 또는 외부적으로 가열되고, 베이스 필름(26)에 직접 접촉해서 유지되어 베이스 필름(26)을 통해 쿠션층(27)을 가열한다. 전자 유도 히터를 대신하여 시즈 히터(sheathed heater), 온수(액체) 히터 등에 의해 교대로 가열될 수 있다. 가열 롤러(118)는 고무 롤러, 금속 롤러, 클로스-와운드 롤러(cloth-wound roller), 수지 롤러 등을 포함할 수 있다. 복수의 가열 롤러(118)는 화살표(C) 방향으로 배열될 수 있다.

백업 롤러(120)는 가열될 필요가 없고, 필요에 따라 냉각 유체가 순환되는 냉각 롤러를 포함할 수 있다.

쿠션층(27)은 가열 롤러(118)에 의해 소정 온도 범위 내 즉, 유리 전이 온도(Tg) 이하의 온도로 가열된다. 쿠션층(27)의 유리 전이 온도는 점탄성 측정 방법(viscoelastic measuring process)에 의해 tanδ값(손실 계수)을 검출하고, tanδ값이 최대가 되는 온도를 결정함으로써 얻어진다.

적층된 필름의 온도와 tanδ값의 관계는 가부시키가이샤 토요 볼드윈(K.K. Toyo Baldwin)에 의해 제조된 점탄성 측정기를 사용하여 검출되어 도 4에 도시된 데어터가 얻어졌다. 도 4에 도시된 데이터에 의하면, 쿠션층(27)의 유리 전이 온도는 37.8℃였다.

도 5에 도시된 바와 같이, 박리 기구(116)는 접합 기판(24a)이 반송되는 화살표(C) 방향에 직교하는 화살표(D) 방향으로 연장된 한쌍의 상부 가이드 레 일(124a, 124b)을 지지하는 프레임(122)을 구비한다. 프레임(122)은 상부 가이드 레일(124a, 124b) 하방에 배치되어 화살표(D) 방향으로 연장된 한쌍의 하부 가이드 레일(125a, 125b)도 지지한다. 하부 가이드 레일(125a, 125b)은 상부 가이드 레일(124a, 124b)보다 짧다. 자주식 가동 부재(128a, 128b)는 상부 가이드 레일(124a, 124b) 상에서 각각 이동 가능하게 지지된다. 자주식 가동 부재(128a, 128b)는 가이드 레일(124a, 124b)을 따라 화살표(D) 방향으로의 전후 이동을 위해 각각의 모터(126a, 126b)에 의해 구동된다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 자주식 가동 부재(128a, 128b)는 화살표(E)로 방향으로 연직으로 연장되고, 서로 대향하는 측면에 각각 연직 가이드 레일(130a, 130b)을 구비하고 있다. 승강대(132a, 132b)는 가이드 레일(130a, 130b) 상에 각각 이동 가능하게 지지되어 있고, 가이드 레일(130a, 130b)을 따라 화살표(E) 방향으로의 연직 이동을 위해 각각 모터(134a, 134b)에 의해 구동된다.

승강대(132a, 132b)에는 수평으로 향하는 회전 구동원(136a, 136b)이 각각 장착되어 있다. 회전 구동원(136a, 136b)은 척(chuck)(138a, 138b)이 각각 고정되어 있는 수평 회전축(도시되지 않음)을 구비하고 있다. 척(138a, 138b)은 회전 구동원(136a, 136b)에 의해 선회 가능하고, 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 박리되는 위치에 있어서 접합 기판(24a)의 유리 기판(24)의 양단으로부터 반송 방향으로 외측으로 돌출된 베이스 필름(26)의 양단 에지를 척(138a, 138b)이 파지할 수 있는 위치로 위치 조정된다.

도 5에 도시된 바와 같이, 각 하부 가이드 레일(125a, 125b)에는 슬라이드 베이스(140a, 140b)가 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다. 폴로워 롤러(follower roller)(142)는 슬라이드 베이스(140a, 140b)상에 승강 가능하게 지지되어 있는 양단을 구비하고 있다. 슬라이드 베이스(140a, 140b)는 화살표(D) 방향으로 이격된 소정 위치 사이에서 가동 부재(128a, 128b)와 일체적으로 진퇴 가능하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 박리 기구(116)의 하방에는 접합 기판(24a)의 유리 기판(24)을 흡착, 유지하기 위한 복수의 석션 패드(144)가 배치된다. 박리 기구(116)는 가열 기구(112)와 박리 기구(116) 사이에서 접합 기판(24a)이 냉각될 수 있는 충분한 거리로 가열 기구(112)로부터 이격된다.

제조 장치(20)의 설치 공간은 분할벽(150)에 의해 제 1 클린룸(152a)과 제 2 클린룸(152b)으로 분할되어 있다. 제 1 클린룸(152a)에는 웹 송출 기구(32), 박리 기구(34), 및 마스킹 테이프 접착 기구(38)가 수용된다. 제 2 클린룸(152b)에는 검출 기구(44)와 이 검출 기구(44) 이후의 다른 구성 요소들이 수용된다. 제 1 클린룸(152a)과 제 2 클린룸(152b)은 관통부(154)에 의해 서로 연통되어 있다.

본 발명에 의한 제조 방법을 수행하기 위한 제조 장치(20)의 동작을 이하에 설명한다.

감광성 웹(22)의 선단을 위치시키기 위해서는 우선, 감광성 웹(22)을 웹 송출 기구(32)내에 수용된 감광성 웹 롤(22a)로부터 언릴링(unreeling)한다. 감광성 웹(22)은 박리 기구(34), 마스킹 테이프 접착 기구(38), 및 접합 기구(42)를 통해 감광성 웹(22)의 선단을 파지하는 필름 반송 롤러(100)로 반송된다.

광전 센서(82)에 의해 마스킹 테이프(36)가 검출되면 광전 센서(82)로부터의 검출 신호에 의거하여 필름 반송 롤러(100)가 회전 구동된다. 감광성 웹(22)이 필름 반송 롤러(100)에 의해 접합 위치를 향하여 소정 거리 반송되고, 마스킹 테이프(36)가 접합 위치에 위치된다. 대안으로서, 마스킹 테이프(36)를 접합 위치의 하류에서 검출하고, 감광성 웹(22)을 소정 위치에 정지시켜도 좋다.

접촉 방지 롤러(96)가 하강하여 감광성 웹(22)이 고무 롤러(90a)에 접촉하는 것을 방지한다. 유리 기판(24)은 접합 위치의 직전에 대기하고 있다. 감광성 웹(22)은 제조 장치(20)의 초기 상태에 있게 된다.

적층 모드에 있어서의 제조 장치(20)의 각 기능부의 동작을 이하에 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)은 웹 송출 기구(32)로부터 언릴링되어 박리 기구(34)로 연속적으로 반송된다. 박리 기구(34)에서는 감광성 웹(22)의 베이스 필름(26)이 흡착 드럼(46)에 흡착되고, 보호 필름(30)이 감광성 웹(22)으로부터 연속적으로 박리된다. 보호 필름(30)은 박리 롤러(46a)에 의해 예각의 박리각으로 박리되어 보호 필름 테이크업 유닛(50)에 의해 권회된다.

박리 기구(34)에 의해 보호 필름(30)이 베이스 필름(26)으로부터 연속적으로 박리된 후 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(52)에 의해 텐션 조정되어 마스킹 테이프 접착 기구(38)로 반송된다.

마스킹 테이프 접착 기구(38)에서는 흡착 부재(60)가 마스킹 테이프(36)를 흡착한 후 흡착 부재(60) 및 어플라잉 백 베이스(62)가 감광성 웹(22)과 동기하여 이동하면서 감광성 웹(22)을 유지하고, 감광성 수지층(29)에 마스킹 테이프(36)를 접착한다(도 3 참조).

마스킹 테이프(36)가 감광성 수지층(29)의 소정 부위에 접착된 감광성 웹(22)은 검출 기구(44)로 반송된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 검출 기구(44)에서는 광전 센서(32)가 마스킹 테이프(36)의 경계 부위를 검출한다. 마스킹 테이프(36)의 검출된 위치 정보에 의거하여 필름 반송 롤러(100)가 회전되어 감광성 웹(22)이 접합 기구(42)로 소정 거리 반송된다. 이때, 접촉 방지 롤러(96)가 감광성 웹(22)의 상방에 대기하고, 고무 롤러(90b)가 감광성 웹(22)의 하방에 배치된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 예비 가열된 제 1 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(40)에 의해 접합 위치로 반송된다. 유리 기판(24)은 마스킹 테이프(36)가 감광성 수지층(29)에 접착된 감광성 웹(22)의 부분과 일직선이 되어 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 임시 배치된다.

롤러 클램프부(93)에 의해 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 소정 압력하에 유리 기판(24)이 샌드위칭된다. 고무 롤러(90a)가 회전되어 열에 의해 용융된 감광성 수지층(29)이 유리 기판(24)에 전사, 즉 적층된다.

감광성 수지층(29)이 1.0m/분∼10m/분의 속도로 반송되고, 고무 롤러(90a, 90b)의 온도가 110℃∼140℃이고, 경도가 40∼90이고, 접착 압력(선압)이 50N/㎝∼400N/㎝인 조건하에서 감광성 수지층(29)이 유리 기판(24)에 적층된다.

유리 기판(24)의 선단이 필름 반송 롤러(100)의 근방에 도달하면 필름 반송 롤러(100)가 유리 기판(24)으로부터 이격되는 방향으로 이동한다. 화살표(C) 방향 에 있어서 유리 기판(24)의 전방으로 돌출된 감광성 웹(22)의 선단이 웹 선단 절단 기구(48a)에 대하여 소정 위치에 도달하면 웹 선단 절단 기구(48a)가 구동되어서 감광성 웹(22)의 선단이 절단된다. 감광성 웹(22)의 선단부를 절단한 후 웹 선단 절단 기구(48a)는 대기 위치로 복귀되고, 제조 장치(20)의 보통 운전시에는 사용되지 않는다.

도 8에 도시된 바와 같이, 고무 롤러(90a, 90b)에 의해 그 후단까지 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)이 적층되면 고무 롤러(90a)의 회전이 정지되고, 감광성 웹(22)이 적층된 유리 기판(24)을 나타내는 접합 기판(24a)은 기판 반송 롤러(102)에 의해 클램핑(clamping)된다.

고무 롤러(90b)가 고무 롤러(90a)로부터 멀리 후퇴되어 접합 기판(24a)이 언클램핑(unclamping)된다. 이어서, 기판 반송 롤러(102)의 회전이 개시되어 접합 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 소정 거리 반송된다. 두개의 인전합 유리 기판(24) 사이에 있어서의 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(90a) 하방의 위치로 이동된다.

기판 반송 기구(40)에 의해 다음 유리 기판(24)이 접합 위치를 향하여 반송된다. 다음 유리 기판(24)의 선단이 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 위치되면 고무 롤러(90b)가 상승되고, 고무 롤러(90a, 90b) 사이에서 다음 유리 기판(24)과 감광성 웹(22)이 클램핑된다. 동시에, 기판 반송 롤러(102)가 접합 기판(24a)을 클램핑한다. 고무 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(102)가 회전되어 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)이 적층되기 시작하고, 접합 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 반송된 다.

이때, 접합 기판(24a)은, 도 9에 도시된 바와 같이, 각각의 마스킹 테이프(36)로 커버링된 양단을 구비한다. 따라서, 감광성 수지층(29)이 유리 기판(24)에 전사될 때 감광성 수지층(29)이 전사되어 픽쳐 프레임(picture frame)을 형성한다.

도 10에 도시된 바와 같이, 제 1 접합 기판(24a)의 후단이 기판 반송 롤러(102)에 도달하면 상방의 기판 반송 롤러(102)가 상승되어 제 1 접합 기판(24a)을 언클램핑(unclamping)하고, 하방의 기판 반송 롤러(102)와 반송로(98)의 다른 롤러가 연속적으로 회전되어 접합 기판(24a)이 반송된다. 다음, 즉 제 2 접합 기판(24a)의 후단이 고무 롤러(90a, 90b)의 근방에 도달하면 고무 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(102)의 회전이 정지된다.

상방의 기판 반송 롤러(102)가 하강하여 제 2 접합 기판(24a)을 클램핑하고, 고무 롤러(90b)가 하강하여 제 2 접합 기판(24a)을 언클램핑한다. 이어서, 기판 반송 롤러(102)가 회전되어 제 2 접합 기판(24a)이 파지 및 반송된다. 두개의 인접한 유리 기판(24) 사이에 놓인 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(90a)의 하방 위치로 변위되고, 감광성 웹(22)이 제 3의 후속 유리 기판(24)상에 반복적으로 적층된다.

도 11에 도시된 바와 같이, 두개의 인접한 접합 기판(24a) 사이의 위치가 기판간 웹 절단 기구(48)에 대응하는 위치에 도달하면 기판간 웹 절단 기구(48)는 접합 기판(24a)과 동일한 반송 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서 접합 기 판(24a) 사이, 즉 마스킹 테이프(36)의 중간에서 감광성 웹(22)을 절단한다. 그 후, 기판간 웹 절단 기구(48)는 대기 위치로 복귀되고, 접합 기판(24a)은 화살표(C) 방향으로 반송된다.

기판간 웹 절단 기구(48) 및 웹 선단 절단 기구(48a)가 감광성 웹(22)을 절단할 때 감광성 웹(22)과 동기하여 화살표(C) 방향으로 이동한다. 그러나, 기판간 웹 절단 기구(48) 및 웹 선단 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로만 주행하여 감광성 웹(22)을 절단해도 좋다. 감광성 웹(22)은 그 정지중에는 톰슨 블레이드(Thompson blade)에 의해 절단될 수 있거나, 또는, 그 이동중에는 로터리 블레이드(rotary blade)에 의해 절단될 수 있다.

기판간 웹 절단 기구(48)에 의해 분리된 각 접합 기판(24a)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 냉각 기구(110)로 반송된다. 접합 기판(24a)이 냉각 기구(110)에서 찬 바람에 의해 약 20℃의 실온까지 강제적으로 냉각된 후 접합 기판(24a)이 가열 기구(112)로 반송된다. 가열 기구(112)에서는 가열 롤러(118)와 백업 롤러(120)에 의해 접합 기판(24a)이 파지되고, 가열 롤러(118)의 열이 접합 기판(24a)의 베이스 필름(26)에 직접 전달된다.

베이스 필름(26)을 통해 쿠션층(27)이 소정 온도로 가열된 후 접합 기판(24a)이 박리 기구(116)로 반송된다. 박리 기구(116)에서는 접합 기판(24a)의 유리 기판(24)이 흡착 패드(144)에 의해 흡착, 유지되고, 척(138a, 138b)은 화살표(D) 방향으로 베이스 필름(26)의 한쪽 근방에 위치되고, 베이스 필름(26)은 유리 기판(24)이 반송되는 방향으로 유리 기판(24)의 양단으로부터 내측으로 돌출된 양 단을 구비한다(도 12 참조).

가동 부재(128a, 128b)는 각각의 모터(126a, 126b)에 의해 접합 기판(24a)을 향하여 이동하고, 척(138a, 138b)이 개폐되어 반송 방향으로 베이스 필름(26)의 양단을 파지한다. 척(138a, 138b)은 회전 구동원(136a, 136b)에 의해 회전되고, 승강대(132a, 132b) 및 가동 부재(128a, 128b)는 소정 방향으로 구동된다.

도 6 및 도 12에 도시된 바와 같이, 척(138a, 138b)은 소정 박리 경로를 따라 이동하여 척(138a, 138b)에 의해 파지된 베이스 필름(26)이 쿠션층(27)으로부터 분리되어 접합 기판(24a)로부터 박리되게 한다. 이때, 폴로워 롤러(142)는 가동 부재(128a, 128b)와 일체적으로 화살표(D) 방향으로 소정 위치까지 이동하여 베이스 필름(26)이 원활하고 양호하게 접합 기판(24a)으로부터 박리되게 한다. 베이스 필름(26)이 접합 기판(24a)으로부터 박리되면 감광성 적층체(114)가 생성된다.

제 1 실시형태에 의하면 냉각 기구(110)에 의해 강제적으로 냉각된 접합 기판(24a)의 쿠션층(27)이 베이스 필름(26)을 통해 가열 기구(112)로부터 가해진 열에 의해 유리 전이 온도 부근까지 가열된다. 그 후, 박리 기구(116)에 의해 베이스 필름(26)이 쿠션층(27)으로부터 박리된다.

특히, 접합 기구(42)에 있어서, 감광성 웹(22)은 소정의 텐션하에 유지되면서 유리 기판(24)에 대하여 열압착되기 때문에 쿠션층(27)에 잔류 응력이 발생하기 쉽다. 접합 기판(24a)이 냉각 기구(110)에 의해 강제적으로 냉각되기 때문에 쿠션층(27)에 잔류 응력이 발생하기 쉽다. 따라서, 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 박리되면 쿠션층(27)은 그 내부에 발생된 잔류 응력으로 인해 크랙이 발 생하거나 파손되기 쉽다. 따라서, 쿠션층(27)에 요철 등의 불량 부위가 발생하여 품질 저하가 야기된다.

제 1 실시형태에 의하면 베이스 필름(26)이 박리되기 전에 베이스 필름(26)을 통해 유리 전이 온도 부근의 온도까지 쿠션층(27)을 가열하여 쿠션층(27)내에 발생된 잔류 응력을 완화시킨다.

베이스 필름(26)의 여러가지 다른 표면 온도에서 베이스 필름(26)을 박리할 때 박리 불량을 검출하기 위한 실험을 실시하였다. 이 실험 결과를 도 13에 도시하였다. 도 13에 도시된 실험 결과는 베이스 필름(26)의 표면 온도가 통상적으로 쿠션층(27)의 유리 전이 온도(37.8℃) 이하의 32℃∼38℃의 온도 범위 내로 설정되면 베이스 필름(26)이 양호하게 박리되어 고품질의 감광성 적층체(114)가 생성될 수 있다는 것을 나타낸다.

가열 기구(112)는 가열 롤러(118)로 베이스 필름(26)측으로부터 접합 기판(24a)을 가열한다. 따라서, 베이스 필름(26)과 쿠션층(27) 사이의 박리 부위는 유리 기판(24)측으로부터 가열할 경우에 비해 보다 신속하고 정확하게 소망하는 온도로 가열된다. 따라서, 쿠션층(27)과 베이스 필름(26) 사이의 박리 부위를 따라 베이스 필름(26)을 쿠션층(27)으로부터 고정밀도로 박리할 수 있다.

박리 기구(116)는 가열 기구(112)로부터 소정의 간격으로 이격되어 있다. 가열되어 쿠션층(27)에 발생되는 잔류 응력이 완화된 접합 기판(24a)은 가열 기구(112)로부터 박리 기구(116)로 반송되는 동안에 냉각된다.

박리 기구(116)의 폴로워 롤러(142)를 도시되지 않은 가열 기구에 의해 가열 하고, 베이스 필름(26)과 접촉을 유지하여 베이스 필름(26)을 가열 기구에 의해 가열하면서 쿠션층(27)으로부터 박리해도 좋다. 폴로워 롤러(142)는 가열 기구로서 열풍 배출 구멍(도시되지 않음)을 구비할 수 있고, 베이스 필름(26)과의 접촉이 유지되지 않은 폴로워 롤러(142)의 열풍 배출 구멍으로부터 방출된 열풍에 의해 접합 기판(24a)상의 베이스 필름(26)을 가열하면서 베이스 필름(26)을 쿠션층(27)으로부터 박리할 수 있다. 박리 기구(116)는 이러한 복수의 폴로워 롤러(142)를 구비해도 좋다.

제 1 실시형태에 의하면 박리 기구(116)는 베이스 필름(26)을 접합 기판(24a)이 반송되는 화살표(C) 방향과 교차하여 연장되는 화살표(D) 방향으로 점진적으로 박리하도록 구성되어 있다. 그러나, 박리 기구(116)는 베이스 필름(26)을 접합 기판(24a)이 반송되는 방향과 평행하게 연장된 화살표(C) 방향으로 점진적으로 박리되도록 배치될 수 있다.

접합 기판(24a)의 가열을 보조하기 위한 예열 기구(도시되지 않음)를 가열 기구(112)의 상류에 설치할 수 있다. 예열 기구는 코일 히터, 카본 히터, 할로겐 히터 등의 적외선 파워 히터, 또는 세라믹 히터 등의 IR 히터, 또는 각종 접촉 가열 롤러를 포함할 수 있다.

도 14는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 제조 장치(200)의 개략 측면도이다. 제 2 실시형태에 의한 제조 장치(200)에 있어서, 제 1 실시형태에 의한 제조 장치(20)와 동일한 부분은 동일한 참조번호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다.

제조 장치(200)는 트러블이 발생한 경우에 있어서의 감광성 웹(22)의 절단과 불량품을 배출하기 위한 감광성 웹(22)의 분리 이외에 통상적으로 사용되지 않는 기판간 웹 절단 기구(48)를 포함한다. 제조 장치(200)는 냉각 기구(110)와 가열 기구(112)의 하류에 배치된 박리 기구(202)를 구비하고 있다. 박리 기구(202)는 소정 간격으로 이격되어 있는 유리 기판(24)과 접합된 긴 형상의 베이스 필름(26)을 마스킹 테이프(36)와 함께 연속적으로 박리하는 역할을 한다. 박리 기구(202)는 프리필러(prepeeler)(204), 비교적 직경이 작은 박리 롤러(206), 테이크업 축(takeup shaft)(208), 및 자동 접합기(210)를 구비하고 있다. 박리 롤러(206)는 테이크업 축(208) 주위에 권회될 베이스 필름(26)을 박리하기 시작할 때에만 베이스 필름(26)을 흡착하는 흡착컵(suction cup)(도시되지 않음)을 구비하고 있다.

프리필러(204)는 한쌍의 닙 롤러 어셈블리(nip roller assembly)(212, 214)와 박리 바(peeling bar)(216)를 구비하고 있다. 닙 롤러 어셈블리(212, 214)는 유리 기판(24)의 반송 방향으로 서로에 대하여 진퇴 가능하다. 닙 롤러 어셈블리(212, 214)는 그 사이에 있는 유리 기판(24)을 파지하고 있다. 박리 바(216)는 인접한 유리 기판(24) 사이에서 승강 가능하게 되어 있다.

박리 기구(202)의 하류에는 유리 기판(24)에 실제로 접합된 감광성 수지층(29)의 영역을 측정하는 측정기(218)가 배치된다. 측정기(218)는 CCD 등을 각각 포함하는 복수의 이격된 카메라(220)를 구비하고 있다. 특히, 예컨대, 감광성 수지층(29)이 접합된 유리 기판(24)의 네 모서리의 화상을 캡쳐링하여 화상 처리하기 위해 4개의 카메라를 구비하고 있다.

측정기(218)는 유리 기판(24)의 단면을 검출하기 위한 컬러 센서 또는 레이 저 센서를 포함하거나 LED 센서, 포토다이오드 센서, 또는 라인 센서(line sensor)의 조합을 포함할 수 있다. 각 단면의 직선도를 검출하기 위해 각 단면의 화상을 캡쳐링하는데 이러한 2개 이상의 센서를 사용하는 것이 바람직하다.

감광성 웹(22) 자체에 기인하는 표면 불균일, 제조 설비에 기인하는 적층된 필름 농도 불균일, 주름, 스트립 패턴(striped pattern), 먼지 입자, 및 이물질 등의 감광성 적측체의 표면 결함을 검출하기 위해 표면 검사기(도시되지 않음)를 사용할 수 있다. 이러한 표면 결함이 검출되면 제조 장치(200)는 경보를 발생시키고, 불량품을 배출하고, 검출된 표면 결함에 의거하여 후공정을 관리한다.

제 2 실시형태에 의하면 접합 기구(42)에 의해 감광성 웹(22)이 적층된 접합 기판(24a)이 베이스 필름(26)을 프리필링(prepeeling)하는 프리필러로 반송된다. 그 후, 접합 기판(24a)은 박리 기구(202)로 반송된다. 박리 기구(02)에서는 테이크업 축(208)이 회전하여 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)가 연속적으로 권회된다. 트러블이 발생된 경우에 감광성 웹(22)이 절단되고 분리되어 불량품이 배출된 후 감광성 웹(22)의 적층 처리가 개시된 접합 기판(24a)상의 베이스 필름(26)의 선단과 테이크업 축(208)에 권회된 베이스 필름(26)의 후단은 자동 접합기(210)에 의해 서로 결합된다.

베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)가 박리된 감광성 적층체(114)는 측정기(218)와 결합된 검사 스테이션에 위치된다. 검사 스테이션에서는 감광성 적층체(114)가 적소에 고정되고, 4개의 카메라(220)가 유리 기판(24)과 감광성 수지층(29)의 화상을 캡쳐링한다. 캡쳐링된 화상을 처리하여 접착 위치가 결정된다.

검사 스테이션에서는 감광성 적층체(114)를 정지시키지 않고 반송할 수 있고, 감광성 적층체(114)의 횡단부는 카메라 또는 화상 스캐닝에 의해 검출될 수 있고, 그 종단부는 타이밍 센서 등에 의해 검출될 수 있다. 이어서, 감광성 적층체(114)는 카메라나 화상 스캐닝 및 센서에 의해 생성된 검출 데이터에 의거하여 측정될 수 있다.

제 2 실시형태에 의하면 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)상에 적층한 후에 두개의 인접한 접합 기판(24a) 사이에서 감광성 웹(22)을 절단하지 않는다. 그 대신에, 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)가 접합 기판(24a)으로부터 연속적으로 박리되어 회전하는 테이크업 축(208) 주위에 권회될 수 있다. 박리된 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)는 용이하게 처리될 수 있다. 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)가 동일 재료로 이루어지면 더 용이하게 처리될 수 있다.

마스킹 테이프(36)를 수용성 재료 예컨대, 종이(클린 페이퍼)로 제조하면 경제적이다. 마스킹 테이프(36)의 접착층은 수용성 또는 가열 박리 가능 접착제로 이루어질 수 있다.

제 2 실시형태에 의하면, 감광성 적층체(114)가 자동적이고 효율적으로 제조될 수 있다.

제 1 및 제 2 실시형태에서 박리 기구(116) 및 박리 기구(202)는 도시되지 않은 디더스팅 에어 어플라잉 메카니즘(dedusting air applying mechanism)과 결합될 수 있다. 제 1 및 제 2 실시형태에서는 접합 기판(24a)의 베이스 필름(26)에 직접 접촉해서 가열하는 가열 기구(112)를 사용하고 있지만 각종 비접촉 가열 기구로 교체될 수 있다.

도 15는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 제조 장치의 가열 기구(230)에 대한 개략 측면도이다.

도 15에 도시된 바와 같이, 가열 기구(230)는 접합 기판(24a)을 베이스 필름(26)측으로부터 비접촉으로 가열하기 위한 히터(232)를 구비하고 있다. 히터(232)는 커버(234)로 커버링되어 있다. 히터(232)는 자외선 바 히터, 할로겐 히터, 카본 히터, 세라믹 타입 히터, 또는 코일 히터를 포함할 수 있다. 대안으로서 히터(232)는 요동 기구를 구비한 플레이트 히터나 세라믹 히터, 또는 감광성 웹(22)이 감광되는 파장 범위내의 광 성분을 포함하지 않는 광을 방출하는 복수의 광 램프를 포함할 수 있다.

도 16은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 제조 장치의 가열 기구(240)에 대한 개략 측면도이다.

도 16에 도시된 바와 같이, 가열 기구(240)는 접합 기판(24a)을 베이스 필름(26)측으로부터 비접촉으로 가열하기 위한 열풍 분사 노즐(242)을 구비하고 있다. 노즐(242)은 커버(246)로 커버링되어 있다. 커버(246)와 노즐(242) 사이에는 흡입 구조(도시되지 않음)가 형성되어 노즐(242)로부터 방출된 열풍이 확산되는 것을 방지한다.

제 1 ∼ 제 4 실시형태에 의하면 적층체로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(26), 쿠션층(27), 중간층(28), 및 감광성 수지층(29)을 포함하는 감광성 웹(22)이 적층체로서 사용되고 있지만 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다. 대안 으로서 예컨대, 적층체는 서로 열팽창율이 다른 지지층[베이스 필름(26)]과 하나 이상의 수지층[쿠션층(27), 또는 감광성 수지층(29)]의 적층 어셈블리를 포함할 수 있다. 마찬가지의 유리한 효과를 얻을 수 있다.

박리 부위는 베이스 필름(26)과 쿠션층(27)의 사이뿐만 아니라 쿠션층(27)과 중간층(28)의 사이, 또는 중간층(28)과 감광성 수지층(29)의 사이가 될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명했지만 청구범위로부터 벗어나지 않는 다양한 변경과 수정이 가능하다는 것을 이해해야 한다.

Claims

지지층(26)과 하나 이상의 수지층(27)이 적층된 적층체(22)를 상기 수지층(27)이 기판(24)을 대향하도록 하여 상기 기판(24)에 접착한 후 상기 지지층(26)을 상기 수지층(27)으로부터 박리하여 적층 기판 어셈블리(114)를 제조하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법으로서;

상기 수지층(27)과 상기 기판(24)이 접착된 접합 기판(24a)을 냉각하는 공정; 및

상기 수지층(27)을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내의 온도로 가열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 수지층(27)을 가열하면서 상기 지지층(26)을 상기 수지층(27)으로부터 박리하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 수지층(27)을 가열하는 공정에서 가열된 상기 접합 기판(24a)을 냉각하는 공정; 및

상기 냉각 공정후에 상기 지지층(26)을 상기 수지층(27)으로부터 박리하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 수지층(27)은 상기 지지층(26)측으로부터 가열되는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 복수의 기판(24)에 긴 형상의 상기 적층체(22)를 일체적으로 접착하는 공정; 및

상기 접착 공정 후에 상기 각 기판(24)으로부터 상기 지지층(26)을 연속적으로 박리하여 상기 적층 기판 어셈블리(114)를 제조하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 복수의 기판(24)에 긴 형상의 상기 적층체(22)를 일체적으로 접착하는 공정;

상기 기판(24) 사이에서 상기 적층체(22)를 절단하는 공정; 및

상기 절단 공정 후에 상기 각 기판(24)으로부터 상기 지지층(26)을 박리하여 상기 적층 기판 어셈블리(114)를 제조하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 적층체(22)는 상기 지지층(26)의 적층 어셈블리 형태의 긴 형상의 감광성 웹, 상기 지지층(26)상에 상기 수지층으로서 배치된 열가소성 수지층(27), 및 상기 열가소성 수지층(27)상에 배치되어 상기 기판(24)에 접착된 감광성 수지층(29)을 포함하고;

상기 지지층(26)은 상기 열가소성 수지층(27) 또는 상기 감광성 수지층(29)으로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 소정 온도 범위는 32℃∼38℃의 범위를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 방법.
지지층(26)과 하나 이상의 수지층(27)이 적층된 적층체(22)를 상기 수지층(27)이 기판(24)을 대향하도록 하여 상기 기판(24)에 접착한 후 상기 지지층(26)을 상기 수지층(27)으로부터 박리하여 적층 기판 어셈블리(114)를 제조하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치로서:

상기 수지층(27)과 상기 기판(24)이 접착된 접합 기판(24a)을 냉각하는 냉각 기구(110); 및

상기 수지층(27)을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내의 온도로 가열 하는 가열 기구(112)를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 가열 기구에 의해 상기 수지층(27)을 가열하면서 상기 지지층(26)을 상기 수지층(27)으로부터 박리하는 가열 기구를 구비한 박리 기구(116)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 가열 기구(112)는 상기 지지층(26)측에 배치되어 상기 수지층(27)을 상기 지지층(26)측으로부터 가열하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.
제 9 항에 있어서,

긴 형상의 상기 적층체(22)는 상기 복수의 기판(24)에 일체적으로 접착되며;

상기 적층체(22)가 상기 기판(24)에 접착된 후에 상기 각 기판(24)으로부터 상기 지지층(26)을 연속적으로 박리하여 상기 적층 기판 어셈블리(114)를 제조하는 박리 기구(202)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.
제 9 항에 있어서,

긴 형상의 상기 적층체(22)는 상기 복수의 기판(24)에 일체적으로 접착되고;

상기 적층체(22)는 상기 기판(24) 사이에서 절단되며;

상기 적층체(22)가 상기 기판(24)에 접착되고, 상기 적층체(22)가 상기 기판(24) 사이에서 절단된 후에 상기 각 기판(24)으로부터 상기 지지층(26)을 박리하여 상기 적층 기판 어셈블리(114)를 제조하는 박리 기구(116)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 적층체(22)는 상기 지지층(26)상의 적층 어셈블리 형태의 긴 형상의 감광성 웹, 상기 지지층(26)상에 상기 수지층으로서 배치된 열가소성 수지층(27), 및 상기 열가소성 수지층(27)상에 배치되어 상기 기판(24)에 접착된 감광성 수지층(29)을 포함하고;

상기 지지층(26)은 상기 열가소성 수지층(27) 또는 상기 감광성 수지층(29)으로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 소정 온도 범위는 32℃∼38℃의 범위를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 기판 어셈블리의 제조 장치.