JP2006205678A - ノズルプレート製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル周辺に撥液膜を均一に精度良く形成する。
【解決手段】ノズルが形成されるノズルプレートに保護シートを貼る工程と、前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルプレートを貫通し、前記保護シート内部に底を有する穴を形成する工程と、前記穴に対して、充填材を前記裏面側から充填する工程と、前記保護シートを剥がす工程と、前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、前記充填材を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法を提供することにより前記課題を解決する。
【選択図】 図８

Description

本発明は、ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置に係り、特に、液体を吐出する微細な液体吐出口（ノズル）が多数形成されたノズルプレートの表面に撥液膜を形成する技術及びこのノズルプレートを用いた液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。

従来より、画像形成装置として、インク（液体）を吐出する多数のノズル（吐出口）を配列させたインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）を有し、このインクジェットヘッドと被記録媒体を相対的に移動させながら、ノズルからインクを吐出することにより、被記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）が知られている。

インクジェット記録装置におけるインク吐出方法としては、従来から様々な方法が知られている。例えば、圧電素子（ピエゾ素子）の変形によって圧力室の一部を構成する振動板を変形させて、圧力室の容積を変化させ、圧力室の容積増大時にインク供給路から圧力室内にインクを導入し、圧力室の容積減少時に圧力室内のインクをノズルから液滴として吐出する圧電方式が知られている。

このようなインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッドのノズルが形成されたノズルプレート表面に撥水（撥液）処理が施されていないと、ノズルプレート表面のノズル周辺に付着したインクにより、ノズルから吐出されたインク滴の飛翔方向が曲がる等の吐出異常を起こすことがある。

これに対し、ノズルプレート表面に撥水膜を形成することで、ノズル周辺の汚れを除去し易くしたり、ノズルからのインクの滲み出しを小さくして、インクの吐出方向や吐出量を安定化するようにしている。またこのとき、ノズルプレート表面のノズル周辺の撥液膜の形成が不均一であると、やはり飛翔曲がり等の吐出異常が生じる。

そこで従来から、ノズルプレート表面のノズル周辺に均一に精度良く撥液膜を形成する方法がいろいろ提案されている。ノズル周辺に均一に撥液膜を形成する方法として、ノズルプレート表面に撥液膜を形成する前に充填材をノズルに埋め込んでノズル孔内に撥液膜が入り込まないようにして撥液膜を形成する方法がある。このとき、充填材を埋め込むときにノズルプレート表面にノズル孔を被覆するシート（被覆材）を貼る方法と、貼らない方法とがある。

例えば、シートを貼る方法として、次のような撥液膜形成方法が知られている（例えば、特許文献１等参照）。これによれば、まずノズル孔が形成されたノズルプレートの表面（インク吐出面）の全面をドライフィルムレジストで被覆し、ノズルプレートの裏面から紫外線を照射してドライフィルムレジストのノズル孔を被覆する部分のみが現像液に対して不溶となるようにした後、ノズルプレート裏面から充填材を流し込み、ノズルプレート裏面及びノズル孔内部を充填材で被覆する。その後、ドライフィルムレジストを現像して、ノズル孔を被覆する部分以外のノズルプレート表面のドライフィルムレジストを除去し、ノズル孔以外のノズルプレート表面に撥液膜を形成し、最後に、ノズル孔部分に残ったドライフィルムレジストと全ての充填材を除去することにより、ノズル孔以外のノズルプレート表面に撥液膜が形成されたノズルプレートが得られる。

また、シートを貼らない方法として、例えば次のような撥液膜形成方法が知られている（例えば、特許文献２等参照）。これによれば、ノズルプレートに形成されたノズル孔にドライフィルムレジストを充填し、ノズルプレートのノズル開口部表面をエッチングによって削り、ノズル孔部分のドライフィルムレジストをノズル開口部表面に突出させる。そして、ノズル孔以外のノズル開口部表面に表面処理層（撥液膜）を形成した後、ドライフィルムレジストを除去することにより、ノズル孔以外の表面に撥液膜が形成されたノズルプレートが形成される。

またさらに、シートを貼る方法として、例えば次のような撥液膜形成方法も知られている（例えば、特許文献３等参照）。これによれば、ノズルが形成されたノズルプレート表面（ノズル開口部側の面）上に、被覆材として透明なマスクテープを貼付し、反対側から充填材あるいは撥インク性樹脂皮膜用溶液をはじく物質として紫外線硬化型接着剤を充填し、その両面から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させ、ノズル面のマスクテープを除去した後、ノズル面に撥インク性樹脂皮膜用溶液を塗布して乾燥・加熱し、撥インク性樹脂皮膜を形成し、最後にノズル内に充填していた紫外線硬化型接着剤を除去することによってノズル面に撥インク性の膜が形成されたノズルプレートが形成される。
特開平８−３０９９９７号公報 特開平９−７６４９２号公報 特開２０００−１０８３５９号公報

しかしながら、撥液膜がノズル孔に入り込まないようにするための充填材をノズルに充填する際、ノズルプレートのノズル面にシートを貼らない方法では、充填材がノズルからはみ出し、そのはみ出しが不均一になるなどして撥液膜も不均一になることが考えられる。例えば、上記特許文献２に記載のものでは、ノズルプレート表面を削ってノズル孔からドライフィルムレジストを突出させる際、ノズルプレート表面の面内均一性がとれず、その後形成される撥液膜にノズル毎のばらつきが生じるという問題がある。

また、充填材をノズルに充填する際ノズル面にシートを貼る方法では、充填材をノズルに埋め込む際、気体が残り充填材が均一に埋め込まれず、撥液膜も不均一になることが考えられる。例えば、上記特許文献１または特許文献３に記載のものでは、ノズルに充填材を埋め込むときに、均一に埋め込まれず、撥液膜が不均一になるという問題がある。また、特に、特許文献１に記載のものは、ドライフィルムレジストを現像する工程が必要であり、工数がかかるという問題もある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ノズル周辺に撥液膜を均一に精度良く形成することのできるノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ノズルが形成されるノズルプレートに保護シートを貼る工程と、前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルプレートを貫通し、前記保護シート内部に底を有する穴を形成する工程と、前記穴に対して、充填材を前記裏面側から充填する工程と、前記保護シートを剥がす工程と、前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、前記充填材を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法を提供する。

これにより、ノズルプレートと保護シートを同時に加工することで、穴加工工数を削減して保護シートにノズルと同じ径の穴（有底穴）を加工し、保護シートまで充填材を十分に埋め込むことができ、撥液膜をノズル周辺に均一に形成することができる。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、ノズルが形成されたノズルプレートに保護シートを貼る工程と、前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記保護シート内部に底を有する穴を形成する工程と、前記穴に対して、充填材を前記裏面側から充填する工程と、前記保護シートを剥がす工程と、前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、前記充填材を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法を提供する。

これにより、保護シートに穴を形成する際、ノズルプレート自体をマスクとして使用することで、レジストの現像工程が不要となるとともに、ノズルと同径の穴を容易に形成することができ、また保護シートまで充填材を十分に埋め込むことができ、撥液膜をノズル周辺に均一に形成することができる。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、ノズルが形成されるノズルプレートに保護シートを貼る工程と、前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルプレート及び前記保護シートを貫通する穴を形成する工程と、前記穴に対して、前記裏面側から少なくとも前記保護シートの部分に達するまで充填材を充填する工程と、前記保護シートを剥がす工程と、前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、前記充填材を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法を提供する。

これにより、充填材を充填する際、その充填状況を確認することができ、十分に充填でき、充填不足による撥液膜の不均一を防止することができる。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、ノズルが形成されたノズルプレートに保護シートを貼る工程と、前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルに連続し前記保護シートを貫通する穴を形成する工程と、前記穴に対して、前記裏面側から少なくとも前記保護シートの部分に達するまで充填材を充填する工程と、前記保護シートを剥がす工程と、前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、前記充填材を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法を提供する。

これにより、穴を形成する際、ノズルプレート自体をマスクとして使用することで、レジストの現像工程が不要となるとともに、充填材を充填する際、その充填状況を確認することができ、十分に充填でき、充填不足による撥液膜の不均一を防止することができる。

また、請求項５に示すように、前記底を有する穴の底の厚さを、前記充填材の充填時に前記底の反対側から前記充填材の充填状況を観察可能な薄さにし、充填状況を観察しながら前記充填材を充填するようにしたことを特徴とする。

これにより、充填材を十分に充填することができ、充填不足による撥液膜の不均一を防止することができる。

また、請求項６に示すように、前記穴の形成を、ドライエッチングまたはレーザ加工によって行うようにしたことを特徴とする。

これにより、ドライエッチングの場合には、全面同時加工が可能で、加工精度が良好であり、またレーザ加工の場合には、大面積加工が可能で、ノズルプレートと撥液膜の穴径をそろえることができその間に段差が生じることがない。

また、請求項７に示すように、前記穴を形成した後、前記充填材を充填する前に前記穴の内部を洗浄するようにしたことを特徴とする。

これにより、充填材の充填不良や、これによる撥液膜の不均一な形成を防止することができる。

また、請求項８に示すように、前記保護シートは、光照射または加熱により粘着力が失われるシートを用い、前記保護シートを剥がす際は粘着力を失わせてから剥がすようにしたことを特徴とする。

これにより、保護シートをノズルプレートから剥がす際、ノズルプレートに大きな応力がかかり変形するのを防止することができる。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項９に記載の発明は、前記ノズルプレート製造方法によって製造されたノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置を提供する。

これにより、ノズル周辺に均一に撥液膜が形成されたノズルプレートを有する液体吐出ヘッドにより高精度に画像を形成することができる。

以上説明したように、本発明によれば、保護シートにノズルと同じ径の穴（有底穴）を加工し、保護シートまで充填材を十分に埋め込むことができ、撥液膜をノズル周辺に均一に形成することができる。

以下、添付した図面を参照して、本発明に係るノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置について詳細に説明する。

図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドを有する画像形成装置としてのインクジェット記録装置の第１実施形態の概略を示す全体構成図である。

図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド（液体吐出ヘッド）１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートの表面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６とを備えている。

図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。

ベルト３３は、記録紙１６幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（図示省略）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。

ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（図示省略）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。

縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。

なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。

吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている（図２参照）。

図２に示すように、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。

記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

なお、ここで主走査方向及び副走査方向とは、次に言うような意味で用いている。すなわち、記録紙の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時、（１）全ノズルを同時に駆動するか、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動するか、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動するか、等のいずれかのノズルの駆動が行われ、用紙の幅方向（記録紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字をするようなノズルの駆動を主走査と定義する。そして、この主走査によって記録される１ライン（帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向という。

一方、上述したフルラインヘッドと記録紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。そして、副走査を行う方向を副走査方向という。結局、記録紙の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。

また本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。

図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。

印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。

本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。

印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。

印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。

多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。

後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（図示省略）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。

また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。

次に、印字ヘッド（液体吐出ヘッド）のノズル（液体吐出口）の配置について説明する。インク色毎に設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを表すものとし、図３に印字ヘッド５０の平面透視図を示す。

図３に示すように、本実施形態の印字ヘッド５０は、インクを液滴として吐出するノズル５１、インクを吐出する際インクに圧力を付与する圧力室５２、図３では図示を省略した供給液室から圧力室５２にインクを供給するインク供給口５３を含んで構成される圧力室ユニット５４が千鳥状の２次元マトリクス状に配列され、ノズル５１の高密度化が図られている。

図３に示す例においては、各圧力室５２を上方から見た場合に、その平面形状は略正方形状をしているが、圧力室５２の平面形状はこのような正方形に限定されるものではない。圧力室５２には、図３に示すように、その対角線の一方の端にノズル５１が形成され、他方の端の側にインク供給口５３が設けられている。

また、図４は他の印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。図４に示すように、複数の短尺ヘッド５０’を２次元の千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、これらの複数の短尺ヘッド５０’全体で印字媒体の全幅に対応する長さとなるようにして１つの長尺のフルラインヘッドを構成するようにしてもよい。

また、図３中の５−５線に沿った断面図を図５に示す。

図５に示すように、圧力室ユニット５４は、その一番下層にインクを吐出するノズル５１が形成されたノズルプレート１５１が形成されている。圧力室ユニット５４は、このノズル５１と連通する圧力室５２によって主に形成される。また圧力室５２は、ノズル５１と連通するとともに、インク供給口５３を介してインクを供給する供給液室５５と連通する。圧力室５２の一面（図では天面）は振動板５６で構成され、その上部には、振動板５６に圧力を付与して振動板５６を変形させる圧電素子５８が接合され、圧電素子５８の上面には個別電極５７が形成されている。また、振動板５６は共通電極を兼ねている。

圧電素子５８は、共通電極（振動板５６）と個別電極５７によって挟まれており、これら２つの電極５６、５７に駆動電圧を印加することによって変形する。圧電素子５８の変形によって振動板５６が押され、圧力室５２の容積が縮小されてノズル５１からインクが吐出されるようになっている。２つの電極５６、５７間への電圧印加が解除されると圧電素子５８がもとに戻り、圧力室５２の容積が元の大きさに回復し、供給液室５５からインク供給口５３を通って新しいインクが圧力室５２に供給されるようになっている。

図６はインクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インクタンク６０は印字ヘッド５０にインクを供給するための基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インクタンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、補充口（図示省略）からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。なお、図６のインクタンク６０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。

図６に示したように、インクタンク６０と印字ヘッド５０を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは印字ヘッド５０のノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。

なお、図６には示さないが、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。

また、インクジェット記録装置１０には、ノズルの乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ６４と、ノズル面（ノズルプレート１５１の表面）５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。

これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によって印字ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。

キャップ６４は、図示しない昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。昇降機構は、電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面５０Ａのノズル領域をキャップ６４で覆うようになっている。

クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したブレード移動機構により印字ヘッド５０のインク吐出面（ノズル面５０Ａ）に摺動可能である。ノズル面５０Ａにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル面５０Ａに摺動させることでノズル面５０Ａを拭き取り、ノズル面５０Ａを清浄するようになっている。

印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、そのノズル５１近傍のインク粘度が上昇した場合、粘度が上昇して劣化したインクを排出すべく、キャップ６４に向かって予備吐出が行われる。

また、印字ヘッド５０内のインク（圧力室５２内のインク）に気泡が混入した場合、印字ヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも行われ、粘度が上昇して固化した劣化インクが吸い出され除去される。

すなわち、印字ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用の圧力発生手段（図示省略、後述）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（圧力発生手段の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって圧力発生手段を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード６６等のワイパーによってノズル面５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。

また、ノズル５１や圧力室５２内に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、上述したような吸引動作を行う。

すなわち、ノズル５１や圧力室５２のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル５１内のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、圧力発生手段を動作させてもノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、印字ヘッド５０のノズル面５０Ａに、キャップ６４を当てて圧力室５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ６７で吸引する動作が行われる。

ただし、上記の吸引動作は、圧力室５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。なお、図６で説明したキャップ６４は、吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。

また、好ましくは、キャップ６４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。

図７はインクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。

図７に示すように、インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。

通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（図示省略）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなどの磁気媒体を用いてもよい。

システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒーター８９を制御する制御信号を生成する。

モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示に従ってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって後乾燥部４２等のヒーター８９を駆動するドライバである。

プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（印字データ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。

プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図７において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。

ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド５０の圧力発生手段を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。

印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサー（図示省略）を含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供するものである。

プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいて印字ヘッド５０に対する各種補正を行うようになっている。

以下、本発明に係るノズルプレート製造方法について説明する。

図８に、本発明の第１実施形態に係るノズルプレート製造方法の工程を示す。図８は、特にノズルプレートに撥水膜を形成する工程を示したものである。

本実施形態は、ノズルプレートがポリイミド等の樹脂の場合であり、まだノズル孔が形成されていないノズルプレートに保護シートを貼り、ノズル孔形成と連続して保護シートにも、充填材を充填するための穴を形成するものである。

まず、図８（ａ）に示すように、まだノズル孔の形成されていないノズルプレート１５１の表面に保護シート１００を貼り付ける。ここで、ノズルプレート１５１は、例えばポリイミド等の樹脂であり、保護シート１００は、例えば粘着剤あるいは接着剤付きのポリイミド等の樹脂シートである。また、ノズルプレート１５１の厚さは、大体３０μｍぐらいであり、保護シート１００の厚さは、１００μｍ〜５００μｍ程度とする。

次に、図８（ｂ）に示すように、ノズルプレート１５１の裏面側から、ドライエッチングあるいはレーザ加工により、ノズルプレート１５１から保護シート１００にまで穴１０２を開ける。この穴加工により、ノズルプレート１５１を貫通する孔としてノズル５１が形成されると同時に保護シート１００にもノズル５１と同サイズの有底穴１００ａが形成される。

このように、ノズル形成とともに連続して保護シート１００まで穴加工するため、保護シート１００にもノズル５１と同サイズの穴１００ａを形成することができ、ノズルプレート１５１と保護シート１００の間で段差や隙間を生じることがなく、さらに工数もかからない。なお、この穴加工については後述する。

次に、図８（ｃ）に示すように、ノズルプレート１５１裏面側から充填材１０４を穴１０２の中に埋め込む。このとき、充填材１０４は、穴１０２の中を保護シート１００の部分に達するまで入ればよく、保護シート１００の有底穴１００ａの隅々にまで隙間なく充填させる必要はない。

充填材１０４としては、特に限定はされず、例えばウレタン系のドライフィルムレジスト等が好適に用いられる。他にも、充填材１０４として、液状のレジストを用いることもできる。また、充填材１０４の厚さとしては、例えば１００μｍから３００μｍ程度である。

次に、図８（ｄ）に示すように、保護シート１００を剥がす。これにより、ノズルプレート１５１の表面（ノズル面５０Ａ）が露出し、ノズル５１から充填材１０４の一部が突出する。

次に、図８（ｅ）に示すように、ノズルプレート１５１表面のノズル面５０Ａに撥液膜１０６を形成する。このとき、ノズル５１から充填材１０４がノズル面５０Ａより上に突出し、充填材１０４によってノズル５１が塞がれているため、ノズル５１内に撥液膜１０６が入り込むことはない。

また、このとき、撥液膜１０６をノズル５１周辺に均一に形成するためには、充填材１０４がノズル５１から、撥液膜１０６の厚さよりも高く突出していなければならない。なお、撥液膜１０６の厚さは数μｍである。

なお、撥液膜としては、特に限定されるものではないが、例えば、フッ素系樹脂やシリコン系樹脂などを用いることができる。

最後に、図８（ｆ）に示すように、充填材１０４を除去することにより、ノズル５１以外のノズル面５０Ａに撥液膜１０６が均一に形成されたノズルプレート１５１が形成される。

なお、ノズルプレート１５１及び保護シート１００に穴加工した後、穴１０２の内部に充填材１０４を埋め込む前に、洗浄を行うようにしてもよい。洗浄は、純水等を用いた液体洗浄でもよいし、エアブローによる洗浄でもよい。このように、充填材１０４を埋め込む前に洗浄して、穴１０２内部のゴミを除去することにより、充填材１０４の埋め込み不良及び撥液膜１０６の不均一な形成を防止することができる。

また、保護シート１００として、紫外線等の光の照射により、あるいは加熱によって粘着力が失われるような性質を有するシートを用いてもよい。このような性質を有する保護シート１００を使用することにより、保護シート１００剥離前に粘着力を失わせることで、保護シート１００を剥がすのが容易となり、保護シート１００剥離時にノズルプレート１５１に大きな応力がかかり変形することを防止することができる。

次に図９により、ノズルプレート１５１及び保護シート１００に図８（ｂ）に示すような穴１０２を形成する方法について説明する。

まず、図９（ａ）に示すように、ノズルプレート１５１に保護シート１００を貼った後、図９（ｂ）に示すように、ノズルプレート１５１の裏面側（保護シート１００を貼った側の反対側）にレジスト１１０を形成する。

次に、図９（ｃ）に示すように、マスク１１２を用いて露光し、次いで図９（ｄ）に示すように、露光後のレジスト１１０を現像して穴１０２を形成するためのマスクを形成する。最後に、図９（ｅ）に示すように、このレジスト１１０をマスクとしてドライエッチングを行い、ノズルプレート１５１から保護シート１００にまで達する穴１０２を形成する。

このように、ドライエッチングを用いて穴１０２を形成するようにすると、加工精度が良く、またノズルプレート１５１の全面に対し同時加工することができる。ただし、上で説明したようにマスクを形成する工程が必要となり、また、装置の大きさの制約があり大面積を加工することができない。

これに対し、レーザを用いて穴１０２を加工する方法では、全面にマスクを形成する必要がなく（ただし、ビーム整形用にメタルマスクを使用することはある。）、大面積の加工も可能である。しかし、レーザを用いる方法では、一度に単穴加工あるいはせいぜい数個の穴加工しかできず、穴１０２の数が多い場合には加工時間が掛かり、またドライエッチングに比較して加工精度が悪いという欠点がある。

以上説明したように、本実施形態によれば、ノズルプレートと保護シートを同時に加工して保護シートにノズルと同じ径の穴（有底穴）を加工し、保護シートまで充填材を埋め込むことにより、ノズル周辺の充填材が均一でノズルに隙間なく埋め込まれているため、撥液膜もノズル周辺に均一に形成することができる。

次に、本発明の第２実施形態に係るノズルプレート製造方法について説明する。本実施形態が、前述した第１実施形態と異なる点は、既にノズルが形成された金属製のノズルプレートに保護シートを貼り、ノズルプレートをマスクとして保護シートを加工してノズルと同じ径の穴を開けるようにする点である。

図１０に、本実施形態におけるノズルプレートへの撥水膜形成方法を示す。

まず図１０（ａ）に示すように、金属のノズルプレート１５１にノズル５１を形成した後、ノズル面５０Ａに保護シート１００を貼り付ける。ここで、ノズルプレート１５１を形成する金属としては、特に限定はされず、例えば、ＳＵＳやＮｉ等が好適に例示される。また、保護シート１００の素材としては、前述した第１実施形態と同様でよく、例えばポリイミド等の樹脂シート等を用いることができる。

次に、図１０（ｂ）に示すように、ノズル５１が形成されたノズルプレート１５１をマスクにして、保護シート１００に穴１００ａを形成する。この穴加工は、ドライエッチングでもよいし、レーザ加工でもよい。レーザを用いる場合には、金属のノズルプレート１５１は加工せず、樹脂の保護シート１００のみを加工するようにその出力を調整するようにする必要があり、ドライエッチングの方が好ましい。

また、この穴加工は、ノズルプレート１５１そのものをマスクとして行われるため、保護シート１００にノズル５１と同サイズの穴１００ａを形成することができ、ノズル５１と保護シート１００の穴１００ａとを合わせて、段差のない連続した穴１０２が形成される。

次に、図１０（ｃ）に示すように、ノズルプレート１５１裏面側から充填材１０４を穴１０２の中に埋め込む。このとき、充填材１０４は、保護シート１００にまで達するように埋め込まれる。

次に、図１０（ｄ）に示すように、保護シート１００を剥がし、ノズル面５０Ａを露出させるとともに、ノズル５１から充填材１０４がノズル面５０Ａよりも突出するようにする。

次に、図１０（ｅ）に示すように、ノズルプレート１５１表面のノズル面５０Ａに撥液膜１０６を形成する。このとき、ノズル５１から充填材１０４がノズル面５０Ａより上に突出しているため、ノズル５１周辺に均一に撥液膜１０６を形成することができる。

最後に図１０（ｆ）に示すように、充填材１０４を除去して、ノズル５１を除いたノズル面５０Ａに均一に撥液膜１０６が形成されたノズルプレート１５１が形成される。

このように、本実施形態の場合には、ノズルプレート１５１自身をマスクとして用いるため、前述した第１実施形態のように保護シートに穴を形成する際にマスクを形成する工程が必要でなくなる。

なお、本実施形態のように金属のノズルプレートを用いる場合でも、前記第１実施形態のように、ノズルプレートに保護シートを貼ってから、ノズル及び保護シートに穴加工を行うことも可能である。しかしこの場合、金属のノズルプレートから樹脂の保護シートが剥がれないように工夫する必要があり、また先にノズルプレートにノズルを形成しておいてから保護シートを貼って保護シートのみ穴加工を行う方が各種加工方法を選択できるため好ましい。

また、前記第１実施形態のように、樹脂のノズルプレートの場合でも、ノズルプレートにノズルを形成した後に保護シートを貼って、ノズル及び保護シートに穴加工を行ってもよいが、前述したようにこの場合は同時に加工する方が効率がよい。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。

いままで説明した第１実施形態及び第２実施形態では、保護シートに穴加工する時、いずれも、穴は保護シートを貫通せず、有底穴であった。これに対し、本第３実施形態は、保護シートに穴を開けるときに穴を貫通させてしまうものである。

図１１に、第３実施形態に係るノズルプレート製造方法の工程を示す。

図１１に示すように、本実施形態は、ノズルプレートに保護シートを貼って穴加工するところまでは、上で述べた第１実施形態あるいは第２実施形態と同様である。ただし、図１１（ｂ）に示すように、保護シートに開ける穴は保護シートを貫通するように形成する。

そして、図１１（ｃ）に示すように、保護シート１００が貼られていないノズルプレート１５１裏面側から、保護シート１００を貫通する穴１０２の中に充填材１０４を埋め込んでいく。充填材１０４は、穴１０２の中に、ノズル面５０Ａよりも高く保護シート１００の部分に達するまで埋め込まれる。

このとき、穴１０２は保護シート１００を貫通しているため、充填材１０４を埋め込んでいく際、上から充填材１０４の充填状況を観察することが可能であり、確実に充填することができる。従って、充填不足で充填材１０４がノズル面５０Ａよりも上まで埋め込まれず、後で撥液膜を形成するときに不均一となることが防止される。

また、充填材１０４を埋め込む前に、穴１０２内を洗浄するときに、有底穴の場合よりもゴミの除去性がよい。

図１１（ｄ）〜（ｆ）に示すように、貫通穴１０２の中に充填材１０４を埋め込んだ後は、上記実施形態と同様に、保護シート１００を剥がし、ノズル面５０Ａに撥液膜を形成し、充填材１０４を除去してノズルプレート１５１が形成される。

また、本実施形態において、充填材１０４を埋め込む際、充填材１０４が保護シート１００表面上にまではみ出さなければ、多少穴１０２の上にはみ出してもよいが、図１２に示すように、充填材１０４を埋め込み過ぎて、充填材１０４が穴１０２から保護シート１００の上にはみ出してしまうと、保護シート１００を剥がすのが困難となる。このような場合には、はみ出した充填材１０４を削りとる必要がある。このとき、保護シート１００の表面も一緒に削りとってもよい。

ただし、穴１０２は貫通穴であるため、上から充填状況を観察しながら充填していけばこのように充填しすぎることはなく、十分に充填することができる。充填状況の観察は、目視でもよいが、センサを用いて自動化してもよい。

また、本実施形態は、充填を確実に行うことができるが、貫通穴を加工するには有底穴の場合よりも加工時間がかかる。一方、前述した第１あるいは第２実施形態の場合には、有底穴であるため、加工時間は短くて済むが、充填の際、充填状況がよくわからない。

そこで、次に説明する第４実施形態では、穴は保護シートを貫通しないが、充填状況がわかる程度に穴の底を薄くするようにした。

図１３に、第４実施形態における保護シートの加工状態を示す。

図１３に示すように、本実施形態においては、保護シート１００に形成される穴１０２は、前述した第１あるいは第２実施形態の場合よりも深く形成され、穴１０２の底１００ｂの部分の厚さδが、上からこの保護シートの底１００ｂを通して充填材１０４の充填状況が見える程度に薄く形成されている。この厚さδは、保護シート１００や充填材１０４等の材質にもよるが、大体５０μｍ〜１００μｍ程度であれば、底１００ｂを通して充填材１０４を観察可能であると考えられる。

また、このとき充填材１０４は、底１００ｂを通して見易くなるように着色されていることが好ましい。充填材１０４の充填時に、上から底１００ｂを通して充填状況を観察しながら充填を行い、色の付いた充填材１０４が保護シート１００の底１００ｂの内面に接したことを、底１００ｂを上から見たときの色の変化で検知することができる。

本実施形態においては、このように充填時に充填状況を観察しながら充填できるため、十分に充填でき、充填不足による撥液膜の形成不良の虞がない。また、十分に充填材を充填できるため、その後の撥液膜形成工程においても、ノズルの周囲に均一に撥液膜を形成することができる。

また、ノズルプレート１５１及び保護シート１００への穴１０２の形成やその他の構成については、前述した第１あるいは第２実施形態と同様である。充填材１０４を充填した後、保護シート１００を剥がして、ノズル面５０Ａ上に撥液膜（図示省略）を形成し、最後に充填材１０４を除去して、ノズルプレート１５１が形成される。

次に、本発明の第５実施形態について説明する。

本実施形態は、既にノズルが形成された金属製のノズルプレートに保護シートを貼り、ノズルプレートをマスクとして保護シートに貫通穴を開けるようにしたものである。

図１４に本実施形態におけるノズルプレートの撥水膜形成方法を示す。

まず図１４（ａ）に示すように、図１０（ａ）と同様にノズル５１の形成されたノズルプレート１５１のノズル面５０Ａに保護シート１００を貼り付ける。次に図１４（ｂ）に示すように、図１１（ｂ）と同様に、ノズルプレート１５１をマスクとして保護シート１００に貫通穴１０２を開ける。

以下、図１４（ｃ）から図１４（ｆ）の工程において、図１１（ｃ）から図１１（ｆ）の工程と同様にしてノズル５１を除いたノズル面５０Ａに均一に撥液膜１０６が形成されたノズルプレート１５１が形成される。

以上、本発明のノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一実施形態の概略を示す全体構成図である。 図１に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図である。 印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。 印字ヘッドの他の例を示す平面図である。 図３中の５−５線に沿った断面図である。 本実施形態のインクジェット記録装置におけるインク供給系の構成を示した概要図である。 本実施形態のインクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図である。 （ａ）〜（ｆ）は、第１実施形態に係るノズルプレート製造方法を示す工程図である。 （ａ）〜（ｅ）は、第１実施形態におけるノズル等の穴加工を示す工程図である。 （ａ）〜（ｆ）は、第２実施形態に係るノズルプレート製造方法を示す工程図である。 （ａ）〜（ｆ）は、第３実施形態に係るノズルプレート製造方法を示す工程図である。 第３実施形態に係るノズルプレート製造方法における問題を示す説明図である。 第４実施形態に係るノズルプレート製造方法を示す説明図である。 （ａ）〜（ｆ）は、第５実施形態に係るノズルプレート製造方法を示す工程図である。

符号の説明

１０…インクジェット記録装置、１２…印字部、１４…インク貯蔵／装填部、１６…記録紙、１８…給紙部、２０…デカール処理部、２２…吸着ベルト搬送部、２４…印字検出部、２６…排紙部、２８…カッター、３０…加熱ドラム、３１、３２…ローラー、３３…ベルト、３４…吸着チャンバー、３５…ファン、３６…ベルト清掃部、４０…加熱ファン、４２…後乾燥部、４４…加熱・加圧部、４５…加圧ローラー、４８…カッター、５０…印字ヘッド、５０Ａ…ノズル面、５１…ノズル、５２…圧力室、５３…インク供給口、５４…圧力室ユニット、５５…共通液室、５６…振動板（共通電極）、５７…個別電極、５８…圧電素子、６０…インクタンク、６２…フィルタ、６４…キャップ、６６…ブレード、６７…吸引ポンプ、６８…回収タンク、７０…通信インターフェース、７２…システムコントローラ、７４…画像メモリ、７６…モータドライバ、７８…ヒータドライバ、８０…プリント制御部、８２…画像バッファメモリ、８４…ヘッドドライバ、８６…ホストコンピュータ、８８…モータ、８９…ヒータ、１００…保護シート、１０２…穴、１０４…充填材、１０６…撥液膜、１５１…ノズルプレート

Claims (10)

1. ノズルが形成されるノズルプレートに保護シートを貼る工程と、
   前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルプレートを貫通し、前記保護シート内部に底を有する穴を形成する工程と、
   前記穴に対して、充填材を前記裏面側から充填する工程と、
   前記保護シートを剥がす工程と、
   前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、
   前記充填材を除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法。
2. ノズルが形成されたノズルプレートに保護シートを貼る工程と、
   前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記保護シート内部に底を有する穴を形成する工程と、
   前記穴に対して、充填材を前記裏面側から充填する工程と、
   前記保護シートを剥がす工程と、
   前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、
   前記充填材を除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法。
3. ノズルが形成されるノズルプレートに保護シートを貼る工程と、
   前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルプレート及び前記保護シートを貫通する穴を形成する工程と、
   前記穴に対して、前記裏面側から少なくとも前記保護シートの部分に達するまで充填材を充填する工程と、
   前記保護シートを剥がす工程と、
   前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、
   前記充填材を除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法。
4. ノズルが形成されたノズルプレートに保護シートを貼る工程と、
   前記ノズルプレートの前記保護シートを貼った側の裏面側から、前記ノズルに連続し前記保護シートを貫通する穴を形成する工程と、
   前記穴に対して、前記裏面側から少なくとも前記保護シートの部分に達するまで充填材を充填する工程と、
   前記保護シートを剥がす工程と、
   前記保護シートを剥がした後のノズルプレート表面に撥液膜を形成する工程と、
   前記充填材を除去する工程と、
   を含むことを特徴とするノズルプレート製造方法。
5. 前記底を有する穴の底の厚さを、前記充填材の充填時に前記底の反対側から前記充填材の充填状況を観察可能な薄さにし、充填状況を観察しながら前記充填材を充填するようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載のノズルプレート製造方法。
6. 前記穴の形成を、ドライエッチングまたはレーザ加工によって行うようにしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のノズルプレート製造方法。
7. 前記穴を形成した後、前記充填材を充填する前に前記穴の内部を洗浄するようにしたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のノズルプレート製造方法。
8. 前記保護シートは、光照射または加熱により粘着力が失われるシートを用い、前記保護シートを剥がす際は粘着力を失わせてから剥がすようにしたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のノズルプレート製造方法。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載のノズルプレート製造方法によって製造されたノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。

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