JP2009083943A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】保護フイルムの剥離状態を検査することで、剥離後の工程における障害の発生を事前に回避するとともに、高品質な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】貼り付け機構４６においてガラス基板２４に長尺状感光性ウエブ２２が貼り付けられ、カッタ機構４８によって分離された感光性積層体２４ａは、剥離部９８において保護フイルムとともに可撓性ベースフイルムが剥離された後、剥離状態検査部１０４に搬送される。剥離状態検査部１０４では、検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂを感光性積層体２４ｂの前後に沿って移動させることにより、ガラス基板２４の前後部分における保護フイルムの有無を検査し、その結果に基づき、当該感光性積層体２４ｂが正常品であるか不良品であるかが判定される。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰ用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。ラミネーションローラによって基板に感光性シートが貼り付けられた後、支持体が感光性樹脂層から剥離されることで所望の感光性積層体が製造される（特許文献１参照）。

図１２及び図１３は、ラミネーションローラによって基板２に感光性シート体４が貼り付けられた状態の感光性積層体の断面図及び平面図である。感光性シート体４は、保護フイルム６が剥離される剥離部分の両端部に感光性樹脂層８まで切り欠かれた加工部位１０ａ、１０ｂが形成され、これらの加工部位１０ａ、１０ｂ間の保護フイルム６が剥離された状態で感光性樹脂層８が基板２に貼り付けられた状態とされている。この場合、図１３に示すように、基板２の両端部からはみ出している保護フイルム６の残存部分とともに支持体１２を矢印方向に剥離することにより、加工部位１０ａ、１０ｂ間の感光性樹脂層８のみを基板２に残存させた状態で支持体１２を剥離して、所望の感光性積層体を得ることができる。

特開２００２−２３４６６７号公報

ところで、感光性シート体４は、ラミネーションローラによって基板２に加熱圧着されており、その際、溶融した感光性樹脂層８の一部が加工部位１０ａ、１０ｂから保護フイルム６と基板２との間に流入すると、保護フイルム６が感光性樹脂層８を介して基板２に接着する事態が生じてしまう。この場合、保護フイルム６の残存部分とともに支持体１２を好適に剥離させることができなくなってしまう。

また、このような事態が生じると、不良品の感光性積層体を製造してしまうだけでなく、残存する保護フイルム６が基板２等の位置決め精度を低下させてしまったり、場合によっては、基板２を破損してしまうおそれもある。さらには、残存する保護フイルム６が脱落すると、感光性積層体を製造するクリーンルーム内に塵が発生してしまうことなる。

本発明は、このような不具合に鑑みてなされたものであり、保護フイルムの剥離状態を検査することで、剥離後の工程における障害の発生を事前に回避するとともに、高品質な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、前記剥離部分の前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記支持体を前記残存部分の前記保護フイルムとともに剥離することで、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
製造された前記感光性積層体における前記保護フイルムの剥離状態を検査する剥離状態検査部を備え、
前記剥離状態検査部は、前記支持体とともに前記基板から剥離される前記保護フイルムの前記感光性積層体に対する剥離状態を検出する剥離状態検出センサと、
前記剥離状態検出センサを前記保護フイルムの前記加工部位に沿って移動させる移動機構と、
前記剥離状態検出センサによる前記剥離状態の検出結果に基づき、前記保護フイルムの剥離状態を判定する剥離状態判定部と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、前記剥離部分の前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記支持体を前記残存部分の前記保護フイルムとともに剥離することで、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
剥離状態検出センサを前記保護フイルムの前記加工部位に沿って移動させ、前記支持体とともに前記基板から剥離される前記保護フイルムの前記感光性積層体に対する剥離状態を検出するステップと、
前記剥離状態検出センサによる前記剥離状態の検出結果に基づき、前記保護フイルムの剥離状態を判定するステップと、
を有することを特徴とする。

本発明では、基板から保護フイルムとともに支持体を剥離した後、保護フイルムの剥離状態を検査することにより、剥離後の工程において、保護フイルムが残存することで発生するおそれのある障害を事前に回避することができる。また、保護フイルムが完全に剥離されたことを確認して後工程での処理を行うことにより、残存する保護フイルムや、作業中における保護フイルムの脱落等による障害を回避して、高品質な感光性積層体を製造することができる。

図１は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。

図２は、製造装置２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位（加工部位）３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。

ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像を撮影する撮影部４７が配設される。製造装置２０は、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６に対するハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正を行う。

ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。

加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍ（図２）だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する。なお、残存部分３０ｂの前後の保護フイルム３０は、保護フイルム３０が剥離される剥離部分３０ａである。

図２に示すように、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分３０ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分３０ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分３０ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。

リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ９０ａ〜９０ｄによって搬送される。基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間には、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を切断することで、ガラス基板２４に感光材料層が貼り付けられた感光性積層体２４ａを分離するカッタ機構４８が配設される。

基板搬送ローラ９０ｄの下流側には、複数の感光性積層体２４ａを積層した状態でストックするストッカ９４が配置されており、このストッカ９４には、カッタ機構４８により分離された感光性積層体２４ａがロボット９６によって移載される。ストッカ９４に隣接して、感光性積層体２４ａに残存する可撓性ベースフイルム２６を保護フイルム３０の残存部分３０ｂとともに剥離する剥離部９８が配置される。剥離部９８は、ガラス基板２４を吸着保持する吸着盤１０２と、吸着盤１０２によって保持されたガラス基板２４に貼り付けられている感光性樹脂層２８から可撓性ベースフイルム２６を剥離するクランパ１００とを有する。

剥離部９８に続いて、可撓性ベースフイルム２６が剥離された感光性積層体２４ｂにおける保護フイルム３０の剥離状態を検査する剥離状態検査部１０４が配置される。

図４は、剥離状態検査部１０４の構成を示す。剥離状態検査部１０４は、感光性積層体２４ｂをガラス基板２４側から支持して矢印Ｚ方向に昇降させるリフタ１０６と、リフタ１０６によって上昇端に移動した感光性積層体２４ｂの前後（感光性積層体２４ｂの搬送方向である矢印Ｙ方向に対する前後）に配設され、保護フイルム３０の剥離状態を検出する検出部１０８ａ、１０８ｂとを備える。

検出部１０８ａ、１０８ｂは、矢印Ｙ方向と直交する方向に延在する基台１１０ａ、１１０ｂに配設されるガイドレール１１２ａ、１１２ｂと、ガイドレール１１２ａ、１１２ｂに沿って移動する検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂとを備える。検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂは、感光性積層体２４ｂの両端部に残存している可能性のある保護フイルム３０の残存部分３０ｂを囲繞する形状からなるブラケット１１６ａ、１１６ｂを有し、ブラケット１１６ａ、１１６ｂの上部には、複数の半導体レーザを備えた半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂが配設され、ブラケット１１６ａ、１１６ｂの下部には、半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂに対向してレーザビームを受光する複数の受光素子１２０ａ、１２０ｂが配設される。

この場合、ガイドレール１１２ａ、１１２ｂ及び検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂは、移動機構を構成し、受光素子１２０ａ、１２０ｂは、剥離状態検出センサを構成する。

なお、以上のように構成される製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構６６並びに撮影部４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記撮影部４７までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。

製造装置２０内は、仕切り壁１２２を介して第１クリーンルーム１２４ａと第２クリーンルーム１２４ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１２４ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までが収容され、第２クリーンルーム１２４ｂには、撮影部４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１２４ａと第２クリーンルーム１２４ｂとは、貫通部１２６を介して連通する。

図５は、剥離状態検査部１０４の制御回路ブロックを示す。剥離状態検査部１０４は、半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂを制御するとともに、受光素子１２０ａ、１２０ｂによって受光したレーザビームの光量情報を算出し、剥離状態判定部１２８に供給する制御部１３０を有する。また、制御部１３０は、リフタ駆動部１３２を制御してリフタ昇降モータ１３４を駆動し、リフタ１０６を昇降させるとともに、検査ヘッド駆動部１３６を制御してヘッド駆動モータ１３８を駆動し、検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂをガイドレール１１２ａ、１１２ｂに沿って矢印Ｗ方向に移動させる。剥離状態判定部１２８は、算出されたレーザビームの光量情報に基づき、ガラス基板２４からの保護フイルム３０の剥離状態を判定し、その判定結果を判定結果表示部１４０に表示させる。

次に、以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で説明する。

先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。

加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込み、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。これにより、長尺状感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａと後方の剥離部分３０ａとが設けられる（図２参照）。

なお、残存部分３０ｂの幅Ｍは、長尺状感光性ウエブ２２が延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定される。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ２２に形成される。

次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａと後方の剥離部分３０ａとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部４７において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像が撮影される。

撮影部４７を通過した長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の転写処理（ラミネート）が行われる。この場合、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６におけるハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置が調整される。

貼り付け機構４６では、当初、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されており、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。

次いで、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。

なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４の先端部が基板搬送ローラ９０ａによりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９０ａの回転が低速で再び開始され、長尺状感光性ウエブ２２がガラス基板２４にラミネートされた感光性積層体が矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ２２をハーフカット部位３４ａ、３４ｂ間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。

一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体が連続的に製造される。

その際、感光性積層体は、それぞれの端部が図２に示す保護フイルム３０の残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

貼り付け機構４６によって感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４は、貼り付け機構４６で長尺状感光性ウエブ２２が基板間送りされた後、一旦停止状態にあるとき、基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間に配設されているカッタ機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断され、感光性積層体２４ａとされる。なお、この感光性積層体２４ａの前後には、残存部分３０ｂの保護フイルム３０が残存している。

分離された感光性積層体２４ａは、ロボット９６によって一旦ストッカ９４に積層される。次いで、ストッカ９４に積層された感光性積層体２４ａは、剥離部９８に移載された後、ガラス基板２４が吸着盤１０２によって吸着保持され、端部の可撓性ベースフイルム２６がクランパ１００によって把持されて感光性積層体２４ａから剥離されることで、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８のみが貼り付けられた感光性積層体２４ｂが製造される。

ここで、感光性積層体２４ａから可撓性ベースフイルム２６を剥離する際、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの一部が剥離されずに感光性積層体２４ａ側に残存してしまうおそれがある。すなわち、貼り付け機構４６において、長尺状感光性ウエブ２２をガラス基板２４に加熱圧着する際、残存部分３０ｂとガラス基板２４との間に溶融した感光性樹脂層２８が流入し、残存部分３０ｂがガラス基板２４に接着してしまうと、残存部分３０ｂをガラス基板２４から正常に剥離できなくなるおそれがある。

そこで、剥離部９８において可撓性ベースフイルム２６が剥離されて製造された感光性積層体２４ｂは、剥離状態検査部１０４に搬送され、保護フイルム３０の剥離状態の検査が行われる。この検査処理につき、図６に示すフローチャートに従って説明する。

剥離状態検査部１０４は、感光性積層体２４ｂが搬入されたことを検知すると（ステップＳ１）、剥離状態検査部１０４に配設されているリフタ１０６がガラス基板２４の下面部に当接して感光性積層体２４ｂを吸着等によって保持する（ステップＳ２）。次いで、制御部１３０は、リフタ駆動部１３２を制御してリフタ昇降モータ１３４を駆動し、リフタ１０６を矢印Ｚ方向に移動させることで感光性積層体２４ｂを上昇させる（ステップＳ３）。

なお、リフタ１０６に代えて、剥離状態検査部１０４で感光性積層体２４ｂを搬送するコンベア間にピン部材を配設し、ピン部材を上昇させて感光性積層体２４ｂを矢印Ｚ方向に移動させるようにしてもよい。

感光性積層体２４ｂが上昇端まで移動して停止した後、制御部１３０は、半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂを駆動し、レーザビームを出力して受光素子１２０ａ、１２０ｂに導く（ステップＳ４）。受光素子１２０ａ、１２０ｂは、受光したレーザビームの光量を電気信号として制御部１３０に供給する。

一方、レーザビームの出力と並行して、制御部１３０は、検査ヘッド駆動部１３６を制御してヘッド駆動モータ１３８を駆動し、検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂをガイドレール１１２ａ、１１２ｂに沿って矢印Ｗ方向に移動させる（ステップＳ５）。これにより、半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂから出力されたレーザビームは、感光性積層体２４ｂを矢印Ｗ方向に走査しながら、感光性積層体２４ｂの両端部側を介して受光素子１２０ａ、１２０ｂに導かれる。

制御部１３０は、受光素子１２０ａ、１２０ｂによって検出したレーザビームの光量情報を検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂの移動位置毎に算出する（ステップＳ６）。この場合、移動位置毎に、各検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂによって検出した光量情報を加算すれば、感光性積層体２４ｂの位置が検出部１０８ａ、１０８ｂ間で矢印Ｙ方向にずれるようなことがあっても、位置ずれによる光量情報の変動の影響を抑えることができる。また、移動方向に対して光量情報を加算するようにしてもよい。算出された光量情報は、剥離状態判定部１２８に供給される。

検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂがガイドレール１１２ａ、１１２ｂの端部まで移動して光量情報の取得が終了した後、制御部１３０は、リフタ１０６を駆動して感光性積層体２４ｂを下降させる（ステップＳ７）。次いで、検査ヘッド１１４ａ、１１４ｂを移動開始前の原点に復帰させる（ステップＳ８）。

一方、制御部１３０から光量情報が供給された剥離状態判定部１２８は、光量情報に基づいて感光性積層体２４ｂの剥離状態の判定を行う（ステップＳ９）。この場合、剥離状態の判定は、光量情報を所定の閾値と大小比較し、その比較結果に基づいて行われる。

図７は、剥離部９８において、可撓性ベースフイルム２６とともにガラス基板２４の両端部に残存する保護フイルム３０が正常に剥離されている状態の感光性積層体２４ｂを示す。この場合、半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂから出力されたレーザビームは、ガラス基板２４のみを透過して受光素子１２０ａ、１２０ｂにより受光されるため、剥離状態を判定するための閾値を、ガラス基板２４のみを透過したレーザビームの光量と、保護フイルム３０が残存しているガラス基板２４を透過したレーザビームの光量との間の値に設定し、光量情報がこの閾値の範囲内にあるとき、「正常品」と判定することができる。

図８は、剥離部９８において、剥離ミス等により可撓性ベースフイルム２６が剥離されていない状態の感光性積層体２４ａを示す。この場合、半導体レーザユニット１１８ａ、１１８ｂから出力されたレーザビームは、可撓性ベースフイルム２６、感光性樹脂層２８、保護フイルム３０及び感光性積層体２４ｂを透過して受光素子１２０ａ、１２０ｂにより受光されるため、受光したレーザビームの光量が減衰しており、この光量に基づく光量情報を、正常状態を基準として設定した前記閾値と比較した場合、その範囲内にないことから、「不良品」と判定することができる。

図９は、剥離部９８において、一方の保護フイルム３０とガラス基板２４との間に溶融した感光性樹脂層２８が流入する等によって、保護フイルム３０の一部が残存した状態の感光性積層体２４ｂを示す。この場合、残存する保護フイルム３０によってレーザビームの光量が減衰するため、前記閾値を適切に設定しておけば、その状態を「不良品」と判定することができる。

図１０は、図９のようにして残存している保護フイルム３０がガラス基板２４の反対側に回り込んだ状態の感光性積層体２４ｂを示す。この場合においても、図９の場合と同様に、感光性積層体２４ｂを「不良品」と判定することができる。

以上のようにして剥離状態を判定した結果は、判定結果表示部１４０に表示され（ステップＳ１０）、必要に応じてオペレータに警報音等で警告することができる。

ステップＳ９において、「正常品」と判定された場合（ステップＳ１１）、感光性積層体２４ｂは、剥離状態検査部１０４から次の工程、例えば、感光性積層体２４ｂを露光して感光性樹脂層２８に所定のパターンを形成する処理工程に搬送される（ステップＳ１２）。一方、「不良品」と判定された場合には、感光性積層体２４ｂを剥離状態検査部１０４から排出する（ステップＳ１３）。これにより、正常品に不良品が混在する事態を回避することができる。

図１１は、他の実施形態である製造装置２００の概略構成図である。なお、図１に示す製造装置２０と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。

製造装置２００では、貼り付け機構４６によって長尺状感光性ウエブ２２が貼り付けられたガラス基板２４が、分断されることなく冷却部２０２に搬送されて冷却された後、剥離部２０４に供給される。剥離部２０４では、プッシャ２０６によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が上方向に押し上げられることで、保護フイルム３０の剥離が容易な状態とされた後、保護フイルム３０が感光性樹脂層２８から剥離され、巻き取りローラ２０８により巻き取られる。これにより、ガラス基板２４間が分離され、感光性積層体２４ｂが製造される。製造された感光性積層体２４ｂは、製造装置２０の場合と同様に、剥離状態検査部１０４によって保護フイルム３０の剥離状態の検査が行われる。

なお、上述した実施形態では、剥離状態検出センサとして、レーザビームを受光してその光量を検出する受光素子１２０ａ、１２０ｂを用いているが、例えば、感光性積層体２４ｂをクランプすることで厚みを検出する接触式厚み検出センサを用いることもできる。また、レーザ変位計を用いて感光性積層体２４ｂの端部における段差を検出する段差検出センサを利用してもよい。

また、１本の感光性ウエブロール２３から供給される長尺状感光性ウエブ２２をガラス基板２４に貼り付けることにより、いわゆる、１丁貼りの感光性積層体２４ｂを製造するように構成しているが、例えば、２本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ２２を供給してガラス基板２４に貼り付け、いわゆる、２丁貼り、３丁貼り等の感光性積層体２４ｂを製造するように構成してもよい。

本実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 本実施形態に係る製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 剥離状態検査部の構成図である。 剥離状態検査部の制御回路図である。 剥離状態の検査処理のフローチャートである。 正常な剥離状態にある感光性積層体の説明図である。 可撓性ベースフイルムが剥離されていない不良状態の説明図である。 保護フイルムの一部が残存している不良状態の説明図である。 保護フイルムの一部が残存している不良状態の説明図である。 他の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 従来技術において、基板に感光性シート体が貼り付けられた状態の感光性積層体の断面図である。 従来技術において、基板に感光性シート体が貼り付けられた状態の感光性積層体の平面図である。

符号の説明

２０、２００…製造装置
２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２４ａ、２４ｂ…感光性積層体
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３０ａ…剥離部分
３０ｂ…残存部分
３４ａ、３４ｂ…加工部位
４６…貼り付け機構
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
９８、２０４…剥離部
１０６…リフタ
１０８ａ、１０８ｂ…検出部
１１４ａ、１１４ｂ…検査ヘッド
１１８ａ、１１８ｂ…半導体レーザユニット
１２０ａ、１２０ｂ…受光素子
１２８…剥離状態判定部
１３０…制御部
１４０…判定結果表示部

Claims (6)

1. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、前記剥離部分の前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記支持体を前記残存部分の前記保護フイルムとともに剥離することで、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
   製造された前記感光性積層体における前記保護フイルムの剥離状態を検査する剥離状態検査部を備え、
   前記剥離状態検査部は、前記支持体とともに前記基板から剥離される前記保護フイルムの前記感光性積層体に対する剥離状態を検出する剥離状態検出センサと、
   前記剥離状態検出センサを前記保護フイルムの前記加工部位に沿って移動させる移動機構と、
   前記剥離状態検出センサによる前記剥離状態の検出結果に基づき、前記保護フイルムの剥離状態を判定する剥離状態判定部と、
   を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の装置において、
   前記剥離状態検出センサは、前記加工部位近傍の前記基板を透過する光の透過光量を検出する光量検出センサであることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項２記載の装置において、
   前記剥離状態検出センサは、前記基板の両端部側を透過する光の透過光量を検出する一組の前記光量検出センサを有し、前記剥離状態判定部は、前記各光量検出センサによって検出された光量を加算した値を所定の閾値と比較することで、前記保護フイルムの剥離状態を判定することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、前記剥離部分の前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記支持体を前記残存部分の前記保護フイルムとともに剥離することで、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
   剥離状態検出センサを前記保護フイルムの前記加工部位に沿って移動させ、前記支持体とともに前記基板から剥離される前記保護フイルムの前記感光性積層体に対する剥離状態を検出するステップと、
   前記剥離状態検出センサによる前記剥離状態の検出結果に基づき、前記保護フイルムの剥離状態を判定するステップと、
   を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
5. 請求項４記載の方法において、
   前記剥離状態検出センサは、前記加工部位近傍の前記基板を透過する光の透過光量を検出することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
6. 請求項５記載の方法において、
   前記剥離状態は、前記基板の両端部側を透過する光の透過光量を加算した値を所定の閾値と比較して判定することを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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