JP3169032B2 - ノズルプレートとその表面処理方法 - Google Patents
ノズルプレートとその表面処理方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に適用されるノズルプレートと、その表面処理方法に
関する。
置に適用されるノズルプレートと、その表面処理方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ノズルより吐出させたインク滴によって
記録媒体上に記録像を書込む形式のインクジェット記録
装置においては、ノズル回りの状態、つまりノズルの周
囲のインクの濡れによってインク滴の飛翔方向にズレが
生じるといった問題を有している。
記録媒体上に記録像を書込む形式のインクジェット記録
装置においては、ノズル回りの状態、つまりノズルの周
囲のインクの濡れによってインク滴の飛翔方向にズレが
生じるといった問題を有している。
【０００３】このような問題に対して、特開昭５５−６
５５６５号公報あるいは特開昭５７−１０７８４８号公
報で提案している装置は、ノズルプレートの表面に撥水
処理を施してノズルの周囲にインクの濡れができるのを
抑えるようにしたものであるが、このようにノズルプレ
ートの表面だけに処理を施すことはかなり困難で、特開
平２−４８９５３号公報に開示されたもののように、シ
リコン系の撥水剤を含浸させたブレードをもってノズル
プレートの表面をワイピングするようにしても、あるい
は撥水剤を含浸させた多孔質体にノズルプレートの表面
を圧接させるようにしても、その一部がノズル内に回り
込んでしまう結果、高速でノズルから吐出しようとする
インク滴がノズルの内周面一部に付着した撥水剤に接触
して、その飛翔方向を著しく狂わせてしまうといった問
題は依然として発生する。
５５６５号公報あるいは特開昭５７−１０７８４８号公
報で提案している装置は、ノズルプレートの表面に撥水
処理を施してノズルの周囲にインクの濡れができるのを
抑えるようにしたものであるが、このようにノズルプレ
ートの表面だけに処理を施すことはかなり困難で、特開
平２−４８９５３号公報に開示されたもののように、シ
リコン系の撥水剤を含浸させたブレードをもってノズル
プレートの表面をワイピングするようにしても、あるい
は撥水剤を含浸させた多孔質体にノズルプレートの表面
を圧接させるようにしても、その一部がノズル内に回り
込んでしまう結果、高速でノズルから吐出しようとする
インク滴がノズルの内周面一部に付着した撥水剤に接触
して、その飛翔方向を著しく狂わせてしまうといった問
題は依然として発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
インク滴の飛翔曲りの生じない新たなノズルプレートを
提供することにあり、また、ノズル内への撥水剤の回り
込みを抑えて、ノズルプレートの表面に撥水性の皮膜を
形成する新たなノズルプレートの表面処理方法を提供す
ることにある。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
インク滴の飛翔曲りの生じない新たなノズルプレートを
提供することにあり、また、ノズル内への撥水剤の回り
込みを抑えて、ノズルプレートの表面に撥水性の皮膜を
形成する新たなノズルプレートの表面処理方法を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明のノズルプレートは、インクの液滴を吐
出させるノズル孔を穿設し、かつ少なくとも表面が平板
状のノズルプレートにおいて、該ノズルプレートの表面
に、上記ノズル孔の周囲にノズル孔径の２０％を越えな
い巾の部分を残して撥水性の被覆層を設けて構成されて
いる。また、このノズルプレートは、少なくとも一部を
ノズル内に入り込ませるように光により硬化する感光性
樹脂材をノズルプレートの表面に積層する工程と、ノズ
ルの直上部分の上記感光性樹脂材をノズルの径に相当す
る大きさからノズルの径の１．４倍の大きさに硬化させ
るエネルギの光をノズルプレートの裏面から照射して、
上記感光性樹脂材を硬化させる工程と、硬化させた部分
の上記感光性樹脂材を型としてノズルプレートの表面に
撥水性の被覆層を形成する工程とにより製造される。
るために本発明のノズルプレートは、インクの液滴を吐
出させるノズル孔を穿設し、かつ少なくとも表面が平板
状のノズルプレートにおいて、該ノズルプレートの表面
に、上記ノズル孔の周囲にノズル孔径の２０％を越えな
い巾の部分を残して撥水性の被覆層を設けて構成されて
いる。また、このノズルプレートは、少なくとも一部を
ノズル内に入り込ませるように光により硬化する感光性
樹脂材をノズルプレートの表面に積層する工程と、ノズ
ルの直上部分の上記感光性樹脂材をノズルの径に相当す
る大きさからノズルの径の１．４倍の大きさに硬化させ
るエネルギの光をノズルプレートの裏面から照射して、
上記感光性樹脂材を硬化させる工程と、硬化させた部分
の上記感光性樹脂材を型としてノズルプレートの表面に
撥水性の被覆層を形成する工程とにより製造される。
【０００６】
【実施例】そこで以下に図示した実施例について説明す
る。図１は、本発明の一実施例をなすノズルプレートの
表面処理工程について示したものであり、また図２は、
この工程によって形成されたノズルプレートの一例を示
したものである。
る。図１は、本発明の一実施例をなすノズルプレートの
表面処理工程について示したものであり、また図２は、
この工程によって形成されたノズルプレートの一例を示
したものである。
【０００７】図１において符号１で示したノズルプレー
トは、金属、セラミックス、シリコン、ガラス、プラス
チック等で形成され、好ましくはチタン、クロム、鉄、
コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、スズ、金等の単一材、
もしくはニッケル−リン合金、スズ−銅−リン合金（リ
ン青銅）、銅−亜鉛合金、ステンレス鋼等の合金や、ポ
リカーボネイト、ポリサルフォン、ＡＢＳ樹脂（アクリ
ルニトリル・ブタジエン・スチレン供重合）、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリアセタール及び各種の感光性
樹脂材で形成されている。 そして、このノズルプレート
１には、裏面３側に大きく開口した漏斗状部分４ａと、
平板状の表面２の側に筒状に開口したオリフィス部分４
ｂとからなる複数のノズル孔４が設けられている。
トは、金属、セラミックス、シリコン、ガラス、プラス
チック等で形成され、好ましくはチタン、クロム、鉄、
コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、スズ、金等の単一材、
もしくはニッケル−リン合金、スズ−銅−リン合金（リ
ン青銅）、銅−亜鉛合金、ステンレス鋼等の合金や、ポ
リカーボネイト、ポリサルフォン、ＡＢＳ樹脂（アクリ
ルニトリル・ブタジエン・スチレン供重合）、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリアセタール及び各種の感光性
樹脂材で形成されている。 そして、このノズルプレート
１には、裏面３側に大きく開口した漏斗状部分４ａと、
平板状の表面２の側に筒状に開口したオリフィス部分４
ｂとからなる複数のノズル孔４が設けられている。
【０００８】このノズルプレート１の表面２には、はじ
めに、光により硬化する感光性樹脂フィルム６、一例と
して、三菱レーヨン製ダイヤロンＦＲＡ３０５−３８
（商品名）のドライフィルムレジストがラミネートさ
れ、ついで、この感光性樹脂フィルム６を、ガラス転移
点以上の温度、つまり７２±１℃以上の温度で加熱しつ
つこれを加圧して、フィルム６の裏面一部を少なくとも
８μｍ以上の長さを有する栓体部６ａとしてノズル４の
内部に入り込ませる（図１（ａ））。
めに、光により硬化する感光性樹脂フィルム６、一例と
して、三菱レーヨン製ダイヤロンＦＲＡ３０５−３８
（商品名）のドライフィルムレジストがラミネートさ
れ、ついで、この感光性樹脂フィルム６を、ガラス転移
点以上の温度、つまり７２±１℃以上の温度で加熱しつ
つこれを加圧して、フィルム６の裏面一部を少なくとも
８μｍ以上の長さを有する栓体部６ａとしてノズル４の
内部に入り込ませる（図１（ａ））。
【０００９】つぎに、ノズルプレート１の裏面３から紫
外線を照射し、ノズル４内へ入り込んだ部分の光感光性
樹脂を栓体部６ａとして硬化させるとともに、この部分
を通して表面に達した光を回析、屈折、乱反射させて、
ノズル４の直上部分の感光性樹脂フィルム６を、少なく
ともノズル径ｄに相当する大きさから最大でもノズル径
ｄの１．４倍程度、好ましくは１．２倍程度の同心円状
の膨大部６ｂとして硬化させる（同図（ｂ））。
外線を照射し、ノズル４内へ入り込んだ部分の光感光性
樹脂を栓体部６ａとして硬化させるとともに、この部分
を通して表面に達した光を回析、屈折、乱反射させて、
ノズル４の直上部分の感光性樹脂フィルム６を、少なく
ともノズル径ｄに相当する大きさから最大でもノズル径
ｄの１．４倍程度、好ましくは１．２倍程度の同心円状
の膨大部６ｂとして硬化させる（同図（ｂ））。
【００１０】この膨大部６ｂの直径Ｄは、ノズル４内へ
の感光性樹脂フィルム６の入り込み量ｔと露光量Ｑによ
り左右され、一般的なノズルプレート、つまり板厚Ｔが
８０μｍ、ノズル径ｄが４０μｍ、ノズルの筒状部の長
さｌが３５μｍのノズルプレート１を用い、この裏面３
に照射する紫外線（波長３６５ｎｍ）の光量Ｅ（光エネ
ルギ）Ｅと、ノズル４内への感光性樹脂フィルム６の入
り込み量ｔを変えて実験を行ったところ、図３に示した
ような結果が得られた。
の感光性樹脂フィルム６の入り込み量ｔと露光量Ｑによ
り左右され、一般的なノズルプレート、つまり板厚Ｔが
８０μｍ、ノズル径ｄが４０μｍ、ノズルの筒状部の長
さｌが３５μｍのノズルプレート１を用い、この裏面３
に照射する紫外線（波長３６５ｎｍ）の光量Ｅ（光エネ
ルギ）Ｅと、ノズル４内への感光性樹脂フィルム６の入
り込み量ｔを変えて実験を行ったところ、図３に示した
ような結果が得られた。
【００１１】すなわち、樹脂フィルム６の入り込み量ｔ
に対して露光量Ｅが少な過ぎる場合には、ノズル４の直
上に形成される膨大部６ｂの径Ｄはノズル径ｄより小さ
くなり、また、樹脂フィルム６の入り込み量ｔに対して
露光量Ｅが多過ぎる場合には、ノズル４の直上に形成さ
れる膨大部６ｂの径Ｄが１．４ｄを超えてしまうことに
なって、後述するようなインク滴の飛翔曲がりを抑える
ことができなくなる。したがって、入り込み量ｔに対す
る露光量Ｅについては、 １８≦ｔ≦３０の場合、露光量Ｅを３００ｍＪ／cm2 ３０＜ｔ≦３５の場合、露光量Ｅを６００ｍＪ／cm2 と、すべきであることが判った。また、このようにして
形成された栓体部６ａはノズル４内に強く嵌合し、メッ
キ層形成過程で膨大部６ｂがノズル４部分から抜け落ち
るのを防ぐとともに、ノズル４内への撥水性高分子樹脂
剤の侵入を抑え、また、表面２に突出形成された膨大部
６ｂはノズルプレート表面２に共析メッキを施す際の型
として働く。つぎに、このノズルプレート１の表裏面
２、３に光により硬化する液状の感光性樹脂剤７を塗布
し、その裏面３から光を照射してその面３の感光性樹脂
剤８を被膜として硬化させる（同図（ｃ））。
に対して露光量Ｅが少な過ぎる場合には、ノズル４の直
上に形成される膨大部６ｂの径Ｄはノズル径ｄより小さ
くなり、また、樹脂フィルム６の入り込み量ｔに対して
露光量Ｅが多過ぎる場合には、ノズル４の直上に形成さ
れる膨大部６ｂの径Ｄが１．４ｄを超えてしまうことに
なって、後述するようなインク滴の飛翔曲がりを抑える
ことができなくなる。したがって、入り込み量ｔに対す
る露光量Ｅについては、 １８≦ｔ≦３０の場合、露光量Ｅを３００ｍＪ／cm2 ３０＜ｔ≦３５の場合、露光量Ｅを６００ｍＪ／cm2 と、すべきであることが判った。また、このようにして
形成された栓体部６ａはノズル４内に強く嵌合し、メッ
キ層形成過程で膨大部６ｂがノズル４部分から抜け落ち
るのを防ぐとともに、ノズル４内への撥水性高分子樹脂
剤の侵入を抑え、また、表面２に突出形成された膨大部
６ｂはノズルプレート表面２に共析メッキを施す際の型
として働く。つぎに、このノズルプレート１の表裏面
２、３に光により硬化する液状の感光性樹脂剤７を塗布
し、その裏面３から光を照射してその面３の感光性樹脂
剤８を被膜として硬化させる（同図（ｃ））。
【００１２】ついで、ノズルプレート１の表面に露光さ
れることなく残された感光性樹脂フィルム６と感光性樹
脂材７とを溶剤により除去してから酸で洗浄した上（同
図（ｄ））、ニッケルイオンとポリテトラフルオロエチ
レン等の撥水性高分子樹脂の粒子を電荷により分散させ
た電解液中に浸漬し、液を撹拌しながらノズルプレート
１の表面に共析メッキ層８を形成する（同図（ｅ））。
れることなく残された感光性樹脂フィルム６と感光性樹
脂材７とを溶剤により除去してから酸で洗浄した上（同
図（ｄ））、ニッケルイオンとポリテトラフルオロエチ
レン等の撥水性高分子樹脂の粒子を電荷により分散させ
た電解液中に浸漬し、液を撹拌しながらノズルプレート
１の表面に共析メッキ層８を形成する（同図（ｅ））。
【００１３】この共析メッキ処理に使用されるフッ素系
高分子材としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
バーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニ
リデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアル
キルフマレート等の樹脂を単独にあるいは混合したもの
として用いられる。
高分子材としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
バーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニ
リデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアル
キルフマレート等の樹脂を単独にあるいは混合したもの
として用いられる。
【００１４】このメッキ層８のマトリックスとしては特
に制限はなく、ニッケル、銅、銀、亜鉛、錫等の適宜の
金属を選ぶことができるが、好ましくは、ニッケルやニ
ッケル−コバルト合金、ニッケル−リン合金、ニッケル
−ホウ素合金等の表面硬度が大で、しかも耐摩耗性に優
れたものが選定される。
に制限はなく、ニッケル、銅、銀、亜鉛、錫等の適宜の
金属を選ぶことができるが、好ましくは、ニッケルやニ
ッケル−コバルト合金、ニッケル−リン合金、ニッケル
−ホウ素合金等の表面硬度が大で、しかも耐摩耗性に優
れたものが選定される。
【００１５】これにより、ポリテトラフルオロエチレン
の粒子は、ノズルプレート１の表面２に形成された膨大
部６ｂを型として、ノズル４の周囲に、最大でも巾Ｗが
０．２ｄの同心円状の非撥水部５を残してその表面２全
体を均一に覆う。
の粒子は、ノズルプレート１の表面２に形成された膨大
部６ｂを型として、ノズル４の周囲に、最大でも巾Ｗが
０．２ｄの同心円状の非撥水部５を残してその表面２全
体を均一に覆う。
【００１６】したがって、このあと適宜の溶剤を用い
て、栓として使用した感光性樹脂フィルム６と保護皮膜
として使用した感光性樹脂剤７を溶解除去し、ついで、
ノズルプレート１に荷重を加えてその反りの発生を抑え
つつ、これをポリテトラフルオロエチレンの融点以上の
温度、例えば３５０℃以上の温度で加熱して、ノズルプ
レート１の表面２に硬度の大なる撥インク性のメッキ層
８を形成する（同図（ｆ））。
て、栓として使用した感光性樹脂フィルム６と保護皮膜
として使用した感光性樹脂剤７を溶解除去し、ついで、
ノズルプレート１に荷重を加えてその反りの発生を抑え
つつ、これをポリテトラフルオロエチレンの融点以上の
温度、例えば３５０℃以上の温度で加熱して、ノズルプ
レート１の表面２に硬度の大なる撥インク性のメッキ層
８を形成する（同図（ｆ））。
【００１７】このようにして形成されたノズルプレート
１には、図２に示したように、少なくともノズル４の内
面への回り込みが抑えられた状態で、その表面２にのみ
撥インク性のメッキ層８が形成される。
１には、図２に示したように、少なくともノズル４の内
面への回り込みが抑えられた状態で、その表面２にのみ
撥インク性のメッキ層８が形成される。
【００１８】したがって、このように構成されたノズル
プレート１を用いて記録書込みを行うと、高速でノズル
４から吐出したインク滴は、そのまま記録媒体に向けて
正しく飛行する。そして、ノズル４の周囲に、ノズル径
ｄの２０％を越えない巾Ｗの非撥水面５が形成された場
合には、この部分に乗ったインク滴のうち、余剰のイン
クがノズル４の内壁面を伝ってインク室内に戻される一
方、残りは非撥水面５全周に等しくゆきわたってそこに
均一な濡れを形成して互いに飛行曲りを打消し合うよう
に作用し、また、撥インク性のメッキ層８に乗ったイン
クは、インク滴の飛翔に影響を及ぼさない領域で表面張
力により球状になって付着する結果、インク滴はこれら
に影響されることなくノズル４の軸線方向に正しく飛翔
することになる。
プレート１を用いて記録書込みを行うと、高速でノズル
４から吐出したインク滴は、そのまま記録媒体に向けて
正しく飛行する。そして、ノズル４の周囲に、ノズル径
ｄの２０％を越えない巾Ｗの非撥水面５が形成された場
合には、この部分に乗ったインク滴のうち、余剰のイン
クがノズル４の内壁面を伝ってインク室内に戻される一
方、残りは非撥水面５全周に等しくゆきわたってそこに
均一な濡れを形成して互いに飛行曲りを打消し合うよう
に作用し、また、撥インク性のメッキ層８に乗ったイン
クは、インク滴の飛翔に影響を及ぼさない領域で表面張
力により球状になって付着する結果、インク滴はこれら
に影響されることなくノズル４の軸線方向に正しく飛翔
することになる。
【００１９】いま、ノズルプレート１の表面２に、非撥
水面５の巾Ｗを種々に変えて撥インク性のメッキ層８を
施し、これらのノズルプレート１をピエゾ駆動方式を採
るオンデマンド型インクジェットプリンタに装着して、
径が４０μｍのノズル４から０．１μｇ／ｄｏｔのイン
ク滴を３０秒間フルに吐出させる実験を１００回行っ
て、その際の飛行曲りの発生回数をカウントしたとこ
ろ、 上記のような結果が得られ、このことから、ノズル４の
縁一杯まで撥インク性のメッキ層８を施した場合には、
ノズル４の内面にメッキ層８の一部が入り込む事態が発
生して、その部分がインク滴の飛翔に悪影響を及ぼすら
しいことが判明し、また、ノズル４の周囲に、巾Ｗがノ
ズル径ｄの２０％以上の排撥水面５が形成されたような
場合には、ノズルプレート１の表面２に撥水処理を施さ
ない場合と同様の飛翔曲がりが発生することが判明し
た。
水面５の巾Ｗを種々に変えて撥インク性のメッキ層８を
施し、これらのノズルプレート１をピエゾ駆動方式を採
るオンデマンド型インクジェットプリンタに装着して、
径が４０μｍのノズル４から０．１μｇ／ｄｏｔのイン
ク滴を３０秒間フルに吐出させる実験を１００回行っ
て、その際の飛行曲りの発生回数をカウントしたとこ
ろ、 上記のような結果が得られ、このことから、ノズル４の
縁一杯まで撥インク性のメッキ層８を施した場合には、
ノズル４の内面にメッキ層８の一部が入り込む事態が発
生して、その部分がインク滴の飛翔に悪影響を及ぼすら
しいことが判明し、また、ノズル４の周囲に、巾Ｗがノ
ズル径ｄの２０％以上の排撥水面５が形成されたような
場合には、ノズルプレート１の表面２に撥水処理を施さ
ない場合と同様の飛翔曲がりが発生することが判明し
た。
【００２０】図４は、ノズルプレートの表面処理方法に
関する本発明の第２の実施例を示したものである。この
方法は、はじめにノズルプレート１の表面２に、光によ
り硬化する感光性樹脂フィルム６を貼着し、また裏面３
には、光により硬化する液状の感光性樹脂剤７を塗布す
る（同図（ａ））。
関する本発明の第２の実施例を示したものである。この
方法は、はじめにノズルプレート１の表面２に、光によ
り硬化する感光性樹脂フィルム６を貼着し、また裏面３
には、光により硬化する液状の感光性樹脂剤７を塗布す
る（同図（ａ））。
【００２１】ついで、ノズルプレート１の裏面３全面に
紫外線を照射して、その面３とノズル４内の感光性樹脂
剤７を硬化させる一方、ノズル４を通して表面２に達し
た紫外線によって、ノズル４の直上部分の感光性樹脂フ
ィルム６を、少なくともノズル径ｄに相当する大きさか
らノズル径ｄの１．４倍を越えない程度の大きさに硬化
させて、栓体部６ａと膨大部６ｂを形成する（同図
（ｂ））。
紫外線を照射して、その面３とノズル４内の感光性樹脂
剤７を硬化させる一方、ノズル４を通して表面２に達し
た紫外線によって、ノズル４の直上部分の感光性樹脂フ
ィルム６を、少なくともノズル径ｄに相当する大きさか
らノズル径ｄの１．４倍を越えない程度の大きさに硬化
させて、栓体部６ａと膨大部６ｂを形成する（同図
（ｂ））。
【００２２】つぎに、ノズルプレート表面２の感光性樹
脂フィルム６のうち、その未露光部分６ｃを溶剤により
除去し（同図（ｃ））、ついで、膨大部６ｂを型として
ノズルプレート１の表面２に撥インク性の共析メッキ層
８を形成する（同図（ｄ））。
脂フィルム６のうち、その未露光部分６ｃを溶剤により
除去し（同図（ｃ））、ついで、膨大部６ｂを型として
ノズルプレート１の表面２に撥インク性の共析メッキ層
８を形成する（同図（ｄ））。
【００２３】そして最後に、ノズルプレート１の裏面３
で硬化してその面２を保護している感光性樹脂剤８を溶
剤により除去することにより、ノズル４の縁を除いてノ
ズルプレート１の表面２全体に撥インク性のメッキ層８
を形成する（同図ｅ））。
で硬化してその面２を保護している感光性樹脂剤８を溶
剤により除去することにより、ノズル４の縁を除いてノ
ズルプレート１の表面２全体に撥インク性のメッキ層８
を形成する（同図ｅ））。
【００２４】なお、本発明の実施例ではノズルプレート
１の表面の撥インク性の被覆層を共析メッキで形成した
が、フッ素系高分子撥水剤を塗布して形成するようにし
てもよい。
１の表面の撥インク性の被覆層を共析メッキで形成した
が、フッ素系高分子撥水剤を塗布して形成するようにし
てもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように請求項１のノズルプ
レートは、インクの液滴を吐出させるノズル孔が穿設さ
れ、かつ少なくとも表面が平板状のノズルプレートにお
いて、該ノズルプレートの表面に、ノズル孔の周囲にノ
ズル孔径の２０％を越えない巾の部分を残して撥水性の
被覆層が設けられているので、ノズル孔周囲の僅かな非
撥水面上に乗ったインク滴のうち余剰のインクをインク
室内に戻し、残りはこの面全体に等しく行き渡らせて均
一な濡れを形成して互いにインク滴の飛行曲がりを打ち
消し合せるようにするとともに、ノズル孔内での撥水層
との接触を皆無となして、接触によって生じるインク滴
の飛行曲がりを未然に防ぐことができる。また請求項２
のノズルプレートの表面処理方法は、少なくとも一部を
ノズル内に入り込ませるように光により硬化する感光性
樹脂材をノズルプレートの表面に積層する工程と、ノズ
ルの直上部分の感光性樹脂材をノズルの径に相当する大
きさからノズルの径の１．４倍の大きさに硬化させるエ
ネルギの光をノズルプレートの裏面から照射して、感光
性樹脂材を硬化させる工程と、硬化させた部分の感光性
樹脂材を型としてノズルプレートの表面に撥水性の被覆
層を形成する工程と、を含むので、ノズル孔内で硬化さ
せた栓体部分により飛行曲がりの原因となる撥水性の被
覆層のノズル孔への回り込みを皆無となすことができ、
また樹脂材の硬化に必要なエネルギの管理により入り込
み量を容易に調整でき、さらには表面で硬化させた感光
性樹脂材の脱落を抑えつつ、ノズルプレートの表面に撥
水面を容易、かつ正確に形成することができる。
レートは、インクの液滴を吐出させるノズル孔が穿設さ
れ、かつ少なくとも表面が平板状のノズルプレートにお
いて、該ノズルプレートの表面に、ノズル孔の周囲にノ
ズル孔径の２０％を越えない巾の部分を残して撥水性の
被覆層が設けられているので、ノズル孔周囲の僅かな非
撥水面上に乗ったインク滴のうち余剰のインクをインク
室内に戻し、残りはこの面全体に等しく行き渡らせて均
一な濡れを形成して互いにインク滴の飛行曲がりを打ち
消し合せるようにするとともに、ノズル孔内での撥水層
との接触を皆無となして、接触によって生じるインク滴
の飛行曲がりを未然に防ぐことができる。また請求項２
のノズルプレートの表面処理方法は、少なくとも一部を
ノズル内に入り込ませるように光により硬化する感光性
樹脂材をノズルプレートの表面に積層する工程と、ノズ
ルの直上部分の感光性樹脂材をノズルの径に相当する大
きさからノズルの径の１．４倍の大きさに硬化させるエ
ネルギの光をノズルプレートの裏面から照射して、感光
性樹脂材を硬化させる工程と、硬化させた部分の感光性
樹脂材を型としてノズルプレートの表面に撥水性の被覆
層を形成する工程と、を含むので、ノズル孔内で硬化さ
せた栓体部分により飛行曲がりの原因となる撥水性の被
覆層のノズル孔への回り込みを皆無となすことができ、
また樹脂材の硬化に必要なエネルギの管理により入り込
み量を容易に調整でき、さらには表面で硬化させた感光
性樹脂材の脱落を抑えつつ、ノズルプレートの表面に撥
水面を容易、かつ正確に形成することができる。
【図１】（ａ）乃至（ｆ）は、本発明の一実施例をなす
ノズルプレートの表面処理工程を示した図である。
ノズルプレートの表面処理工程を示した図である。
【図２】同上装置により形成したノズルプレートの一例
を示した断面図である。
を示した断面図である。
【図３】感光性樹脂フィルムの入り込み量と露光量の関
係を示した図である。
係を示した図である。
【図４】（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の他の実施例をな
すノズルプレートの製造工程を示した図である。
すノズルプレートの製造工程を示した図である。
１ ノズルプレート ４ ノズル ５ 非撥水面 ６ 感光性樹脂フィルム ６ａ 栓体部 ６ｂ 膨大部 ７ 液状の感光性樹脂剤 ８ 撥インク性の共析メッキ層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井中 幸芳 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイ コ−エプソン株式会社内 (56)参考文献 実開 昭63−184730（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/135
Claims (5)
- 【請求項１】 インクの液滴を吐出させるノズル孔が穿
設され、かつ少なくとも表面が平板状のノズルプレート
において、該ノズルプレートの表面に、上記ノズル孔の
周囲にノズル孔径の２０％を越えない巾の部分を残して
撥水性の被覆層を設けたことを特徴とするノズルプレー
ト。 - 【請求項２】 少なくとも一部をノズル内に入り込ませ
るように光により硬化する感光性樹脂材をノズルプレー
トの表面に積層する工程と、 ノズルの直上部分の上記感光性樹脂材をノズルの径に相
当する大きさからノズルの径の１．４倍の大きさに硬化
させるエネルギの光をノズルプレートの裏面から照射し
て、上記感光性樹脂材を硬化させる工程と、 硬化させた部分の上記感光性樹脂材を型としてノズルプ
レートの表面に撥水性の被覆層を形成する工程と、 を含むノズルプレートの表面処理方法。 - 【請求項３】 上記撥水性の被膜層がフッ素系樹脂であ
り、上記被膜層を形成する工程の後に、上記ノズルプレ
ートに反りを防止できる程度の荷重をかけて上記フッ素
系樹脂の融点以上に加熱する工程を含む請求項２に記載
のノズルプレートの表面処理方法。 - 【請求項４】 上記感光性樹脂材が感光性樹脂フィルム
であり、上記感光性樹脂フィルムをノズルプレートの表
面に押圧してその一部をノズル内に入り込ませるように
した請求項２に記載のノズルプレートの表面処理方法。 - 【請求項５】 上記感光性樹脂材が感光性樹脂フィルム
と液状の感光性樹脂材であり、上記感光性樹脂フィルム
をノズルプレートの表面に貼着する一方、上記液状の感
光性樹脂材をノズルプレートの裏面に塗布してその一部
をノズル内に入り込ませる請求項２に記載のノズルプレ
ートの表面処理方法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06099093A JP3169032B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | ノズルプレートとその表面処理方法 |
| US08/201,023 US6390599B1 (en) | 1993-02-25 | 1994-02-24 | Nozzle plate and method for surface treatment of same |
| IT94TO000115A IT1266816B1 (it) | 1993-02-25 | 1994-02-24 | Piastra ad ugelli e procedimento per il suo trattamento superficiale. |
| GB9403711A GB2277299B (en) | 1993-02-25 | 1994-02-25 | Nozzle plate and method for surface treatment of same |
| DE4406224A DE4406224C2 (de) | 1993-02-25 | 1994-02-25 | Verfahren zur Oberflächenbehandlung einer Düsenplatte |
| SG1996005491A SG49044A1 (en) | 1993-02-25 | 1994-02-25 | Nozzle plate and method for surface treatment of same |
| FR9402202A FR2701895B1 (fr) | 1993-02-25 | 1994-02-25 | Plaque de busette et son procédé de traitement de surface. |
| US08/485,149 US5863371A (en) | 1993-02-25 | 1995-06-07 | Nozzle plate and method for surface treatment of same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06099093A JP3169032B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | ノズルプレートとその表面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246921A JPH06246921A (ja) | 1994-09-06 |
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Family
ID=13158388
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06099093A Expired - Fee Related JP3169032B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | ノズルプレートとその表面処理方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6390599B1 (ja) |
| JP (1) | JP3169032B2 (ja) |
| DE (1) | DE4406224C2 (ja) |
| FR (1) | FR2701895B1 (ja) |
| GB (1) | GB2277299B (ja) |
| IT (1) | IT1266816B1 (ja) |
| SG (1) | SG49044A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109664617A (zh) * | 2017-10-13 | 2019-04-23 | 佳能株式会社 | 穿孔基板处理方法和液体喷射头制造方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| WO1997035723A1 (fr) * | 1996-03-28 | 1997-10-02 | Sony Corporation | Imprimante |
| JP2000263794A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-26 | Fujitsu Ltd | インクジェット記録装置のノズル基体の製造方法と、そのインクジェット記録装置のノズル基体およびそれを使用したインクジェット記録装置 |
| JP3826608B2 (ja) | 1999-03-17 | 2006-09-27 | 富士写真フイルム株式会社 | 液体吐出部表面の撥水膜形成 |
| US6561624B1 (en) * | 1999-11-17 | 2003-05-13 | Konica Corporation | Method of processing nozzle plate, nozzle plate, ink jet head and image forming apparatus |
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| WO2002055619A1 (fr) * | 2001-01-15 | 2002-07-18 | Seiko Epson Corporation | Encre huileuse pour impression par jets d'encre et procede d'impression associe |
| JP4087085B2 (ja) | 2001-07-06 | 2008-05-14 | 株式会社日立製作所 | インクジェットヘッド |
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