JP2009029525A - フィルム剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム剥離段階において、基板前端部に上下面より基板を把持するクランプ具を押し付け、粘着テープで巻き上げられたフィルム先端部をフィルム保持具で把持しフィルムを剥離しながら基板反搬送方向に移動する機構を設置し、フィルム保持具の基板搬送方向に基板支持搬送ロ−ラ上面から基板を挟む基板支持圧接ローラを設置した。
【選択図】図1
Description
ベルトから塵が発生し、飛散する問題があった。
(1)フィルム剥離搬送機構50を基板反搬送方向に移動させるフィルム搬送部駆動機構の駆動方式にはモータ以外のシリンダ駆動方式などを設けてもよい。
(2)フィルム搬送部駆動機構の駆動部は上下で分割せず1つの駆動系で駆動してもよい。
(3)フィルム搬送部駆動機構のフィルム保持具は複数個設置せず1つの保持具でもよい。
(4)基板支持搬送機構の基板支持搬送ローラ61及び基板ガイドローラ62は、基板幅、基板厚みで基板搬送に影響する基板の撓み防止として複数個または1本のみ設置してもよい。
(5)基板支持搬送機構のローラは基板面に垂直に降ろさず回転動作で基板を把持してもよい。
(6)基板支持搬送機構の基板ガイドローラ62は基板把持機構の基板搬送方向の下流側のみに設置してもよい。
(7)基板支持搬送機構のローラは1つだけ駆動源を設ければ、他は従動でもよい。
(8)板状の粘着テープ押し付け具32に代えて、板状部材に粘着シートを直接取り付けてフィルムを剥離しても良い。
(9)基板はガラス、セラミック、樹脂、半導体、積層板の基板でもよい。
(10)基板の上面あるいは下面の片側に貼られたフィルムを剥離させるものでもよい。
Claims (5)
- 基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送されてきた基板の上下表面に貼られたフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、
前記基板先端部をクランプする基板把持機構と、クランプされた基板面から粘着力でフィルムを剥離する粘着剥離機構と、粘着剥離機構により捲り挙げられた基板上下面のそれぞれのフィルム先端部を、それぞれ把持するフィルム把持具と、フィルムを把持したフィルム把持具を基板搬送方向と反対方向に搬送するフィルム搬送部駆動機構と、フィルム把持具で把持され搬送されてきたフィルムを収納する回収容器とを備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 請求項1に記載のフィルム剥離装置において、
前記粘着剥離機構が、粘着テープと、上下動可能なテープガイドローラと、上下動可能な粘着テープ押し付け具と、フィルム分岐ローラとからなり、粘着テープにてフィルム先端部を保持して基板面から剥離することを特徴とするフィルム剥離装置。 - 請求項2に記載のフィルム剥離装置において、
前記フィルム分岐ローラを、基板先端部より離した位置に設置したことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 請求項1に記載のフィルム剥離装置において、
上下に移動可能に設けられた基板支持搬送ローラと基板ガイドローラを、基板を挟んで設け、前記フィルム把持具を用いてフィルムを剥離し、フィルムの剥離された基板面を前記基板支持搬送ローラと基板ガイドローラにて挟み込み基板を搬送することを特徴とするフィルム剥離装置。 - 請求項2に記載のフィルム剥離装置において、
前記粘着テープ押し付け具の粘着テープに接触する部分が板形状に形成されていることを特徴とするフィルム剥離装置。
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2007
- 2007-07-24 JP JP2007192116A patent/JP2009029525A/ja active Pending
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