JPS62196893A - 流体吹付装置を有する薄膜剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野コ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特に、
基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜を流
体の吹き付けで剥離する剥離技術に適用して有効な技術
に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（又
は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は１次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）１？Ｊ１とそれを保護する透
光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着
ラミネートする。この後、配線パターンフィルムを重ね
、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィル
ムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして
、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性
樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成する
。この後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより
除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の
配線パターンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては。

感光性樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹
脂フィルムを剥離する工程が必要とされている。この透
光性樹脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該
フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹
脂層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器
用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題があった。

そこで、前記透光性樹脂フィルムの剥離工程を機械で自
動的に行う自動薄膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、薄膜浮上装置と流体吹付装置
とを有しており、それらで透光性樹脂フィルムを自動的
に剥離できるようにしたものである。すなわち、薄膜浮
上装置は、基板に張り付けられている積層体の端部を突
起抑圧部材で押圧し。

積層体のうち透光性樹脂フィルムの一部を厚」ニさせる
ように構成されている。流体吹付′！Ａ置は、浮上させ
た透光性樹脂フィルムの端部に流体を吹き付け、透光性
樹脂フィルムを瞬時かつ正確に剥離するように構成され
ている。

流体吹付装置は、流体の吹き付は時に、透光性樹脂フィ
ルムの端部を浮上させた浮上位置に流体噴射ノズルの先
端部をできる限り近接させ、透光性樹脂フィルムの剥離
効果を高めるように構成されている。この流体噴射ノズ
ルの先端部は、薄い基板１厘い基板等、種々の厚さの基
板でも浮上位置に近接できるように、略中間の厚さの基
板を使用したときの浮上位置に対向するように設定され
ている。また、流体吹付装置は、流体を吹き付けない時
、つまり、剥離前後の基板搬送時は、前記流体噴射ノズ
ルの先端部を浮上位置より離隔させ。

流体噴射ノズルの先端部が感光性樹脂層を損傷しないよ
うに構成されている。

しかしながら、実際に薄い基板や厚い基板を使用した時
に、流体噴射方向と浮上位置とにずれを生じるので、確
実にしかも効率良く透光性樹脂フィルムを剥離できない
という問題があった。

また、特に厚い基板を使用した時に、流体噴射ノズルの
先端部が基板の端部と接触し、流体噴射ノズル又は基板
を損傷するという問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

基板に張り付けられた薄膜を流体の吹き付けで刺着する
流体吹付装置を有する薄膜剥離装置であっ”（、前記基
板に張り付けられた薄膜の端部を浮上させる薄膜浮上装
置を設け、該薄膜浮上装置で浮上させた薄膜の端部に流
体を吹き付ける流体噴射ノズルと、該流体噴射ノズルの
流体噴射方向を前記薄膜の端部の浮上位置に対向させる
流体噴射ノズルガイド部材とを有する流体吹付装置を設
けたことを特徴としたものである。

［作用］ 本発明は、前記流体噴射ノズルの流体噴射方向を基板の
厚さに応じて浮上位置に対向させ、しかも流体噴射ノズ
ルの先端部と浮上位置とをできる限り近接させることが
できるので、確実かつ効率良く薄膜を剥離することがで
きる。

また、流体噴射ノズルの先端部と浮上位置とを基板の厚
さに応じて対向させることができるので。

流体噴射ノズルの先端部と基板との接触によるそれら損
傷をなくすことができる。

［実施例］ 以下１本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置に
適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
′ｒＩＩＩ膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第
２図は、第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜剥離装置におけるプリント配線用基板
の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主とし
て、プリント配線用基板ｌを搬送する搬送用駆動ローラ
２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起抑圧袋
［（薄膜浮上装置）３．流体吹付装置４゜剥離角度設定
板（剥離補助板）５及び薄膜搬出機構（薄膜搬送装置り
６が設けられている。

前記プリント配線用基板ｌは、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導電１１Ｂが
形成されたものである。このプリント配線用基板ｌの導
電ＪｌｆｌＢ上には、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）ＩＤとからなる積層体が熱圧着ラミネ
ートされている。感光性樹脂層ｌＣは所定の配線パター
ンフィルムが重ねられ露光された後の状態にある。プリ
ント配線用基板ｌは、第１図に示す矢印Ａ方向に搬送用
駆動ローラ２で搬送されるように構成されている。

前記突起抑圧機構３は、第３図（構成図）、第４図（拡
散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように構成
されている。

この突起抑圧機構３は、プリント配線用基板１の両面側
に、夫々複数個の突起抑圧部材３Ａが搬送方向と交差す
る方向（プリント配線用基板１の幅方向）に設けられて
いる。突起抑圧部材３Ａは第５図で示すように針状で構
成されており、その先端部で感光性樹脂層ＩＣと透光性
樹脂フィルムＩＤとの積層体の端部を押圧するように構
成されている。突起押圧部材３Ａは、前記積層体の端部
を押圧したときに、導電層ＩＢと感光性樹脂層ＩＣとの
界面に食込まないようにし、がっ透光性樹脂フィルムＩ
Ｄが感光性樹脂層ｔＣから浮上するように１例えば６０
［度］程度の先端角度で構成する。対向する位置に設け
られた夫々の突起抑圧部材３Ａは、ホルダ３Ｂを介して
夫々別々の突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに支持されてい
る。ホルダ３Ｂは、符号を付けていないが、突起抑圧部
材支持回転軸３Ｃの貫通穴をそれに沿って摺動できるよ
うに取り付けられている。

突起抑圧部材３Ａとホルダ３Ｂとの間及びホルダ３Ｂと
突起抑圧部材支持回転軸３Ｃとの間には。

夫々、同−又は異なる弾力性の弾性部材３Ｄ及び３Ｅが
設けられている。弾性部材３Ｄ及び３Ｅは、矢印Ｂ方向
、すなわち、プリント配線用基板ｌに近接する方向に作
用するように取り付けられている。したがって、突起抑
圧部材３Ａの先端部の位には、矢印Ｂ方向の所定の圧力
により、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに対して変化でき
るように構成されている。

突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部は、
第３図及び第４図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイ
ド用長穴３ｆを通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回
転自在に連結されている。ガイド部材３Ｆは１図示して
いないが、装置本体にビス等の取付手段で固着されてい
る。ガイド用長穴３ｆは、プリント配線用基板ｌに近接
又はそれから離隔させる方向（矢印Ｃ方向）に、突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃすなわち突起抑圧部材３Ａをガイ
ドするように構成されている。

夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は１回転軸３ｈを中
心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転アーム
部材３Ｈの回転軸３ｈを中心として対向する端部に回転
自在に取り付けられている。

回転アーム部材３　Ｈは、夫々の移動アーム部材３Ｇを
異なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成されている。

前記突起抑圧部材支持回転軸３Ｃをガイドするガイド部
材３Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈは
、両面兼用駆動源のシャフト３Ｊの矢印Ｅ方向の動作で
プリント配線用基板１の両面側に設けられた大′、・力
突起抑圧部材３Ａを互いに近接させ又は離隔さＩろ突起
押圧装置ｉ！！３のリンク機構を構成している。シャフ
ト３Ｊは、回転ア−ム部材３Ｈの一端部に連結アーム部
材３Ｉを介して接続されている。リンク機構を構成する
夫々の部材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の比
較的外力に対して変形しずらい材料で構成する４駆動源
としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ。

電磁ソレノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは１
回転アーム部材３Ｈの一端部に限定されず。

一方の移動アーム部材３Ｇの一端部に連結アーム部材３
Ｉを介して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起抑圧部材３Ａと両面
兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基
板１の両面側に設けられた夫々の突起抑圧部材３Ａのプ
リント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動
作（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなわち
、リンク機構は、プリント配線用基板１の両面側に、突
起抑圧部材３Ａを駆動する駆動源を別々に設けることな
く１両面兼用駆動源で両面側の突起抑圧部材３Ａを駆動
することができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３　Ｈが略剛体であり、
夫々の動作範囲がガイド用長六３ｆや回転軸３ｈで規定
されているので、プリント配線用基板１の両面側の夫々
の突起抑圧部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間等に
しかも正確に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部°高点数が少な
く１個々の部材が単純（簡単）な形状なので、突起抑圧
部材３Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成
を簡単にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ
が設けられている。夫々の突起抑圧部材回転アーム部材
３にの他端部には、長大３ｋが設けられており、両者の
長穴３ｋには、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続す
る連結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すな
わち、突起抑圧部材回転アーム部材３には、連結アーム
部材３Ｍを介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結
されている。両面兼用駆動源としては、前述のリンク機
構と同様のものを使用すればよい。

前記突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部
材３Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、突
起抑圧部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転させ
るとともに突起抑圧部材支持回転軸３Ｃを矢印Ｈ方向に
回転させ、猜層体の端部を抑圧する突起押圧装置３の突
起押圧部材抑圧機構を構成するようになっている。

このように構成される突起抑圧部材抑圧機構は、前述の
突起抑圧部材３Ａを近接させ又は離隔させるリンク機構
と同様に、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起
抑圧部材３Ａを両面用兼用駆動源で動作させることがで
きるとともに、その動作量、動作時間を正確に制御する
ことができる。

また、突起抑圧部材抑圧機構は、突起抑圧部材３Ａと駆
動源とを連結する連結Ｖ＆構の構成を簡単にすることが
できる。

このように突起抑圧袋＠３は、主に、突起抑圧部材３Ａ
と、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板１に近接さ
せ又は離隔させるリンク機構と、積層体の端部を突起押
圧部材３Ａで押圧させる突起抑圧部材抑圧機構とで構成
されている。

なお、本実施例では、リンク機構又は突起抑圧部材抑圧
機構と両面兼用駆動源を突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの
一端側に設けているが１本発明は、その両端側に夫々設
けてもよい。

次に、突起抑圧機構３の動作について、第１図乃至第５
図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断面
図）とを用いて簡単に説明する。

まず、図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、電気的にプリント配線用基板１
上に設けられている薄膜の端部を検出するタッチセンサ
又は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でこのプリント配線用基板１に設
けられている積層体（薄膜）の端部が検出されると、第
１図及び第２図に示すビンチローラ２Ａを抑圧手段（図
示していない）で抑圧してプリント配線用基板１に押し
付け、それと搬送用駆動ローラ２とでプリント配線用基
板ｌの搬送を一時停止させる。このとき、プリント配線
用基板ｌの位置がずれないように、ピンチローラ２Ａと
対向する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等の摩擦係
数の大きな材料を設け、プリント配線用基板１の搬送を
確実に停止させてプリント配線用基板１を固定する。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャフ
ト３Ｊを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。こ
の動作で回転アーム部材３Ｈ１移動アーム部材３Ｇ、ガ
イド部材３Ｆで構成されるリンク機構が動作し、突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃが矢印Ｃ方向に移動する。この突
起抑圧部材支持回転軸３Ｃの移動により、第６図に示す
ように。

プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起抑圧部材３
Ａの先端部が積層体端部の導電層ＩＢの表面に接触する
。この接触は、弾性部材３Ｄ（又は３１Ｅ）がエネルギ
を有するように適度な押圧力で行われる。

次に、突起抑圧部材３Ａが導電層ＩＢに接触した状態に
おいて、突起抑圧部材抑圧機構に連結された両面兼用駆
動源のシャフト３Ｌを矢印Ｆ方向（図中、左方向）に動
作させる。この動作で突起抑圧部材回転アーム部材３に
、連結アーム部材３Ｍで構成される突起抑圧部材抑圧機
構が動作し、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃを矢印Ｈ方向
に回転させる。この突起抑圧部材支持回転軸３ｃの回転
により、第７図に示すように、プリント配線用基板１の
両面側の夫々の突起抑圧部材３Ａの先端部が積層体端部
を押圧する。

このように、プリント配線用基板ｌの感光性樹脂Ｊ！ｆ
ｌｃ及び透光性樹脂フィルム１０からなる積層体の端部
を、突起抑圧袋ｗ３の突起抑圧部材３Ａで押圧すること
により、感光性樹脂ＭＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤ
の一部を浮上させ、それらの界面に隙間を生じさせるこ
とができる。この隙間は、感光性樹脂層ＩＣが透光性樹
脂フィルムＩＤよりも軟材質で構成されており、突起抑
圧部材３Ａの抑圧に対して感光性樹脂層１ｃは塑性変形
するが、透光性樹脂フィルムＩＤは塑性変形する前に感
光性樹脂層１ｃとの接着力が低下するために生じる。

また、前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部の浮上は、針
状の簡単な構成の突起押圧部材３Ａで行うことができる
。

また、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板ｌの搬送
経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部
の浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルム１０は、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂Ｍ１ｃと再度接着されるこ
とはない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に対し積層
体が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プ
リント配線用基板１の搬送方向と交差する方向（幅方向
）に複数の突起押圧部材３Ａを設けであるが、本発明は
これに限定されない。

すなわち、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルＡＩＤ
との一端部が押圧され、後者が必らず浮上できるならば
、プリント配線用基板１の両面側に夫々１つの突起抑圧
部材３Ａを設けて突起抑圧装置３を構成してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の搬送方向
と交差する方向（幅方向）に突起抑圧部材３Ａを設けで
あるが、本発明は、プリント配線用基板１の搬送方向と
同一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突起
抑圧部材３Ａを設けることもできる。この場合には、流
体吹付装置４の流体噴射ノズル４Ａを突起押圧部材３Ａ
の近傍に設ける。

また１本実施例では、突起抑圧装置３の突起抑圧部材抑
圧機構をリンク機構で構成したが１本発明は、積層体の
端部のプリント配線用基板１の表面に突起抑圧部材３Ａ
ｔｉ−接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピン
チローラ２Ａ）を回転させてプリント配線用基板ｌを微
小に搬送し、積層体の端部を抑圧する突起抑圧部材抑圧
機構で構成してもよい。すなわち１本発明は、搬送機構
で突起抑圧部材抑圧機構を構成してもよい。

また、本発明は、ホルダ３Ｂを取り付ける貫通穴の加工
精度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と交
差する方向の突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの断面形状を
方形状で構成してもよい。

前記流体吹付表Ｅ？４は、第１図、第２図、第８図（要
部斜視図）及び第９図（部分断面図）に示すように構成
されている。すなわち、流体吹付装置４は、流体噴射ノ
ズル４Ａの先端部から圧力を加えた流体１例えば、空気
、不活性ガス等の気体、水等の液体を吹出（噴射）シ、
透光性樹脂フィルムｌＤを剥離するように構成されてい
る。流体噴射ノズル４Ａから噴射された流体は、プリン
ト配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィ
ルム１０の一部が浮上（剥離）した間者の隙間部分に直
接吹き付けられるように構成されている。換言すれば、
流体は、突起押圧部材３Ａの押圧で透光性樹脂フィルム
ＩＤが浮上した浮上位置（剥離位置）に直接吹き伺けら
れるように構成されている。

この：４８体噴射ノズル４Ａは、突起抑圧部材３Ａの配
置数に対応して設けられている。

流体噴射ノズル４Ａは、第８図及び第９図に示すように
、ノズル支持回転軸４Ｂに固定ナツト４Ｃで固着されて
いる。流体噴射ノズル４Ａとノズル支持回転軸４Ｂとの
嵌合部は、オネジとメネジとで構成されており、ノズル
支持回転軸４Ｂに対して、流体噴射ノズル４Ａの位置を
矢印ａ方向に微動できるように構成されている。流体噴
射ノズル４Ａは、ノズル支持回転軸４Ｂの回転により、
矢印Ｊ方向にその設定角度が可変できるように構成され
ている。

流体噴射ノズル４Ａの近傍のノズル支持回転軸４Ｂには
、流体噴射ノズル４Ａの流体噴射方向を前記浮上位置に
対向させる流体噴射ノズルガイド部材４Ｄが設けられて
いる。流体噴射ノズルガイド部材４Ｄは、流体噴射方向
と浮上位置よりも搬送方向側のプリント配線用基板ｌの
表面とがなす角度が鋭角になるように、流体噴射ノズル
４Ａの角度を設定するように構成されている。

この流体噴射ノズルガイド部材４Ｄは、流体噴射イズル
４Ａと同様に、固定ナツト４Ｅでノズル支持回転軸４Ｂ
に固着されている。流体噴射ノズルガイド部材４Ｄとノ
ズル支持回転軸４Ｂとの嵌合部は、流体噴射ノズル４Ａ
の場合と同様に、オネジとメネジとで構成されており、
ノズル支持回転軸４Ｂに対して、流体噴射ノズルガイド
部材４Ｄの位置を矢印す方向に微動できるように構成さ
れている。

前記流体噴射ノズル４Ａの流体噴出側の先端部は、流体
吹き付は時に、流体噴射ノズルガイド部材４Ｄで突起抑
圧部１３Ａの近接した位置すなわち浮上位置に設定され
るように構成されている。

つまり、このように設定される流体噴射ノズル４Ａは、
突起抑圧部材３Ａで透光性樹脂フィルムＩＤの端部を浮
上させると略同時又はその後、透光性樹脂フィルムＩＤ
の浮上位置に即座に流体を吹き付けることができる。さ
らに、このように設定される流体噴射ノズル４Ａは、流
体噴射ノズルガイド部材４Ｄによりプリント配線用基板
ｌの厚さに応じて、浮上位置にできる限り近接させ、流
体圧を高くすることができるので、透光性樹脂フィルム
ＩＤを確実に剥離しかつその剥離効果を高めることがで
きる。

また、流体噴射ノズル４Ａは、前述のように、流体吹き
付は時にできる限り浮上位置に近接させることができる
とともに、ノズル支持回転軸４Ｂの矢印ｊ方向の回転に
より、流体吹き付は前後にプリント配線用基ｖｉ１が接
触しない位置に流体噴射ノズル４Ａを退避できるように
構成されている。

この流体噴射ノズル４Ａの退避は、透光性樹脂フィルム
ＩＤの剥離後のプリント配線用基板ｌの搬送時に、流体
噴射ノズル４Ａとの接触による感光性樹脂ＷｌＩＣの損
傷、流体噴射ノズル４Δの損傷等を防１！ユするように
なっている。

また、流体噴射ノズルガイド部材４Ｄは、プリン１〜配
線川基灰１を両面側から挟持するように構成さ九でいる
ので、浮上位置に歪みのあるプリント配線用基板ｌを嬌
正し、流体噴射ノズル４Ａの流体噴射方向を浮上位置に
正確に対向させることができる。

なお１図示していないが、前記ノズル支持回転軸４Ｂの
回転すなわち流体噴射ノズル４Ａの矢印Ｊ方向の回転は
、突起押圧装置３の突起押圧部材抑圧擾溝と同様な機構
で行えばよい。また、この流体噴射ノズル４Ａの回転の
制御は、図示していない電気的又は光学的検出装置で検
出し、その検出信号で行う。また、流体噴射ノズル４Ａ
の回転の制御は、前記突起抑圧部材３Ａの動作と連動さ
せて行ってもよい。

前記流体吹付機構４で剥離された搬送方向の先端側の透
光性樹脂フィルムｉｔ（は、第２図及び第１Ｏ図（要部
斜視図）で示すように、剥離角度設定板（７ｊ１離補助
板）５に流体圧で付着し、その剥離位置及び剥離方向の
剥離角度θが設定される。透光性樹脂フィルム１ｄは、
第２図及び第１０図において一点鎖線で示している。剥
離角度θは、プリント配線用基板ｌに張り付けられてい
る透光性樹脂フィルムＩＤとその状態から引き起された
透光性樹脂フィルムｌｄとがなす角度であり、略直角に
なるように構成されている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感光
性樹脂層ｌＣに損傷、破壊を生じないように。

プリント配線用基板ｌに張り付けられた透光性樹脂フィ
ルムＩＤにこすれない程度の間隔を置いて設けられてい
る。そして、剥離角度設定板５は、その先端が、流体吹
き付は時には、透光性樹脂フィルムｌＤに密着するよう
に、移動可能に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果
の低下を防止する。また、剥離角度設定板５の先端は、
曲率半径の小さい円孤状になっている。例えば１曲率半
径が３１１ｇ以下に構成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機構
６よりもプリント配線用基板１側に近接させ、プリント
配線用基板ｌの搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の長
さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されてい
る。すなわち、第１０図に矢印にで流体の流出方向を示
すように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹
抜けをできる限り防止して剥離効果を高め、がっ剥離さ
れた透光性樹脂フィルム１ｄの剥離角度設定板５への付
着性を高めることができる。

剥離角度設定板５は、図示していないが、ノズル４Ａか
らの流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けられ
ている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置を
安定させるとともに、透光性樹脂フィルムＩＤに一様な
剥離力を加えることができる。したがって、剥離角度設
定板５は、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離時における剥
離位置の変動防止。

剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂層ＩＣを損傷、破
壊しないようにすることができる。

なお、剥離角度設定板５の剥離角度θは、透光性樹脂フ
ィルムｌＤの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件変
化により、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できるよ
うに構成してもよい。また。

剥離角度設定板５は、異なる厚さのプリント配線用基板
１．異なる厚さの感光性樹脂層ｉｃや透光性樹脂フィル
ムＩＤに対応できるように、その位置を移動できるよう
に構成してもよい。この移動は１例えば、空圧シリンダ
、油圧シリンダ等で行うことができる。

また、前記剥離角度設定板５は、剥離された透光性樹脂
フィルム１ｄが付着する位置に、剥離薄膜検出用の貫通
孔５Ｂが設けられている。この貫通孔５Ｂは、光センサ
５Ｃからの検出光が通過するように構成されており、剥
離角度設定板Ｓ上に透光性樹脂フィルム１ｄが確実に剥
離されて存在しているか否かを検出するように構成され
ている。

この検出により透光性樹脂フィルム１ｄの存在が確認さ
れないプリント配線用基板１（薄膜剥離不良基板）は、
検出後に搬送経路から排出される。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性樹
脂フィルム１ｄは、第１図、第２図及び第１１図（拡散
分解斜視図）で示すように、薄膜搬出装置！（薄膜搬送
装置）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出装置６は、主に、プリント配線用基板１の両面
側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベル
ト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第１Ｉ図で詳細に示すように、
固定搬送ベルト６Ａ、６Ｃ，６Ｄ、６Ｅ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸Ｉに支持されたローラ６
Ａａ、駆動軸Ｈに支持されたローラ６Ａｂ及びローラ６
Ａａと６Ａｂとに巻き回されたベルト６ａで構成されて
いる。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｂ　ａ、駆動軸■に支持されたローラ６Ｂｂ及びローラ
６Ｂａと６Ｂｂとに巻き回されたベルト６ｂで構成され
ている。この可動搬送ベルト６Ｂは、駆動軸■を中心に
第２図に示すように。

矢印り方向に回転するように構成されている。すなわち
、可動搬送ベルト６Ｂは、剥離された透光性樹脂フィル
ム１ｄを剥離角度設定板５に付着させ易くするとともに
、この透光性樹脂フィルムｌｄを固定搬送ベルト６Ａと
で挟持して搬送できるように構成されている。また、固
定搬送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂとの挟持は、
第１Ｏ図に示す剥離角度設定板５に設けられた切込部５
Ａを通して行われる。この切込部５Ａは、剥離角度設定
板５で剥離位置及び剥離角度が設定された透光性樹脂フ
ィルム１ｄに固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂ
とが達し、両者でそれを挟持できるように構成されてい
る。すなわち、切込部５Ａは、固定搬送ベルト６Ａと可
動搬送ベルト６Ｂとで透光性樹脂フィルムｌｄを確実に
挟持できるように構成されている。

固定電送ベルト６Ｃは、駆動軸Ｈに支持されたローラ６
Ｃａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｃｂ及びローラ６
Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６Ｃで構成さハて
いる。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｄａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸■に
支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■に支持されたローラ
６Ｄｄ、従動軸■に支持されたローラ６　Ｄ　ｐ、及び
ローラ６Ｄａ〜６Ｄａに巻き回されたベルト６ｄで構成
されている。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベルト６Ｂで搬送された透光性樹脂フィル
ム１ｄをさらに排出方向に搬送するように構成されてい
る。固定搬送ベルト６Ｄのローラ６Ｄｅは、第１２図（
要部断面図）で示すように、固定搬送ベルト６Ｃ及び６
Ｄがら固定搬送ベルト６Ｅ及び６Ｆに透光性樹脂フィル
ムｌｄを搬送するときに、その搬送方向が大きな角度で
変化するために設けられている。すなわち、ローラ６Ｄ
ｅは、搬送方向が変化するときに、ベルト６Ｃ及び６ｄ
の透光性樹脂フィルム１ｄに接触する側の曲率半径を略
同等にすることができる。したがって、搬送時に透光性
樹脂フィルムｌｄにシワが生じることを防止し、ジャム
等のトラブルを防止することができる。

また、第１３図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム１ｄの一方の面に接触し、その搬送方向と交
差する透光性樹脂フィルｌｘ　１　ｄの幅方向に所定の
間隔で設けられた複数の固定搬送ベルｌ−６Ｃ（又は６
Ｄ）の間には、透光性樹脂フィルム１ｄの他方の面に接
触する固定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｃ）が設けられてい
る。換言すれば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々の
ベルト６Ｃ及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルム１ｄと
の接触面）が一致しているか、或はそれよりも相手側に
食込むように、透光性樹脂フィルム１ｄの幅方向に千鳥
状に配置されている。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性樹脂フィルム１ｄ
にその幅方向の張力を与えることができるので、固定搬
送ベル１〜６６と６Ｄとで均一な挟持力でしかも確実に
透光性樹脂フィルム１ｄを挟持し搬送することができる
。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルｔ％　１　ｄは、夫々のベルト６ｃ及び６ｄ
の表面及び側面側を包み込むような形状で搬送されるの
で、ローラ５Ｃａ、６Ｃｂとベルト６ｃ、又はローラ６
Ｄａ〜６Ｄｅとベルト６ｄとのローラの軸方向のズレを
防止することができる６したがって、搬送時に透光性樹
脂フィルム１ｄに加わる挟持力を均一にし、それにシワ
が発生することを防止できるので、ジャム等のトラブル
を防止することができる。特に、本実施例の装置は、後
述する上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａを設け
ており、上部搬送ベルト機構の搬送経路が下部搬送ベル
ｊ−機構のそれよりも長いので、固定搬送ベルト６Ｃ及
び６Ｄのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ６
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回されたベルト６ｃで構成されて
いる。

固定搬送ベル１〜６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ
６Ｆａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びローラ
６Ｆａと６Ｆｂとに巻き回されたベルト６ｆで構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第１図及び第２図に示す
ように、前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで搬送された
透光性樹脂フィルム１ｄを装置本体から矢印Ｍ方向に排
出するように構成されている。装置本体から排出された
透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図に示す上部透光性樹
脂フィルム排出収納容器７Ａに収納される。この上部透
光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａは、装置本体の上部
に着脱自在に取り付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図に示すように、固定
搬送ベルｈ　６　Ｇと可動搬送ベルｌ−６８とで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々側々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
Ｇ、ｌＩ〜６Ｇｃに巻き回されたベルト６ｇで構成され
ている。

可動搬送ベルト６１−１は、夫々側々の従動軸（図示し
ていない）に支持されたローラ６）（ａ、６ＨＣ１従動
軸（図示していない）に支持されたローラ６　Ｈｂ及び
ローラ６１−１　ａ〜６　Ｈｃに巻き回されたベルト６
ｈで構成されている。

固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルト６日は、前記上部
搬送ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で刺部位置
及び剥離角度が設定されたもう一方の透光性樹脂フィル
ム１ｄを剥離しながら搬送するとともに、矢印○方向に
装置本体から透光性樹脂フィルム１ｄを排出するように
構成されている。装置本体から排出された透光性樹脂フ
ィルム１ｄは、第１図に示す下部透光性樹脂フィルム排
出収納容器７Ｂに収納される。この下部透光性樹脂フィ
ルム排出収納容器７Ｂは、装置本体に着脱自在に取り付
けられている。また、前記上部透光性樹脂フィルム排出
収納容器７Ａは下部透光性樹脂フィルム排出収納容器７
Ｂの上部に設けられており、装置本体は、占有面積を縮
小しコンパクト化できるように構成されている。

また、前記固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第
２図及び第１１図に示すように、排出される透光性樹脂
フィルム１ｄにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹
き付ける流体噴出機構８が設けられている。このとき、
排出される透光性樹脂フィルム１ｄと流体吹付方向とが
なす角度は、流体の噴出で透光性樹脂フィルム１ｄを確
実に排出方向に誘導できるように、鋭角０１（０≦０１
≦９０）に設定されている。流体噴出機構８は。

固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動搬送ベ
ルト６８間に流体が噴出する噴出口が設けられたパイプ
で構成されている。流体としては、圧力を加えた空気、
不活性ガス等の気体、水等の液体を使用する。なお１図
示されていないが、流体噴出袋＠８に近接した位置には
、透光性樹脂フィルム１ｄの帯電を低減する除電装置が
設けられている。

このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの夫々の排出側に流体噴出機構８を設ける
ことにより、排出される透光性樹脂フィルム１ｄが再度
固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可動搬送ベルト６
Ｈに巻き込まれることを防止するとともに、流体で矢印
Ｍ又はＯ方向に透光性樹脂フィルム１ｄを誘導すること
ができるので、透光性樹脂フィルム１ｄを効率良く上部
又は下部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａ又は７Ｂ
に排出することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動
搬送ベルト６Ｈ間の夫々の排出側の搬送経路の近傍には
１巻込防止用部材９が設けられており、透光性樹脂フィ
ルム１ｄが固定搬送ベル１−６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可動
搬送ベルト６Ｈに巻き込まれることを防止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置及び可１！ｌ］搬送ベルト６Ｈに近接した位置
には、夫々除電装置１０とイオン拡散装置１１とが設け
られている。除電装置１０は、イオンを放出し、剥離や
搬送時に透光性樹脂フィルム１ｄが；！ｌＦ電すること
を低減できるように構成されている。イオン拡散袋ｆｉ
ｌｌは、除電装置１１０から放出されたイオンを拡散し
、透光性樹脂フィルム１ｄの帯電を効率良く低減できる
ように構成されている。イオン拡散装置１１は、例えば
、圧力が加えられた空気等の流体でイオンを拡散するよ
うに構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば１本発明は、突起押圧装置３の突起押圧部材３Ａ
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成しても
よい。

また、本発明は、回転体の円周上に複数の針が設けられ
たブラシで透光性樹脂フィルムＩＤの端部を引き起す薄
膜浮上機構を有する薄膜剥Ｒ”Ａ置の薄膜搬送装置に適
用することができる。

また、本発明は、ローレットで透光性樹脂フィルムＩＤ
の端部を押圧し、その部分を浮上させる薄膜浮上装置を
有する薄膜剥離装置の薄膜搬送装置に適用することがで
きる。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている保
護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果 以上説明したように１本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

基板に張り付けられた薄膜を流体の吹き付けで剥離する
流体吹付装置を有する薄膜剥離装置であって、前記基板
に張り付けられた薄膜の端部を浮上させる薄膜浮上装置
を設け、該薄膜浮上装置で浮上させた薄膜の端部に流体
を吹き付ける流体噴射ノズルと、該流体噴射ノズルの流
体噴射方向を前記薄膜の端部の浮上位置に対向させる流
体噴射ノズルガイド部材とを有する流体吹付装置を設け
たことにより、流体噴射ノズルの流体噴射方向を基板の
厚さに応じて浮上位置に対向させ、しがも流体噴射ノズ
ルの先端部と浮上位置とをできる限り近接させることが
できるので、確実かつ効率良く薄膜を剥離することがで
きる。

また、流体噴射ノズルの先端部と浮上位置とを基板の厚
さに応じて対向させることができるので。

流体噴射ノズルの先端部と基板との接触によるそれらの
損傷をなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図、第３図は、第
１図及び第２図に示す突起抑圧装置の構成図、 第４図は、第３図の拡散分解図、 第５図は、第４図に示す突起抑圧部材の部分断面図。 第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図。 第８図は、第１図及び第２図に示す流体吹付装置の要部
斜視図、 第９図は、第１図及び第２図に示す流体吹付装置の部分
断面図。 第１Ｏ図は、第１図及び第２図に示す剥離角度設定板の
要部斜視図、 第１１図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出装置の拡
散分解斜視図。 第１２図及び第１３図は、第１１図に示す薄膜搬出装置
の要部断面図である。 図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶縁性
基板、ＩＢ・・・導電層、ＩＣ・・・感光性樹脂層、Ｉ
Ｄ・・・透光性樹脂フィルム、２・・・搬送用駆動ロー
ラ、３・・・突起押圧装置、３Ａ・・・突起押圧部材、
４・・・流体吹付装置、４Ａ・・・流体噴射ノズル、４
Ｄ・・・流体噴射ノズルガイド部材、５・・・剥離角度
設定板、６・・・薄膜搬出装置（″ｖｉ膜搬送搬送装置
６Ａ〜６Ｈ・・・搬送ベルトである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板に張り付けられた薄膜を流体の吹き付けで剥
   離する流体吹付装置を有する薄膜剥離装置であって、前
   記基板に張り付けられた薄膜の端部を浮上させる薄膜浮
   上装置を設け、該薄膜浮上装置で浮上させた薄膜の端部
   に流体を吹き付ける流体噴射ノズルと、該流体噴射ノズ
   ルの流体噴射方向を前記薄膜の端部の浮上位置に対向さ
   せる流体噴射ノズルガイド部材とを有する流体吹付装置
   を設けたことを特徴とする流体吹付装置を有する薄膜剥
   離装置。
2. （２）前記流体噴射ノズルガイド部材は、流体噴射ノズ
   ルの流体噴射方向と前記浮上位置よりも基板搬送方向側
   の基板表面とがなす角度を鋭角に設定することを特徴と
   する特許請求の範囲第１項に記載の流体吹付装置を有す
   る薄膜剥離装置。