JP4975500B2 - 感光性積層体製造装置及び製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、支持体上に形成された感光材料層を基板に貼り付けた後、前記支持体を剥離して感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図９に示すように、ロール１から感光性シート体２を繰り出してハーフカッタ装置３に供給し、感光性シート体２を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部４に前記感光性シート体２を供給し、基板５の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ間に供給する。一方、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ間には、加熱された基板５が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体２が基板５の下面部に加熱圧着される。感光性シート体２が加熱圧着された基板５は、熱圧着ローラ６ａ、６ｂから搬出された後、分離装置７に供給され、基板５間の感光性シート体２が切断されて感光性積層体８が製造される。

ところで、このようにして分離された感光性積層体８には、支持体が残存しており、この支持体を基板５から剥離する処理が行われる。剥離された支持体は、支持体収容部に収容された後、廃棄される。

図１０及び図１１は、支持体の一般的な剥離収容機構の説明図である。感光性積層体８に残存する支持体９は、チャック１０によって把持されて基板５から剥離された後、下部に待機する支持体収容部１１に落下させて収容する。

特許第３３１６０９３号公報

この場合、感光性積層体８を効率的に製造するためには、支持体９を基板５から連続的に剥離し、支持体収容部１１に多数枚の支持体９を積層収容した後、それらを纏めて廃棄することが必要である。従って、支持体収容部１１は、多数の支持体９を収容できるように深く形成されることになる。

しかしながら、支持体収容部１１が深くなると、支持体９の落下距離が長くなってしまう。この場合、支持体９は、薄い可撓性プラスチックから形成されているとともに、チャック１０によって把持されていない端部が自由端であるため、支持体収容部１１に収容される際、図１１に示すように、一部が折れ曲がってしまい、支持体収容部１１に多数の支持体９を収容することができなくなってしまう。

本発明は、前記の不具合に鑑みなされたものであり、基板から剥離した支持体を支持体収容部に効率的に収容し、これによって感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に形成された感光材料層を基板に貼り付けた後、前記支持体を剥離して感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
対向して配置され、載置面に剥離された前記支持体が載置される一対の載置台と、
前記一対の載置台を離間するように移動させる載置台移動手段と、
前記一対の載置台の近接する各端部側を下方向に傾斜させる載置台傾斜手段と、
前記一対の載置台の下部に配設され、前記載置台移動手段によって離間した前記一対の載置台間から落下した前記支持体を収容する支持体収容部と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明は、支持体上に形成された感光材料層を基板に貼り付けた後、前記支持体を剥離して感光性積層体を製造する感光性積層体製造方法において、
対向して配置された一対の載置台の載置面に、剥離された前記支持体を載置するステップと、
前記支持体が載置された前記一対の載置台を離間させるとともに、前記一対の載置台の近接する各端部側を下方向に傾斜させるステップと、
前記一対の載置台の下部に配設された支持体収容部に、離間した前記一対の載置台間から前記支持体を落下させて収容するステップと、
からなることを特徴とする。

本発明では、基板から剥離した支持体を、一旦、一対の載置台に載置した後、前記一対の載置台を離間させるとともに、下方向に傾斜させて支持体収容部に落下収容することにより、支持体が折れ曲がることがなく、多数の支持体を支持体収容部に効率的に収容させることができる。この結果、支持体収容部から支持体を廃棄する処理回数が少なくてすみ、感光性積層体を効率的に製造することができる。

図１は、本実施形態に係る感光性積層体製造装置であるラミネート装置２０の概略構成図であり、このラミネート装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。

図２は、ラミネート装置２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、ラミネート装置２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。

ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像を撮影する撮影部４７が配設される。ラミネート装置２０は、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６に対するハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正を行う。

ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。

加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍだけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。

図２に示すように、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。

リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ９０ａ〜９０ｆによって搬送される。基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間には、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を切断することで、ガラス基板２４に感光材料層が貼り付けられた感光性積層体９２を分離するカッタ機構９４が配設される。この場合、分離された感光性積層体９２は、図４に示すように、ガラス基板２４上に、感光性樹脂層２８を介して可撓性ベースフイルム２６が貼り付けられている。また、ガラス基板２４の前後には、保護フイルム３０の残存部分Ｂ、感光性樹脂層２８及び可撓性ベースフイルム２６の一部が突出する。

また、基板搬送ローラ９０ｅ、９０ｆの側部には、感光性積層体９２から可撓性ベースフイルム２６を剥離して廃却する剥離廃却機構９６が配設される。図５及び図６は、剥離廃却機構９６の構成図である。

剥離廃却機構９６は、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８を残した状態で、可撓性ベースフイルム２６の一端部を把持し、可撓性ベースフイルム２６を感光性積層体９２から矢印Ｘ方向に剥離するチャック９８ａ、９８ｂと、感光性積層体９２の側部に配設され、剥離された可撓性ベースフイルム２６が載置される一対の載置台１００ａ、１００ｂと、載置台１００ａ、１００ｂの下部に配設され、剥離された多数の可撓性ベースフイルム２６を積層状態で収容するベースフイルム収容部１０２（支持体収容部）とを備える。

各載置台１００ａ、１００ｂは、感光性積層体９２の搬送方向である矢印Ｙ方向に対向して配設され、可撓性ベースフイルム２６の載置面を相互に近接する矢印Ｙ１、Ｙ２方向に移動させるベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄ（載置面移動手段）を有する。前記各載置面は、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄの離間する各一端部に装着されたモータ１０８ａ、１０８ｂにより移動する。これらのベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄは、ガイドレール１１０ａ、１１０ｂ及び１１０ｃ、１１０ｄに沿って矢印Ｙ１、Ｙ２方向に移動可能な移動フレーム１１２ａ、１１２ｂ（載置台移動手段）に前記各一端部が軸支される。また、ガイドレール１１０ａ、１１０ｂ及び１１０ｃ、１１０ｄは、支持フレーム１１４ａ、１１４ｂに固定される。支持フレーム１１４ａ、１１４ｂと、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄの近接する各他端部とは、前記各他端部側を水平状態から矢印θ方向に傾斜させる傾斜シリンダ１１６ａ、１１６ｂ及び１１６ｃ、１１６ｄ（載置台傾斜手段）によって連結される。

載置台１００ａ、１００ｂの下部に配設されるベースフイルム収容部１０２は、図６に示すように、矢印Ｚ方向に昇降する底面部１１８と、底面部１１８を昇降させる昇降シリンダ１２０（底面下降手段）と、ベースフイルム収容部１０２の開口部に対向して配設され、収容された可撓性ベースフイルム２６の収容状態を検知する収容状態検知手段を構成する発光素子１２２及び受光素子１２４とを備える。この場合、底面部１１８は、図７に示すように、可撓性ベースフイルム２６の剥離方向である矢印Ｘ方向に対して傾斜した状態に設定されている。

なお、以上のように構成されるラミネート装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構６６並びに撮影部４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記撮影部４７までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。

ラミネート装置２０内は、仕切り壁１２６を介して第１クリーンルーム１２８ａと第２クリーンルーム１２８ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１２８ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までが収容され、第２クリーンルーム１２８ｂには、撮影部４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１２８ａと第２クリーンルーム１２８ｂとは、貫通部１３０を介して連通する。

次に、以上のように構成されるラミネート装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で説明する。

先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。

加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込み、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。これにより、長尺状感光性ウエブ２２には、残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。

なお、残存部分Ｂの幅Ｍは、長尺状感光性ウエブ２２が延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定される。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ２２に形成される。

次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部４７において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像が撮影される。

撮影部４７を通過した長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の転写処理（ラミネート）が行われる。この場合、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６におけるハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置が調整される。

貼り付け機構４６では、当初、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されており、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。

次いで、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。

なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４の先端部が基板搬送ローラ９０ａによりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９０ａの回転が低速で再び開始され、長尺状感光性ウエブ２２がガラス基板２４にラミネートされた感光性積層体が矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ２２をハーフカット部位３４ａ、３４ｂ間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。

一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８が貼り付けられた感光性積層体９２が連続的に製造される。

その際、感光性積層体は、図４に示すように、それぞれの端部同士が保護フイルム３０の残存部分Ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

貼り付け機構４６によって製造された感光性積層体９２は、貼り付け機構４６で長尺状感光性ウエブ２２が基板間送りされた後、一旦停止状態にあるとき、基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間に配設されているカッタ機構９４によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断されることで分離される。

次いで、分離された感光性積層体９２は、剥離廃却機構９６に搬送され、可撓性ベースフイルム２６の剥離廃却処理が行わる。

剥離廃却機構９６では、図５に示すように、感光性積層体９２の搬送方向（矢印Ｙ方向）の両端部から突出する可撓性ベースフイルム２６の端部がチャック９８ａ、９８ｂによって把持された後、チャック９８ａ、９８ｂが矢印Ｘ方向に移動することで、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に残した状態で可撓性ベースフイルム２６がガラス基板２４側から剥離される。なお、可撓性ベースフイルム２６が剥離された感光性積層体９２は、次の処理工程に供給される。

ガラス基板２４から剥離された可撓性ベースフイルム２６は、側部に待機する載置台１００ａ、１００ｂを構成するベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄ上に載置される。なお、可撓性ベースフイルム２６が載置される際、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄは、図６に示すように、載置面が水平状態に設定され、且つ、相互に近接した状態に設定されている。従って、可撓性ベースフイルム２６は、折曲することのないフラットな状態で載置面に載置される。

次いで、モータ１０８ａ、１０８ｂが駆動されることで、一方のベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄの載置面が矢印Ｙ１に移動するとともに、他方のベルトコンベア１０６ａ〜１０６ｄの載置面が矢印Ｙ２方向に移動する。また、一方の移動フレーム１１２ａがガイドレール１１０ａ、１１０ｂに沿って矢印Ｙ２方向に移動するとともに、他方の移動フレーム１１２ｂがガイドレール１１０ｃ、１１０ｄに沿って矢印Ｙ１方向に移動する。さらに、傾斜シリンダ１１６ａ、１１６ｂ及び１１６ｃ、１１６ｄが駆動され、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄの近接する端部側が矢印θ方向に傾斜する。

この場合、可撓性ベースフイルム２６の載置面が対称的な矢印Ｙ１、Ｙ２方向に移動するとともに、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄが矢印Ｙ１、Ｙ２方向に離間することにより、載置された可撓性ベースフイルム２６が剥離廃却機構９６の中央部分に保持された状態で、離間したベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄ間より下方向に湾曲した状態となる。また、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄの近接する端部側が矢印θ方向に傾斜するため、可撓性ベースフイルム２６は、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄ間から下方向に落下を開始する。このときの状態を図８に示す。

ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄ間が所定距離離間するとともに、所定の傾斜角度になると、可撓性ベースフイルム２６が落下して下部に待機するベースフイルム収容部１０２に収容される。この場合、可撓性ベースフイルム２６は、剥離する方向である矢印Ｘ方向と直交する方向に湾曲した状態でベースフイルム収容部１０２側に下降する。従って、可撓性ベースフイルム２６は、剥離方向（矢印Ｘ方向）に対して湾曲し難い強度が付与され、その状態でベースフイルム収容部１０２の底面部１１８上に載置される。また、可撓性ベースフイルム２６は、ベースフイルム収容部１０２側に下降する間、ベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄによって支持された状態で、可撓性ベースフイルム２６の載置面とベースフイルム収容部１０２との距離が短縮されるため、安定した姿勢で底面部１１８上に載置される。

以上のようにして、ベースフイルム収容部１０２内に複数の感光性樹脂層２８を積層収容した場合、最上部に積層されている感光性樹脂層２８とベルトコンベア１０４ａ〜１０４ｄ及び１０６ａ〜１０６ｄの載置面との距離が小さくなる。そこで、ベースフイルム収容部１０２に配設された発光素子１２２及び受光素子１２４によって最上部の感光性樹脂層２８を検知したとき、昇降シリンダ１２０を駆動して底面部１１８を矢印Ｚ方向に所定距離下降させることにより、最上部の感光性樹脂層２８と載置面との距離を一定に保持し、常に安定した状態で可撓性ベースフイルム２６をベースフイルム収容部１０２に収容することができる。

なお、上述した実施形態では、１本の感光性ウエブロール２３から供給される長尺状感光性ウエブ２２をガラス基板２４に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体を製造するように構成しているが、例えば、２本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ２２を供給してガラス基板２４に貼り付け、いわゆる、２丁張り、３丁張り等の感光性積層体を製造するように構成してもよい。

本実施形態に係るラミネート装置の概略構成図である。 ラミネート装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 分離された感光性積層体の断面図である。 可撓性ベースフイルムの剥離廃却機構の構成斜視図である。 可撓性ベースフイルムの剥離廃却機構の側面一部断面図である。 ベースフイルム収容部の断面図である。 可撓性ベースフイルムの剥離廃却機構の動作説明図である。 従来技術に係る製造装置の概略構成図である。 従来技術に係る支持体の剥離収容機構の斜視説明図である。 従来技術に係る支持体の剥離収容機構の断面説明図である。

符号の説明

２０…ラミネート装置
２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
４６…貼り付け機構
９２…感光性積層体
９６…剥離廃却機構
１００ａ、１００ｂ…載置台
１０２…ベースフイルム収容部
１０４ａ〜１０４ｄ、１０６ａ〜１０６ｄ…ベルトコンベア
１１２ａ、１１２ｂ…移動フレーム
１１６ａ〜１１６ｄ…傾斜シリンダ
１１８…底面部
１２０…昇降シリンダ
１２２…発光素子
１２４…受光素子

Claims (7)

1. 支持体上に形成された感光材料層を基板に貼り付けた後、前記支持体を剥離して感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
   対向して配置され、載置面に剥離された前記支持体が載置される一対の載置台と、
   前記一対の載置台を離間するように移動させる載置台移動手段と、
   前記一対の載置台の近接する各端部側を下方向に傾斜させる載置台傾斜手段と、
   前記一対の載置台の下部に配設され、前記載置台移動手段によって離間した前記一対の載置台間から落下した前記支持体を収容する支持体収容部と、
   を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
2. 請求項１記載の装置において、
   前記一対の載置台は、前記載置面を近接する方向に移動させる載置面移動手段を有することを特徴とする感光性積層体製造装置。
3. 請求項１記載の装置において、
   前記支持体収容部は、前記支持体の積層される底面が、前記一対の載置台が離間する方向と直交する方向に対し傾斜して構成されることを特徴とする感光性積層体製造装置。
4. 請求項１記載の装置において、
   前記支持体収容部は、
   収容された前記支持体の収容状態を検知する収容状態検知手段と、
   前記収容状態検知手段によって検知された前記収容状態に従い、前記支持体の積層される底面を下降させる底面下降手段と、
   を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
5. 支持体上に形成された感光材料層を基板に貼り付けた後、前記支持体を剥離して感光性積層体を製造する感光性積層体製造方法において、
   対向して配置された一対の載置台の載置面に、剥離された前記支持体を載置するステップと、
   前記支持体が載置された前記一対の載置台を離間させるとともに、前記一対の載置台の近接する各端部側を下方向に傾斜させるステップと、
   前記一対の載置台の下部に配設された支持体収容部に、離間した前記一対の載置台間から前記支持体を落下させて収容するステップと、
   からなることを特徴とする感光性積層体製造方法。
6. 請求項５記載の方法において、
   前記支持体が載置された前記一対の載置台を離間させるとともに、前記一対の載置台の前記載置面を近接する方向に移動させることを特徴とする感光性積層体製造方法。
7. 請求項５記載の方法において、
   前記支持体収容部に収容された前記支持体の収容状態を検知するステップと、
   前記収容状態に応じて、前記支持体の積層される前記支持体収容部の底面を下降させるステップと、
   を含むことを特徴とする感光性積層体製造方法。

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