JPS63250190A - 薄膜剥離用引起装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜の剥離技術、特に、基板に張り付けられ
た薄膜を剥離する剥離技術に適用して有効な技術に関す
るものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（：
５１は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板上に形成された導電
層上に、感光性樹脂・（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
を熱圧着ラミネートする。

この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パター
ンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間廂光する。そして、透光性樹脂フィ
ルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像して
エツチングマスクパターンを形成する。この後、前記導
電層の不必要部分をエツチングにより除去し、さらに残
存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターンを有
するプリント配線板を形成する。

前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィル
ムを剥離する工程が必要とされ、ている。この透光性樹
脂フィルムの剥離は１人手作業に頼っており、このフィ
ルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂層
の損傷や破壊が生じないようにするため、指先の器用さ
及び非常な熟練を要する。このため、透光性樹脂フィル
ムの剥離時間が増大するので、プリント配線板の製造工
程における作業時間が長くなるという問題があった。

そこで、本願出願人は、特願昭６１−２３１７８号に記
載される自動薄膜剥離装置を開発した。

この自動薄膜剥離装置は、基板に張り付けられている積
層体のうち、透光性樹脂フィルムの端部を針状の突起押
圧部材で浮上させ、その浮上した部分の薄膜に流体を吹
き付けることによって、透光性樹脂フィルムを剥離する
ことを自動的に行うものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前述の薄膜剥離装置の突起抑圧部材は、
透光性樹脂フィルムを浮上させる（引き起す）先端部を
最適な形状に加工することが雉かしい。突起抑圧部材の
先端部を鋭角な形状に加工した場合には、透光性樹脂フ
ィルムや感光性樹脂層を破損させ゛たり、導電層につき
ささったりし。

透光性樹脂フィルムの一部を剥離することができなくな
る。また、突起抑圧部材の先端部に丸みを持たせた形状
で加工した場合には、透光性樹脂フィルム上を滑ってし
まい、透光性樹脂フィルムを確実に引き起して剥離する
ことが困難になる。すなわち、先端が針形状の突起抑圧
部材は、透光性樹脂フィルムを確実に浮上させる（引き
起す）ことができないという問題点があった。

また、前記針形状の突起抑圧部材は、透光性樹脂フィル
ムの剥離時にプリント配線板に当接するので、その周辺
部に配設されている位置合せ用穴に入り込み易い。位置
合せ用穴は、感光性樹脂層を露光する際に、プリント配
線板と配線パターンフィルムとを重ね合せる時に使用さ
れる。位置合せ用穴に、突起抑圧部材が入り込むと、薄
膜の浮上を行うことができず、よって連続的な剥離を中
断しなければならないばかりか、薄膜剥離工程を中断し
てしまうので、単位時間当りの薄膜の剥離時間が増大す
るという問題点があった。

本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
ある。

本発明の目的は、基板に張り付けられた薄膜の端部を確
実に引き起すことが可能な薄膜剥離技術を提供すること
にある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、薄膜
剥離時間を短縮することが可能な技術を提供することに
ある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、基板
、薄膜等の損傷や破壊を防止することが可能な技術を提
供することにある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

（２）発明の構成 〔問題点を解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明は、基板に張り付けられた薄膜の端部
を引゛き起す薄膜剥離用引起部材において、前記薄膜の
端辺と実質的に平行となるように、複数の引起線状刃を
配設したことを特徴としたものである。

また、本発明は、基板に張り付けられた薄膜の端部を引
き起す薄膜剥離用引起装置において、前記薄膜の端辺と
実質的に平行となるように、・複数の引起線状刃を配設
した引起部材を設け、該引起部材の引起線状刃を基板に
当接させる方向に作用する弾性部材を介在させて、前記
基板に当接及び離反する方向に摺動できるように、前記
引起部材を取付部材に設けたことを特徴としたものであ
る。

〔作　用〕

本発明は、前記薄膜の端辺の複数個所を線接触によって
引き起すことができるので、薄膜に損傷や破壊を生じる
ことがなく、確実に薄膜を引き起すことができる。しか
も、本発明は、引起部材の一方の引起線状刃の位置と基
板に配設される例えば位置決め用穴の位置とが一致して
も、他方の引起線状刃で前記一方の引起線状刃が位置決
め用穴に入り込むことを防止できるので、基板を不必要
に停止することがなくなり、薄膜剥離時間を短縮するこ
とができる。

また、本発明は、基板に張り付けられた薄膜の端部に引
起部材の引起線状刃を当接する際に、弾性部材でその衝
撃を吸収することができるので、基板、薄膜、引起線状
刃等の損傷や破壊を防止することができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

本発明の一実施例である保護膜剥離装置の引起装置を第
１図（要部拡大斜視図）、第２図（第１図の矢印■方向
から見た部分断面図）及び第３図（第２図の矢印■方向
から見た底面図）で示す。

第１図乃至第３図に示すように、搬送ローラ（図示せず
）で薄膜引起位置に搬送されるプリント配線用基板１の
搬送方向先端部には、薄膜引起装置２の引起部材２Ａが
当接するように構成されている。

前記プリント配線用基板１は、絶縁性基板ＩＡの両面（
又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形成されたものである
。このプリント配線用基板１の導電層ＩＤ上には、感光
性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＤとか
らなる積層体が熱圧着ラミネートされている。感光性樹
脂ＭＩＣは所定の配線パターンフィルムが重ねられ露光
された後の状態にある。

前記プリント配線用基板１の周辺部（本実施例の場合は
積層体がラミネートされていない領域）には１位置決め
用穴ＩＥが配設されている。位置決め用穴ＩＥは、感光
性樹脂層ＩＣに配線パターンフィルムの配線パターンを
露光する際に、プリント配線用基板１と配線パターンフ
ィルムとを重ね合せる位置合せビンを挿入できるように
構成されている。

このように構成されるプリント配線用基板１は、第１図
に示す矢印Ａ方向に搬送用ローラ（図示せず）で搬送さ
れるように構成されている。

前記薄膜引起装置２は、プリント配線用基板１の両面に
夫々（又は片面に）位置するように、プリント配線用基
板１の搬送経路の近傍に、少なくとも１個設けられてい
る。薄膜引起装置２は、主に。

引起部材２Ａ、摺動シャフト２Ｂ、弾性部材２Ｃ１取付
部材２Ｄで構成されている。

引起部材２Ａには、２個の引起線状刃２Ａａ及び２Ａｂ
が配設されている。つまり、引起線状刃２Ａａ、２Ａｂ
の夫々は、所定の距離を持って一体に構成されている。

引起線状刃２Ａａ、２Ａｂの夫々の刃面は、第３図及び
第４図（拡大図）に示すように、プリント配線用基板１
の搬送方向先端部のＶＣ層体の端辺と実質的に平行とな
るように構成されている。つまり、引起線状刃２Ａａ、
２Ａｂの夫々は、感光性樹脂層ＩＣ，透光性樹脂フィル
ムＩＤの夫々と少なくとも線接触（戒は面接触）し、抑
圧によるエネルギを線状（或は面状）に与°えるように
構成゛されている。エネルギが与えられた積層体の端部
は、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤを引
起す（剥離する）ようになっている。エネルギが与えら
れた積層体の端部において、感光性樹脂層ＩＣと導電層
ＩＢとは、前記感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルム
ＩＤとの接着力に比べて強いので剥離されることがない
。

引起部材２Ａの引起線状刃２Ａａ及び２Ａｂは、摩耗を
できる限り低減できるように、例えば、ステンレス鋼、
炭素鋼等の金属材料や、セラミック等の非鉄金属材料で
構成する。引起部材２Ａは。

摺動シャフト２Ｂの一端部に、ボルト２Ｅａ及びナツト
２Ｅｂによって回転しないように固着されている。

摺動シャフト２Ｂは、スリーブ２Ｄａを介在して、プリ
ント配線用基板１に当接及び離反する方向（矢印Ｂ方向
）に摺動可能なように、取付部材２Ｄに支持されている
。摺動シャフト２Ｂは、スリーブ２Ｄａ内において設け
られた溝２Ｂａと、その溝２Ｂａ内に入り込む突出部材
２Ｄｂとで摺動ストロークが規定されると共に、その回
転が防止できるように構成されている。また、摺動シャ
フト２Ｂは、他端部に設けられたねじ部２Ｂｂ部にナツ
ト２ＢＧ及び２Ｂｄが嵌合されており、摺動ストローク
の微調整を行うと共に、取付部材２Ｄに確実に支持でき
るように構成されている。

弾性部材２Ｃは、引起部材２Ａと取付部材２Ｄとの間の
摺動シャフト２Ｂに沿って設けられている。この弾性部
材２Ｂは、コイル形状で構成されている。弾性部材２Ｂ
は、引起部材２Ａをプリント配線用基板１に当接する方
向（取付部材２Ｄから離反する方向）に作用するように
構成されており、引起部材２Ａの引起線状刃２Ａａ及び
２Ａｂとプリント配線用基板１との当接に際して、衝撃
を吸収し、かつ適度な当接力を常時確保することができ
るように構成されている。

このように、前記積層体の端辺と実質的に平行となるよ
うに、複数の引起線状刃２　Ａ　ａ及び２Ａｂで引起部
材２Ａを構成することにより、　ｆＪ層体の端辺の複数
個所を線接触によって同時に引き起すことができ゛るの
で、透光性樹脂フィルムＩＤが切れたりすること（損傷
や破壊）を防止し、確実に透光性樹脂フィルムＩＤを引
き起すことができる。

しかも、引起部材２Ａの一方の引起線状刃２　Ａ　ａの
位置とプリント配線用基板１に配設された位置決め用穴
ＩＥの位置とが一致しても、他方の引起線状刃２Ａｂで
前記一方の引起線状刃２　Ａ　ａが位置決め用穴ＩＥに
入り込むことを防止できるので。

プリント配線用基板１の搬送を不必要に停止することが
なくなる。つまり、プリント配線用基板１に張り付けら
れた透光性樹脂フィルムＩＤの単位時間当りの剥離時間
を短縮し、薄膜剥離時間を短縮することができる。

また、薄膜引起装置２に、前記引起線状刃２Ａａ及び２
Ａｂを配設した引起部材２Ａを設け、引起部材２Ａの引
起線状刃２Ａａ及び２Ａｂをプリント配線用基板１に当
接させる方向に作用する弾性部材２Ｃを介在させて、プ
リント配線用基板１に当接及び離反する方向に摺動でき
るように引起部材２Ａを取付部材２Ｄに設けたことによ
り、積層体の端部に引起線状刃２Ａａ及び２Ａｂを当接
する際に１弾性部材２Ｃでその衝撃を吸収することがで
きるので、プリント配線用基板１、積層体、引起線状刃
２　Ａ　ａ及び２Ａｂ等の損傷や破壊を防止することが
できる。

このように構成される薄膜引起装置２は、第１図、第２
図及び第５図（概略構成図）で示すように、引起装置移
動機構３に取り付けられている。具体的には、薄膜引起
装置２の取付部材２Ｄを引起装置移動機構３の支持回転
軸３Ａにボルト３Ｂで取り付けている。

支持回転軸３Ａは、プリント配線用基板１の搬送経路を
中心として上下に対向する位置に設けられている。支持
回転軸３Ａの一端（又は両端）部３Ｃは、第５図に示す
ように、ガイド部材３Ｆのガイド用長穴３ｆを通して移
動アーム部材３Ｇの一端部と回転自在に連結されている
。ガイド部材３Ｆは、図示していないが、保護膜剥離装
置本体にビス等の取付手段で固着されている。ガイド用
長穴３ｆは、プリント配線用基板１に近接又はそれから
離反させる方向（矢印Ｃ方向）に、支持回転軸３Ａすな
わち引起装置２をガイドするように構成されている。

上下、夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３
ｈを中心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転
アーム部材３Ｈの夫々の端部に回転自在に取り付けられ
ている。回転アーム部材３Ｈは、上下、夫々の移動アー
ム部材３Ｇを互いに異なる矢印Ｃ方向に移動させるよう
に構成されている。下側（又は上側）の移動アーム部材
３Ｇが接続された回転アーム部材３Ｈの一端部には、連
結アーム部材３工を介在させて、図示しない両面兼用駆
動源のシャフト３Ｊが接続されている。両面兼用駆動源
は、例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ、電磁ソレノ
イド等で構成されている。

前記支持回転軸３Ａをガイドするガイド部材３Ｆ、移動
アーム部材３Ｇ、回転アーム部材３Ｈ及び両面兼用駆動
源は、シャフト３Ｊの矢印Ｅ方向の動作でプリント配線
用基Ｆｊ、１の両面側に夫々設けられた薄膜引起装置２
の引起線状刃２Ａａ及び２Ａｂを互いに近接させ又は離
隔させる引起装置移動機構３の上下移動リンク機構を構
成している。

上下移動リンク機構を構成する夫々の部材は、鉄。

アルミニウム合金、硬質樹脂等の比較的外力に対して変
形しずらい材料で構成する。なお、シャフト３Ｊは１回
転アーム部材３Ｈの一端部に限定されず、回転アーム部
材３Ｈの他端部や移動アーム部材３Ｇに連結させてもよ
い。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記支持回
転軸３Ａの一端（又は両端）部３ｃには、夫々の一端部
が固着された引起部材回転アーム部材３Ｋが設けられて
いる。夫々の引起部材回転アーム部材３にの他端部には
、長穴３ｋが設けられており、両者の長穴３ｋには、図
示していない両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続する
連結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すなわ
ち、引起部材回転アーム部材３には、連結アーム部材３
Ｍを介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結されて
いる。両面兼用駆動源は、前記上下移動リンク機構と同
様の両面兼用駆動源で構成する。

前記引起部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部材３
Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、引起部
材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転させるととも
に、支持回転軸３Ａを同一の矢印Ｇ方向に回転させる、
引起装置移動機構３の回転リンク機構を構成するように
なっている。

つまり、回転リンク機構は、引起部材２Ａの引起線状刃
２Ａａ及び２Ａｂをプリント配線用基板工の搬送方向と
逆の方向に所定の距離例えば１〜３［ｗ＋　１程度だけ
移動できるように構成されている。

そして、回転リンク機構は、積層体の端部に引起線状刃
２Ａａ及び２Ａｂを線接触させその後に押圧し、感光性
樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤの一部を引き起
すように構成されている。

このように、薄膜引起装置２及び引起装置移動機構３に
よって積層体の端部の透光性樹脂フィルムＩＤが引き起
されると、その部分に流体吹付ノズルから圧力を加えた
流体を吹き付け、透光性樹脂フィルムＩＣを剥離するよ
うに構成されている。

透光性樹脂フィルムＩＤは、感光性樹脂層ＩＣから簡単
に瞬時かつ確実に剥離することができる。

また、前記薄膜引起装置２の引起部材２Ａの引起線状刃
２Ａａ及び２Ａｂは、第６図（拡大図）に示すように、
前記第４図に示すそれに比べて刃先角度を鋭角に構成し
てもよい。このように構成される引起線状刃２　Ａ　ａ
及び２Ａｂは、同第６図に示すように、端部において、
感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤを末広が
り状に確実に引き起すことができる。したがって、引き
起し部分の感光性樹脂層１ｃと透光性樹脂フィルムＩＤ
との間に流体が入り込み易くなるので、感光性樹脂層Ｉ
Ｃから透光性樹脂フィルムＩＤをより確実に剥離するこ
とができる。

以上１本発明を前記実施例に基づき具体的に説明したが
２本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ること
は勿論である。

例えば、本発明は、薄膜引起装置２の引起部材２Ａに、
３つ或はそれ以上の引起線状刃を配設してもよい。

（３）発明の詳細 な説明したように、本発明によれば、以下に述べる効果
を得ることができる。

本発明は、基板に張り付けられた薄膜の端部を引き起す
薄膜剥離用引起部材において、前記薄膜の端辺と実質的
に平行となるように、複数の引起線状刃を配設したこと
により、前記薄膜の端辺の複数個所を線接触によって同
時に引き起すことができるので、薄膜に損傷や破壊を生
じることがなく、確実に薄膜を引き起すことができる。

また、本発明は、基板に張り付けられた薄膜の端部を引
き起す薄膜剥離用引起装置において、前記薄膜の端辺と
実質的に平行となるように、複数の引起線状刃を配設し
た引起部材を設け、該引起部材の引起線状刃を基板に当
接させる方向に作用する弾性部材を介在させて、前記基
板に当接及び離反する方向に摺動できるように、前記引
起部材を取付部材に設けたことにより、基板に張り付け
られた薄膜の端部に引起部材の引起線状刃を当接する際
に、弾性部材でその衝撃を吸収することができるので、
基板、薄膜、引起線状刃等の損傷や破壊を防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である保護膜剥離装置の引
起装置を示す要部拡大斜視図、第２図は、前記第１図の
矢印■方向から見た部分断面図、 第３図は、前記第２図の矢印■方向から見た底面図。 第４図は、前記引起装置の刃部の拡大図、第５図は、前
記引起装置の移動装置の概略構成図。 第６図は、本発明の他の実施例である引起装置の刃部の
拡大図である。 図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性
基板、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、Ｉ
Ｄ・・・透光性樹脂フィルム、２・・・薄膜引起装置、
２Ａ・・・引起部材、２Ａａ、２Ａｂ・・・引起線状刃
、２Ｂ・・・摺動シャフト、２Ｃ・・・弾性部材、２Ｄ
・・・取付部材、３・・・引起装置移動機構、３Ａ・・
・支持回転軸である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられた薄膜の端部を引き起す薄膜
   剥離用引起部材において、前記薄膜の端辺と実質的に平
   行となるように、複数の引起線状刃を配設したことを特
   徴とする薄膜剥離用引起部材。
2. （２）基板に張り付けられた薄膜の端部を引き起す薄膜
   剥離用引起装置において、前記薄膜の端辺と実質的に平
   行となるように、複数の引起線状刃を配設した引起部材
   を設け、該引起部材の引起線状刃を基板に当接させる方
   向に作用する弾性部材を介在させて、前記基板に当接及
   び離反する方向に摺動できるように、前記引起部材を取
   付部材に設けたことを特徴とする薄膜剥離用引起装置。
3. （３）前記取付部材は、前記引起部材の引起線状刃を基
   板に当接及び離反させる方向に移動し、かつ、前記薄膜
   を基板から引き起す方向に引起部材の引起線状刃を回転
   させる支持回転軸に固着されることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項に記載の薄膜剥離用引起装置。