JP2006231626A - ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 - Google Patents
ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006231626A JP2006231626A JP2005047564A JP2005047564A JP2006231626A JP 2006231626 A JP2006231626 A JP 2006231626A JP 2005047564 A JP2005047564 A JP 2005047564A JP 2005047564 A JP2005047564 A JP 2005047564A JP 2006231626 A JP2006231626 A JP 2006231626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- repellent film
- nozzle plate
- ink
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims abstract description 107
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 83
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 52
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 102
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 6
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001285221 Breviceps Species 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000001041 dye based ink Substances 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1625—Manufacturing processes electroforming
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14459—Matrix arrangement of the pressure chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/20—Modules
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53191—Means to apply vacuum directly to position or hold work part
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】ノズル形成時にバリが発生せず、孔形状が正確で、撥水材基材の損傷を少なくする。
【解決手段】液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面に撥水膜を形成する工程と、前記撥水膜を半硬化させる工程と、前記撥水膜上に前記ノズルに対応する所定の孔を有するマスクを形成する工程と、前記ノズルプレートの前記撥水膜が形成された側とは反対側から流体または微粒子を吹き付けて、前記撥水膜に孔を形成する工程と、前記マスクを除去する工程と、前記撥水膜を本硬化させる工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより前記課題を解決する。
【選択図】 図8
【解決手段】液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面に撥水膜を形成する工程と、前記撥水膜を半硬化させる工程と、前記撥水膜上に前記ノズルに対応する所定の孔を有するマスクを形成する工程と、前記ノズルプレートの前記撥水膜が形成された側とは反対側から流体または微粒子を吹き付けて、前記撥水膜に孔を形成する工程と、前記マスクを除去する工程と、前記撥水膜を本硬化させる工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより前記課題を解決する。
【選択図】 図8
Description
本発明は、ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置に係り、特に、液体を吐出する微細な液体吐出口(ノズル)が多数形成されたノズルプレートの表面に撥液膜を形成する技術及びこのノズルプレートを用いた液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
従来より、画像形成装置として、インク(液体)を吐出する多数のノズル(吐出口)を配列させたインクジェットヘッド(液体吐出ヘッド)を有し、このインクジェットヘッドと被記録媒体を相対的に移動させながら、ノズルからインクを吐出することにより、被記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録装置(インクジェットプリンタ)が知られている。
インクジェット記録装置におけるインク吐出方法としては、従来から様々な方法が知られている。例えば、圧電素子(ピエゾ素子)の変形によって圧力室の一部を構成する振動板を変形させて、圧力室の容積を変化させ、圧力室の容積増大時にインク供給路から圧力室内にインクを導入し、圧力室の容積減少時に圧力室内のインクをノズルから液滴として吐出する圧電方式が知られている。
このようなインクジェット記録装置においては、インク吐出ヘッドのノズルが形成されたノズルプレート表面に撥水膜を形成することで、ノズルの汚れを除去し易くしたり、ノズルからのインクの滲み出しを小さくして、インクの吐出方向や吐出量を安定化するようにしている。
このとき、ノズル孔と撥水膜を両立させるためには、大別して、ノズルプレートにノズル孔を加工した後に撥水膜を形成する方法と、撥水膜をノズルプレート一面に形成した後にノズル孔を形成する方法がある。
このうち、後からノズル孔を形成する方法では、孔を開けるには実質的にポリイミドなどの耐熱性樹脂にレーザ加工する方法(例えばエキシマレーザー)以外になく、孔を開ける手段が限られてしまうため、ノズル孔加工後に撥水膜を形成する方法が採用される場合が多い。
しかし、後から撥水膜を形成する方法は、ノズルの周囲にきれいに撥水膜を残すことが難しいため、従来から様々なノズルプレート製造方法が提案されている。
例えば、基板にノズルを加工し、ノズル加工された位置の周囲の基板表面に撥水膜を形成し、基板の撥水膜が形成された面の裏側から微小個体を衝突させるブラスト処理を行い、上で形成した撥水膜の不要部分を除去するようにしてノズル周囲に撥水膜が形成されたノズルプレートを製造する方法が知られている(例えば、特許文献1等参照)。なお、この方法では、ブラスト処理後に、ノズル外側に向かってバリが発生するため、熱加工を行ってバリを軟化溶融させて消滅させるようにしている。
また、上述したようなブラスト処理を用いるものでは、ノズル穴径が大きくなったり、ノズルプレートそのものが変形したり、ノズルプレート表面が面荒れしたりする等の問題があるため、ノズルプレートにノズル孔を形成し、ノズルプレートの表面側に撥水膜を形成して、ノズル孔を閉塞している箇所の撥水膜を裏面側から水を噴射してその水圧で除去するいわゆるウォータージェットを用いるノズルプレート製造方法が知られている(例えば、特許文献2等参照)。
特開平7−304175号公報
特開2004−142297号公報
しかしながら、上記従来技術のように、ノズルプレート表面に形成した撥水膜の不要部分をノズルプレートの裏面側からブラスト処理や水の噴射で除去しようとすると、除去する必要のない撥水膜まで除去してしまう可能性があり、ノズルプレートとしての精度を維持できないという問題がある。
また、ブラスト材や水を衝突させて除去加工するために、撥水膜やノズルプレートそのものを変形させたり、内部応力を発生させてしまうという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ノズル形成時にバリが発生せず、孔形状が正確で、撥水材基材の損傷の少ないノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面に撥水膜を形成する工程と、前記撥水膜を半硬化させる工程と、前記撥水膜上に前記ノズルに対応する所定の孔を有するマスクを形成する工程と、前記ノズルプレートの前記撥水膜が形成された側とは反対側から流体または微粒子を吹き付けて、前記撥水膜に孔を形成する工程と、前記マスクを除去する工程と、前記撥水膜を本硬化させる工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
これにより、撥水膜の除去するべき箇所のみ精度良く孔を加工することができ、バリの発生もなく、孔形状を正確に形成することが可能となる。
また、請求項2に示すように、前記ノズルの孔径をφ1 とし、前記マスクの孔径をφ2 とするとき、φ2 <φ1 であることを特徴とする。
これにより、撥水膜に形成される孔がテーパ状に形成され、ノズルにおける液体のメニスカスの保持が容易となり、液体の吐出が安定し、高周波吐出が可能となる。
また、同様に前記目的を達成するために、請求項3に記載の発明は、液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面に撥水膜を形成する工程と、前記撥水膜を半硬化させる工程と、前記撥水膜上に前記ノズルに対応する所定の孔を有するマスクを形成する工程と、前記ノズルプレートの前記撥水膜が形成された側から流体または微粒子を吹き付けて、前記撥水膜に孔を形成する工程と、前記マスクを除去する工程と、前記撥水膜を本硬化させる工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
これにより、撥水膜の除去するべき箇所のみ精度良く孔を加工することができ、バリの発生もなく、孔形状を正確に形成することが可能となる。
また、請求項4に示すように、前記ノズルの孔径をφ1 とし、前記マスクの孔径をφ2 とするとき、φ2 >φ1 であることを特徴とする。
これにより、撥水膜に形成される孔がテーパ状に形成され、ノズルにおける液体のメニスカスの保持が容易となり、液体の吐出が安定し、高周波吐出が可能となる。
また、請求項5に示すように、前記撥水膜の厚さをt0 とし、t1 =|φ1 −φ2 |/2とするとき、t1 /t0 ≦1であることを特徴とする。
これにより、撥水膜のテーパ状の部分の強度が確保されるとともに、吐出される液体の飛翔特性を向上させることができる。
また、請求項6に示すように、前記ノズルプレートの材質は金属または半導体であることを特徴とする。
これにより、撥水膜のみを選択的に孔加工することが可能となる。
また、請求項7に示すように、前記流体は、エアーまたは窒素ガスまたは不活性ガスであることを特徴とする。
これにより、撥水膜の基材へ損傷を与えることが抑制される。
また、同様に前記目的を達成するために、請求項8に記載の発明は、請求項1〜7のいずれかに記載の方法によって製造されたノズルプレートを備えたことを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
さらに、同様に前記目的を達成するために、請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置を提供する。
これにより、液体の飛翔特性が向上し、高周波吐出が可能となるため、高画質な画像形成を効率的に行うことが可能となる。
以上説明したように、本発明に係るノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置によれば、ノズルプレートの製造工程において、撥水膜の除去するべき箇所のみ精度良く孔を加工することができ、バリの発生もなく、孔形状を正確に形成することが可能となり、このようにして形成されたノズルプレートを用いることにより高画質な画像形成を効率的に行うことが可能となる。
以下、添付した図面を参照して、本発明に係るノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る液体吐出ヘッドを有する画像形成装置としてのインクジェット記録装置の第1実施形態の概略を示す全体構成図である。
図1に示すように、このインクジェット記録装置10は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド(液体吐出ヘッド)12K、12C、12M、12Yを有する印字部12と、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部14と、記録紙16を供給する給紙部18と、記録紙16のカールを除去するデカール処理部20と、前記印字部12のノズル面(インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面)に対向して配置され、記録紙16の平面性を保持しながら記録紙16を搬送する吸着ベルト搬送部22と、印字部12による印字結果を読み取る印字検出部24と、印画済みの記録紙(プリント物)を外部に排紙する排紙部26とを備えている。
図1では、給紙部18の一例としてロール紙(連続用紙)のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
ロール紙を使用する装置構成の場合、図1のように、裁断用のカッター28が設けられており、該カッター28によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター28は、記録紙16の搬送路幅以上の長さを有する固定刃28Aと、該固定刃28Aに沿って移動する丸刃28Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃28Aが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃28Bが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター28は不要である。
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
給紙部18から送り出される記録紙16はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部20においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム30で記録紙16に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
デカール処理後、カットされた記録紙16は、吸着ベルト搬送部22へと送られる。吸着ベルト搬送部22は、ローラー31、32間に無端状のベルト33が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部12のノズル面及び印字検出部24のセンサ面に対向する部分が平面(フラット面)をなすように構成されている。
ベルト33は、記録紙16幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔(図示省略)が形成されている。図1に示したとおり、ローラー31、32間に掛け渡されたベルト33の内側において印字部12のノズル面及び印字検出部24のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー34が設けられており、この吸着チャンバー34をファン35で吸引して負圧にすることによってベルト33上の記録紙16が吸着保持される。
ベルト33が巻かれているローラー31、32の少なくとも一方にモータ(図示省略)の動力が伝達されることにより、ベルト33は図1において、時計回り方向に駆動され、ベルト33上に保持された記録紙16は、図1の左から右へと搬送される。
縁無しプリント等を印字するとベルト33上にもインクが付着するので、ベルト33の外側の所定位置(印字領域以外の適当な位置)にベルト清掃部36が設けられている。ベルト清掃部36の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
なお、吸着ベルト搬送部22に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
吸着ベルト搬送部22により形成される用紙搬送路上において印字部12の上流側には、加熱ファン40が設けられている。加熱ファン40は、印字前の記録紙16に加熱空気を吹きつけ、記録紙16を加熱する。印字直前に記録紙16を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
印字部12は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向(副走査方向)と直交する方向(主走査方向)に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている(図2参照)。
図2に示すように、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yは、本インクジェット記録装置10が対象とする最大サイズの記録紙16の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口(ノズル)が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
記録紙16の搬送方向(紙搬送方向)に沿って上流側(図1の左側)から黒(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の順に各色インクに対応した印字ヘッド12K、12C、12M、12Yが配置されている。記録紙16を搬送しつつ各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙16上にカラー画像を形成し得る。
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部12によれば、紙搬送方向(副走査方向)について記録紙16と印字部12を相対的に移動させる動作を一回行うだけで(すなわち、一回の副走査で)記録紙16の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向(主走査方向)に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
なお、ここで主走査方向及び副走査方向とは、次に言うような意味で用いている。すなわち、記録紙の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時、(1)全ノズルを同時に駆動するか、(2)ノズルを片方から他方に向かって順次駆動するか、(3)ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動するか、等のいずれかのノズルの駆動が行われ、用紙の幅方向(記録紙の搬送方向と直交する方向)に1ライン(1列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン)の印字をするようなノズルの駆動を主走査と定義する。そして、この主走査によって記録される1ライン(帯状領域の長手方向)の示す方向を主走査方向という。
一方、上述したフルラインヘッドと記録紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された1ライン(1列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン)の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。そして、副走査を行う方向を副走査方向という。結局、記録紙の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。
また本例では、KCMYの標準色(4色)の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
図1に示したように、インク貯蔵/装填部14は、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yと連通されている。また、インク貯蔵/装填部14は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段(表示手段、警告音発生手段等)を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
印字検出部24は、印字部12の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ(ラインセンサ等)を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
本例の印字検出部24は、少なくとも各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yによるインク吐出幅(画像記録幅)よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤(R)の色フィルタが設けられた光電変換素子(画素)がライン状に配列されたRセンサ列と、緑(G)の色フィルタが設けられたGセンサ列と、青(B)の色フィルタが設けられたBセンサ列とからなる色分解ラインCCDセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
印字検出部24は、各色の印字ヘッド12K、12C、12M、12Yにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
印字検出部24の後段には、後乾燥部42が設けられている。後乾燥部42は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
後乾燥部42の後段には、加熱・加圧部44が設けられている。加熱・加圧部44は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー45で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
このようにして生成されたプリント物は、排紙部26から排出される。本来プリントすべき本画像(目的の画像を印刷したもの)とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置10では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部26A、26Bへと送るために排紙経路を切り換える選別手段(図示省略)が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター(第2のカッター)48によってテスト印字の部分を切り離す。カッター48は、排紙部26の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター48の構造は前述した第1のカッター28と同様であり、固定刃48Aと丸刃48Bとから構成されている。
また、図示を省略したが、本画像の排出部26Aには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
次に、印字ヘッド(液体吐出ヘッド)のノズル(液体吐出口)の配置について説明する。インク色毎に設けられている各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号50によって印字ヘッドを表すものとし、図3に印字ヘッド50の平面透視図を示す。
図3に示すように、本実施形態の印字ヘッド50は、インクを液滴として吐出するノズル51、インクを吐出する際インクに圧力を付与する圧力室52、図3では図示を省略した供給液室から圧力室52にインクを供給するインク供給口53を含んで構成される圧力室ユニット54が千鳥状の2次元マトリクス状に配列され、ノズル51の高密度化が図られている。
図3に示す例においては、各圧力室52を上方から見た場合に、その平面形状は略正方形状をしているが、圧力室52の平面形状はこのような正方形に限定されるものではない。圧力室52には、図3に示すように、その対角線の一方の端にノズル51が形成され、他方の端の側にインク供給口53が設けられている。
また、図4は他の印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。図4に示すように、複数の短尺ヘッド50’を2次元の千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、これらの複数の短尺ヘッド50’全体で印字媒体の全幅に対応する長さとなるようにして1つの長尺のフルラインヘッドを構成するようにしてもよい。
また、図3中の5−5線に沿った断面図を図5に示す。
図5に示すように、圧力室ユニット54は、その一番下層にインクを吐出するノズル51が形成されたノズルプレート151が形成されている。圧力室ユニット54は、このノズル51と連通する圧力室52によって主に形成される。また圧力室52は、ノズル51と連通するとともに、インク供給口53を介してインクを供給する供給液室55と連通する。圧力室52の一面(図では天面)は振動板56で構成され、その上部には、振動板56に圧力を付与して振動板56を変形させる圧電素子58が接合され、圧電素子58の上面には個別電極57が形成されている。また、振動板56は共通電極を兼ねている。
圧電素子58は、共通電極(振動板56)と個別電極57によって挟まれており、これら2つの電極56、57に駆動電圧を印加することによって変形する。圧電素子58の変形によって振動板56が押され、圧力室52の容積が縮小されてノズル51からインクが吐出されるようになっている。2つの電極56、57間への電圧印加が解除されると圧電素子58がもとに戻り、圧力室52の容積が元の大きさに回復し、供給液室55からインク供給口53を通って新しいインクが圧力室52に供給されるようになっている。
図6はインクジェット記録装置10におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インクタンク60は印字ヘッド50にインクを供給するための基タンクであり、図1で説明したインク貯蔵/装填部14に設置される。インクタンク60の形態には、インク残量が少なくなった場合に、補充口(図示省略)からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。なお、図6のインクタンク60は、先に記載した図1のインク貯蔵/装填部14と等価のものである。
図6に示したように、インクタンク60と印字ヘッド50を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ62が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは印字ヘッド50のノズル径と同等若しくはノズル径以下(一般的には、20μm程度)とすることが好ましい。
なお、図6には示さないが、印字ヘッド50の近傍又は印字ヘッド50と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
また、インクジェット記録装置10には、ノズルの乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ64と、ノズル面(ノズルプレート151の表面)50Aの清掃手段としてのクリーニングブレード66とが設けられている。
これらキャップ64及びクリーニングブレード66を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によって印字ヘッド50に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド50下方のメンテナンス位置に移動される。
キャップ64は、図示しない昇降機構によって印字ヘッド50に対して相対的に昇降変位される。昇降機構は、電源OFF時や印刷待機時にキャップ64を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド50に密着させることにより、ノズル面50Aのノズル領域をキャップ64で覆うようになっている。
クリーニングブレード66は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したブレード移動機構により印字ヘッド50のインク吐出面(ノズル面50A)に摺動可能である。ノズル面50Aにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード66をノズル面50Aに摺動させることでノズル面50Aを拭き取り、ノズル面50Aを清浄するようになっている。
印字中又は待機中において、特定のノズル51の使用頻度が低くなり、そのノズル51近傍のインク粘度が上昇した場合、粘度が上昇して劣化したインクを排出すべく、キャップ64に向かって予備吐出が行われる。
また、印字ヘッド50内のインク(圧力室52内のインク)に気泡が混入した場合、印字ヘッド50にキャップ64を当て、吸引ポンプ67で圧力室52内のインク(気泡が混入したインク)を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク68へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも行われ、粘度が上昇して固化した劣化インクが吸い出され除去される。
すなわち、印字ヘッド50は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用の圧力発生手段(図示省略、後述)が動作してもノズル51からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で(圧力発生手段の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で)、インク受けに向かって圧力発生手段を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面50Aの清掃手段として設けられているクリーニングブレード66等のワイパーによってノズル面50Aの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル51内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。
また、ノズル51や圧力室52内に気泡が混入したり、ノズル51内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、上述したような吸引動作を行う。
すなわち、ノズル51や圧力室52のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル51内のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、圧力発生手段を動作させてもノズル51からインクを吐出できなくなる。このような場合、印字ヘッド50のノズル面50Aに、キャップ64を当てて圧力室52内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ67で吸引する動作が行われる。
ただし、上記の吸引動作は、圧力室52内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。なお、図6で説明したキャップ64は、吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。
また、好ましくは、キャップ64の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。
図7はインクジェット記録装置10のシステム構成を示す要部ブロック図である。
図7に示すように、インクジェット記録装置10は、通信インターフェース70、システムコントローラ72、画像メモリ74、モータドライバ76、ヒータドライバ78、プリント制御部80、画像バッファメモリ82、ヘッドドライバ84等を備えている。
通信インターフェース70は、ホストコンピュータ86から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース70にはUSB、IEEE1394、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ(図示省略)を搭載してもよい。ホストコンピュータ86から送出された画像データは通信インターフェース70を介してインクジェット記録装置10に取り込まれ、一旦画像メモリ74に記憶される。画像メモリ74は、通信インターフェース70を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ72を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ74は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなどの磁気媒体を用いてもよい。
システムコントローラ72は、通信インターフェース70、画像メモリ74、モータドライバ76、ヒータドライバ78等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ72は、中央演算処理装置(CPU)及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ86との間の通信制御、画像メモリ74の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ88やヒーター89を制御する制御信号を生成する。
モータドライバ76は、システムコントローラ72からの指示に従ってモータ88を駆動するドライバ(駆動回路)である。ヒータドライバ78は、システムコントローラ72からの指示にしたがって後乾燥部42等のヒーター89を駆動するドライバである。
プリント制御部80は、システムコントローラ72の制御に従い、画像メモリ74内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号(印字データ)をヘッドドライバ84に供給する制御部である。プリント制御部80において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ84を介して印字ヘッド50のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
プリント制御部80には画像バッファメモリ82が備えられており、プリント制御部80における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ82に一時的に格納される。なお、図7において画像バッファメモリ82はプリント制御部80に付随する態様で示されているが、画像メモリ74と兼用することも可能である。また、プリント制御部80とシステムコントローラ72とを統合して1つのプロセッサで構成する態様も可能である。
ヘッドドライバ84はプリント制御部80から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド50の圧力発生手段を駆動する。ヘッドドライバ84にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
印字検出部24は、図1で説明したように、ラインセンサー(図示省略)を含むブロックであり、記録紙16に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況(吐出の有無、打滴のばらつきなど)を検出し、その検出結果をプリント制御部80に提供するものである。
プリント制御部80は、必要に応じて印字検出部24から得られる情報に基づいて印字ヘッド50に対する各種補正を行うようになっている。
次に、ノズルプレート151に撥水膜を形成する方法について説明する。
図8(a)〜(e)に、ノズルプレート151の表面に撥水膜を形成する工程を示す。
まず図8(a)に示すように、ノズルプレート151にノズル51となるノズル孔51aを開口する。ノズル孔51aの開け方は特に限定されるものではない。例えば、ドリルやウエットエッチング、ドライエッチングあるいはレーザ加工や電鋳あるいはパンチング等によって形成することができる。ノズルプレート151の材質は、特に限定されるものではないが、この後その表面上に塗布される撥水膜よりも除去加工性が悪いものが好ましい。例えばノズルプレート151の材質としては、SUSやNiあるいはNi合金など、またはSi等の半導体などを用いることができる。
ノズルプレート151の厚みtは、t=10〜100[μm]である。また、ノズル孔51aは、インクが吐出していく先端側であるノズル面50A側の径φ1 の方が、その根元側であるノズルプレート151の裏面50B側の径φ0 よりも小さく(φ1 ≦φ0 )なるように形成される。
次に、図8(b)に示すように、ノズル孔51aの開いたノズルプレート151に対し、そのノズル面50A側から撥水膜90を塗布する。このとき、撥水膜90は、ノズルプレート151に開けられたノズル孔51aの中にまで入り込む。撥水膜90の材質としては、特に限定されるものではないが、例えば、エポキシ系あるいはアクリル系の樹脂やシリコン系樹脂などが好適に用いられる。
撥水膜90のノズル面50A上における厚さt0 は、0.2〜5[μm]とするが、撥水膜90の厚みは傷に対する耐性からは厚い方が望ましい。しかし、塗布やスピンコートなどの実際の膜形成工程を考慮すると厚膜を形成するのは難しく、通常は、0.5〜2[μm]程度に設定される。
なお、ノズルプレート151上に塗布された撥水膜90は、仮キュアによりある程度硬化させておく。例えば、100℃1時間程度で半硬化させる。
次に、図8(c)に示すように、撥水膜90の上にマスク92を乗せる。マスク92のノズル孔51aに対応する位置には孔92aが形成されている。このマスク92の孔92aの径φ2 は、ノズル孔51aのノズル面50A側の径φ1 より小さい(φ2 <φ1 )。このように、マスク92の孔径φ2 をノズルプレート151の孔径φ1 よりも小さくするのは、ノズルプレート151に対して、マスク92の位置合わせ誤差を吸収させるためである。
マスク92は、孔92a等のパターンが形成された別部材を撥水膜90上に押し当てて接触させてもよいし、撥水膜90上に直接形成してもよいが、別部材を押し当てる方式の方が作業性に優れており、量産性がある。
マスク92を直接形成する方法では、撥水膜90上にレジストを成膜してから露光及び現像をして形成する方法や、微細構造の金型を高分子樹脂にプレスして金型の微細構造を転写してレジスト代わりとするナノインプリントによる方法や、あるいはNi、Cu等の金属メッキによる方法などがある。金属メッキによる方法では、後の不要な撥水膜90の除去加工の工程における変形が少なく、また、ナノインプリント法では、レジストの露光及び現像という工程が不要であるため効率が良いという利点がある。
次に、図8(d)に示すように、ノズルプレート151の裏面50B側から、例えばエアーを吹き付けてノズル孔51a部分の不要な撥水膜90を除去する。この不要な撥水膜90の除去加工は、エアーに限定されるものではなく、ブラストやウオータージェット等様々な方法を用いることができる。特に、ノズルプレート151に対するダメージの少ない気体(エアーや窒素ガスや、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガス等)を用いるのが好ましい。また、除去加工性を良くするために、上で行う撥水膜90の半硬化は、マスク92より撥水膜90の方が柔らかい程度に硬化させるものとする。
その後、マスク92を除去して、例えば200℃程度の温度で本キュアを行い、撥水膜90を本硬化させることによって、図8(e)に示すようなノズルプレート151の表面に撥水膜90が形成されたノズル51が形成される。このとき、前述したようにノズル孔51aの先端部の径φ1 よりマスク92の孔径φ2 の方を小さくしたため(図8(c)参照)、撥水膜90の断面は、外側に向かって細いテーパ状に形成される。
ここで図8(e)に示すように、撥水膜90の厚みt0 に対する撥水膜90のテーパ部先端の水平方向の距離t1 の割合、t1 /t0 が1以下となるようにする(t1 /t0 ≦1)。ここで、撥水膜90のテーパ部先端の水平方向の距離t1 とは、ここでは、撥水膜90のテーパ部先端の張り出した部分の長さをいい、ノズル孔51aの孔径φ1 とマスク92の孔径φ2 の差の半分である。すなわち、t1 =(φ1 −φ2 )/2である。
このt1 /t0 ≦1という条件は、撥水膜90のノズル51部におけるテーパ状の斜面の垂直方向に対する角度が45°以下になることを意味している。このようにこの角度を小さくすることにより、テーパ部分の強度を補強して、テーパ状の先端部が細くなって折れ易くなるのを防ぐことができる。
このようにマスク92の孔径φ2 をノズル孔51aの孔径φ1 よりも小さくした場合には、テーパ状の先端断面形状を有するノズル51が得られるが、マスク92の孔径φ2 をノズル孔51aの孔径φ1 と等しくした場合には、図8(f)に示すように、垂直状の先端断面形状を有するノズル51が得られる。
以上説明した方法によれば、ノズル面50A上に撥水膜90が形成されたノズルプレート151の表面上(撥水膜90上)にマスク92を乗せて、ノズルプレート151の裏面50B側から、例えばエアーを吹き付ける等の撥水膜90除去加工を行うようにしたため、マスク92が撥水膜90を保護して、撥水膜90のバリの発生を防止することができる。
また、ノズルプレート151裏面側から行われる撥水膜90除去加工において、例えばエアーを吹き付ける方向に対して撥水膜90より下流側にマスク92を配置するとともに、撥水膜90より上流側マスクをノズルプレート151で代用していると見做せば、撥水膜90の両側をマスクで挟んで除去加工が行われることとなる。
また上述したように、マスク92の孔径φ2 をノズルプレート151の孔径φ1 よりも小さくした場合、ノズル51は先端に向かって細い構造となるため、メニスカス位置の保持が容易となり、吐出安定性を確保することができる。
次に、ノズルプレート151に撥水膜を形成する他の方法について説明する。
図9(a)〜(c)に撥水膜を形成する他の方法を示す。
この方法も、テーパ状のノズル孔51aが形成されたノズルプレート151の表面に撥水膜90を形成し、その上にマスク92を乗せるまでは、前述した方法と同様である。ただし、いまの場合、図9(a)に示すように、マスク92に形成される孔径φ2 は、ノズル孔51aの先端部の径φ1 より大きく形成される(φ1 <φ2 )。
そして、図9(b)に示すように、マスク92側から例えばエアーを吹き付けて不要な撥水膜90の除去加工が行われる。このように、撥水膜90の除去を、前の例のようにノズルプレート151の裏面側から行うのではなく、表面のマスク92側から行う点が前の例と異なっている。
このように、ノズルプレート151表面のマスク92側から除去加工を行うことにより、図9(c)に示すように、撥水膜90のノズル51部分の断面が、先端側へ行く程広くなるような、前の例とは逆のテーパ状に形成される。また、このとき、テーパ部先端の水平方向の距離t1 は、ここでは、撥水膜90のテーパ部先端が水平方向に後退した長さをいい、前の例と同様に、マスク92に形成される孔径φ2 とノズル孔51aの先端部の径φ1 との差の半分、t1 =(φ2 −φ1 )/2であり、テーパ面の角度は、この距離t1 と、撥水膜90の厚さt0 との比、t1 /t0 が1以下となるように形成される。これにより、前の例と同様、テーパ部斜面が垂直方向となす角は、45°以下となるように形成される。
これにより、ノズルプレート151のノズル51部(テーパ部)があまり薄くなることがなく、強度を確保することができる。
なお、この場合の撥水膜90の不要部分の除去加工において、例えばエアーを吹き付ける方向に対して、撥水膜90の上流側のマスクはマスク92であり、下流側のマスクはノズルプレート151であると見做すことができ、この場合にも、撥水膜90の両側をマスクで挟んで除去加工をしていることになる。
なお、上で説明したいずれの方法においても、ノズルプレート151の形状は、単にテーパ状のノズル孔51aを有するものに限定されるものではなく、例えば、図10に示すように、ノズル孔51aは、テーパ状の他に段つき形状を有していてもよい。
このようにして形成されたノズルプレート151を、図5に示したような、圧力室52等を含む構造部材に接合することにより圧力室ユニット54が形成される。さらに、このような圧力室ユニット54に対して、配線部材等を接続することにより液体吐出ヘッド(印字ヘッド50)が形成される。
このようにして形成された印字ヘッド50によるインク吐出の様子を図11に示す。図11(a)は、最初に説明した方法によって形成された、ノズル51部の断面が先端程細くなるようなテーパが形成された撥水膜90を有するノズルプレート151を用いた場合である。また、図11(b)は、後者の方法によって形成された、ノズル51部の断面が先端程広くなるような逆テーパに形成された撥水膜90を有するノズルプレート151を用いた場合である。
これらの図に示すように、いずれの場合にも、ノズル51の撥水膜90とノズルプレート151との境界部でメニスカス面がクリップされ易くなり、メニスカスが安定するため、打滴後のメニスカス面の収束が早く、高周波吐出が可能となる。
以上、本発明のノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
10…インクジェット記録装置、12…印字部、14…インク貯蔵/装填部、16…記録紙、18…給紙部、20…デカール処理部、22…吸着ベルト搬送部、24…印字検出部、26…排紙部、28…カッター、30…加熱ドラム、31、32…ローラー、33…ベルト、34…吸着チャンバー、35…ファン、36…ベルト清掃部、40…加熱ファン、42…後乾燥部、44…加熱・加圧部、45…加圧ローラー、48…カッター、50…印字ヘッド、50A…ノズル面、51…ノズル、51a…ノズル孔、52…圧力室、53…インク供給口、54…圧力室ユニット、55…共通液室、56…振動板(共通電極)、57…個別電極、58…圧電素子、60…インクタンク、62…フィルタ、64…キャップ、66…ブレード、67…吸引ポンプ、68…回収タンク、70…通信インターフェース、72…システムコントローラ、74…画像メモリ、76…モータドライバ、78…ヒータドライバ、80…プリント制御部、82…画像バッファメモリ、84…ヘッドドライバ、86…ホストコンピュータ、88…モータ、89…ヒータ、90…撥水膜、92…マスク、92a…マスクの孔、151…ノズルプレート
Claims (9)
- 液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面に撥水膜を形成する工程と、 前記撥水膜を半硬化させる工程と、
前記撥水膜上に前記ノズルに対応する所定の孔を有するマスクを形成する工程と、
前記ノズルプレートの前記撥水膜が形成された側とは反対側から流体または微粒子を吹き付けて、前記撥水膜に孔を形成する工程と、
前記マスクを除去する工程と、
前記撥水膜を本硬化させる工程と、
を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記ノズルの孔径をφ1 とし、前記マスクの孔径をφ2 とするとき、φ2 <φ1 であることを特徴とする請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。
- 液体を吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面に撥水膜を形成する工程と、 前記撥水膜を半硬化させる工程と、
前記撥水膜上に前記ノズルに対応する所定の孔を有するマスクを形成する工程と、
前記ノズルプレートの前記撥水膜が形成された側から流体または微粒子を吹き付けて、前記撥水膜に孔を形成する工程と、
前記マスクを除去する工程と、
前記撥水膜を本硬化させる工程と、
を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記ノズルの孔径をφ1 とし、前記マスクの孔径をφ2 とするとき、φ2 >φ1 であることを特徴とする請求項3に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記撥水膜の厚さをt0 とし、t1 =|φ1 −φ2 |/2とするとき、
t1 /t0 ≦1
であることを特徴とする請求項2または4に記載のノズルプレートの製造方法。 - 前記ノズルプレートの材質は金属または半導体であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記流体は、エアーまたは窒素ガスまたは不活性ガスであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の方法によって製造されたノズルプレートを備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 請求項8に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005047564A JP2006231626A (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 |
US11/358,033 US7526860B2 (en) | 2005-02-23 | 2006-02-22 | Method of manufacturing nozzle plate, liquid ejection head, and image forming apparatus comprising liquid ejection head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005047564A JP2006231626A (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006231626A true JP2006231626A (ja) | 2006-09-07 |
Family
ID=36912229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005047564A Pending JP2006231626A (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7526860B2 (ja) |
JP (1) | JP2006231626A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008073966A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Toshiba Corp | 撥インク膜の塗布方法及びノズルプレート |
WO2017018485A1 (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-02 | 京セラ株式会社 | ノズルプレート、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4693813B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2011-06-01 | ブラザー工業株式会社 | ノズルプレートの製造方法 |
US20100099047A1 (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Molecular Imprints, Inc. | Manufacture of drop dispense apparatus |
US8601573B2 (en) * | 2009-09-17 | 2013-12-03 | International Business Machines Corporation | Facial recognition for document and application data access control |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3668002A (en) * | 1968-07-01 | 1972-06-06 | Hitachi Ltd | Shadow mask having focusing function and method of making same |
US4272612A (en) * | 1979-05-09 | 1981-06-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Erosion lithography to abrade a pattern onto a substrate |
US4405878A (en) * | 1979-05-09 | 1983-09-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Bonded grid-cathode electrode structure |
US4728392A (en) * | 1984-04-20 | 1988-03-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink jet printer and method for fabricating a nozzle member |
US4857382A (en) * | 1988-04-26 | 1989-08-15 | General Electric Company | Apparatus and method for photoetching of polyimides, polycarbonates and polyetherimides |
US4908096A (en) * | 1988-06-24 | 1990-03-13 | Allied-Signal Inc. | Photodefinable interlevel dielectrics |
JPH0717309B2 (ja) * | 1989-06-04 | 1995-03-01 | ソマール株式会社 | 薄膜剥離方法 |
US5112448A (en) * | 1989-11-28 | 1992-05-12 | The Boeing Company | Self-aligned process for fabrication of interconnect structures in semiconductor applications |
US5212496A (en) * | 1990-09-28 | 1993-05-18 | Xerox Corporation | Coated ink jet printhead |
US5231751A (en) * | 1991-10-29 | 1993-08-03 | International Business Machines Corporation | Process for thin film interconnect |
JPH07304175A (ja) | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの製造方法 |
US6485625B1 (en) * | 1995-05-09 | 2002-11-26 | Curagen Corporation | Apparatus and method for the generation, separation, detection, and recognition of biopolymer fragments |
US5773553A (en) * | 1996-06-13 | 1998-06-30 | Xerox Corporation | Polyimide curing process and improved thermal ink jet printhead prepared thereby |
KR100325526B1 (ko) * | 1998-10-26 | 2002-04-17 | 윤종용 | 잉크 분사 장치의 제조 방법 |
US6574090B2 (en) * | 1998-11-05 | 2003-06-03 | International Business Machines Corporatiion | Printed circuit board capacitor structure and method |
JP3626652B2 (ja) * | 2000-01-21 | 2005-03-09 | 日本電気株式会社 | 反射型液晶表示装置及びその製造方法 |
WO2001074591A1 (fr) * | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre a buses multiples |
JP2004122384A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Sharp Corp | ノズルプレートの製造方法およびインクジェットヘッド |
KR100552664B1 (ko) * | 2002-10-12 | 2006-02-20 | 삼성전자주식회사 | 측벽에 의해 한정되는 잉크 챔버를 가진 일체형 잉크젯프린트헤드 및 그 제조방법 |
JP2004142297A (ja) | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノズルプレートの製造方法およびノズルプレート、ならびにそれを用いたインク吐出ヘッド、記録装置 |
US7101030B2 (en) * | 2003-05-21 | 2006-09-05 | Xerox Corporation | Formation of novel ink jet filter printhead using transferable photopatterned filter layer |
JP4320620B2 (ja) * | 2003-08-11 | 2009-08-26 | ブラザー工業株式会社 | ノズルプレートの製造方法 |
-
2005
- 2005-02-23 JP JP2005047564A patent/JP2006231626A/ja active Pending
-
2006
- 2006-02-22 US US11/358,033 patent/US7526860B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008073966A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Toshiba Corp | 撥インク膜の塗布方法及びノズルプレート |
KR100968667B1 (ko) | 2006-09-21 | 2010-07-06 | 가부시끼가이샤 도시바 | 반발성 잉크막의 도포 방법 및 노즐 플레이트 |
WO2017018485A1 (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-02 | 京セラ株式会社 | ノズルプレート、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置 |
JPWO2017018485A1 (ja) * | 2015-07-30 | 2018-05-31 | 京セラ株式会社 | ノズルプレート、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置 |
US10328702B2 (en) | 2015-07-30 | 2019-06-25 | Kyocera Corporation | Nozzle plate, liquid ejection head using same, and recording device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7526860B2 (en) | 2009-05-05 |
US20060187259A1 (en) | 2006-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3903074B2 (ja) | 画像形成装置及び液管理方法 | |
JP2006095766A (ja) | 画像形成装置 | |
JP4937061B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの流路基板の製造方法 | |
JP2006212984A (ja) | 液体吐出口形成方法 | |
JP3909714B2 (ja) | インクジェット記録装置及び予備吐出制御方法 | |
JP4719944B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
EP1516734A2 (en) | Inkjet recording apparatus and preliminary discharge control method | |
JP2006231626A (ja) | ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 | |
JP3965586B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP2007176079A (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置 | |
JP3823991B2 (ja) | インクジェット記録装置及び予備吐出制御方法 | |
JP2005313635A (ja) | 打滴制御方法及び液吐出装置 | |
JP2005119287A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2006111000A (ja) | 液体吐出ヘッド及びこれを備えた画像形成装置 | |
JP4042123B2 (ja) | 画像形成装置並びに打滴制御方法 | |
JP5000903B2 (ja) | 画像形成装置 | |
JP3807429B2 (ja) | 画像形成装置並びに打滴制御方法 | |
JP2005271299A (ja) | インクジェット記録ヘッド及び画像形成装置 | |
JP2006027122A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置 | |
JP2005313636A (ja) | 打滴制御方法及び液吐出装置 | |
JP3941823B2 (ja) | 液体吐出装置及び駆動制御方法 | |
JP4609648B2 (ja) | 液滴吐出装置及び画像記録方法 | |
JP3791532B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2005271389A (ja) | 液滴吐出装置及び方法並びに画像形成装置 | |
JP2006205678A (ja) | ノズルプレート製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070110 |